JP2015207613A - ソレノイドインダクタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各金属配線層に形成された螺旋形状をなすプレーナ型のインダクタとして、各金属配線層のうち配線層厚がTaからなる金属配線層に形成されて巻数がNaのインダクタL2〜L7と、各金属配線層のうち配線層厚がTaより大きいTcからなる金属配線層に形成されて巻数がNaより大きいNcのインダクタLcとを備える。
【選択図】図3
Description
図9は、従来のソレノイドインダクタの構成を示す外観図である。図10は、図9の平面図である。図11は、図10のXI−XI断面図である。
[第1の実施の形態]
まず、図1−図3を参照して、本発明の第1の実施の形態にかかるソレノイドインダクタ10について説明する。図1は、第1の実施の形態にかかるソレノイドインダクタの構成を示す外観図である。図2は、図1の平面図である。図3は、図2のIII−III断面図である。なお、以下では、ソレノイドインダクタ10が形成される半導体基板の積層方向をZ方向とし、基板平面に沿った方向であって互いに直交する2つの方向をX方向およびY方向とする。
Ta<Tb<Tc …(1)
Na<Nb≦NcまたはNa≦Nb<Nc …(2)
Wa>Wb≧WcまたはWa≧Wb>Wc …(3)
この際、本実施の形態については、図3に示したように、金属配線層M9とその直下の金属配線層M8には、それぞれ螺旋形状をなす2巻きのプレーナ型のインダクタL9,L8がそれぞれ同心円状に形成され、金属配線層M2〜M7には、それぞれ螺旋形状をなす1巻きのプレーナ型のインダクタL2〜L7が、インダクタL9,L8と同心円状に形成された構造とした。
このように、本実施の形態は、各金属配線層に形成された螺旋形状をなすプレーナ型のインダクタとして、各金属配線層のうち配線層厚がTaからなる第1の金属配線層に形成されて巻数がNaの第1のインダクタと、各金属配線層のうち配線層厚がTaより大きいTcからなる第2の金属配線層に形成されて巻数がNaより大きいNcの第2のインダクタとを備えたものである。
次に、図6を参照して、本発明の第2の実施の形態にかかるソレノイドインダクタ10について説明する。図6は、第2の実施の形態にかかるソレノイドインダクタの構成を示す断面図であり、図3と同様の位置における断面を示している。
次に、図7を参照して、本発明の第3の実施の形態にかかるソレノイドインダクタ10について説明する。図7は、第3の実施の形態にかかるソレノイドインダクタの構成を示す断面図であり、図3と同様の位置における断面を示している。
これにより、各インダクタLa1−La3,L8,L9において必要となる許容電流値を確保しつつ、全体として最大の巻数を得ることができ、一定の許容電流値下において、インダクタの実装効率を最大化することができる。
これにより、インダクタL9の配線幅をさらに小さくできない場合でも、その他のインダクタの断面積が調整されて、各インダクタLa1−La3、Lb1−Lb2、S9の巻線の配線断面積Sa1−Sa3、Sb1−Sb2、Scをほぼ等しくすることができ、結果として各インダクタの許容電流量を近づけることが可能となる。
以上、実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明のスコープ内で当業者が理解しうる様々な変更をすることができる。また、各実施形態については、矛盾しない範囲で任意に組み合わせて実施することができる。
Claims (3)
- 半導体基板のうち絶縁層を介して積層された複数の金属配線層に、螺旋形状をなすプレーナ型のインダクタを同心円状に形成し、これらインダクタの端部を層間接続することにより各インダクタを直列接続してなるオンチップのソレノイドインダクタであって、
前記各金属配線層のうち配線層厚がTaからなる第1の金属配線層に形成されて巻数がNaの第1のインダクタと、
前記各金属配線層のうち配線層厚がTaより大きいTcからなる第2の金属配線層に形成されて巻数がNaより大きいNcの第2のインダクタと
を備えることを特徴とするソレノイドインダクタ。 - 請求項1に記載のソレノイドインダクタにおいて、
前記第1のインダクタは、前記第1の金属配線層の全部またはその一部が、当該第1の金属配線層の直上または直下に位置する前記金属配線層の全部またはその一部と層間接続されてなることを特徴とするソレノイドインダクタ。 - 請求項1または請求項2に記載のソレノイドインダクタにおいて、
前記各インダクタは、当該インダクタンス値を構成する巻線部の配線断面積として、互いにほぼ等しい断面積をそれぞれ有していることを特徴とするソレノイドインダクタ。
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