JP2015175603A - 干渉計における参照ミラー表面形状の校正方法 - Google Patents
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Abstract
Description
H1=Md+Ra ・・・(1)
H2=Mc+Ra ・・・(2)
H3=Md+Rb ・・・(3)
H4=Mc+Rb ・・・(4)
H5=Mb+Ra ・・・(5)
H6=Md+Rc ・・・(6)
H7=Ma+Ra ・・・(7)
H8=Mb+Rb ・・・(8)
H9=Mc+Rc ・・・(9)
H10=Md+Rd ・・・(10)
H11=Ma+Rb ・・・(11)
H12=Mc+Rd ・・・(12)
H13=Mb+Rc ・・・(13)
H14=Ma+Rc ・・・(14)
H15=Mb+Rd ・・・(15)
H16=Ma+Rd ・・・(16)
Ra+Rb+Rc+Rd=0 ・・・(18)
10…光出射部
20…光学ヘッド部
30…対物レンズ部
33…参照ミラー
40…撮像部
41…結像レンズ
50…画像メモリ
60…演算処理部
70…入力部
80…出力部
90…表示部
S…ステージ
W…測定対象物(ワーク)
WO…基準器
WOC…基準器中央部分
Claims (2)
- 測定対象表面との間で干渉光を発生させるための、表面形状の幾何誤差が未知の参照ミラーを備えた干渉計において、
表面形状の幾何誤差が未知の基準器を測定対象の位置に配置して、
一部の測定領域をオーバーラップさせながら、参照ミラーを移動走査して、複数の方向について、各方向で複数領域の表面形状を測定し、
各測定領域で、参照ミラーの表面形状の幾何誤差、基準器の表面形状の幾何誤差、及び、表面形状測定値間に成立する方程式を解くことにより、参照ミラーの表面形状の幾何誤差を求めることを特徴とする、干渉計における参照ミラー表面形状の校正方法。 - 前記基準器の表面形状の幾何誤差の和が既知の場合は、この関係も利用することを特徴とする、請求項1に記載の干渉計における参照ミラー表面形状の校正方法。
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