JP2015175031A - 組立式密閉チャンバ - Google Patents
組立式密閉チャンバ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015175031A JP2015175031A JP2014053047A JP2014053047A JP2015175031A JP 2015175031 A JP2015175031 A JP 2015175031A JP 2014053047 A JP2014053047 A JP 2014053047A JP 2014053047 A JP2014053047 A JP 2014053047A JP 2015175031 A JP2015175031 A JP 2015175031A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber wall
- chamber
- wall member
- sealed
- gap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【課題】大型の密閉チャンバを製造するに際し、専用の大型切削加工機を必要とせず、必要十分な機械強度を確保し、かつ低価格で生産可能な組立式密閉チャンバの提供。【解決手段】複数のチャンバ壁部材10aを接合させ、内部に密閉された空間を形成する組立式密閉チャンバであって、上面となるチャンバ壁部材10と、下面となるチャンバ壁部材10と、その間に設けられる複数の側面となるチャンバ壁部材10aと、各チャンバ壁部材10が他のチャンバ壁部材10と接合する少なくともいずれかの接合面に内部から外側に向けて形成されたシール用の空隙22aと、空隙22aにシール剤がシールされたシール層50と、各チャンバ壁部材10の接合面に所定間隔で設けられた各チャンバ壁部材10同士を締結するためのボルト締結用のねじ孔、及び/又はねじ孔に符合し、接合面からその反対面までボルト40を貫通させるボルト貫通孔とを備える組立式密閉チャンバ。【選択図】図2
Description
本発明は、成膜装置やエッチング装置等に用いられる密閉チャンバに関し、従来の切削加工による密閉チャンバや溶接構造の密閉チャンバなどと同等以上の機械強度を有しながら、低コストで生産可能な組立式密閉チャンバに関する。
半導体デバイスや液晶ディスプレイのパネル製造に用いられる薄膜成膜装置や、配線用金属膜の成膜プロセスを行うスパッタリング装置には、ステンレス鋼やアルミ合金等の金属を切削加工した密閉チャンバが備えられている。
半導体デバイスや液晶ディスプレイは、近年、広範な分野に応用されるとともに、製造工程における基板の大型化が進んでいる。例えば、液晶ディスプレイのパネル用基板としては、2100mm×1850mmサイズのものまで用いられるようになってきた。このため、これらの製造装置が備える密閉チャンバも、それに伴い大型化している。
従来、組立式密閉チャンバの筐体は、ステンレス鋼やアルミ合金等の金属を切削加工したものが主である。そのため、アルミニウムやステンレスなどのブロックから削り出して大型の密閉チャンバを製作するには、専用の大型切削加工装置が必要になり密閉チャンバの製作費が高騰する、という問題がある。
また、密閉チャンバ室の壁を構成する板材を溶接で接合し筐体を形成する場合、溶接によるひずみが生じ、またフランジ面精度等で密閉(真空)の維持が困難になるという問題がある。そのため、溶接後の切削加工が必要となり、そのための専用大型切削加工装置が必要になり、密閉チャンバの製造コストが高くなるという問題がある。
かかる課題に対し、例えば下記特許文献1には、各壁材を接合するに際し溶接を用いずに、締め付けボルトでシール剤を押しつけて接合することで、メンテナンス性の優れた組立式密閉チャンバの製造を可能とする技術を開示している。しかし、特許文献1が開示する技術では、密閉チャンバが大型化すると技術的にその製作が極めて困難になる、という課題がある。
下記特許文献2には、組立式密閉チャンバの壁の三面が合わさる部分にオーリングを用いて真空の維持を図る手段として、特殊な成型を施したオーリングと、それと同じ特殊な加工を施したオーリング用溝を組み合わせることで密閉チャンバを製造する技術が開示されている。
しかし、下記特許文献2が開示する組立式密閉チャンバの3つの壁面が合わさる部分にオーリングを用いて真空の維持を図るには、特殊な形状のオーリングを成型する必要がある。またオーリング用溝も特殊な加工となるため、その加工には専用の加工機が必要になる。そのため密閉チャンバの製造費が高騰する、という問題がある。
そこで、上記の点に鑑み本発明の課題は、大型の密閉チャンバを製造するに際し、専用の大型切削加工装置を必要とせず、かつ従来品と同等の機械強度を備えた、低コストで製造可能な組立式密閉チャンバを提供することにある。
上記の課題を解決するために請求項1に記載の発明は、複数のチャンバ壁部材を接合させ、内部に密閉された空間を形成する組立式密閉チャンバであって、
上面となるチャンバ壁部材と、下面となるチャンバ壁部材と、その間に設けられる複数の側面となるチャンバ壁部材と、
前記各チャンバ壁部材が他のチャンバ壁部材と接合する少なくともいずれかの接合面に内部から外側に向けて形成されたシール用の空隙と、
前記空隙にシール剤がシールされたシール層と、
前記各チャンバ壁部材の前記接合面に所定間隔で設けられた前記各チャンバ壁部材同士を締結するためのボルト締結用のねじ孔、及び/又は前記ねじ孔に符合し、前記接合面からその反対面までボルトを貫通させるボルト貫通孔
とを備えたことを特徴とする組立式密閉チャンバ。
上面となるチャンバ壁部材と、下面となるチャンバ壁部材と、その間に設けられる複数の側面となるチャンバ壁部材と、
前記各チャンバ壁部材が他のチャンバ壁部材と接合する少なくともいずれかの接合面に内部から外側に向けて形成されたシール用の空隙と、
前記空隙にシール剤がシールされたシール層と、
前記各チャンバ壁部材の前記接合面に所定間隔で設けられた前記各チャンバ壁部材同士を締結するためのボルト締結用のねじ孔、及び/又は前記ねじ孔に符合し、前記接合面からその反対面までボルトを貫通させるボルト貫通孔
とを備えたことを特徴とする組立式密閉チャンバ。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の組立式密閉チャンバであって、前記空隙が、少なくとも前記チャンバ壁部材のいずれかに内側から外側に向けて所定の位置まで形成された段差部であることを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の組立式密閉チャンバであって、前記空隙が、少なくとも前記チャンバ壁部材のいずれかの接合端部に内側から外側に向けて形成された切欠部であることを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項1から3のいずれかに記載の組立式密閉チャンバであって、前記空隙から所定の間隔離れた位置にシール剤を溜める溝が形成されていることを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、複数のチャンバ壁部材を接合させ、内部に密閉された空隙を形成する組立式密閉チャンバであって、
上面となるチャンバ壁部材と、下面となるチャンバ壁部材と、その間に設けられる複数の側面となるチャンバ壁部材と、
前記各チャンバ壁部材が他のチャンバ壁部材と接合する少なくともいずれかの接合面間に外側から前記内部に向けて所定の位置まで挿入されたスペンサーと、
前記スペンサーにより、前記空間の内側から前記スペンサー端部まで形成された空隙にシール剤がシールされたシール層と、
前記各チャンバ壁部材の前記接合面に所定間隔で設けられた前記各チャンバ壁部材同士を締結するためのボルト締結用のねじ孔、及び/又は前記ねじ孔に符合し、前記接合面からその反対面までボルトを貫通させるボルト貫通孔
とを備えたことを特徴とする組立式密閉チャンバ、
である。
上面となるチャンバ壁部材と、下面となるチャンバ壁部材と、その間に設けられる複数の側面となるチャンバ壁部材と、
前記各チャンバ壁部材が他のチャンバ壁部材と接合する少なくともいずれかの接合面間に外側から前記内部に向けて所定の位置まで挿入されたスペンサーと、
前記スペンサーにより、前記空間の内側から前記スペンサー端部まで形成された空隙にシール剤がシールされたシール層と、
前記各チャンバ壁部材の前記接合面に所定間隔で設けられた前記各チャンバ壁部材同士を締結するためのボルト締結用のねじ孔、及び/又は前記ねじ孔に符合し、前記接合面からその反対面までボルトを貫通させるボルト貫通孔
とを備えたことを特徴とする組立式密閉チャンバ、
である。
本発明においては、例えば、チャンバ壁部材の三面が合わさる部分にオーリングを使用することなく、低蒸気圧樹脂シーラント等をシール剤とし、各チャンバ壁部材をボルトにて締結することにより、密閉性と機械強度を確保することができる。また、本発明によれば、組立式密閉チャンバが例えば真空チャンバであり、かついかなる形状をした筐体であっても、チャンバ壁部材の接合面(シール面)の劣化の可能性が少なくすることができる。なお、例えば樹脂シーラント材で固定する壁面は、原則として分解できなくなるため、ドア、蓋等の要開閉部位の真空の維持は従来同様にオーリングを使用することは好ましい。本発明の組立密閉式チャンバは、チャンバ壁部材の接合面にシール剤がシールされ、接合面の端部には切欠部を設けられ、接合面にはシール剤の溜まり部となる溝が設けられていることから、接合面間のシール剤がボルトの締結力で押しつぶされても、切欠部、あるいは溝に、シール剤が溜ることでその密閉性が維持できるように構成されている。
以上説明したように、本発明によれば、組立式密閉チャンバの製造に専用の大型切削加工装置不要である。また、溶接加工が不要となることから溶接によるひずみを切削加工する専用の大型切削加工装置も不要となる。さらに、特殊な形状をしたオーリングの成型やそのための特殊なオーリング溝の加工も不要であることから、低コストの組立式密閉チャンバを提供することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図1は、本発明の第1の実施の形態である組立式密閉チャンバ1の構成を示す斜視図である。図1に示すように組立式密閉チャンバ1は、組立式密閉チャンバの壁を構成する上面のチャンバ壁部材10,下面のチャンバ壁部材11,これらのチャンバ壁部材の間に設けられるチャンバ壁部材20,21,22,24で筐体構造を形成している。各チャンバ壁部材には、接合面を固着させるためのボルト用挿通ネジ孔が設けられており、そこにボルト40をネジ込むことで組立式密閉チャンバ室を形成する。
組立式密閉チャンバ1の内部が大気圧の場合に行われるチャンバ内部への物の出し入れ、チャンバ内部の清掃、チャンバ内の機器のメンテナンス等のため、着脱可能な扉26が設けられている。扉26とチャンバ壁部材24とは、オーリング30により真空封止を行うことが好ましい。
図2は、チャンバ壁部材10,22の合せ部(接合面)の詳細を示した図である。図2に示すようにチャンバ壁部材10,22の合せ部は、接着性樹脂などよるシール層50を設けるとともにボルト40にて締結する。シール層50は、チャンバ壁部材22に設けた切欠部22aと、チャンバ壁部材10に設けた段差部10aとにより形成されている。
図3は、図2に示す段差部10aに代えて、スペーサー41をチャンバ壁部材22とチャンバ壁部材10との間に設け、それにより出来た空隙と切欠部22aとによりシール層50を形成してもよい。一方において、図2に示すような段差部10aや、図3に示すようなスペーサー41を設けることは、各チャンバ壁部材の接着面積が減少し、壁体の強度が低下するという問題がある。そこで、ある一定以上のチャンバ壁体の強度を必要とする組立式密閉チャンバには、図4、図6、図7に示すような、シール層51を壁材22の内部に溝22c、22d、22eの形成することで設けることが好ましい。これにより、各チャンバ壁部材の接着面積を減少させることなくシール層を形成することができ、各チャンバ壁部材の厚さをいたずらに厚くすることなく、所定のチャンバ強度を確保することができる。なお、チャンバ壁部材同士を締結するボルトの大きさやボルト間ピッチ、ボルトの締め付けトルク等の条件によっては、図5に示すように切欠部22aのみのシール層50であっても良い。
また、このように溝部に形成されたシール層51はチャンバ内部と隔たりがあるために、チャンバ内部でのプラズマ照射等による紫外線の影響を受けることがないため、シール層51の紫外線による劣化を遅らすことができる。
図8は本発明の第2の実施形態である2面のチャンバ壁を有するチャンバ壁部材23、25を組み合わせた組立式密閉チャンバ2の構成を示した斜視図である。このような2面の壁を有するチャンバ壁部材の接合においても、上述したシール層を形成し組立式密閉チャンバ2を構成することができる。
図9は本発明の第3の実施形態である曲面壁を有するチャンバ壁部材26を組み合わせた組立式密閉チャンバ3の構成を示した斜視図である。チャンバ壁部材26が局面であるチャンバ壁部材との接合においても、上述したシール層を形成し組立式密閉チャンバ3を構成することができる。
本発明においては、チャンバ壁部材間をより強固に締結することを目的に、チャンバ壁部材の合わせ面の接触面積を大きくとる方法として、チャンバ壁部材の合わせ面に溝を設けてボルト締結時につぶされたシール剤が溜まる構造としている。ボルト締結時につぶされたシール剤が溝へ入り込むことで、連続した均一かつ確実なシール層を形成することができる。
かかる溝の形状は、チャンバ壁部材同士を締結するボルトの大きさやボルト間ピッチ、ボルトの締め付けトルク等の条件によって、エッジ応力が大きくなるため、それらの条件に応じた溝形状を選択することが好ましい。例えば、三角形断面形状、四角形断面形状、曲面底面の断面形状があげらえる。またエッジ応力は、エッジ部の角度が鋭角になるほど大きくなるので、ボルト締結力、つまり組立式密閉チャンバに必要とされる機械強度に応じて使い分けることが好ましい。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上述した実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
1,2,3 密閉チャンバ、
10,11,20,21,22,23,24,25 チャンバ壁部材
10a 段差部
22a 切欠部
22c,22d,22e 溝
26 扉
30 オーリング
40 ボルト
41 スペーサー
50 51 シール層
10,11,20,21,22,23,24,25 チャンバ壁部材
10a 段差部
22a 切欠部
22c,22d,22e 溝
26 扉
30 オーリング
40 ボルト
41 スペーサー
50 51 シール層
Claims (5)
- 複数のチャンバ壁部材を接合させ、内部に密閉された空間を形成する組立式密閉チャンバであって、
上面となるチャンバ壁部材と、下面となるチャンバ壁部材と、その間に設けられる複数の側面となるチャンバ壁部材と、
前記各チャンバ壁部材が他のチャンバ壁部材と接合する少なくともいずれかの接合面に内部から外側に向けて形成されたシール用の空隙と、
前記空隙にシール剤がシールされたシール層と、
前記各チャンバ壁部材の前記接合面に所定間隔で設けられた前記各チャンバ壁部材同士を締結するためのボルト締結用のねじ孔、及び/又は前記ねじ孔に符合し、前記接合面からその反対面までボルトを貫通させるボルト貫通孔
とを備えたことを特徴とする組立式密閉チャンバ。 - 前記空隙が、少なくとも前記チャンバ壁部材のいずれかに内側から外側に向けて所定の位置まで形成された段差部であることを特徴とする請求項1に記載の組立式密閉チャンバ。
- 前記空隙が、少なくとも前記チャンバ壁部材のいずれかの接合端部に内側から外側に向けて形成された切欠部であることを特徴とする請求項1に記載の組立式密閉チャンバ。
- 前記空隙から所定の間隔離れた位置にシール剤を溜める溝が形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の組立式密閉チャンバ。
- 複数のチャンバ壁部材を接合させ、内部に密閉された空隙を形成する組立式密閉チャンバであって、
上面となるチャンバ壁部材と、下面となるチャンバ壁部材と、その間に設けられる複数の側面となるチャンバ壁部材と、
前記各チャンバ壁部材が他のチャンバ壁部材と接合する少なくともいずれかの接合面間に外側から前記内部に向けて所定の位置まで挿入されたスペンサーと、
前記スペンサーにより、前記空間の内側から前記スペンサー端部まで形成された空隙にシール剤がシールされたシール層と、
前記各チャンバ壁部材の前記接合面に所定間隔で設けられた前記各チャンバ壁部材同士を締結するためのボルト締結用のねじ孔、及び/又は前記ねじ孔に符合し、前記接合面からその反対面までボルトを貫通させるボルト貫通孔
とを備えたことを特徴とする組立式密閉チャンバ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014053047A JP2015175031A (ja) | 2014-03-17 | 2014-03-17 | 組立式密閉チャンバ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014053047A JP2015175031A (ja) | 2014-03-17 | 2014-03-17 | 組立式密閉チャンバ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015175031A true JP2015175031A (ja) | 2015-10-05 |
Family
ID=54254501
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014053047A Pending JP2015175031A (ja) | 2014-03-17 | 2014-03-17 | 組立式密閉チャンバ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015175031A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020249626A1 (de) * | 2019-06-11 | 2020-12-17 | Christof Diener | Erweiterbare vakuumkammer und verfahren zur herstellung einer erweiterbaren vakuumkammer |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5838070U (ja) * | 1981-09-08 | 1983-03-12 | 本田技研工業株式会社 | 内燃機関のシ−ル装置 |
JPH0953449A (ja) * | 1995-08-09 | 1997-02-25 | Daihatsu Motor Co Ltd | 内燃機関のウオータポンプ |
JP2000073860A (ja) * | 1998-09-03 | 2000-03-07 | Daihatsu Motor Co Ltd | タイミングチェーンケースのシール構造 |
JP2000240798A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-05 | Honda Motor Co Ltd | シール構造 |
JP2005114113A (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-28 | Nissan Motor Co Ltd | 液状ガスケットを用いたシール構造 |
JP2012518898A (ja) * | 2009-02-22 | 2012-08-16 | マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ. | 荷電粒子リソグラフィ装置と、真空チャンバー内の真空を生成する方法 |
-
2014
- 2014-03-17 JP JP2014053047A patent/JP2015175031A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5838070U (ja) * | 1981-09-08 | 1983-03-12 | 本田技研工業株式会社 | 内燃機関のシ−ル装置 |
JPH0953449A (ja) * | 1995-08-09 | 1997-02-25 | Daihatsu Motor Co Ltd | 内燃機関のウオータポンプ |
JP2000073860A (ja) * | 1998-09-03 | 2000-03-07 | Daihatsu Motor Co Ltd | タイミングチェーンケースのシール構造 |
JP2000240798A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-05 | Honda Motor Co Ltd | シール構造 |
JP2005114113A (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-28 | Nissan Motor Co Ltd | 液状ガスケットを用いたシール構造 |
JP2012518898A (ja) * | 2009-02-22 | 2012-08-16 | マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ. | 荷電粒子リソグラフィ装置と、真空チャンバー内の真空を生成する方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020249626A1 (de) * | 2019-06-11 | 2020-12-17 | Christof Diener | Erweiterbare vakuumkammer und verfahren zur herstellung einer erweiterbaren vakuumkammer |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6190571B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP4985973B2 (ja) | 密封構造 | |
JP2014220436A (ja) | 貼り合わせ分離方法及び分離装置 | |
JP2000514601A (ja) | チャンバ連結o―リングおよびその構成方法 | |
WO2007046614A3 (en) | Vacuum insulation panel and insulation structure of refrigerator applying the same | |
JP2010124448A5 (ja) | ||
JP2015231053A5 (ja) | 原子セル、量子干渉装置、原子発振器、および電子機器 | |
JP2012082891A (ja) | 真空容器におけるフランジ部のシール構造及びシール方法 | |
FR3066044B1 (fr) | Detecteur de rayonnement electromagnetique, encapsule par report de couche mince. | |
JP2008292997A5 (ja) | ||
JP2015175031A (ja) | 組立式密閉チャンバ | |
KR101195125B1 (ko) | 조립형 진공챔버 | |
JP3341717B2 (ja) | 密閉筐体構造 | |
JP2007277667A (ja) | 真空チャンバ及び該真空チャンバを有する基板処理装置 | |
JP2018012637A (ja) | 複層ガラスの製造方法 | |
JP6298147B2 (ja) | 成膜装置 | |
JP4587784B2 (ja) | 真空チャンバ | |
JP2010026307A (ja) | 液晶表示素子およびその製造方法 | |
CN101752221B (zh) | 真空容器及制造方法、真空处理设备和电子器件制造方法 | |
JP2011505074A (ja) | 成膜設備のためのフレームをベースとする真空チャンバ | |
TWI437118B (zh) | 薄膜沉積裝置 | |
EP3604727A1 (en) | Glass panel unit, and glass window | |
JP6837884B2 (ja) | 耐圧防爆機器の製造方法 | |
JP2005282310A (ja) | 壁貫通シール構造 | |
JP2008082391A (ja) | 真空チャンバ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170817 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20180222 |