JP2012082891A - 真空容器におけるフランジ部のシール構造及びシール方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
フランジ10,20及びこのフランジ10,20間に挟持するメタルガスケット30を物性が近似乃至は一致する同材質または異種の金属によって形成し,フランジ10とメタルガスケット30間に生じた被封止間隙δ1,及びメタルガスケット30とフランジ20間に生じた被封止間隙δ2を封止するために,前記メタルガスケット30よりフランジ10,20に対してそれぞれ突出した,断面において先鋭な凸条41,42を設ける。前記2つのフランジ10,20をボルト60とナット61の締め付けによって緊締し,凸条41,42の先端部をフランジ10,20に当接させて変形させて潰すことにより,被封止間隙δ1,δ2をシールする。
【選択図】図1
Description
一対のフランジ10,20を重ね合わせて緊締することにより連結される連結部を備えた真空容器1のフランジ間をシールするシール機構において,
前記フランジ10,20間に生じる被封止間隙〔図1〜3の例ではδ1,δ2,図4(A)〜(D)の例ではδ1〕を構成する各部材〔図1の例ではフランジ10,20及びメタルガスケット30,図4(A)〜(D)の例ではフランジ10,20〕の材質をいずれも物性が近似乃至は一致する同材質または異種の金属によって形成し,
前記被封止間隙δ1,δ2を構成する二部材の一方(図1の例ではメタルガスケット30)から他方(図1の例ではフランジ10,20)に向かって環状に突出する,断面において楔型を成す凸条41,42を形成したことを特徴とする(請求項1)。
前記メタルガスケット30に,前記フランジ溝11,21の形成位置において前記フランジ10,20間に挟持される第1部分31と,前記フランジ溝11,21の形成位置に対し真空容器1の内周側において前記フランジ10,20間に挟持される第2部分32を設け,
前記第2部分32の内周縁33が,前記真空容器1の内周面1aと同位置となるよう前記メタルガスケット30を形成すると共に,
前記フランジ10,20の緊締によって前記メタルガスケット30の前記第2部分32が前記フランジ10,20間に圧接挟持されたとき〔図5(B)参照〕,前記凸条41,42の所定量の変形が得られるよう,前記フランジ溝11,21の総深さ,前記メタルガスケット30の第2部分32の厚み,及び前記凸条41,42の突出高さhを設定した構成としても良い(請求項4:図5,6)。
1a 内周面(真空容器の)
10 フランジ
11 フランジ溝
12 平坦面
13 開孔
14 支持脚
20 フランジ
21 フランジ溝
22 平坦面
23 凸部
24 支持脚
30 メタルガスケット
31 第1部分
32 第2部分
33 内周縁
34 開孔
41,42 凸条
50 ガイドピン
60 ボルト
61 ナット
70 電子銃
δ1,δ2 被封止間隙
110,120 フランジ
130 メタルOリング
131 金線
132 メタルガスケット(軟質金属)
141,142 ナイフエッジ
148 凹溝
150 RFコンタクト
Claims (10)
- 一対のフランジを重ね合わせて緊締することにより連結される連結部を備えた真空容器のフランジ間をシールするシール機構において,
前記フランジ間に生じる被封止間隙を構成する各部材の材質を物性が近似乃至は一致する同材質または異種の金属によって形成し,
前記被封止間隙を構成する二部材の一方から他方に向かって環状に突出する,断面において楔型を成す凸条を形成したことを特徴とする真空容器におけるフランジ部のシール構造。 - 前記一対のフランジの少なくとも一方と同一材質で,且つ,前記一対のフランジ間に挟持される環状のメタルガスケットを前記フランジとは別に設け,前記メタルガスケットと少なくとも一方のフランジとの間に形成された間隙を,前記被封止間隙としたことを特徴とする請求項1記載の真空容器におけるフランジ部のシール構造。
- 前記フランジの一方又は双方に,前記メタルガスケットを嵌合可能なフランジ溝を形成すると共に,前記凸条の先端が所定量潰れて変形した際,前記フランジ溝内に前記メタルガスケットが完全に嵌合して,前記メタルガスケットの内周側における前記フランジの平坦面が重なり合う深さに前記フランジ溝を形成したことを特徴とする請求項2記載の真空容器におけるフランジ部のシール構造。
- 前記フランジ双方の対向位置にそれぞれフランジ溝を形成すると共に,
前記メタルガスケットに,前記フランジ溝の形成位置において前記フランジ間に挟持される第1部分と,前記フランジ溝の形成位置に対し真空容器の内周側において前記フランジ間に挟持される第2部分を設け,
前記第2部分の内周縁が,前記真空容器の内周面と同位置となるよう前記メタルガスケットを形成すると共に,
前記フランジの緊締によって前記メタルガスケットの前記第2部分が前記フランジ間に圧接挟持されたとき,前記凸条の所定量の変形が得られるよう,前記フランジ溝の総深さ,前記メタルガスケットの第2部分の厚み,及び前記凸条の突出高さを設定したことを特徴とする請求項2記載の真空容器におけるフランジ部のシール構造。 - 前記一対のフランジに対し前記メタルガスケットを位置決めするガイドピンを前記フランジ又は前記メタルガスケットのいずれかに設けると共に,残りの部材に前記ガイドピンを受け入れるガイドピン嵌合部を設けたことを特徴とする請求項2〜4いずれか1項記載の真空容器におけるフランジ部のシール構造。
- 前記凸条を,いずれも前記メタルガスケットに設けたことを特徴とする請求項2〜5いずれか1項記載の真空容器におけるフランジ部のシール構造。
- 前記メタルガスケットを,耐ベーキング性を有する材質としたことを特徴とする請求項2〜6いずれか1項記載の真空容器におけるフランジ部のシール構造。
- 前記凸条の断面における先端部の角度θ〔図1(A)参照〕が,90〜30°であることを特徴とする請求項1〜7いずれか1項記載の真空容器におけるフランジ部のシール構造。
- 前記被封止間隙を構成する二部材の前記他方の表面に,前記二部材間の癒着を防止する表面処理を施したことを特徴とする請求項1〜8いずれか1項記載の真空容器におけるフランジ部のシール構造。
- 請求項1〜7いずれか1項記載のフランジ部のシール構造を備えた真空容器の前記一対のフランジを重ね合わせて緊締することにより,前記凸条の先端部を所定量変形させて潰すことにより前記被封止間隙をシールすることを特徴とする真空容器におけるフランジ部のシール方法。
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