JP2015174209A - Break device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve a problem caused by breaking substrates between an upstream side conveyor belt and a downstream side conveyor belt.SOLUTION: A break device 1 comprises a conveyor belt 2, first to fourth support members 4, 5, 7, 8, and first and second break bars 3, 6. The conveyor belt 2 is flexible. The first break bar 3, and the first and second support members 4, 5 are arranged above a placement surface 21. The second break bar 6, and the third and fourth support members 7, 8 are arranged below the placement surface 21. The third support member 7 is arranged below the first support member 4 across the conveyor belt 2. The fourth support member 8 is arranged below the second support member 5 across the conveyor belt 2.

Description

本発明は、ブレイク装置に関するものである。   The present invention relates to a break device.

一般的に、脆性材料基板をブレイクする方法は、まず、スクライブ装置によって脆性材料基板にスクライブラインを形成する。そして、ブレイク装置によって、脆性材料基板を押圧して脆性材料基板を撓ませる。この結果、脆性材料基板がスクライブラインに沿ってブレイクされる。このブレイク装置は、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの間に設置されている（特許文献１参照）。そして、ブレイク装置は、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとに亘って配置された脆性材料基板を、上述した方法でブレイクする。   Generally, in the method of breaking a brittle material substrate, first, a scribe line is formed on the brittle material substrate by a scribe device. Then, the brittle material substrate is pressed and bent by the break device. As a result, the brittle material substrate is broken along the scribe line. This breaking device is installed between the upstream side conveyor belt and the downstream side conveyor belt (see Patent Document 1). Then, the breaking device breaks the brittle material substrate disposed between the upstream side conveyance belt and the downstream side conveyance belt by the method described above.

特開２０１２−１２６５８０号公報JP 2012-126580 A

上述したブレイク装置のように上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの間で脆性材料基板をブレイクすると、種々の問題が発生する。例えば、ブレイク後の脆性材料基板の寸法が小さい場合、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの間に落下してしまうという問題が生じる。   When the brittle material substrate is broken between the upstream conveyor belt and the downstream conveyor belt as in the above-described break device, various problems occur. For example, when the dimension of the brittle material substrate after the break is small, there arises a problem that it falls between the upstream conveyor belt and the downstream conveyor belt.

本発明の課題は、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの間で基板をブレイクすることによって生じる問題を解消することにある。   An object of the present invention is to eliminate a problem caused by breaking a substrate between an upstream conveyance belt and a downstream conveyance belt.

本発明の第１側面に係るブレイク装置は、スクライブラインが形成された脆性材料基板をスクライブラインに沿ってブレイクする。このブレイク装置は、搬送ベルトと、第１及び第２支持部材と、第１ブレイクバーと、第３及び第４支持部材と、第２ブレイクバーとを備えている。搬送ベルトは、基板が載置される載置面を有している。搬送ベルトは、基板を搬送するように構成されている。搬送ベルトは可撓性を有している。第１及び第２支持部材は、載置面の上方において搬送ベルトの搬送方向に沿って配置されている。第１及び第２支持部材は、昇降可能に構成されている。第１ブレイクバーは、載置面の上方に配置されている。第１ブレイクバーは、第１支持部材と第２支持部材との間に配置されている。第１ブレイクバーは、昇降可能に構成されている。第３及び第４支持部材は、載置面の下方において搬送方向に沿って配置されている。第３及び第４支持部材は、昇降可能に構成されている。第２ブレイクバーは、載置面の下方に配置されている。第２ブレイクバーは、第３支持部材と第４支持部材との間に配置されている。第２ブレイクバーは、昇降可能に構成されている。第３支持部材は、搬送ベルトを介して、第１支持部材の下に配置されている。第４支持部材は、搬送ベルトを介して、第２支持部材の下に配置されている。   The breaking device according to the first aspect of the present invention breaks a brittle material substrate on which a scribe line is formed along the scribe line. The break device includes a conveyor belt, first and second support members, a first break bar, third and fourth support members, and a second break bar. The conveyor belt has a placement surface on which the substrate is placed. The transport belt is configured to transport the substrate. The conveyor belt has flexibility. The first and second support members are disposed along the conveyance direction of the conveyance belt above the placement surface. The first and second support members are configured to be movable up and down. The first break bar is disposed above the placement surface. The first break bar is disposed between the first support member and the second support member. The first break bar is configured to be movable up and down. The third and fourth support members are arranged along the transport direction below the placement surface. The third and fourth support members are configured to be movable up and down. The second break bar is disposed below the placement surface. The second break bar is disposed between the third support member and the fourth support member. The 2nd break bar is constituted so that raising and lowering is possible. The third support member is disposed below the first support member via the conveyor belt. The fourth support member is disposed below the second support member via the conveyor belt.

本発明によれば、例えば、以下のような方法で基板をブレイクすることができる。まず、搬送ベルトを下方から支持するよう、第３及び第４支持部材を上方に移動させる。次に、第１ブレイクバーが基板を下方に押圧するよう、第１ブレイクバーを下方に移動させる。搬送ベルトは可撓性を有しているため、基板は搬送ベルトとともに撓むことができる。この結果、基板はスクライブラインに沿ってブレイクされる。   According to the present invention, for example, the substrate can be broken by the following method. First, the third and fourth support members are moved upward so as to support the conveyor belt from below. Next, the first break bar is moved downward so that the first break bar presses the substrate downward. Since the conveyance belt has flexibility, the substrate can be bent together with the conveyance belt. As a result, the substrate is broken along the scribe line.

また、本発明は、基板を以下のようにしてブレイクすることもできる。まず、基板を上方から支持するように、第１及び第２支持部材を下方に移動させる。次に、第２ブレイクバーを上方に移動させる。これによって、第２ブレイクバーは、搬送ベルトを介して、基板を上方に押圧する。この結果、基板が搬送ベルトとともに撓み、基板はスクライブラインに沿ってブレイクされる。   In the present invention, the substrate can also be broken as follows. First, the first and second support members are moved downward so as to support the substrate from above. Next, the second break bar is moved upward. Accordingly, the second break bar presses the substrate upward via the transport belt. As a result, the substrate is bent together with the conveying belt, and the substrate is broken along the scribe line.

以上のように、本発明では、基板をブレイクするために、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの隙間を必要としない。このため、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの隙間で基板をブレイクすることによって生じる問題を解消することができる。   As described above, the present invention does not require a gap between the upstream conveyor belt and the downstream conveyor belt in order to break the substrate. For this reason, the problem which arises by breaking a board | substrate in the clearance gap between an upstream conveyance belt and a downstream conveyance belt can be eliminated.

また、上述した本発明によれば、次のような方法によって基板をブレイクすることができる。例えば、第２支持部材と第４支持部材とによって基板を上下方向から挟む。この状態で、第１ブレイクバーを下方に移動させて、第１ブレイクバーによって基板を下方に押圧する。この結果、搬送ベルトごと基板が撓み、基板はスクライブラインに沿ってブレイクされる。以上の方法は、例えば、基板の端縁とスクライブラインとの距離が短い場合に有用である。   Further, according to the present invention described above, the substrate can be broken by the following method. For example, the substrate is sandwiched between the second support member and the fourth support member from above and below. In this state, the first break bar is moved downward, and the substrate is pressed downward by the first break bar. As a result, the substrate is bent along with the transport belt, and the substrate is broken along the scribe line. The above method is useful, for example, when the distance between the edge of the substrate and the scribe line is short.

好ましくは、基板は、端部と、本体部とを有している。端部は、スクライブラインと基板の端縁とによって画定される。本体部は、端部を除く部分である。第２支持部材と第４支持部材とは、搬送ベルトとともに本体部を挟持可能に構成されている。第１ブレイクバーは、端部を下方に押圧可能に構成されている。   Preferably, the substrate has an end portion and a main body portion. The edge is defined by the scribe line and the edge of the substrate. The main body portion is a portion excluding the end portion. The 2nd support member and the 4th support member are constituted so that a main-body part can be clamped with a conveyance belt. The first break bar is configured to be able to press the end portion downward.

好ましくは、第１及び第２支持部材は、搬送方向に沿って移動可能に構成されている。この構成によれば第１及び第２支持部材は、適切な位置で基板を上方から支持することができる。   Preferably, the first and second support members are configured to be movable along the transport direction. According to this configuration, the first and second support members can support the substrate from above at an appropriate position.

好ましくは、第３及び第４支持部材は、搬送方向に沿って移動可能に構成されている。この構成によれば、第３及び第４支持部材は、適切な位置で搬送ベルトを下方から支持することができる。   Preferably, the third and fourth support members are configured to be movable along the transport direction. According to this configuration, the third and fourth support members can support the transport belt from below at an appropriate position.

本発明の第２側面に係るブレイク方法は、脆性材料基板をスクライブラインに沿ってブレイクする。なお、脆性材料基板は、スクライブラインによって区切られた本体部と端部とを有する。このブレイク方法は、以下のステップ（ａ）から（ｃ）を含む。ステップ（ａ）は、可撓性を有する搬送ベルトによって基板を搬送する。ステップ（ｂ）は、本体部を搬送ベルトごと挟持する。ステップ（ｃ）は、端部を下方に向けて押圧し、搬送ベルトとともに端部を撓ませる。   The breaking method according to the second aspect of the present invention breaks a brittle material substrate along a scribe line. The brittle material substrate has a main body portion and an end portion that are separated by a scribe line. This breaking method includes the following steps (a) to (c). In step (a), the substrate is transported by a flexible transport belt. Step (b) clamps the main body together with the conveyor belt. In step (c), the end is pressed downward and the end is bent together with the transport belt.

この方法によれば、搬送ベルトとともに端部を撓ませることによって、基板をスクライブラインに沿ってブレイクすることができる。このように、本発明では、基板をブレイクするために、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの隙間を必要としない。このため、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの隙間で基板をブレイクすることによって生じる問題を解消することができる。   According to this method, the substrate can be broken along the scribe line by bending the end portion together with the transport belt. As described above, in the present invention, in order to break the substrate, there is no need for a gap between the upstream conveyor belt and the downstream conveyor belt. For this reason, the problem which arises by breaking a board | substrate in the clearance gap between an upstream conveyance belt and a downstream conveyance belt can be eliminated.

好ましくは、基板は、第１基板と第２基板とが貼り合わされた貼り合わせ基板である。スクライブラインは、第１スクライブラインと第２スクライブラインとによって構成される。第１スクライブラインは、第１基板に形成されている。第２スクライブラインは、第２基板に形成されている。   Preferably, the substrate is a bonded substrate in which a first substrate and a second substrate are bonded together. The scribe line is composed of a first scribe line and a second scribe line. The first scribe line is formed on the first substrate. The second scribe line is formed on the second substrate.

好ましくは、ステップ（ａ）において、第１基板が上側、第２基板が下側となるように脆性材料基板を配置して、脆性材料基板を搬送する。ステップ（ｃ）において端部を撓ませることによって、第１スクライブラインに沿って第１基板がブレイクされる。   Preferably, in step (a), the brittle material substrate is transported by placing the brittle material substrate so that the first substrate is on the upper side and the second substrate is on the lower side. In step (c), the first substrate is broken along the first scribe line by bending the end.

本発明によれば、上流側搬送ベルトと下流側搬送ベルトとの隙間で基板をブレイクすることによって生じる問題を解消することができる。   According to the present invention, it is possible to solve the problem caused by breaking the substrate in the gap between the upstream side conveyor belt and the downstream side conveyor belt.

ブレイク装置の概略図。Schematic of a break device. ブレイク装置の概略図。Schematic of a break device. ブレイク装置の概略図。Schematic of a break device. ブレイク装置の概略図。Schematic of a break device. ブレイク装置の概略図。Schematic of a break device. ブレイク装置の概略図。Schematic of a break device. ブレイク装置の概略図。Schematic of a break device. ブレイク装置の概略図。Schematic of a break device. ブレイク装置の概略図。Schematic of a break device. ブレイク装置の概略図。Schematic of a break device.

以下、本発明に係るブレイク装置の実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１は、ブレイク装置の概略図である。   Hereinafter, embodiments of a break device according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram of a break device.

図１に示すように、ブレイク装置１は、脆性材料基板１０をスクライブライン１１に沿ってブレイクする装置である。脆性材料基板１０には、スクライブライン１１が形成されている。脆性材料基板１０は、端部１２と本体部１３とを有している。端部１２は、基板１０の端縁１４と、スクライブライン１１とによって画定されている。本体部１３は、脆性材料基板１０から端部１２を除いた部分である。なお、本体部１３は、端部１２よりも搬送方向の長さが長い。   As shown in FIG. 1, the breaking device 1 is a device that breaks a brittle material substrate 10 along a scribe line 11. A scribe line 11 is formed on the brittle material substrate 10. The brittle material substrate 10 has an end portion 12 and a main body portion 13. The end 12 is defined by the edge 14 of the substrate 10 and the scribe line 11. The main body portion 13 is a portion obtained by removing the end portion 12 from the brittle material substrate 10. The main body 13 is longer in the transport direction than the end 12.

本実施形態では、脆性材料基板１０は、貼り合わせ基板である。すなわち、脆性材料基板１０は、第１基板１５と第２基板１６とによって構成されている。第１基板１５には、第１スクライブライン１１ａが形成されており、第２基板１６には第２スクライブライン１１ｂが形成されている。スクライブライン１１は、第１スクライブライン１１ａと第２スクライブライン１１ｂとによって構成されている。なお、第１スクライブライン１１ａと第２スクライブライン１１ｂとは対向している。   In the present embodiment, the brittle material substrate 10 is a bonded substrate. That is, the brittle material substrate 10 is composed of the first substrate 15 and the second substrate 16. A first scribe line 11 a is formed on the first substrate 15, and a second scribe line 11 b is formed on the second substrate 16. The scribe line 11 includes a first scribe line 11a and a second scribe line 11b. The first scribe line 11a and the second scribe line 11b are opposed to each other.

第１基板１５と第２基板１６との間で例えば液晶層を構成する。また、脆性材料基板１０は、第１基板１５と第２基板１６との間に配置されたシール部材（図示省略）を有している。このシール部材によって液晶層を囲んでいる。本実施形態における脆性材料基板１０は、第１基板１５が上側、第２基板１６が下側に配置された状態で搬送される。   For example, a liquid crystal layer is formed between the first substrate 15 and the second substrate 16. In addition, the brittle material substrate 10 has a seal member (not shown) disposed between the first substrate 15 and the second substrate 16. The liquid crystal layer is surrounded by the seal member. The brittle material substrate 10 in the present embodiment is transported in a state where the first substrate 15 is disposed on the upper side and the second substrate 16 is disposed on the lower side.

ブレイク装置１は、搬送ベルト２、第１ブレイクバー３、第１支持部材４、第２支持部材５、第２ブレイクバー６、第３支持部材７、及び第４支持部材８を備えている。   The break device 1 includes a conveyor belt 2, a first break bar 3, a first support member 4, a second support member 5, a second break bar 6, a third support member 7, and a fourth support member 8.

搬送ベルト２は、基板１０が載置される載置面２１を有している。搬送ベルト２は、基板を搬送するように構成されている。また、搬送ベルト２は可撓性を有している。例えば、搬送ベルト２は、天然ゴム、合成ゴム、布、又は合成樹脂などによって形成することができる。搬送ベルト２は、弛まない程度に張力が掛かった状態で設置されている。   The conveyor belt 2 has a placement surface 21 on which the substrate 10 is placed. The transport belt 2 is configured to transport the substrate. Moreover, the conveyance belt 2 has flexibility. For example, the conveyance belt 2 can be formed of natural rubber, synthetic rubber, cloth, synthetic resin, or the like. The conveyor belt 2 is installed in a state where tension is applied to such an extent that it does not loosen.

この搬送ベルト２は、図１において、反時計周りに回転している。すなわち、本実施形態では、搬送ベルト２は、基板１０をＹ方向（図１の左方向）へと搬送する。具体的には、搬送ベルト２は、複数の搬送ローラ２２によって駆動される。各搬送ローラ２２は、モータによって駆動される。   The conveyor belt 2 rotates counterclockwise in FIG. That is, in the present embodiment, the transport belt 2 transports the substrate 10 in the Y direction (left direction in FIG. 1). Specifically, the transport belt 2 is driven by a plurality of transport rollers 22. Each conveyance roller 22 is driven by a motor.

第１ブレイクバー３は、搬送ベルト２の載置面２１の上方に配置されている。第１ブレイクバー３は、搬送方向において、第１支持部材４と第２支持部材５との間に配置されている。   The first break bar 3 is disposed above the placement surface 21 of the conveyor belt 2. The first break bar 3 is disposed between the first support member 4 and the second support member 5 in the transport direction.

第１ブレイクバー３は、載置面２１上に載置された基板１０を上方から押圧し、基板１０をスクライブライン１１に沿ってブレイクするための部材である。詳細には、第１ブレイクバー３は、先端部（下端部）で基板１０を押圧する。   The first break bar 3 is a member for pressing the substrate 10 placed on the placement surface 21 from above and breaking the substrate 10 along the scribe line 11. In detail, the 1st break bar 3 presses the board | substrate 10 by the front-end | tip part (lower end part).

第１ブレイクバー３の先端部は、先端に向かって徐々に厚さが薄くなるように構成されている。第１ブレイクバー３は、水平方向であって搬送方向と直交する方向に延びている。具体的には、第１ブレイクバー３は、図１の紙面垂直方向に延びている。   The distal end portion of the first break bar 3 is configured so that the thickness gradually decreases toward the distal end. The first break bar 3 extends in a horizontal direction and a direction orthogonal to the transport direction. Specifically, the first break bar 3 extends in the direction perpendicular to the paper surface of FIG.

第１ブレイクバー３は、昇降可能に構成されている。すなわち、第１ブレイクバー３は上下方向に移動可能に構成されている。例えば、第１ブレイクバー３は、流体シリンダ（図示省略）によって駆動され、上方及び下方に移動可能である。詳細には、第１ブレイクバー３は、載置面２１上に載置された基板１０を上方から押圧するように、下方へ移動可能である。また、第１ブレイクバー３は、載置面２１上に載置された基板１０と接触しない程度に上方へ移動可能である。   The 1st break bar 3 is comprised so that raising / lowering is possible. That is, the first break bar 3 is configured to be movable in the vertical direction. For example, the first break bar 3 is driven by a fluid cylinder (not shown) and is movable upward and downward. Specifically, the first break bar 3 is movable downward so as to press the substrate 10 placed on the placement surface 21 from above. Further, the first break bar 3 is movable upward to such an extent that it does not contact the substrate 10 placed on the placement surface 21.

第１支持部材４は、載置面２１上に載置された基板１０を支持するための部材である。詳細には、第１支持部材４の下面が基板１０の上面と接触することによって、第１支持部材４は基板１０を支持する。   The first support member 4 is a member for supporting the substrate 10 placed on the placement surface 21. Specifically, the first support member 4 supports the substrate 10 when the lower surface of the first support member 4 comes into contact with the upper surface of the substrate 10.

第１支持部材４は、搬送ベルト２の載置面２１の上方に配置されている。本実施形態では、第１支持部材４は、第１ブレイクバー３に対して搬送方向上流側に配置されている。   The first support member 4 is disposed above the placement surface 21 of the conveyor belt 2. In the present embodiment, the first support member 4 is disposed on the upstream side in the transport direction with respect to the first break bar 3.

第１支持部材４は、昇降可能に構成されている。すなわち、第１支持部材４は、上下方向に移動可能に構成されている。例えば、第１支持部材４は、流体シリンダ（図示省略）によって駆動され、上方及び下方に移動可能である。詳細には、第１支持部材４は、載置面２１上に載置された基板１０を支持するように、下方へ移動可能である。また、第１支持部材４は、載置面２１上に載置された基板１０と接触しない程度に上方へ移動可能である。   The 1st support member 4 is comprised so that raising / lowering is possible. That is, the first support member 4 is configured to be movable in the vertical direction. For example, the first support member 4 is driven by a fluid cylinder (not shown) and can move upward and downward. Specifically, the first support member 4 is movable downward so as to support the substrate 10 placed on the placement surface 21. Further, the first support member 4 is movable upward to such an extent that it does not come into contact with the substrate 10 placed on the placement surface 21.

第２支持部材５は、載置面２１上に載置された基板１０を支持するための部材である。第２支持部材５は、載置面２１の上方に配置されている。本実施形態において、第２支持部材５は、第１ブレイクバー３に対して搬送方向下流側に配置されている。第２支持部材５は、昇降可能に構成されている。なお、第２支持部材５は、配置されている位置以外は上述した第１支持部材４と同様の構成であるため、詳細な説明を省略する。また、第１及び第２支持部材４，５は、搬送方向に沿って移動可能に構成されている。すなわち、第１及び第２支持部材４，５は、搬送方向上流側に移動したり、搬送方向下流側に移動したりできる。   The second support member 5 is a member for supporting the substrate 10 placed on the placement surface 21. The second support member 5 is disposed above the placement surface 21. In the present embodiment, the second support member 5 is disposed on the downstream side in the transport direction with respect to the first break bar 3. The 2nd support member 5 is comprised so that raising / lowering is possible. The second support member 5 has the same configuration as the first support member 4 described above except for the position where it is arranged, and thus detailed description thereof is omitted. Moreover, the 1st and 2nd support members 4 and 5 are comprised so that a movement along a conveyance direction is possible. That is, the first and second support members 4 and 5 can move upstream in the transport direction or can move downstream in the transport direction.

以上のように、搬送ベルト２の載置面２１の上方に配置された第１支持部材４、第１ブレイクバー３、及び第２支持部材５は、この順に配置されている。搬送方向において第１支持部材４と第２支持部材５とは間隔ｓをおいて配置されている。   As described above, the first support member 4, the first break bar 3, and the second support member 5 disposed above the placement surface 21 of the transport belt 2 are disposed in this order. The first support member 4 and the second support member 5 are arranged at an interval s in the transport direction.

第２ブレイクバー６は、搬送ベルト２の載置面２１の下方に配置されている。第２ブレイクバー６は、搬送方向において、第３支持部材７と第４支持部材８との間に配置されている。   The second break bar 6 is disposed below the placement surface 21 of the transport belt 2. The second break bar 6 is disposed between the third support member 7 and the fourth support member 8 in the transport direction.

第２ブレイクバー６は、載置面２１上に載置された基板１０を下方から押圧し、基板１０をスクライブライン１１に沿ってブレイクするための部材である。詳細には、第２ブレイクバー６は、搬送ベルト２を介して基板１０を押圧する。なお、第２ブレイクバー６は、先端部（上端部）で基板１０を押圧する。   The second break bar 6 is a member for pressing the substrate 10 placed on the placement surface 21 from below and breaking the substrate 10 along the scribe line 11. Specifically, the second break bar 6 presses the substrate 10 via the transport belt 2. In addition, the 2nd break bar 6 presses the board | substrate 10 with a front-end | tip part (upper end part).

第２ブレイクバー６の先端部は、先端に向かって徐々に厚さが薄くなるように構成されている。第２ブレイクバー６は、水平方向であって搬送方向と直交する方向に延びている。具体的には、第２ブレイクバー６は、図１の紙面垂直方向に延びている。   The tip of the second break bar 6 is configured so that the thickness gradually decreases toward the tip. The second break bar 6 extends in a horizontal direction and a direction orthogonal to the transport direction. Specifically, the second break bar 6 extends in the direction perpendicular to the paper surface of FIG.

第２ブレイクバー６は、昇降可能に構成されている。すなわち、第２ブレイクバー６は、上下方向に移動可能に構成されている。例えば、第２ブレイクバー６は、流体シリンダ（図示省略）によって駆動され、上方及び下方に移動可能である。詳細には、第２ブレイクバー６は、載置面２１上に載置された基板１０を下方から押圧するように、上方へ移動可能である。また、第２ブレイクバー６は、搬送ベルト２と接触しない程度に下方へ移動可能である。   The 2nd break bar 6 is comprised so that raising / lowering is possible. That is, the second break bar 6 is configured to be movable in the vertical direction. For example, the second break bar 6 is driven by a fluid cylinder (not shown) and is movable upward and downward. Specifically, the second break bar 6 is movable upward so as to press the substrate 10 placed on the placement surface 21 from below. Further, the second break bar 6 can be moved downward to the extent that it does not come into contact with the conveyor belt 2.

第３支持部材７は、搬送ベルト２を下方から支持するための部材である。詳細には、第３支持部材７は、搬送ベルト２を支持することによって、載置面２１上に載置された基板１０を支持する。なお、第３支持部材７の上面が搬送ベルト２の載置面２１の反対側面２３と接触することによって、第３支持部材７は搬送ベルト２を支持する。   The third support member 7 is a member for supporting the transport belt 2 from below. Specifically, the third support member 7 supports the substrate 10 placed on the placement surface 21 by supporting the transport belt 2. The third support member 7 supports the conveyor belt 2 by the upper surface of the third support member 7 coming into contact with the side surface 23 opposite to the placement surface 21 of the conveyor belt 2.

第３支持部材７は、載置面２１の下方に配置されている。また、第３支持部材７は、第２ブレイクバー６に対して搬送方向上流側に配置されている。   The third support member 7 is disposed below the placement surface 21. Further, the third support member 7 is disposed on the upstream side in the transport direction with respect to the second break bar 6.

第３支持部材７は、昇降可能に構成されている。すなわち、第３支持部材７は、上下方向に移動可能に構成されている。例えば、第３支持部材７は、流体シリンダ（図示省略）によって駆動され、上方及び下方に移動可能である。詳細には、第３支持部材７は、搬送ベルト２を支持するように、上方へ移動可能である。また、第３支持部材７は、搬送ベルト２と接触しない程度に下方へ移動可能である。   The 3rd supporting member 7 is comprised so that raising / lowering is possible. That is, the third support member 7 is configured to be movable in the vertical direction. For example, the third support member 7 is driven by a fluid cylinder (not shown) and is movable upward and downward. Specifically, the third support member 7 is movable upward so as to support the transport belt 2. Further, the third support member 7 can move downward to the extent that it does not come into contact with the transport belt 2.

第４支持部材８は、搬送ベルト２を支持するための部材である。第４支持部材８は、載置面２１の下方に配置されている。また、第４支持部材８は、第２ブレイクバー６に対して搬送方向下流側に配置されている。第４支持部材８は、昇降可能に構成されている。なお、第４支持部材８は、配置されている位置以外は上述した第３支持部材７と同様の構成であるため、詳細な説明を省略する。また、第３及び第４支持部材７，８は、搬送方向に沿って移動可能に構成されている。すなわち、第３及び第４支持部材７，８は、搬送方向上流側に移動したり、搬送方向下流側に移動したりできる。   The fourth support member 8 is a member for supporting the transport belt 2. The fourth support member 8 is disposed below the placement surface 21. Further, the fourth support member 8 is disposed on the downstream side in the transport direction with respect to the second break bar 6. The fourth support member 8 is configured to be movable up and down. Since the fourth support member 8 has the same configuration as the third support member 7 described above except for the position where it is arranged, detailed description thereof is omitted. Moreover, the 3rd and 4th support members 7 and 8 are comprised so that a movement along a conveyance direction is possible. That is, the third and fourth support members 7 and 8 can move upstream in the transport direction or move downstream in the transport direction.

以上のように、搬送ベルト２の載置面２１の下方に配置された第３支持部材７、第２ブレイクバー６、及び第４支持部材８は、この順に配置されている。   As described above, the third support member 7, the second break bar 6, and the fourth support member 8 disposed below the placement surface 21 of the transport belt 2 are disposed in this order.

次に、上述したように構成されたブレイク装置を用いたブレイク方法について説明する。なお、基板１０の端縁１４とスクライブライン１１との距離は、第１支持部材４と第２支持部材５との間隔ｓの最小値の半分よりも小さい。例えば、基板１０の端縁１４とスクライブライン１１との距離は、１ｍｍ以上３ｍｍ以下程度である。なお、間隔ｓの最小値とは、第１支持部材４と第２支持部材５とによって基板１０を上方から支持して第２ブレイクバー６によって基板１０を上方に押圧してスクライブライン１１に沿って基板１０をブレイクすることができる範囲で、第１支持部材４と第２支持部材５とを最も近付けたときの間隔ｓを意味する。   Next, a break method using the break device configured as described above will be described. The distance between the edge 14 of the substrate 10 and the scribe line 11 is smaller than half of the minimum value of the interval s between the first support member 4 and the second support member 5. For example, the distance between the edge 14 of the substrate 10 and the scribe line 11 is about 1 mm to 3 mm. The minimum value of the interval s means that the first support member 4 and the second support member 5 support the substrate 10 from above and press the substrate 10 upward by the second break bar 6 along the scribe line 11. This means the distance s when the first support member 4 and the second support member 5 are brought closest to each other within a range where the substrate 10 can be broken.

まず、図１に示すように、搬送ベルト２の載置面２１上に脆性材料基板１０を載置する。そして、搬送ベルト２によって脆性材料基板１０を搬送する。詳細には、搬送ローラ２２によって搬送ベルト２を駆動し、脆性材料基板１０を搬送する。   First, as shown in FIG. 1, the brittle material substrate 10 is placed on the placement surface 21 of the conveyor belt 2. Then, the brittle material substrate 10 is transported by the transport belt 2. Specifically, the conveyance belt 2 is driven by the conveyance roller 22 to convey the brittle material substrate 10.

脆性材料基板１０のスクライブライン１１が第１ブレイクバー３の真下に位置したとき、搬送ベルト２による脆性材料基板１０の搬送を停止する。そして、図２に示すように、第３及び第４支持部材７，８を上方に移動させ、第３及び第４支持部材７，８によって下方から搬送ベルト２を支持する。なお、第４支持部材８は、搬送ベルト２を介して基板１０の下に位置しているが、第３支持部材７は、搬送ベルト２を介して基板１０の下に位置していない。   When the scribe line 11 of the brittle material substrate 10 is positioned directly below the first break bar 3, the conveyance of the brittle material substrate 10 by the conveyance belt 2 is stopped. Then, as shown in FIG. 2, the third and fourth support members 7 and 8 are moved upward, and the conveyor belt 2 is supported from below by the third and fourth support members 7 and 8. The fourth support member 8 is located below the substrate 10 via the transport belt 2, but the third support member 7 is not located below the substrate 10 via the transport belt 2.

次に、図３に示すように、第１ブレイクバー３を下方に移動させる。これによって、第１ブレイクバー３は基板１０を下方に押圧し、基板１０は搬送ベルト２とともに撓む。なお、第１ブレイクバー３は、スクライブライン１１上を押圧する。この結果、第２基板１６に形成された第２スクライブライン１１ｂに沿って第２基板１６がブレイクされる。   Next, as shown in FIG. 3, the first break bar 3 is moved downward. As a result, the first break bar 3 presses the substrate 10 downward, and the substrate 10 bends together with the transport belt 2. The first break bar 3 presses on the scribe line 11. As a result, the second substrate 16 is broken along the second scribe line 11 b formed on the second substrate 16.

次に、搬送ベルト２による基板１０の搬送を再開する。詳細には、第３及び第４支持部材７，８を下方に移動させ、第１ブレイクバー３を上方に移動させた後、搬送ベルト２による基板１０の搬送を再開する。   Next, the conveyance of the substrate 10 by the conveyance belt 2 is resumed. Specifically, after the third and fourth support members 7 and 8 are moved downward and the first break bar 3 is moved upward, the transport of the substrate 10 by the transport belt 2 is resumed.

図４に示すように、端部１２が第１ブレイクバー３の真下に位置したとき、搬送ベルト２による脆性材料基板１０の搬送を停止する。そして、図５に示すように、第２支持部材５を下方に移動させ、第４支持部材８を上方に移動させる。この結果、基板１０は、第２支持部材５と第４支持部材８とによって挟まれて支持される。具体的には、第２及び第４支持部材５，８は、基板１０の本体部１３を挟む。すなわち、基板１０の端部１２は、第２及び第４支持部材５，８によって挟まれていない。なお、第２支持部材５と第４支持部材８とは、基板１０のみではなく搬送ベルト２も挟んでいる。   As shown in FIG. 4, when the end 12 is positioned directly below the first break bar 3, the conveyance of the brittle material substrate 10 by the conveyance belt 2 is stopped. Then, as shown in FIG. 5, the second support member 5 is moved downward and the fourth support member 8 is moved upward. As a result, the substrate 10 is sandwiched and supported by the second support member 5 and the fourth support member 8. Specifically, the second and fourth support members 5 and 8 sandwich the main body 13 of the substrate 10. That is, the end portion 12 of the substrate 10 is not sandwiched between the second and fourth support members 5 and 8. Note that the second support member 5 and the fourth support member 8 sandwich not only the substrate 10 but also the transport belt 2.

次に、図６に示すように、第１ブレイクバー３を下方に移動させる。これによって、第１ブレイクバー３は基板１０の端部１２を下方に押圧し、端部１２が下方に撓む。この結果、第１基板１５に形成された第１スクライブライン１１ａに沿って第１基板１５がブレイクされる。   Next, as shown in FIG. 6, the first break bar 3 is moved downward. As a result, the first break bar 3 presses the end 12 of the substrate 10 downward, and the end 12 bends downward. As a result, the first substrate 15 is broken along the first scribe line 11 a formed on the first substrate 15.

以上のように、ブレイク装置１は、基板１０をスクライブライン１１に沿ってブレイクすることができる。また、基板１０の端部１２の幅が狭い場合、第１支持部材４と第２支持部材５とによって基板１０を支持できないことがある。このような場合であっても、上述した方法によって、基板１０をスクライブライン１１に沿ってブレイクすることができる。   As described above, the breaking device 1 can break the substrate 10 along the scribe line 11. Further, when the width of the end portion 12 of the substrate 10 is narrow, the substrate 10 may not be supported by the first support member 4 and the second support member 5. Even in such a case, the substrate 10 can be broken along the scribe line 11 by the method described above.

基板１０の端縁１４とスクライブライン１１との距離が、第１支持部材４と第２支持部材５との間隔ｓの最小値の半分よりも大きい場合は、以下のような方法によって、第１基板１５をブレイクすることができる。   When the distance between the edge 14 of the substrate 10 and the scribe line 11 is larger than half of the minimum value of the interval s between the first support member 4 and the second support member 5, the first method is performed by The substrate 15 can be broken.

詳細には、脆性材料基板１０のスクライブライン１１が第１ブレイクバー３の真下に位置したとき、搬送ベルト２による脆性材料基板１０の搬送を停止する。そして、図７に示すように、第３及び第４支持部材７，８を上方に移動させ、第３及び第４支持部材７，８によって下方から搬送ベルト２を支持する。ここで、第３及び第４支持部材７、８は、搬送ベルト２を介して、基板１０の下に位置していることが好ましい。   Specifically, when the scribe line 11 of the brittle material substrate 10 is positioned directly below the first break bar 3, the conveyance of the brittle material substrate 10 by the conveyance belt 2 is stopped. Then, as shown in FIG. 7, the third and fourth support members 7 and 8 are moved upward, and the conveyor belt 2 is supported from below by the third and fourth support members 7 and 8. Here, it is preferable that the third and fourth support members 7 and 8 are positioned below the substrate 10 with the conveyance belt 2 interposed therebetween.

次に、図８に示すように、第１ブレイクバー３を下方に移動させる。これによって、第１ブレイクバー３は基板１０を下方に押圧する。なお、第１ブレイクバー３は、スクライブライン１１上を押圧する。この押圧力によって、基板１０は搬送ベルト２とともに撓む。この結果、第２スクライブライン１１ｂに沿って第２基板１６がブレイクされる。   Next, as shown in FIG. 8, the first break bar 3 is moved downward. As a result, the first break bar 3 presses the substrate 10 downward. The first break bar 3 presses on the scribe line 11. By this pressing force, the substrate 10 is bent together with the transport belt 2. As a result, the second substrate 16 is broken along the second scribe line 11b.

次に、第３及び第４支持部材７，８を下方に移動させ、第１ブレイクバー３を上方に移動させる。そして、図９に示すように、第１及び第２支持部材４，５を下方に移動させる。これによって、第１及び第２支持部材４，５によって上方から基板１０を支持する。   Next, the third and fourth support members 7 and 8 are moved downward, and the first break bar 3 is moved upward. Then, as shown in FIG. 9, the first and second support members 4 and 5 are moved downward. Thus, the substrate 10 is supported from above by the first and second support members 4 and 5.

次に、図１０に示すように、第２ブレイクバー６を上方に移動させる。これによって、第２ブレイクバー６は、搬送ベルト２を介して、基板１０を上方に押圧する。この結果、基板１０は搬送ベルト２とともに撓み、第１スクライブライン１１ａに沿って第１基板１５がブレイクされる。   Next, as shown in FIG. 10, the second break bar 6 is moved upward. As a result, the second break bar 6 presses the substrate 10 upward via the transport belt 2. As a result, the substrate 10 is bent together with the transport belt 2, and the first substrate 15 is broken along the first scribe line 11a.

［変形例］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。 [Modification]
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to these, A various change is possible unless it deviates from the meaning of this invention.

変形例１
上記実施形態では、第１及び第３支持部材４，７が搬送方向の上流側に位置し、第２及び第４支持部材５，８が搬送方向の下流側に位置しているが、各部材の位置関係は特にこれに限定されない。例えば、第１及び第３支持部材４，７が搬送方向の下流側に位置し、第２及び第４支持部材５，８が搬送方向の上流側に位置していてもよい。 Modification 1
In the above embodiment, the first and third support members 4 and 7 are located on the upstream side in the transport direction, and the second and fourth support members 5 and 8 are located on the downstream side in the transport direction. The positional relationship is not particularly limited to this. For example, the first and third support members 4 and 7 may be located on the downstream side in the transport direction, and the second and fourth support members 5 and 8 may be located on the upstream side in the transport direction.

変形例２
上記実施形態では、脆性材料基板１０は貼り合わせ基板であったが、脆性材料基板１０は特にこれに限定されない。 Modification 2
In the above embodiment, the brittle material substrate 10 is a bonded substrate, but the brittle material substrate 10 is not particularly limited thereto.

１ ブレイク装置
２ 搬送ベルト
２１ 載置面
３ 第１ブレイクバー
４ 第１支持部材
５ 第２支持部材
６ 第２ブレイクバー
７ 第３支持部材
８ 第４支持部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Break apparatus 2 Conveyance belt 21 Mounting surface 3 1st break bar 4 1st support member 5 2nd support member 6 2nd break bar 7 3rd support member 8 4th support member

Claims (7)

スクライブラインが形成された脆性材料基板を前記スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク装置であって、
前記脆性材料基板が載置される載置面を有し、前記脆性材料基板を搬送するように構成され、可撓性を有する搬送ベルトと、
前記載置面の上方において前記搬送ベルトの搬送方向に沿って配置され、昇降可能に構成された第１及び第２支持部材と、
前記載置面の上方において前記第１支持部材と前記第２支持部材との間に配置され、昇降可能に構成された第１ブレイクバーと、
前記載置面の下方において前記搬送方向に沿って配置され、昇降可能に構成された第３及び第４支持部材と、
前記載置面の下方において、前記第３支持部材と前記第４支持部材との間に配置され、昇降可能に構成された第２ブレイクバーと、
を備え、
前記第３支持部材は、前記搬送ベルトを介して、前記第１支持部材の下方に配置され、
前記第４支持部材は、前記搬送ベルトを介して、前記第２支持部材の下方に配置される、
ブレイク装置。
A breaking device for breaking a brittle material substrate on which a scribe line is formed along the scribe line,
A transport belt having a placement surface on which the brittle material substrate is placed, configured to transport the brittle material substrate, and having flexibility;
The first and second support members that are arranged along the transport direction of the transport belt above the placement surface and configured to be able to move up and down;
A first break bar which is disposed between the first support member and the second support member above the placement surface and configured to be movable up and down;
Third and fourth support members that are arranged along the transport direction below the placement surface and configured to be movable up and down,
Below the placement surface, a second break bar arranged between the third support member and the fourth support member and configured to be movable up and down,
With
The third support member is disposed below the first support member via the transport belt,
The fourth support member is disposed below the second support member via the transport belt.
Break device.
前記脆性材料基板は、前記スクライブラインと前記基板の端縁とによって画定される端部と、前記端部を除く本体部と、を有し、
前記第２支持部材と前記第４支持部材とは、前記搬送ベルトとともに前記本体部を挟持可能に構成され、
前記第１ブレイクバーは、前記端部を下方に押圧可能に構成される、
請求項１に記載のブレイク装置。
The brittle material substrate has an end portion defined by the scribe line and an edge of the substrate, and a main body portion excluding the end portion,
The second support member and the fourth support member are configured to be able to sandwich the main body together with the transport belt,
The first break bar is configured to be able to press the end downward.
The break device according to claim 1.
前記第１及び第２支持部材は、前記搬送方向に沿って移動可能に構成されている、
請求項１又は２に記載のブレイク装置。
The first and second support members are configured to be movable along the transport direction.
The break device according to claim 1 or 2.
前記第３及び第４支持部材は、前記搬送方向に沿って移動可能に構成されている、
請求項１から３のいずれかに記載のブレイク装置。
The third and fourth support members are configured to be movable along the transport direction.
The break device according to any one of claims 1 to 3.
スクライブラインによって区切られた本体部と端部とを有する脆性材料基板を前記スクライブラインに沿ってブレイクする方法であって、
（ａ）可撓性を有する搬送ベルトによって前記脆性材料基板を搬送するステップと、
（ｂ）前記本体部を前記搬送ベルトごと挟持するステップと、
（ｃ）前記端部を下方に向けて押圧し、前記搬送ベルトとともに前記端部を撓ませるステップと、
を含む、ブレイク方法。
A method of breaking a brittle material substrate having a body portion and an end portion separated by a scribe line along the scribe line,
(A) transporting the brittle material substrate by a flexible transport belt;
(B) clamping the main body together with the transport belt;
(C) pressing the end portion downward and bending the end portion together with the transport belt;
Including break method.
前記脆性材料基板は、第１基板と第２基板とが貼り合わされた貼り合わせ基板であって、
前記スクライブラインは、第１基板に形成された第１スクライブラインと、前記第２基板に形成された第２スクライブラインとによって構成される、
請求項５に記載のブレイク方法。
The brittle material substrate is a bonded substrate in which a first substrate and a second substrate are bonded together,
The scribe line includes a first scribe line formed on the first substrate and a second scribe line formed on the second substrate.
The breaking method according to claim 5.
前記ステップ（ａ）において、前記第１基板が上側、前記第２基板が下側となるように前記脆性材料基板を配置して、前記脆性材料基板を搬送し、
前記ステップ（ｃ）において前記端部を撓ませることによって、前記第１スクライブラインに沿って前記第１基板がブレイクされる、
請求項６に記載のブレイク方法。 In the step (a), the brittle material substrate is arranged so that the first substrate is on the upper side and the second substrate is on the lower side, and the brittle material substrate is transported,
The first substrate is broken along the first scribe line by bending the end in the step (c);
The breaking method according to claim 6.
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