JP2015152836A - 共焦点光スキャナ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の記載の共焦点光スキャナは、複数のピンホールを有する光フィルタリング手段と、光を試料上に走査する走査手段とを含む共焦点光スキャナであって、前記光フィルタリング手段は、平板状の本体、該本体の一方の主面側に配された前記ピンホール、及び、該本体の他方の主面において前記ピンホールと略同軸をなす位置に配されたマイクロレンズ、を備える。
【選択図】図1
Description
近年、光学系の解像限界(Abbeの回折限界)を超える解像度で、試料画像を得る技術(以降、超解像技術と呼ぶ)が開発・実用化されている。そのような超解像技術の一例として、特許文献1に記載された手法が挙げられる。
図16は、従来の共焦点光スキャナの一構成例を示す模式図である。この図面は、特許文献1の実施形態4(図10A)に相当する。以下では、図16を用いて構成および動作を説明する。
共焦点光スキャナ100は、多数のマイクロレンズ102aが規則的に配設されたマイクロレンズディスク102と、マイクロレンズ102aに対向する位置に遮光マスク103bの開口部であるピンホール103aが配設されたピンホールディスク103と、マイクロレンズディスク102とピンホールディスク103とを回転させるモーター104とを備えている。
上述のように、光学系の解像限界を超えた高周波成分を十分視認可能な共焦点像を得るためには、カメラにより撮影された共焦点像に高周波強調処理を施す必要がある。このため、カメラで撮影された共焦点像に含まれるノイズ成分により、様々な偽解像やアーティファクト(artifact)を生じてしまう。
「自然」を観察する自然科学の分野(たとえばマイクロスコープを用いて、生物標本、細胞などを観察する分野)においては、「人工のもの(観測・解析において発生したデータの歪み、エラーなど)」が発生する場合がある。アーティファクトとは、この「人工のもの」を意味する。
超解像効果を有する共焦点顕微鏡の一例として、たとえば非特許文献1に記載された「Image Scanning Microscopy(ISM)」方式が挙げられる。以下では、図17を用いて構成および動作を説明する。
図17は、従来の共焦点顕微鏡一構成例を示す模式図である。以下では、図17を用いて構成および動作を説明する。
ISM方式の共焦点顕微鏡は、従来技術1と同様の共焦点光スキャナを用いる。この共焦点光スキャナ200は、光源装置205にシャッタ205aを備え、また、モーター204とシャッタ205a及びカメラ210の同期制御を行う同期制御装置213を備える。
その際、画像ごとに多数の輝点の位置が少しずつ異なり、かつ、全画像を合わせると輝点が画像全体を埋め尽くすよう、モーター204の回転に対するシャッタ205aの開閉タイミングを一定間隔ずつ、ずれるように同期制御を行う。
戻り光が発生する試料面上の位置をxとし、像面上の位置dにおける受光量をI(x)と定義した場合、受光量I(x)は、式(1)により表される。
ここで、PSFill(x)及びPSFimg(x)は、それぞれ照明側及び撮像側の点像分布関数である。
上述した通り、従来技術2の手法は、一枚の超解像画像を得るために、数百枚の非走査共焦点像を撮影する必要がある。その際、一枚の超解像画像につき数十秒の撮影時間を要するため、時間分解能が低く、高速な現象を捉えることが困難であることから、リアルタイムでの超解像画像の表示が極めて難しい。
また、本手法による解像度の向上は、撮影された画像の面内(XY面内)のみであり、画像に対し垂直な光軸方向(Z軸方向)の解像度は向上しない。従って、試料の立体構造を詳細に観察することが困難であるという課題もあった。
超解像効果を有する共焦点顕微鏡の他の一例として、たとえば特許文献2に記載された「Multi-Focal Structured Illumination Microscopy」方式が挙げられる。以下では、図20を参照して構成および動作を説明する。
共焦点光スキャナ350は、多数のマイクロレンズが規則的に配設されたマイクロレンズアレイ341、352、353と、ピンホールアレイ351と、ガルバノミラー349と、ビームスプリッタ306と、リレーレンズ343、344、345と、ミラー346、347とを備えている。
従来技術3を実施するためには、次の3点が安定に確保されることが重要である。
・マイクロレンズアレイ341を構成する個々のマイクロレンズ341aの焦点位置と、ピンホールアレイ351の個々のピンホール351aの位置とは、光学的に対応する位置関係(共役)となるよう精密に配置する必要がある。
・ピンホールアレイ351の個々のピンホール351aは、マイクロレンズアレイ352の個々のマイクロレンズ352aの焦点位置に精密に配置する必要がある。
・マイクロレンズアレイ353の個々のマイクロレンズ353aは、マイクロレンズアレイ352の個々のマイクロレンズ352aと同軸となるよう精密に配置する必要がある。
本発明の請求項2に記載の共焦点光スキャナは、請求項1において、前記光フィルタリング手段はディスク形状を成しており、前記走査手段はモーターから成り、前記マイクロレンズは凸レンズ状を成す構成を備え、前記マイクロレンズが、前記光フィルタリング手段の前記試料側に位置する主面に配されたことを特徴とする。
本発明の請求項3に記載の共焦点光スキャナは、請求項1において、前記光フィルタリング手段はディスク形状を成しており、前記走査手段はモーターから成り、前記マイクロレンズは凹レンズ状を成す構成を備え、前記マイクロレンズが、前記光フィルタリング手段の前記試料と反対側に位置する主面に配されたことを特徴とする。
本発明の請求項4に記載の共焦点光スキャナは、請求項1において、前記光フィルタリング手段はアレイ形状を成しており、前記走査手段はガルバノミラーから成り、前記マイクロレンズは凸レンズ状を成す構成を備え、前記マイクロレンズが、前記光フィルタリング手段の入射側に位置する主面に配されたことを特徴とする。
本発明の請求項5に記載の共焦点光スキャナは、請求項1において、前記光フィルタリング手段はアレイ形状を成しており、前記走査手段はガルバノミラーから成り、前記マイクロレンズは凹レンズ状を成す構成を備え、前記マイクロレンズが、前記光フィルタリング手段の出射側に位置する主面に配されたことを特徴とする。
本発明の請求項6に記載の共焦点光スキャナは、請求項1において、前記光フィルタリング手段はディスク形状の本体から構成され、前記走査手段はモーターから成り、前記マイクロレンズが、該本体の前記試料側に位置する主面に凸レンズ状を成す構成を備え、前記ピンホールが、該本体の前記試料と反対側に位置する主面に形成された凹状のミラーの中心と同軸を成すように配されていることを特徴とする。
本発明の請求項7に記載の共焦点光スキャナは、請求項1乃至6のいずれか一項において、前記光フィルタリング手段と前記走査手段に加えて、中間変倍光学系を備えることを特徴とする。
本発明の請求項8に記載の共焦点光スキャナは、請求項1乃至7のいずれか一項において、前記光フィルタリング手段は、前記試料から入射する光の開口数を、前記光フィルタリング手段に入射する前の1.2〜4倍に変換して出射することを特徴とする。
かかる構成によれば、マイクロレンズ付きピンホールディスクにより、対物レンズからの戻り光の開口数を変換できるので、光学系の点像分布関数の幅が小さくなり、即ち、エアリーディスク領域内が縮小された形でカメラに投影される。
これにより、本発明は、画像処理による偽解像やアーティファクトの影響が抑制された超解像画像を高速(リアルタイム)に取得できるとともに、構成が簡素で安価であり、光学調整が容易で環境安定性の高い共焦点光スキャナを提供することができる。
また、上記構成からなる共焦点光スキャナは、画像のXY面内だけでなく、軸方向(Z軸方向)にも超解像効果を有することから、試料の立体構造を微細観察する用途に適している。
本発明に係る共焦点光スキャナの第一実施形態について説明する。
図1は、本実施形態の共焦点光スキャナの一構成例を模式的に示す図である。
この共焦点光スキャナは、複数のピンホールを有する光フィルタリング手段と、光を試料上に走査する走査手段とを備える。
共焦点光スキャナ20は、多数のマイクロレンズ2aが規則的に配設されたマイクロレンズディスク2と、マイクロレンズ付きピンホールディスク21(光フィルタリング手段)と、それらを回転させるモーター4(走査手段)とを備えている。
なお、以下の説明では、マイクロレンズ付きピンホールディスク21が、試料から入射する光の開口数を、マイクロレンズ付きピンホールディスク21に入射する前の2倍に変換して出射する場合を例に挙げて説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
図2の下方から入射する光線(太い実線)を考えると、この光線は、マイクロレンズ付きピンホールディスク21に入射する以前の空間では、開口数(Numerical Aperture,NA)がsin(θ)で表される収束光線である。即ち、この光線は、光軸に対しθの傾きを持つ。この光線はマイクロレンズ21cで屈折されることにより、開口数がn×sin(η)の光線に変換される。即ち、光軸に対しηの傾きを持つ。但し、nはマイクロレンズ付きピンホールディスク21の基材の屈折率である。ここで、マイクロレンズ21cの曲率半径rは、この光線がピンホール21aを出射した後の空間において、開口数がsin(2θ)で表される発散光線、即ち、光軸に対し2θの傾きを持つ光線となるように決める。
光源装置5は、不図示のレーザー等の光源と光学系から成り、コリメートされた照明光を出射する。共焦点光スキャナ20に入射した照明光は、マイクロレンズディスク2上の多数のマイクロレンズ2aにより、多数の照明光ビームレットに分割される。分割された光は、ビームスプリッタ6を透過し、マイクロレンズ付きピンホールディスク21上の多数のピンホール21aのうち、通過したマイクロレンズ2aに対向する位置にあるピンホールを通過する。尚、照明光がピンホール21aを効率良く通過するように、ピンホール21aは、マイクロレンズ2aの焦点面に配設されている。更に、照明光はマイクロレンズ21cを通過する。その際、上述のようにマイクロレンズ21cによって、照明光の、個々のビームレットの開口数が1/2に変換される。ここで、変換後のビームレットの開口数は、対物レンズ7の開口数を倍率で割った値に近いか、より大きいことが望ましい。
つぎに、本発明に係る共焦点光スキャナの第二実施形態について説明する。
図3は、本実施形態の共焦点光スキャナの一構成例を模式的に示す図である。
なお、本実施形態においては、上述した第一実施形態と異なる部分について主に説明し、第一実施形態とほぼ同様の部分については、同じ符号を付するとともに、その詳細な説明を省略する。
共焦点光スキャナ30は、多数のマイクロレンズ2aが規則的に配設されたマイクロレンズディスク2と、マイクロ凹レンズ付きピンホールディスク31(光フィルタリング手段)と、それらを回転させるモーター4(走査手段)とを備えている。マイクロ凹レンズ付きピンホールディスク31は、マイクロレンズディスク2の個々のマイクロレンズ2aに対向する位置にマイクロ凹レンズ31cが配設され、更に、個々のマイクロ凹レンズ31cの裏面に遮光マスク31bの開口部であるピンホール31aが配設されている。但し、マイクロレンズ2a及びマイクロ凹レンズ31cは、レンズ効果があれば何れの光学素子でもよく、例えば、フレネルレンズや回折光学素子でも良い。
図4の下方から入射する光線(太い実線)を考えると、この光線はマイクロ凹レンズ付きピンホールディスク31に入射する以前の空間では、開口数がsin(θ)で表される収束光線である。即ち、この光線は、光軸に対しθの傾きを持つ。この光線はピンホール31aへの入射面で屈折されることにより、開口数がn×sin(η)の光線に変換される。即ち、光軸に対しηの傾きを持つ。但し、nはマイクロ凹レンズ付きピンホールディスク31の基材の屈折率である。ここで、マイクロ凹レンズ31cの曲率半径rは、この光線がマイクロ凹レンズ付きピンホールディスク31の反対側のマイクロ凹レンズ31cを出射した後の空間において、開口数がsin(2θ)で表される発散光線、即ち、光軸に対し2θの傾きを持つ光線となるように決める。
光源装置5は、不図示のレーザー等の光源と光学系から成り、コリメートされた照明光を出射する。共焦点光スキャナ30に入射した照明光は、マイクロレンズディスク2上の多数のマイクロレンズ2aにより、多数の照明光ビームレットに分割される。分割された照明光は、ビームスプリッタ6を透過し、マイクロ凹レンズ付きピンホールディスク31上の多数のマイクロ凹レンズ31cのうち、通過したマイクロレンズ2aに対向する位置にあるマイクロ凹レンズを通過する。その際、上述のようにマイクロ凹レンズ31cによって、個々のビームレットの開口数が1/2に変換される。ここで、変換後のビームレットの開口数は、対物レンズ7の開口数を倍率で割った値に近いか、より大きいことが望ましい。更に、照明光はピンホール31aを通過する。尚、照明光がピンホール31aを効率良く通過するよう、ピンホール31aはマイクロレンズ2aの焦点面に配設されている。
このような共焦点光スキャナは、画像のXY面内だけでなく、軸方向(Z軸方向)にも超解像効果を有し、試料の立体構造を微細観察するのに適している。
つぎに、本発明に係る共焦点光スキャナの第三実施形態について説明する。
図5は、本実施形態の共焦点光スキャナの一構成例を模式的に示す図である。
なお、本実施形態においては、上述した実施形態と異なる部分について主に説明し、上述した実施形態とほぼ同様の部分については、同じ符号を付するとともに、その詳細な説明を省略する。
第三実施形態の共焦点光スキャナ40の構成と動作について、図5を参照して説明する。
共焦点光スキャナ40は、多数のマイクロレンズ41aが規則的に配設されたマイクロレンズアレイ41と、マイクロレンズ付きピンホールアレイ42(光フィルタリング手段)と、ガルバノミラー49(走査手段)と、ビームスプリッタ6と、リレーレンズ43・44・45と、ミラー46・47とを備えている。マイクロレンズ付きピンホールアレイ42は、マイクロレンズアレイ41の、個々のマイクロレンズ41aの焦点位置に光学的に対応する位置(共役な位置)に、遮光マスク42bの開口部であるピンホール42aが配設され、更に、個々のピンホール42aの裏面にマイクロレンズ42cが配設されている。但し、マイクロレンズ41a及びマイクロレンズ42cはレンズ効果があれば何れの光学素子でもよく、例えば、フレネルレンズや回折光学素子でも良い。
また、本実施形態におけるマイクロレンズ付きピンホールアレイ42は、一枚の基板上にピンホール42aとマイクロレンズ42cとを形成してあるため、ピンホール42aとマイクロレンズ42c間の機械的な調整が不要であり、機械的安定性や、温度等の環境変化に対する安定性、調整性が非常に良いという優れた特徴をも有する。
つぎに、本発明に係る共焦点光スキャナの第四実施形態について説明する。
図6は、本実施形態の共焦点光スキャナの一構成例を模式的に示す図である。
なお、本実施形態においては、上述した実施形態と異なる部分について主に説明し、上述した実施形態とほぼ同様の部分については、同じ符号を付するとともに、その詳細な説明を省略する。
本実施形態の共焦点光スキャナにおいても、マイクロレンズ付きピンホールディスクにより、対物レンズ7からの戻り光の開口数を2倍に変換することで、光学系の点像分布関数の幅が1/2になり、即ち、エアリーディスク領域内が1/2に縮小された形でカメラに投影される。
これにより本実施形態の共焦点光スキャナでは、画像処理による偽解像やアーティファクトの無い超解像画像を高速(リアルタイム)に得られ、構成が容易で安価であり、光学調整が容易で環境安定性の高いものとなる。
このような共焦点光スキャナは、画像のXY面内だけでなく、軸方向(Z軸方向)にも超解像効果を有し、試料の立体構造を微細観察するのに適している。
特に、本実施形態の構成によれば、マイクロレンズディスクを用いないので、構成が容易で安価である。
つぎに、本発明に係る共焦点光スキャナの第五実施形態について説明する。
図7は、本実施形態の共焦点光スキャナの一構成例を模式的に示す図である。
なお、本実施形態においては、上述した実施形態と異なる部分について主に説明し、上述した実施形態とほぼ同様の部分については、同じ符号を付するとともに、その詳細な説明を省略する。
共焦点光スキャナ70は、第一実施形態の構成に加え、中間変倍光学系71を備える。中間変倍光学系71はレンズ71a及びレンズ71bを備え、両者の焦点距離の比は2:1であり、倍率2倍の光学系となっている。但し、中間変倍光学系71の倍率や光学系構成はこれに限るものではなく、例えば、倍率可変のズーム光学系であっても良い。
つぎに、本発明に係る共焦点光スキャナの第六実施形態について説明する。
図8〜図15は、本実施形態の共焦点光スキャナの一構成例を模式的に示す図である。
なお、本実施形態においては、上述した実施形態と異なる部分について主に説明し、上述した実施形態とほぼ同様の部分については、同じ符号を付するとともに、その詳細な説明を省略する。
共焦点光スキャナ80は、コーナーキューブ81とビームスプリッタ6とレンズ82とスキャンディスク83とモーター4とを備えている。スキャンディスク83は、図13に詳細を示すように、コーナーキューブ81側の面に、多数のマイクロ凹ミラー83bを規則的に配設してあり、個々のマイクロ凹ミラー83bの中心には、光を透過する微小開口であるピンホール83aが形成されている。また、個々のマイクロ凹ミラー83bの裏側にはマイクロレンズ83cが形成されている。但し、マイクロレンズ83cはレンズ効果があれば何れの光学素子でもよく、例えば、フレネルレンズや回折光学素子でも良い。スキャンディスク83はモーター4の回転軸に固定されている。
ピンホール83aを通過した戻り光は、レンズ82を通過し、ビームスプリッタ6で反射される。
これにより本発明では、画像処理による偽解像やアーティファクトの無い超解像画像を高速(リアルタイム)に得られ、構成が容易で安価であり、光学調整が容易で環境安定性の高い共焦点光スキャナを提供することができる。
このような共焦点光スキャナは、画像のXY面内だけでなく、軸方向(Z軸方向)にも超解像効果を有し、試料の立体構造を微細観察するのに適している。
上述した全ての実施形態に係る共焦点光スキャナは、反射型共焦点観察や一光子蛍光共焦点観察のみならず、多光子蛍光観察にも適用することができる。実施形態に係る共焦点光スキャナを用いることにより、超解像多光子蛍光像を撮影可能である。
Claims (8)
- 複数のピンホールを有する光フィルタリング手段と、光を試料上に走査する走査手段とを含む共焦点光スキャナであって、
前記光フィルタリング手段は、平板状の本体、該本体の一方の主面側に配された前記ピンホール、及び、該本体の他方の主面において前記ピンホールと略同軸をなす位置に配されたマイクロレンズ、を備えることを特徴とする共焦点光スキャナ。 - 前記光フィルタリング手段はディスク形状を成しており、前記走査手段はモーターから成り、前記マイクロレンズは凸レンズ状を成す構成を備え、
前記マイクロレンズが、前記光フィルタリング手段の前記試料側に位置する主面に配されたことを特徴とする請求項1に記載の共焦点光スキャナ。 - 前記光フィルタリング手段はディスク形状を成しており、前記走査手段はモーターから成り、前記マイクロレンズは凹レンズ状を成す構成を備え、
前記マイクロレンズが、前記光フィルタリング手段の前記試料と反対側に位置する主面に配されたことを特徴とする請求項1に記載の共焦点光スキャナ。 - 前記光フィルタリング手段はアレイ形状を成しており、前記走査手段はガルバノミラーから成り、前記マイクロレンズは凸レンズ状を成す構成を備え、
前記マイクロレンズが、前記光フィルタリング手段の入射側に位置する主面に配されたことを特徴とする請求項1に記載の共焦点光スキャナ。 - 前記光フィルタリング手段はアレイ形状を成しており、前記走査手段はガルバノミラーから成り、前記マイクロレンズは凹レンズ状を成す構成を備え、
前記マイクロレンズが、前記光フィルタリング手段の出射側に位置する主面に配されたことを特徴とする請求項1に記載の共焦点光スキャナ。 - 前記光フィルタリング手段はディスク形状の本体から構成され、前記走査手段はモーターから成り、前記マイクロレンズが、該本体の前記試料側に位置する主面に凸レンズ状を成す構成を備え、
前記ピンホールが、該本体の前記試料と反対側に位置する主面に形成された凹状のミラーの中心と同軸を成すように配されていることを特徴とする請求項1に記載の共焦点光スキャナ。 - 前記光フィルタリング手段と前記走査手段に加えて、中間変倍光学系を備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の共焦点光スキャナ。
- 前記光フィルタリング手段は、前記試料から入射する光の開口数を、前記光フィルタリング手段に入射する前の1.2〜4倍に変換して出射することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の共焦点光スキャナ。
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