JP2015142976A - 金属箔積層体、およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
少ない製造工程によって、良好な剥離が可能な金属箔層を有する積層体を得ることができる。また、熱圧着処理後においても、良好な剥離性を維持する積層体を得ることができる。
【解決手段】
銅から成るベース層、前記ベース層上に積層された剥離層、前記剥離層上に形成された金属箔層を有し、前記剥離層がニッケルおよびスズを含むことを特徴とする積層体。前記金属箔層の剥離強度が0.001〜0.05N/mmであることが好ましい。加熱処理(0.15kgf/cm2の圧力下にて200℃、1時間)した後の前記金属箔の剥離強度が0.001〜0.05N/mmであることが好ましい。
【選択図】図1
Description
銅を蒸着したポリイミドフィルム(東レKPフィルム製:銅厚み1μm)をベース層として、下記めっき液1を用いて無電解ニッケル−スズめっき処理をおこない、剥離層を形成した。処理温度は50℃、処理時間は30秒間であった。得られた剥離層の厚みは0.1μmであった。
硫酸ニッケル(II)・六水和物 100 g/L
塩化スズ(II)・二水和物 2.5 g/L
チオ尿素 100 g/L
グルコン酸ナトリウム 50 g/L
98%硫酸 15 mL/L
硫酸銅(II)・五水和物 50 g/L
98%硫酸 110 mL/L
塩化ナトリウム 170 mg/L
カパーグリーム125B(添加剤) 15 mL/L
実施例1と同じ銅を蒸着したポリイミドフィルムをベース層として、下記めっき液3(pH10.5)を用いて電解ニッケル−スズめっき処理をおこない、剥離層を形成した。処理温度40℃、電流密度を0.085A/dm2、0.055A/dm2、0.030A/dm2の順に下げていき、処理時間をそれぞれ74秒間、74秒間、74秒間とした。陽極には不溶性電極を用いて、エアレーションは実施していない。得られた剥離層の厚みは0.1μmであった。
硫酸ニッケル(II)・六水和物 30 g/L
硫酸スズ(II) 6 g/L
グルコン酸ナトリウム 75 g/L
グリシン 15 g/L
剥離層形成時における電流密度を0.32A/dm2、0.27A/dm2、0.13A/dm2処理時間と順に下げていき、処理時間をそれぞれ74秒間、74秒間、74秒間とした以外は、実施例2と同様にして積層体を得た。剥離層の厚みは0.3μmであった。得られた剥離層について、オージェ電子分光法を用いて酸素の検出強度を測定した結果は1100であった。
硫酸銅(II)・五水和物 200 g/L
98%硫酸 55 mL/L
塩化ナトリウム 85 mg/L
カパーグリーム125B(添加剤) 5 mL/L
剥離層形成において下記めっき液5(pH4.0)を用い、処理温度を45℃とした以外は実施例2と同様にして積層体を得た。剥離層の厚みは0.2μm、銅箔層の厚みは1.4μmであった。
硫酸(II)ニッケル・六水和物 290 g/L
塩化ニッケル(II)・六水和物 50 g/L
ホウ酸 40 g/L
PC8100−X (添加剤) 15 mL/L
PC8100−H (添加剤) 2 mL/L
剥離層形成において下記めっき液6(pH10.5)を用い、実施例2と同様にして積層体を得た。剥離層の厚みは0.4μm、銅箔層の厚みは1.4μmであった。
硫酸スズ(II) 6 g/L
グルコン酸ナトリウム 75 g/L
グリシン 15 g/L
2 剥離層
3 金属箔層
Claims (9)
- 銅から成るベース層、前記ベース層上に積層された剥離層、前記剥離層上に形成された金属箔層を有し、前記剥離層がニッケルおよびスズを含むことを特徴とする積層体。
- 前記積層体における、前記金属箔層の剥離強度が0.001〜0.05N/mmであることを特徴とする請求項1に記載の積層体。
- 前記積層体を加熱処理(0.15kgf/cm2の圧力下にて200℃、1時間)した後の前記金属箔の剥離強度が0.001〜0.05N/mmであることを特徴とする請求項1または2に記載の積層体。
- 前記剥離層を構成するニッケルとスズの重量比率(ニッケル/スズ)が、0.2〜1.0の範囲であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の積層体。
- 前記剥離層の厚みが、0.05〜0.5μmであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の積層体。
- 前記金属箔層の厚みが、0.5〜5μmであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の積層体。
- 銅からなるベース層の表面に、ニッケル−スズめっきを行うことで前記ベース層の上に剥離層を積層形成する剥離層形成工程、次に電解金属めっきによって前記剥離層の上に金属箔層を形成する金属箔形成工程、を有することを特徴とする積層体の製造方法。
- 前記剥離層形成工程における前記ニッケル−スズめっきが、電解ニッケル−スズめっきであることを特徴とする請求項7に記載の積層体の製造方法。
- 前記剥離層形成工程における前記ニッケル−スズめっきが、無電解ニッケル−スズめっきであることを特徴とする請求項7に記載の積層体の製造方法。
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