JP2015142047A - 積層構造、その製造方法及び薄膜トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体層と絶縁体層からなる積層構造であって、前記半導体層は多結晶酸化物薄膜からなり、前記半導体層の結晶粒界が平面方向において1nm以上8nm以下の平均厚みである積層構造。
【選択図】図3
Description
そのなかでも、近年における表示装置のめざましい発展に伴い、液晶表示装置(LCD)のみならず、エレクトロルミネッセンス表示装置(EL)や、フィールドエミッションディスプレイ(FED)等の各種の表示装置において、表示素子に駆動電圧を印加して表示装置を駆動させるスイッチング素子として、薄膜トランジスタ(TFT)が多用されている。
例えば、特許文献1,2等には、酸化亜鉛を高温で結晶化し薄膜トランジスタを構成する方法が記載されている。また、薄膜トランジスタを得る工程で、非晶質酸化物膜をパターニングした後に結晶化を行い、高移動度を実現した例が報告されている(例えば、特許文献3参照)。
1.半導体層と絶縁体層からなる積層構造であって、前記半導体層は多結晶酸化物薄膜からなり、前記半導体層の結晶粒界が平面方向において1nm以上8nm以下の平均厚みである積層構造。
2.前記半導体層は、70%以上が結晶構造からなり、前記半導体層の平均結晶粒径が10nm以上27μm以下である1記載の積層構造。
3.前記半導体層の表面の面積の80%以上の部分が、膜厚方向おいて単一の結晶粒で構成されている1又は2記載の積層構造。
4.前記半導体層の結晶粒界の角度が、絶縁体層界面に対して、70°〜110°である1〜3のいずれか記載の積層構造。
5.前記半導体層が、酸化インジウムを含む1〜4のいずれか記載の積層構造。
6.前記半導体層が、酸化インジウムと1種類以上の添加元素の化合物を含む1〜5のいずれか記載の積層構造。
7.前記添加元素が、Zn、Sn、Mg、Ca、Ga、Sb、Zr、Hf、Ge、Si、Ti、Mn、W、Mo、V、Cu、Ni、Co、Fe、Cr、Nb、Al、B、Sc、Y及びランタノイド類からなる群から選択される1以上の元素である6記載の積層構造。
8.前記半導体層において、Gaの原子比が、全金属元素に対し、0以上0.2未満である7記載の積層構造。
9.前記半導体層において、Znの原子比が、全金属元素に対し、0以上0.15未満である7又は8記載の積層構造。
10.前記半導体層において、Snの原子比が、全金属元素に対し、0以上0.1未満である7〜9のいずれか記載の積層構造。
11.前記半導体層において、Mg、Ca、Sb、Zr、Hf、Ge、Si、Ti、Mn、W、Mo、V、Cu、Ni、Co、Fe、Cr、Nb、Al、B、Sc、Y及びランタノイド類からなる群から選択される1種以上の元素であるXの原子比が0以上0.2未満である7〜10のいずれか記載の積層構造。
12.前記元素Xが、Al、Ti、Si、Zr、Hf、Ca、Mg、Y及びランタノイド類からなる群から選択される1種以上である11記載の積層構造。
13.前記元素Xが、Al、Ti、Zr、Mg、Y及びSmからなる群から選択される1種以上である11記載の積層構造。
14.前記元素Xとして、Al、Ti、Mg及びSmからなる群から選択される1種以上である11記載の積層構造。
15.前記半導体層の酸化インジウムが、ビックスバイト構造からなる5〜14のいずれか記載の積層構造。
16.前記半導体層を構成するInの原子比が、全金属元素に対し、0.8以上1以下である5〜15記載の積層構造。
17.絶縁体層を設け、
前記絶縁体層上に半導体層を成膜することで、積層体を形成し、
得られた積層体を加熱処理する、1〜16いずれか記載の積層構造を製造する方法であって、
前記半導体層成膜直前の絶縁体層における物理吸着水が1×1014cm−2以上1×1017cm−2以下である積層構造の製造方法。
18.前記絶縁体層における水素濃度を1×1018atm/cm3以上1×1021atm/cm3以下とする17記載の積層構造の製造方法。
19.前記絶縁体層を、1μm×1μmにおけるRrmsが1〜15.7Åの範囲となる様に設け、
前記積層体の加熱処理が150〜600℃である17又は18記載の積層構造の製造方法。
20.前記半導体層の成膜を、背圧1×10−5Pa以下で行う17〜19のいずれか記載の積層構造の製造方法。
21.前記半導体層の成膜の背圧測定時の水分圧が1×10−5Pa以下である17〜20のいずれか記載の積層構造の製造方法。
22.前記半導体層の成膜の背圧測定時の一酸化炭素分圧が1×10−5Pa以下である17〜21のいずれか記載の積層構造の製造方法。
23.前記半導体層の成膜を、希ガスと、水、水素ガス、酸素ガス及び亜酸化窒素ガスからなる群から選択される1以上のガスとを含有する混合気体の雰囲気下において行う17〜22のいずれか記載の積層構造の製造方法。
24.真空チャンバー内に設置したターゲットに対向する位置に、基板を順次搬送し、ターゲットに対してパルス電圧を印加しながら、ターゲット上にプラズマを発生させて基板表面に成膜するスパッタリング方法で、前記半導体層の成膜を行う17〜23のいずれか記載の積層構造の製造方法。
25.前記パルス電圧を印加する際の電力のデューティ比が50%以上80%以下である24記載の積層構造の製造方法。
26.前記パルス電圧の周波数が1kHz〜200kHzである24又は25記載の積層構造の製造方法。
27.1〜16のいずれか記載の積層構造を用いた薄膜トランジスタ。
28.27記載の薄膜トランジスタを備える電子機器。
29.液晶ディスプレイ用パネル、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ用パネル、MEMS、RFIDタグ、X線ディテクタパネル、指紋センサ、フォトセンサ、又はパワー半導体である28記載の電子機器。
本発明の積層構造は、半導体層と絶縁体層からなり、半導体層は多結晶酸化物薄膜からなり、半導体層の結晶粒界が平面方向において1nm以上8nm以下の平均厚みである。
ここで、薄膜が非晶質であるとは、X線結晶構造解析により、ハローパターンが観測され、結晶構造が特定できないことを意味する。
また、成膜中に気相での結晶化が起きた場合、アモルファス薄膜ではなく、微小な結晶が秩序性を持たずに堆積した微結晶膜となる。アモルファス薄膜から固相結晶化した多結晶膜は結晶が膜厚方向に成長しているのに対し、微結晶薄膜は気相成長した結晶の堆積であるため、成長方向に規則性を持たない。
結晶の配置方向と粒径を制御した結晶質酸化物薄膜をチャネル層に適用した場合、CVD等の製造プロセスを通しても酸素欠損が生じ難く、TFT特性の劣化が起こらないという利点を有する。
結晶粒界の平均厚さが8nm超であると、積層構造をTFTに適用した際に、結晶粒界部分に存在する欠陥によって、交流電圧ストレス試験におけるTFT特性が劣化するおそれがある。
半導体層の平均結晶粒径が10nm以上であると、粒界における散乱の影響は十分に小さく、良好な移動度を得ることができる。一方、平均結晶粒径が27μm以下であれば、フレキシブル基板上に成膜した場合でも、基板を曲げた際に膜の破壊が起こりにくい。また、結晶粒界がキャリアを散乱する効果によってTFT特性へのばらつきが生じにくい。
結晶構造は、平面TEMと断面TEMの格子像を見て判断することができる。
半導体層の結晶構造が70%以上であれば、欠陥の少ない膜が作製できる。
膜厚方向おいて単一の結晶粒が半導体層の表面の面積の80%未満であると、当該の積層構造を用いて作製したTFTでは、ゲート電界をかけた際の電界のかかり方が均一でないために、TFT特性にばらつきが出るおそれがある。膜厚方向において単一の結晶粒であることは断面TEMでの半導体層断面から評価することができる。
結晶粒界の角度は、断面TEMによって測定できる。結晶粒界の角度が上記範囲にあれば、半導体層の基板側と表層側のキャリアが面方向に移動する際にほぼ同じ数の粒界を経由するため、TFTにした際の特性のバラツキを少なくすることができる。
また、半導体層の酸化インジウムは、実質的にビックスバイト構造からなる結晶構造を持つ多結晶薄膜であることが好ましい。実質的にビックスバイト構造からなる結晶構造を持つ薄膜は移動度が高く、ビックスバイト構造の複雑な単位格子によって粒界抵抗が低減できるため、大面積での均一性が期待できる。実質的にビックスバイト構造からなる結晶構造とは酸化物薄膜中に含まれる結晶部分の90%以上がビックスバイト構造である結晶構造を指す。ビックスバイト構造の結晶部分は、95%以上が好ましく、98%以上がより好ましい。100%でもよい。
酸化インジウムに加えて添加元素を含むことにより、酸化インジウムのみの場合と比べて、キャリア濃度を十分に制御でき、ノーマリ―オン型のTFTになり難い。
Ga(ガリウム)、Zn(亜鉛)、Sn(錫)及び金属元素Xの添加によってキャリア濃度を調整することが可能である。例えばGaの添加によってキャリア濃度を抑制したり、Snを添加することでキャリア濃度を増加させることができる。
0.8≦In/(In+Sn+Zn+Ga+X)≦1であり
より好ましくは、
0.85≦In/(In+Sn+Zn+Ga+X)≦0.99であり、
さらに好ましくは、
0.9≦In/(In+Sn+Zn+Ga+X)≦0.95である。
0≦Ga/(In+Sn+Zn+Ga+X)<0.2であり、
より好ましくは、
0≦Ga/(In+Sn+Zn+Ga+X)<0.1である。
0≦Zn/(In+Sn+Zn+Ga+X)<0.15であり、
より好ましくは、
0≦Zn/(In+Sn+Zn+Ga+X)<0.07である。
0≦Sn/(In+Sn+Zn+Ga+X)<0.1であり、
より好ましくは、
0≦Sn/(In+Sn+Zn+Ga+X)<0.05である。
0≦X/(In+Sn+Zn+Ga+X)<0.2であり、
より好ましくは、
0≦X/(In+Sn+Zn+Ga+X)<0.15であり、
さらに好ましくは、
0≦X/(In+Sn+Zn+Ga+X)<0.1である。
半導体層にXが含まれると、酸素との結びつきが強く信頼性に優れる薄膜トランジスタが製造できる。
半導体層において、全金属原子中、In、Sn、Zn、Ga及びXの金属原子比が、0.90以上、0.95以上、0.98以上、1でもよい。
AFMは、探針と試料に作用する原子間力を検出するタイプの顕微鏡である。AFM探針は、片持ちバネ(カンチレバー)の先端に取り付けられている。この探針と試料表面を微小な力で接触させ、カンチレバーのたわみ量が一定になるように探針・試料間距離(Z)をフィードバック制御しながら水平(X、Y)に走査することで、表面形状を画像化することができる。
一方、1×1018atm/cm3未満では、SiO2の構造緩和ができず、内部応力を生じる原因になり、上に成膜する半導体層の結晶の構造を乱す原因となるおそれがある。
本発明の製造方法では、絶縁体層を設け、絶縁体層上に半導体層を成膜することで、積層体を形成し、得られた積層体を加熱処理する。そして、半導体層成膜の際に、成膜直前の絶縁体層における物理吸着水を、1×1014cm−2以上1×1017cm−2以下とすることで、上述の積層構造を得ることができる。
このとき、基板温度が180℃未満であれば、導入ガスが十分反応せず、絶縁体層として十分機能しないおそれがある。即ち、TFTを動作させたときに、ヒステリシスやリーク電流が増加する可能性がある。
一方、600℃以上であれば耐熱性が低い基板が使用できず、量産に適さないおそれがある。
冷却速度が200℃/min超では、絶縁体層にクラック及びひずみが生じる可能性があり、その上に成膜する酸化物薄膜を結晶化する際に、欠陥を生じるおそれがある。
例えば、プラズマCVDによるSiOx膜を用いる場合、一般的にシランガス、亜酸化窒素ガス、窒素ガスを用いるが、シランガス/亜酸化窒素ガスの流量比は1/100〜1/10が好ましい。
1/10超では反応が十分に進行せず、膜が疎になりRrmsが大きくなるおそれがあり、1/100未満では気相で反応が進行し、パーティクルが生じたり、Rrmsが大きくなったりするおそれがある。
5nm未満では膜厚の均一性を取ることが難しく、TFTとしたときの特性のばらつきの要因となるおそれがある。500nm超ではTFTとしたときの電流値が十分に得られないおそれがある。
従って、成膜表面の物理吸着水は可能な限り取り除くことが好ましい。
例えば、絶縁体層成膜後の基板を大気中に放置する時間を制限する方法、基板に絶縁体層を成膜後に大気解放せず真空下又は乾燥雰囲気下で基板を移送し、酸化物半導体薄膜を成膜する方法、及び酸化物半導体薄膜成膜前に、1×10−4Pa以下の真空下、0℃〜200℃で10〜60分置くことで物理吸着水を取り除く方法が挙げられる。
上記の場合、大気中の温度と湿度は温度25±3℃、湿度55±10%に調整することが好ましい。
半導体層は、後述の薄膜トランジスタにおけるチャネル層となる。
成膜時の基板温度が200℃よりも高いと、基板の加熱により雰囲気ガス内に含まれる水が脱離するため、均質なアモルファス薄膜を成膜できにくいおそれがある。一方、成膜時の基板温度が0℃よりも低いと薄膜の膜密度が低下し、本積層構造をTFTに用いた際の移動度が低下するおそれがある。
磁場強度が300ガウス未満の場合、プラズマ密度が低くなるため、高抵抗のスパッタリングターゲットでは、スパッタリングできなくなるおそれがある。一方、1500ガウス超の場合、膜厚及び膜中の電気特性の制御性が悪くなるおそれがある。
背圧とは、半導体層を成膜する装置の到達真空度であり、成膜を行わない状態で真空を保った定常状態で8時間放置した際の到達真空度をいう。背圧が高いと、H2O、CO等を多く含む可能性がある。
水分圧が1×10−5Pa以下である場合、均質なアモルファス膜を再現性良く成膜できる。
背圧測定時の一酸化炭素分圧は、四重極子型質量分析計により、COを示す28の値から測定できる。
成膜時のスパッタ圧が0.1Pa未満では、スパッタリング粒子の平均自由行程が長くなったり、基板表面のダメージが大きくなったり、膜の残留応力が大きくなったり、膜はがれ等の原因になったりするおそれがある。一方、スパッタ圧が3Pa超であれば、スパッタ粒子の平均自由工程が短くなったり、粒子のエネルギーが低下し膜が疎になるおそれがある。
尚、スパッタ圧力とは、アルゴン、水、水素、酸素等を導入した後のスパッタ開始時の系内の全圧をいう。
水分圧が0.1%未満であると薄膜堆積直後に膜中に微結晶が生成するおそれがある。微結晶が生成した薄膜をアニールすると2次結晶化が起こり、結晶方位のずれが生じるため欠陥が多くなり、キャリア濃度の上昇や移動度の低下を招くおそれがある。一方、水分圧が25%を超えると、膜密度の低下が顕著となるため、Inの5s軌道の重なりが小さくなり移動度の低下を招くおそれがある。
その場合、スパッタリング時の雰囲気中の酸素分圧は5%以上50%未満、水素分圧は2.5%以上25%未満が好ましい。より好ましくは、酸素分圧が10%以上40%未満、水素分圧が5%以上20%未満であり、特に好ましくは、酸素分圧が20%以上40%未満、水素分圧が10%以上20%未満である。
DCパルススパッタリングは、DCスパッタと同様な装置構成で実施可能であり、ターゲットにかける電圧にパルスを重畳することで、アーキングを抑制でき、デューティ比の調整により、スパッタ粒子のエネルギーを制御して、均一な膜を成膜できる。
1kHz未満ではアーキング抑制の効果が十分でないおそれがあり、200kHzを越えた周波数をかけてもその効果は大きく変化しないおそれがある。
パルス1周期分の電流が流れる時間をオン時間、流れない時間をオフ時間としたとき、デューティ比は(オン時間/(オン時間+オフ時間))×100%と定義できる。
デューティ比が50%以上であれば放電が安定して継続可能で、高エネルギーの粒子も生じづらく、薄膜へのダメージを小さくできる。一方、デューティ比が80%以下であれば、パルス重畳によるアーキング抑制効果を十分に発揮できる。
酸化物半導体膜の膜厚tは、触針式表面形状測定器(例えば、Dektak 150(アルバック株式会社製))で測定することができる。
加熱温度が150℃未満であると、結晶化が不十分であるおそれがあり、600℃を超えると、素子の破壊を招くおそれがある。
キャリア濃度を減少させることは、酸素もしくは酸素以外の酸化性ガスによっても可能であり、水、亜酸化窒素、オゾン等の酸化性ガスの導入によってもキャリア濃度を減少させることができる。
1×1013cm−3未満では、十分な移動度が出ず、必要なオン電流が取り出せないおそれがある。1×1018cm−3超では、TFTがノーマリ―オンになるおそれがある。
膜密度の上限は、特に限定されないが、通常7.5g/cm3である。これを超えると、格子間に酸素や金属元素が入り込むことによる欠陥が生じるおそれがある。
本発明の薄膜トランジスタは、上記半導体層をチャネル層とし、上記絶縁体層をゲート絶縁膜とすることができる。
また、半導体層上に、例えばSiO2等を含有する保護膜を備えてもよい。尚、前述したのはボトムゲート型のトランジスタについてであり、トップゲート型の場合は絶縁体層がバッファー層に、保護膜がゲート絶縁膜に相当する。以下の説明においてはボトムゲート型に基づいて説明するが、本発明の薄膜トランジスタは、トップゲート型、ボトムコンタクト、トップコンタクトやコプラナー構造等の既知の構成とすることができる。
保護膜は、SiNxの他に例えばSiO2,Al2O3,Ta2O5,TiO2,MgO,ZrO2,CeO2,K2O,Li2O,Na2O,Rb2O,Sc2O3,Y2O3,HfO2,CaHfO3,PbTiO3,BaTa2O6,Sm2O3,SrTiO3又はAlN等の酸化物等を含むことができる。
従って、電界効果移動度を測定するにはVdが小さい場合の線形領域(Vg>Vd)の移動度で測定することが望ましい。
電界効果移動度μのバラツキは、電子機器上に存在する同一条件で作製された複数個のトランジスタのμを測定することで求めることができる。
S値=dVg/dlog(Ids)
S値が小さいほど急峻な立ち上がりとなる(「薄膜トランジスタ技術のすべて」、鵜飼育弘著、2007年刊、工業調査会)。S値が大きいと、オンからオフに切り替える際に高いゲート電圧をかける必要があり、消費電力が大きくなるおそれがある。
ΔSは±0.5V/dec以下が好ましく、より好ましくは±0.3V/dec以下であり、さらに好ましくは±0.1V/dec以下である。
[原子間力顕微鏡(AFM)、二次イオン質量分析法(SIMS)、加熱発生ガス分析(TPD)による評価]
本実施例では特に記載しない限りABC−G(ガラス基板、日本電気硝子株式会社製)を基板として用いた。
選択した基板をプラズマ化学蒸着装置(PE−CVD装置)にセットし、SiH4、N2O、N2を導入して、厚さ150nmの絶縁膜(SiO2膜)を、表1及び2に記載の成膜条件で、成膜してAFM評価用のサンプルを得た。
測定位置は基板を面積4等分になるように直交する二本の直線で分割し、各パーツの中心部から同心円を描いたとき最大の内接円の半分の直径の同心円の内部で測定し、その平均値を測定値とした。
測定方法:DFM(ダイナミック・フォース・モード)
探針 :SI−DF40P
走査速度:1Hz(1ライン1秒)
ステップ:256×256
測定視野:1μm×1μm
実施例1においてRrmsを測定したところ、12.7Åと平坦であった。実施例2〜12についても同様に測定し、Rrmsの結果を表1及び2に示す。
水素濃度は基板を面積4等分になるように直交する二本の直線で分割し、各パーツの中心部から同心円を描いたとき最大の内接円の半分の直径の同心円の内部で絶縁体層を深さ方向に評価し、その平均値を絶縁体層の水素濃度とした。
SIMSにおける水素濃度の定量化には水素濃度がわかっているレファレンスサンプルを用いた。SiOxのレファレンスとして水素濃度がわかっているシリコン熱酸化膜を用いて絶縁体層中の水素濃度を定量化した。
シリコン基板上にCVDで、上記と同様に、SiO2を成膜して評価した。
半導体成膜時に物理吸着水を減らす処理をしている場合、同様の条件で処理した後にTPDの測定を行った。
測定位置は基板を面積4等分になるように直交する二本の直線で分割し、各パーツの中心部から同心円を描いたとき最大の内接円の半分の直径の同心円の内部から1cm×1cmをサンプルとして切り出して測定し、その平均値を測定値とした。
質量分析計:四重極子型質量分析計
温度範囲 :室温〜800℃
昇温速度 :60℃/min
観測種 :M/e=18(水)
TPDにおける水のピークの定量化については、一定量水素を添加したSi基板からのH2の脱離を基準として校正をおこなった(参考:平下他、分析化学43,757(1994))。
マグネトロンスパッタリング装置に、表1及び2に示す半導体層組成に対応する金属酸化物の2インチターゲットを装着し、上記AFM評価用サンプルと同様の条件で、絶縁体層としてSiOxを成膜した基板を用いた。
DCマグネトロンスパッタリング法又はDCパルスマグネトロンスパッタリング法により、後述するスパッタリング条件でスライドガラス上に膜厚50nmの非晶質膜を成膜した。成膜時には、表1及び2に示す分圧比でArガス、O2ガス、H2Oガス及びH2ガスを導入した。非晶質膜を形成した基板を表1及び2に示す条件でアニールして、酸化物半導体膜(積層構造における半導体層)を形成した。
定性分析で含有されている元素を特定後、定量分析で含有量を求め、その結果から各元素の原子比を求めた。
実施例及び比較例における酸化物薄膜の組成比はターゲットの組成比と同一であった。
XRDの測定条件は以下の通りである。
装置:(株)リガク製、Ultima−III
X線:Cu−Kα線(波長1.5406Å、グラファイトモノクロメータにて単色化)
2θ−θ反射法、連続スキャン(1.0°/分)
サンプリング間隔:0.02°
スリット DS、SS:2/3°、RS:0.6mm
また、実施例1〜12においては、酸化インジウムのビックスバイト構造のみが観測された。
この結晶構造は、JCPDS(Joint Committee of Powder Diffraction Standards)カードで確認することができる。酸化インジウムのビックスバイト構造は、JCPDSカードNo.06−0416である。
測定位置は、基板を面積4等分になるように直交する二本の直線で分割し、各パーツの中心部から同心円を描いたとき最大の内接円の半分の直径の同心円の内部で測定し、その平均値を測定値とした。
実施例2〜12の膜密度の結果についても表1及び2に示す。
・測定装置:全自動水平型多目的X線回折装置SmartLab((株)リガク製)
・測定条件
X線:Cu−Kα線(波長1.5406Å、グラファイトモノクロメータにて単色化)
2θ反射率測定、測定範囲2θ=0°〜8°
サンプリング間隔:0.01°
測定装置:400kV高分解能透過電子顕微鏡[HR−TEM]
(日本電子製JEM−4010)
前処理:イオンミリング装置(米国Gatan製PIPS−M691)にて薄片試料作製した。
観測視野は、積層構造を直上から見た平面の中心部を観測した。
平面TEMの格子像において各結晶粒界の厚みを測定し、その平均値を取ったものを結晶粒界の平均厚みとした。
前述の領域内に10個未満の結晶粒界しか存在しない場合、測定する視野を2μm、4μmと2倍にしていき、測定領域内に10個以上の粒界が存在するようになった時点で平均値を求めた。
積層体で測定できる最大値まで測定領域を拡大しても10個未満の粒界しか存在しない場合は、その領域すべての粒界の角度の平均をとった。
図1は、実施例1における積層構造の半導体層の結晶粒内の回折像であり、本回折像はIn2O3のビックスバイト構造で111面の結晶方位を示すことが確認できた。
図2(a)〜(c)は、実施例1における断面TEM像であり、基板101上に、SiO2膜103及びインジウムガリウム酸化物(In−Ga−O)膜105を成膜し、断面TEMを測定した。図2(a)では、倍率が40000倍であり、図2(b)では70000倍、図2(c)では140000倍である。
図3は、実施例1における積層構造の半導体層の拡大した平面TEM像である。楕円で囲んだ領域に結晶粒界を示した。
平均結晶粒径は319nm、平面TEM像より、結晶粒界の平均厚みは2.5nmであった。また、断面TEM像より、結晶粒界の角度は84°であった。
実施例2〜12までについても同様に評価を行い、表1及び2に結果を記載した。
実施例1では、半導体層が膜厚方向おいて、積層構造の面積の80%以上が単一の結晶粒で構成されていた。
実施例2〜12についても同様の結果であった。
測定位置は積層構造の中心部から同心円を描いたとき最大の内接円の半分の直径の同心円の内部で測定した。
測定範囲:40μm×40μm
ステップ:256×256
前述したICP、X線回折法(XRD)、X線反射率法(XRR)、断面TEM、平面TEM評価用サンプルの作製で成膜した基板を上下左右に等分することで4分割し、分割した各基板の中心部から約1cm×約1cmの正方形を切り出して四隅に金(Au)を2mm×2mm以下の大きさになるようにメタルマスクを用いてイオンコーターで成膜し、Au電極上にインジウムはんだを乗せて接触を良くしてホール効果測定用サンプルとした。
基板は導電性のないものが望ましいため、本実施例ではすべてにおいて、基板に日本電気硝子株式会社製ABC−Gを用いた。
ホール効果測定用サンプルをホール効果・比抵抗測定装置(ResiTest8300型、東陽テクニカ社製)にセットし、室温においてホール効果を評価し、キャリア濃度を求めた。結果を表1及び2に示す。
酸化物半導体膜のスパッタリング条件は以下の通りである。
基板温度:室温
背圧(到達圧力):表1及び2参照(スパッタ装置のイオンゲージで測定)
背圧測定時の分圧:H2O、CO(表1及び2を参照、四重極子型質量分析計により測定)
雰囲気ガス:Arガス、O2ガス、H2Oガス、H2ガス(分圧は表1及び2を参照、四重極子型質量分析計により測定)
スパッタ圧力(全圧):表1及び2参照
投入電力(パワー):表1及び2参照
S(基板)−T(ターゲット)距離:170mm
図4に示すボトムゲート構造を有する電界効果型トランジスタ1を作製した。
直径4インチの無アルカリガラス基板10を用意し、スパッタリング法で厚さ50nmのCr(ゲート電極)を成膜した後、フォトリソグラフィ法によりゲート配線状にパターニングし、ゲート電極20とした。次に、このガラス基板をPE−CVD装置にセットし、SiH4、N2O及びN2を導入して、厚さ150nmのゲート絶縁膜(SiO2膜)30付ガラス基板10上に形成した。
尚、本実施例においてはゲート絶縁膜成膜後1時間以内にスパッタリング装置に装着して基板に成膜することで、基板表面の物理吸着水が増加するのを抑制した。
本工程までは本発明における積層膜及びその製造条件に相当する。
次に、酸化物半導体膜をフォトリソグラフィ法により半導体領域の形に加工し、(チャネル層となる)半導体層40とした。
得られた電界効果型トランジスタ1について、下記の評価を行った。結果は表1及び2に示す。
作製したTFTについて伝達特性を評価し、上記パラメータを求めた。ドレイン電圧(Vd)は0.1Vで計測した。電界効果移動度はVd=0.1Vの伝達特性から求めた、線形領域の最大移動度である。半導体パラメータアナライザー(ケースレーインスツルメンツ社製、ケースレー4200)を用い、大気圧の乾燥窒素雰囲気下、室温、遮光環境下で4インチガラスの中央部のTFTについて電界効果移動度を測定した。
尚、オフ電流は、ゲート−ソース電圧(Vgs)を−10Vとして測定した。
尚、チャネル幅、チャネル長をそれぞれ50μm、20μmとし、ゲート電圧を−10〜20Vまで変化させた際のドレイン電流を観測した。
実施例1〜12の結果について表1及び2に示す。
特に断らない限り、電界効果移動度はこの方法で評価した。上記Idはソース・ドレイン電極間の電流、Vgはソース・ドレイン電極間に電圧Vdを印加したときのゲート電圧である。
実施例1〜12の結果について表1及び2に示す。
隣接した25個以上のTFTを測定して、最大値と最小値の差をμのバラツキとした。基板中心部の一点を基準に直線距離の近い順に、同一素子構成のものを測定した。
実施例1〜12の結果について表1及び2に示す。
実施例1〜12の結果について表1及び2に示す。
断りのない限り、Vgはゲート絶縁膜にSiO2(比誘電率3.9)を150nmの厚みで用いた場合とし、容量(誘電率/膜厚)が変化した場合はVgの規格化を行った。例えば、ゲート絶縁膜に200nmのSiNx(比誘電率7.0)を用いた場合、Vgは(3.9/150)/(7.0/200)=0.74倍として規格化した。
実施例1〜12の結果について表1及び2に示す。
Vthのバラツキを求める際は隣接した25個以上のTFTを測定して、最大値と最小値の差をVthバラツキとした。基板中心部の一点を基準に直線距離の近い順に、同一素子構成のものを測定した。
実施例1〜12の結果について表1及び2に示す。
ストレス試験の結果はVthの変化のΔVthとS値の変化ΔSで評価した。
実施例1については粒界が8nm以下であり、電荷のトラップが起こる部分が少なかったため、ΔVthは0.8VとΔSは0.07V/decと小さかった。
実施例2〜12についても同様に測定し、結果を表1及び2に示す。
表3に示す条件で積層構造を作製し、前述した方法で評価した。また、その積層構造を用いたTFTについても前述の方法で評価し、表3に示す。
尚、比較例1〜2では、絶縁膜成膜後1日大気下に放置した後、半導体層の成膜を行った。
比較例1では、半導体層が膜厚方向おいて、積層構造の面積の80%未満が単一の結晶粒で構成されていた。
表4及び5に示す条件で積層構造を作製し、前述した方法で評価した。結果を表4及び5に示す。
実施例13〜24において、半導体層の70%以上が結晶構造からなっていた。
実施例13〜24では、半導体層が膜厚方向おいて、積層構造の面積の80%以上が単一の結晶粒で構成されていた。
図5に示すボトムゲート構造を有する電界効果型トランジスタ2を作製した。
直径4インチの無アルカリガラス基板10を用意し、スパッタリング法で厚さ50nmのCrを成膜した後、フォトリソ法によりゲート配線状にパターニングし、ゲート電極20とした。次にこの基板をPE−CVD装置にセットし、SiH4、N2O及びN2を導入して、厚さ150nmのゲート絶縁膜(SiO2膜)30を得た。
尚、本実施例においてはゲート絶縁膜成膜後1時間以内にスパッタリング装置に装着して基板に成膜することで、基板表面の物理吸着水が増加するのを抑制した。
次に、酸化物半導体膜をフォトリソグラフィ法により半導体領域の形に加工し、半導体層40(チャネル層)とした。
ここでエッチング時のダメージを軽減させるため、電極のエッチング後にシュウ酸処理により表面をエッチングすることでダメージ層を取り除くか、N2Oプラズマで表面を酸化することでダメージを緩和した。行った処理を表4及び5に示す。
また、電界効果トランジスタ2について実施例1〜12と同様に評価した。実施例13〜24についての評価結果を表4及び5に示す。
表6に示す条件で積層構造を作製し、前述した方法で評価した。また、その積層構造を用いたTFTについても前述の方法で評価し、表6に示す。
尚、比較例3〜4では、絶縁膜成膜後1日大気下に放置した後、半導体層の成膜を行った。
比較例3では、半導体層が膜厚方向おいて、積層構造の面積の80%未満が単一の結晶粒で構成されていた。
特にディスプレイ周辺回路用途のトランジスタにおいては、交流電圧ストレスへの耐性が求められており、好適である。また、ディスプレイのスイッチングトランジスタ、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ディスプレイ用トランジスタ、パワー半導体用途に関しても同様である。
10 基板
20 ゲート電極
30 ゲート絶縁膜(絶縁体層)
40 半導体層
50 層間絶縁膜
60 ソース電極
62 ドレイン電極
70 保護絶縁膜層(パッシベーション膜)
72 コンタクトホール
Claims (29)
- 半導体層と絶縁体層からなる積層構造であって、前記半導体層は多結晶酸化物薄膜からなり、前記半導体層の結晶粒界が平面方向において1nm以上8nm以下の平均厚みである積層構造。
- 前記半導体層は、70%以上が結晶構造からなり、前記半導体層の平均結晶粒径が10nm以上27μm以下である請求項1記載の積層構造。
- 前記半導体層の表面の面積の80%以上の部分が、膜厚方向おいて単一の結晶粒で構成されている請求項1又は2記載の積層構造。
- 前記半導体層の結晶粒界の角度が、絶縁体層界面に対して、70°〜110°である請求項1〜3のいずれか記載の積層構造。
- 前記半導体層が、酸化インジウムを含む請求項1〜4のいずれか記載の積層構造。
- 前記半導体層が、酸化インジウムと1種類以上の添加元素の化合物を含む請求項1〜5のいずれか記載の積層構造。
- 前記添加元素が、Zn、Sn、Mg、Ca、Ga、Sb、Zr、Hf、Ge、Si、Ti、Mn、W、Mo、V、Cu、Ni、Co、Fe、Cr、Nb、Al、B、Sc、Y及びランタノイド類からなる群から選択される1以上の元素である請求項6記載の積層構造。
- 前記半導体層において、Gaの原子比が、全金属元素に対し、0以上0.2未満である請求項7記載の積層構造。
- 前記半導体層において、Znの原子比が、全金属元素に対し、0以上0.15未満である請求項7又は8記載の積層構造。
- 前記半導体層において、Snの原子比が、全金属元素に対し、0以上0.1未満である請求項7〜9のいずれか記載の積層構造。
- 前記半導体層において、Mg、Ca、Sb、Zr、Hf、Ge、Si、Ti、Mn、W、Mo、V、Cu、Ni、Co、Fe、Cr、Nb、Al、B、Sc、Y及びランタノイド類からなる群から選択される1種以上の元素であるXの原子比が0以上0.2未満である請求項7〜10のいずれか記載の積層構造。
- 前記元素Xが、Al、Ti、Si、Zr、Hf、Ca、Mg、Y及びランタノイド類からなる群から選択される1種以上である請求項11記載の積層構造。
- 前記元素Xが、Al、Ti、Zr、Mg、Y及びSmからなる群から選択される1種以上である請求項11記載の積層構造。
- 前記元素Xとして、Al、Ti、Mg及びSmからなる群から選択される1種以上である請求項11記載の積層構造。
- 前記半導体層の酸化インジウムが、ビックスバイト構造からなる請求項5〜14のいずれか記載の積層構造。
- 前記半導体層を構成するInの原子比が、全金属元素に対し、0.8以上1以下である請求項5〜15記載の積層構造。
- 絶縁体層を設け、
前記絶縁体層上に半導体層を成膜することで、積層体を形成し、
得られた積層体を加熱処理する、請求項1〜16いずれか記載の積層構造を製造する方法であって、
前記半導体層成膜直前の絶縁体層における物理吸着水が1×1014cm−2以上1×1017cm−2以下である積層構造の製造方法。 - 前記絶縁体層における水素濃度を1×1018atm/cm3以上1×1021atm/cm3以下とする請求項17記載の積層構造の製造方法。
- 前記絶縁体層を、1μm×1μmにおけるRrmsが1〜15.7Åの範囲となる様に設け、
前記積層体の加熱処理が150〜600℃である請求項17又は18記載の積層構造の製造方法。 - 前記半導体層の成膜を、背圧1×10−5Pa以下で行う請求項17〜19のいずれか記載の積層構造の製造方法。
- 前記半導体層の成膜の背圧測定時の水分圧が1×10−5Pa以下である請求項17〜20のいずれか記載の積層構造の製造方法。
- 前記半導体層の成膜の背圧測定時の一酸化炭素分圧が1×10−5Pa以下である請求項17〜21のいずれか記載の積層構造の製造方法。
- 前記半導体層の成膜を、希ガスと、水、水素ガス、酸素ガス及び亜酸化窒素ガスからなる群から選択される1以上のガスとを含有する混合気体の雰囲気下において行う請求項17〜22のいずれか記載の積層構造の製造方法。
- 真空チャンバー内に設置したターゲットに対向する位置に、基板を順次搬送し、ターゲットに対してパルス電圧を印加しながら、ターゲット上にプラズマを発生させて基板表面に成膜するスパッタリング方法で、前記半導体層の成膜を行う請求項17〜23のいずれか記載の積層構造の製造方法。
- 前記パルス電圧を印加する際の電力のデューティ比が50%以上80%以下である請求項24記載の積層構造の製造方法。
- 前記パルス電圧の周波数が1kHz〜200kHzである請求項24又は25記載の積層構造の製造方法。
- 請求項1〜16のいずれか記載の積層構造を用いた薄膜トランジスタ。
- 請求項27記載の薄膜トランジスタを備える電子機器。
- 液晶ディスプレイ用パネル、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ用パネル、MEMS、RFIDタグ、X線ディテクタパネル、指紋センサ、フォトセンサ、又はパワー半導体である請求項28記載の電子機器。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017098369A1 (en) * | 2015-12-11 | 2017-06-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Oxide semiconductor film, semiconductor device, and display device |
WO2017115222A1 (en) * | 2015-12-29 | 2017-07-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Metal oxide film and semiconductor device |
WO2017150115A1 (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-08 | 住友金属鉱山株式会社 | 酸化物半導体薄膜、酸化物半導体薄膜の製造方法及びそれを用いた薄膜トランジスタ |
JP2017168572A (ja) * | 2016-03-15 | 2017-09-21 | 住友金属鉱山株式会社 | 酸化物半導体薄膜、酸化物焼結体、薄膜トランジスタ及び表示装置 |
WO2023234165A1 (ja) * | 2022-05-31 | 2023-12-07 | 出光興産株式会社 | 積層構造及び薄膜トランジスタ |
WO2023234164A1 (ja) * | 2022-05-31 | 2023-12-07 | 出光興産株式会社 | 積層構造及び薄膜トランジスタ |
WO2023234163A1 (ja) * | 2022-05-31 | 2023-12-07 | 出光興産株式会社 | 積層構造及び薄膜トランジスタ |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008050654A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Bridgestone Corp | p型In−Ga−Zn−O膜の成膜方法 |
WO2008096768A1 (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-14 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 薄膜トランジスタの製造方法、薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタ基板及び画像表示装置と、画像表示装置と、半導体デバイス |
WO2008114588A1 (ja) * | 2007-03-20 | 2008-09-25 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | スパッタリングターゲット、酸化物半導体膜及び半導体デバイス |
WO2008117739A1 (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 半導体デバイス、多結晶半導体薄膜、多結晶半導体薄膜の製造方法、電界効果型トランジスタ、及び、電界効果型トランジスタの製造方法 |
WO2008126492A1 (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 電界効果型トランジスタ及び電界効果型トランジスタの製造方法 |
JP2009267399A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-11-12 | Fujifilm Corp | 半導体装置,半導体装置の製造方法,表示装置及び表示装置の製造方法 |
JP2012094757A (ja) * | 2010-10-28 | 2012-05-17 | Fujifilm Corp | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP2012169344A (ja) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Sony Corp | 薄膜トランジスタならびに表示装置および電子機器 |
JP2013016866A (ja) * | 2010-12-28 | 2013-01-24 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 酸化物半導体薄膜層を有する積層構造、積層構造の製造方法、薄膜トランジスタ及び表示装置 |
JP2013033934A (ja) * | 2011-05-25 | 2013-02-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 酸化物半導体膜の成膜方法、半導体装置および半導体装置の作製方法 |
JP2013038404A (ja) * | 2011-07-08 | 2013-02-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の作製方法 |
JP2013123045A (ja) * | 2011-11-11 | 2013-06-20 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JP2013138188A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-07-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の作製方法 |
JP2015046595A (ja) * | 2013-08-02 | 2015-03-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 酸化物半導体膜の作製方法 |
-
2014
- 2014-01-29 JP JP2014014707A patent/JP6178733B2/ja active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008050654A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Bridgestone Corp | p型In−Ga−Zn−O膜の成膜方法 |
WO2008096768A1 (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-14 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 薄膜トランジスタの製造方法、薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタ基板及び画像表示装置と、画像表示装置と、半導体デバイス |
WO2008114588A1 (ja) * | 2007-03-20 | 2008-09-25 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | スパッタリングターゲット、酸化物半導体膜及び半導体デバイス |
WO2008117739A1 (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 半導体デバイス、多結晶半導体薄膜、多結晶半導体薄膜の製造方法、電界効果型トランジスタ、及び、電界効果型トランジスタの製造方法 |
WO2008126492A1 (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 電界効果型トランジスタ及び電界効果型トランジスタの製造方法 |
JP2009267399A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-11-12 | Fujifilm Corp | 半導体装置,半導体装置の製造方法,表示装置及び表示装置の製造方法 |
JP2012094757A (ja) * | 2010-10-28 | 2012-05-17 | Fujifilm Corp | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP2013016866A (ja) * | 2010-12-28 | 2013-01-24 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 酸化物半導体薄膜層を有する積層構造、積層構造の製造方法、薄膜トランジスタ及び表示装置 |
JP2012169344A (ja) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Sony Corp | 薄膜トランジスタならびに表示装置および電子機器 |
JP2013033934A (ja) * | 2011-05-25 | 2013-02-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 酸化物半導体膜の成膜方法、半導体装置および半導体装置の作製方法 |
JP2013038404A (ja) * | 2011-07-08 | 2013-02-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の作製方法 |
JP2013123045A (ja) * | 2011-11-11 | 2013-06-20 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JP2013138188A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-07-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の作製方法 |
JP2015046595A (ja) * | 2013-08-02 | 2015-03-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 酸化物半導体膜の作製方法 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017098369A1 (en) * | 2015-12-11 | 2017-06-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Oxide semiconductor film, semiconductor device, and display device |
JP2017112369A (ja) * | 2015-12-11 | 2017-06-22 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 酸化物半導体膜、半導体装置、または表示装置 |
JP2021180335A (ja) * | 2015-12-11 | 2021-11-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US11063125B2 (en) | 2015-12-29 | 2021-07-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Metal oxide film and semiconductor device |
CN108473334A (zh) * | 2015-12-29 | 2018-08-31 | 株式会社半导体能源研究所 | 金属氧化物膜以及半导体装置 |
US10096684B2 (en) | 2015-12-29 | 2018-10-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Metal oxide film and semiconductor device |
US10535742B2 (en) | 2015-12-29 | 2020-01-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Metal oxide film and semiconductor device |
CN108473334B (zh) * | 2015-12-29 | 2021-03-12 | 株式会社半导体能源研究所 | 金属氧化物膜以及半导体装置 |
WO2017115222A1 (en) * | 2015-12-29 | 2017-07-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Metal oxide film and semiconductor device |
US11757007B2 (en) | 2015-12-29 | 2023-09-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Metal oxide film and semiconductor device |
WO2017150115A1 (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-08 | 住友金属鉱山株式会社 | 酸化物半導体薄膜、酸化物半導体薄膜の製造方法及びそれを用いた薄膜トランジスタ |
JP2017168572A (ja) * | 2016-03-15 | 2017-09-21 | 住友金属鉱山株式会社 | 酸化物半導体薄膜、酸化物焼結体、薄膜トランジスタ及び表示装置 |
WO2023234165A1 (ja) * | 2022-05-31 | 2023-12-07 | 出光興産株式会社 | 積層構造及び薄膜トランジスタ |
WO2023234164A1 (ja) * | 2022-05-31 | 2023-12-07 | 出光興産株式会社 | 積層構造及び薄膜トランジスタ |
WO2023234163A1 (ja) * | 2022-05-31 | 2023-12-07 | 出光興産株式会社 | 積層構造及び薄膜トランジスタ |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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