JP6142924B2 - チューナブルフィルタ - Google Patents
チューナブルフィルタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6142924B2 JP6142924B2 JP2015532770A JP2015532770A JP6142924B2 JP 6142924 B2 JP6142924 B2 JP 6142924B2 JP 2015532770 A JP2015532770 A JP 2015532770A JP 2015532770 A JP2015532770 A JP 2015532770A JP 6142924 B2 JP6142924 B2 JP 6142924B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric resonator
- inductance
- tunable filter
- parallel
- series
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 claims description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 27
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 description 26
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 22
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 17
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 17
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 101710178035 Chorismate synthase 2 Proteins 0.000 description 1
- 101710152694 Cysteine synthase 2 Proteins 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02559—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of lithium niobate or lithium-tantalate substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/545—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material including active elements
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H2210/00—Indexing scheme relating to details of tunable filters
- H03H2210/02—Variable filter component
- H03H2210/025—Capacitor
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/1452—Means for weighting by finger overlap length, apodisation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
φが−27°〜+27°。
ψが−47°〜+47°。
本明細書において、基板の切断面と弾性波の伝搬方向を表現するオイラー角(φ,θ,ψ)は、文献「弾性波素子技術ハンドブック」(日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会、第1版第1刷、平成3年11月30日発行、549頁)記載の右手系オイラー角を用いた。すなわち、Li2B4O7の結晶軸X、Y、Zに対し、Z軸を軸としてX軸を反時計廻りにφ回転しXa軸を得る。次に、Xa軸を軸としてZ軸を反時計廻りにθ回転しZ’軸を得る。Xa軸を含み、Z’軸を法線とする面を基板の切断面とした。そして、Z’軸を軸としてXa軸を反時計廻りにψ回転したX’軸方向を弾性波の伝搬方向とした。
また、オイラー角の初期値として与えるLi2B4O7の結晶軸X、Y、Zは、Z軸をc軸と平行とし、X軸を等価な3方向のa軸のうち任意の一つと平行とし、Y軸はX軸とZ軸を含む面の法線方向とする。
2…入力端子
3…出力端子
4…直列腕
5…グラウンド端子
6…並列腕
7…第1の共振回路
8…第2の共振回路
9…第1の可変共振回路
10…第2の可変共振回路
12…LiNbO3基板
13…IDT電極
14…第1の電極指
15…第2の電極指
16,17…反射器
CP1,CP2…第1,第2の並列可変キャパシタンス
CS1,CS2…第1,第2の直列可変キャパシタンス
LS1,LS2…第1,第2の直列インダクタンス
LP1,LP2…第1,第2の並列インダクタンス
RS1,RS2…第1,第2の圧電共振子
Claims (11)
- 圧電共振子と、
前記圧電共振子に接続された帯域拡張用インダクタンスと、
前記圧電共振子に接続された可変キャパシタンスと、を備え、
ラブ波を利用しており、
前記圧電共振子が、LiNbO3基板と、前記LiNbO3基板上に設けられたIDT電極とを有し、
通過帯域および減衰域が、前記LiNbO3基板を伝搬する遅い横波の音速を前記IDT電極の周期で定まる波長により除算して得られた値よりも低周波域にあり、
前記IDT電極の厚みをH(λ)、該IDT電極の密度PのPtの密度P Pt に対する比P/P Pt をAとしたときに、オイラー角(φ,θ,ψ)において、
θが−64960×(H/A) 3 +19831×(H/A) 2 −2068.4×H/A+169.7−10°…(式3)から−64960×(H/A) 3 +19831×(H/A) 2 −2068.4×(H/A)+169.7+6°…(式4)の範囲にあり、
φが−27°〜+27°の範囲にあり、ψが−47°〜+47°の範囲にある、チューナブルフィルタ。 - 入力端子と、
出力端子とを有し、
前記圧電共振子が、前記入力端子と前記出力端子とを結ぶ直列腕に設けられており、弾性波共振子からなる第1の圧電共振子と、前記直列腕とグラウンド電位とを結ぶ並列腕に設けられており、弾性波共振子からなる第2の圧電共振子とを有し、
前記帯域拡張用インダクタンスが、前記第1の圧電共振子に接続されており、前記第1の圧電共振子の比帯域を広げる第1のインダクタンスと、前記第2の圧電共振子に接続されており、前記第2の圧電共振子の比帯域を広げる第2のインダクタンスとを有し、前記可変キャパシタが、前記第1の圧電共振子に接続されており、前記第1の圧電共振子及び前記第1のインダクタンスと共に第1の可変共振回路を構成している第1の可変キャパシタンスと、前記第2の圧電共振子及び前記第2のインダクタンスと共に第2の可変共振回路を構成している第2の可変キャパシタンスとを有する、請求項1に記載のチューナブルフィルタ。 - 前記IDT電極が、Pt膜からなり、前記Pt膜の膜厚をH(λ)、前記LiNbO3基板のオイラー角を(φ,θ,ψ)としたときに、θが−64960×H3+19831×H2−2068.4×H+169.7−10°…(式1)から−64960×H3+19831×H2−2068.4×H+169.7+6°…(式2)の範囲にあり、φが−27°〜+27°の範囲にあり、ψが−47°〜+47°の範囲にある、請求項1または2に記載のチューナブルフィルタ。
- 前記Pt膜の厚みHが、0.023λ以上である、請求項3に記載のチューナブルフィルタ。
- 前記第1のインダクタンスが、前記第1の圧電共振子に並列に接続されている第1の並列インダクタンスを有する、請求項2に記載のチューナブルフィルタ。
- 前記第1のインダクタンスが、前記第1の圧電共振子に直列に接続されている第1の直列インダクタンスを有する、請求項2または5に記載のチューナブルフィルタ。
- 前記第2のインダクタンスが、前記第2の圧電共振子に直列に接続されている第2の直列インダクタンスを有する、請求項2に記載のチューナブルフィルタ。
- 前記第2のインダクタンスが、前記第2の圧電共振子に並列に接続されている第2の並列インダクタンスを有する、請求項2または7に記載のチューナブルフィルタ。
- 前記第1の可変キャパシタンスが、前記第1の圧電共振子に直列に接続されている第1の直列可変キャパシタンスと、前記第1の圧電共振子に並列に接続されている第1の並列可変キャパシタンスとのうち少なくとも一方を有する、請求項2,5〜8のいずれか1項に記載のチューナブルフィルタ。
- 前記第2の可変キャパシタンスが、前記第2の圧電共振子に直列に接続されている第2の直列可変キャパシタンスと、前記第2の圧電共振子に並列に接続されている第2の並列可変キャパシタンスとのうち少なくとも一方を有する、請求項2,5〜9のいずれか1項に記載のチューナブルフィルタ。
- 前記第1,第2の圧電共振子が、同一のLiNbO3基板上に構成されている、請求項2,5〜10のいずれか1項に記載のチューナブルフィルタ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013171387 | 2013-08-21 | ||
JP2013171387 | 2013-08-21 | ||
PCT/JP2014/069078 WO2015025651A1 (ja) | 2013-08-21 | 2014-07-17 | チューナブルフィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015025651A1 JPWO2015025651A1 (ja) | 2017-03-02 |
JP6142924B2 true JP6142924B2 (ja) | 2017-06-07 |
Family
ID=52483433
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015532770A Active JP6142924B2 (ja) | 2013-08-21 | 2014-07-17 | チューナブルフィルタ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9882547B2 (ja) |
JP (1) | JP6142924B2 (ja) |
CN (1) | CN105474541B (ja) |
WO (1) | WO2015025651A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9041484B2 (en) * | 2010-12-10 | 2015-05-26 | Peregrine Semiconductor Corporation | Method, system, and apparatus for resonator circuits and modulating resonators |
US9300038B2 (en) | 2010-12-10 | 2016-03-29 | Peregrine Semiconductor Corporation | Method, system, and apparatus for resonator circuits and modulating resonators |
DE112014005637B4 (de) * | 2013-12-13 | 2020-10-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Frequenzvariables Filter |
EP3068049B1 (en) * | 2015-03-12 | 2018-06-13 | Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd. | Accoustic wave elements, antenna duplexers and electronic devices |
JP6638214B2 (ja) * | 2015-05-14 | 2020-01-29 | 株式会社村田製作所 | 可変フィルタ回路、および、高周波モジュール |
JP6164390B2 (ja) * | 2015-07-06 | 2017-07-19 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール |
KR102134087B1 (ko) | 2016-06-14 | 2020-07-14 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 멀티플렉서, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
WO2018012274A1 (ja) * | 2016-07-15 | 2018-01-18 | 株式会社村田製作所 | ラダー型周波数可変フィルタ、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路、および、通信端末 |
KR102291606B1 (ko) * | 2017-09-07 | 2021-08-19 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 |
KR102066959B1 (ko) * | 2018-07-17 | 2020-01-16 | 삼성전기주식회사 | 필터 |
JP2020014104A (ja) * | 2018-07-18 | 2020-01-23 | 株式会社村田製作所 | フィルタおよびマルチプレクサ |
CN113228509B (zh) * | 2018-12-25 | 2024-04-16 | 株式会社村田制作所 | 滤波器装置 |
US11996820B2 (en) * | 2020-01-24 | 2024-05-28 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Fifth-generation (5G)-focused piezoelectric resonators and filters |
CN111211754B (zh) * | 2020-02-12 | 2021-02-26 | 诺思(天津)微***有限责任公司 | 调整fbar寄生分量的方法和滤波器、多工器、通信设备 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69426787T2 (de) * | 1993-11-18 | 2001-08-30 | Digimarc Corp | Video-Kopiersteuerung mit verschiedenen eingebettenen Signalen |
JPWO2006137248A1 (ja) * | 2005-06-21 | 2009-01-08 | 株式会社村田製作所 | Saw分波器 |
US20070159274A1 (en) | 2005-12-26 | 2007-07-12 | Tatsunori Onzuka | SAW filter and portable terminal |
JP2007202136A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-08-09 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Sawフィルタ及び携帯端末 |
JP2009130831A (ja) | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Samsung Electronics Co Ltd | チューナブルフィルタ |
KR101350244B1 (ko) | 2010-01-28 | 2014-01-13 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 튜너블 필터 |
WO2012114930A1 (ja) * | 2011-02-25 | 2012-08-30 | 株式会社村田製作所 | チューナブルフィルタ及びその製造方法 |
-
2014
- 2014-07-17 CN CN201480046102.5A patent/CN105474541B/zh active Active
- 2014-07-17 JP JP2015532770A patent/JP6142924B2/ja active Active
- 2014-07-17 WO PCT/JP2014/069078 patent/WO2015025651A1/ja active Application Filing
-
2016
- 2016-01-29 US US15/009,998 patent/US9882547B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105474541A (zh) | 2016-04-06 |
CN105474541B (zh) | 2018-01-12 |
WO2015025651A1 (ja) | 2015-02-26 |
US20160149556A1 (en) | 2016-05-26 |
JPWO2015025651A1 (ja) | 2017-03-02 |
US9882547B2 (en) | 2018-01-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6142924B2 (ja) | チューナブルフィルタ | |
JP5720797B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP5182459B2 (ja) | ラダー型弾性波フィルタ及びこれを用いたアンテナ共用器 | |
JP6388029B2 (ja) | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ | |
JP5942740B2 (ja) | ラダー型フィルタ及び分波器 | |
JP5569621B2 (ja) | アンテナ共用器およびラダー型フィルタとそれを搭載した電子機器 | |
JP2018191112A (ja) | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP4407696B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP6394710B2 (ja) | 複合フィルタ装置 | |
WO2009119007A1 (ja) | 弾性波フィルタ装置 | |
JP2013225945A (ja) | チューナブルフィルタ | |
JPWO2010058544A1 (ja) | チューナブルフィルタ | |
WO2021002321A1 (ja) | 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP4569713B2 (ja) | 弾性波共振器、弾性波フィルタおよびこれを用いたアンテナ共用器 | |
JP7363952B2 (ja) | 弾性波フィルタ | |
JPWO2010131450A1 (ja) | アンテナ共用器 | |
JPWO2019003909A1 (ja) | 弾性波装置及び複合フィルタ装置 | |
WO2022158470A1 (ja) | 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP5810113B2 (ja) | 弾性波共振器とこれを用いた弾性波フィルタおよびアンテナ共用器 | |
JP2018182615A (ja) | 弾性波装置 | |
JP6658867B2 (ja) | 複合フィルタ装置 | |
WO2021015187A1 (ja) | 弾性波フィルタ | |
WO2010125934A1 (ja) | 弾性波装置 | |
WO2021045031A1 (ja) | 弾性波フィルタ | |
WO2022091582A1 (ja) | 弾性波フィルタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170321 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170411 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170424 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6142924 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |