JP2015116620A - 切削ブレードの形状検出方法 - Google Patents
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 250
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title abstract description 18
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】切削ブレードの形状検出方法は、第一の切り込み深さH1まで切り込んだ第一領域5aと第二の切り込み深さH2まで切り込んだ第二領域5bとを含む切削痕4を板状物1aに形成する切削痕形成ステップと、撮像手段16により該切削痕4の第一幅6a及び第二幅6bとを検出して切削ブレード13の形状を検出する形状検出ステップとを備えているため、切削ブレード13の第一の厚み15aが転写された第一幅6aと切削ブレード13の第二の厚み15bが転写された第二幅6bとに基づき板状物1aの上方から撮像手段16で撮像するだけで容易に切削ブレード13の形状を検出できる。
【選択図】図2
Description
図1及び図2に示すように、切削手段10によって板状物1aの表面2に切削を施して切削痕を形成する。板状物1aは、被加工物の一例であり、切削ブレードの形状検出用の板状部材である。この板状物1aは、例えば、シリコン、カーボンによって形成されている。板状物の形状は、特に限定されない。なお、デバイスが形成された板状ワークを用いて、デバイスが形成されていない不要領域に切削痕を形成するようにしてもよい。
なお、チョッパートラバースカットにより切削痕を形成してもよい。チョッパートラバースカットとは、被加工物1aの上方に位置付けた切削ブレード13を所定高さへと下降させることで被加工物1aに切り込み、次いで被加工物1aをX軸方向に移動させることで切削ブレード13にて被加工物1aをX軸方向に切削した後、被加工物1aを上方に退避させることで被加工物1aにライン状の切削痕を形成する加工である(被加工物の外周縁は切りきらない)。
切削痕形成ステップを実施した後、図4に示すように、撮像手段16によって上方から切削痕4を撮像して切削ブレード13の形状を検出する。上記チョッパーカットによって形成された切削痕7に基づいて切削ブレード13の形状を検出することもできるが、以下では、トラバースカットによって形成された切削痕4に基づいて切削ブレード13を検出する場合について説明する。
形状検出ステップを実施した後、例えば、第一幅6aの値と第二幅6bの値とが等しくなく、撮像手段16によって取得された切削痕4の撮像データをもとに切削ブレード13をドレスする必要があると判断したら、図6に示すように、ドレスに使用する板状部材20に対して切削ブレード13を切り込ませてドレスを実施する。具体的には、スピンドル11が回転し、所定の回転速度で切削ブレード13を例えば矢印A方向に回転させながら、切削ブレード13を板状部材20の表面20aに接近する方向に降下させ、切削ブレード13を該表面20aから切り込ませて溝21を形成する。このようにして切削ブレード13にドレスを施して、厚みを均一として先端形状をフラットな状態にする。
また、形状検出ステップを実施した後、図4で示した記憶部17に記憶された切削痕4の第一幅6aの値と第二幅6bの値との差が、あらかじめ記憶部17に記憶されたしきい値に達していると認識された場合には、切削ブレード13の先端形状が磨耗していると判断して適宜新たな切削ブレードと交換する。
5b:第二領域 6a:第一幅 6b:第二幅 7:切削痕 8a:第一領域
8b:第二領域 9a:第一幅 9b:第二幅 10:切削手段 11:スピンドル
12:スピンドルハウジング 13:切削ブレード 14:刃先 15a:第一の厚み
15b:第二の厚み 16:撮像手段 17:記億部
20:板状部材 20a:表面 21:溝
Claims (1)
- 切削ブレードの形状検出方法であって、
板状物に対して切削ブレードを切り込ませ、少なくとも第一の切り込み深さまで切り込んだ第一領域と、該第一の切り込み深さと異なる深さの第二の切り込み深さまで切り込んだ第二領域とを含む切削痕を板状物に形成する切削痕形成ステップと、
該切削痕形成ステップを実施した後、撮像手段で該切削痕を撮像して該第一領域の該切削痕の第一幅を検出するとともに該第二領域の該切削痕の第二幅を検出することにより、該切削ブレードの先端から径方向に該第一の切り込み深さ及び該第二の切り込み深さ向かった位置における該切削ブレードの厚みがそれぞれ該第一幅及び該第二幅であると該切削ブレードの形状を検出する形状検出ステップと、を備えた切削ブレードの形状検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013259983A JP6259653B2 (ja) | 2013-12-17 | 2013-12-17 | 切削ブレードの形状検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013259983A JP6259653B2 (ja) | 2013-12-17 | 2013-12-17 | 切削ブレードの形状検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015116620A true JP2015116620A (ja) | 2015-06-25 |
JP6259653B2 JP6259653B2 (ja) | 2018-01-10 |
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ID=53529843
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013259983A Active JP6259653B2 (ja) | 2013-12-17 | 2013-12-17 | 切削ブレードの形状検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6259653B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018060912A (ja) * | 2016-10-05 | 2018-04-12 | 株式会社ディスコ | 加工方法 |
JP2018201043A (ja) * | 2018-09-10 | 2018-12-20 | 株式会社東京精密 | ブレード診断方法及びブレード診断装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06252260A (ja) * | 1993-02-23 | 1994-09-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング溝の深さ測定方法及びダイシング装置 |
JP2012227487A (ja) * | 2011-04-22 | 2012-11-15 | Stanley Electric Co Ltd | 半導体製造装置 |
JP2013059833A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Disco Corp | 切削ブレード先端形状検出方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06252260A (ja) * | 1993-02-23 | 1994-09-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング溝の深さ測定方法及びダイシング装置 |
JP2012227487A (ja) * | 2011-04-22 | 2012-11-15 | Stanley Electric Co Ltd | 半導体製造装置 |
JP2013059833A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Disco Corp | 切削ブレード先端形状検出方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018060912A (ja) * | 2016-10-05 | 2018-04-12 | 株式会社ディスコ | 加工方法 |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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