JP7080552B2 - 切削ブレードのドレッシング方法 - Google Patents
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Description
図3(A)に、第1切削ステップの様子を示す。第1切削ステップにおいては、スピンドル4を回転させながら、切削ブレード6がドレッシングボード11の表面に切り込む高さまで切削ユニット2を降下させる。その後、チャックテーブル8を、保持面8aと平行で、スピンドル4の軸心と垂直な方向に移動させる加工送りをすることにより、ドレッシングボード11に切削溝を形成する。
次に、第1切削ステップに続いて、第2切削ステップを行う。第2切削ステップでは、第1切削ステップでドレッシングボード11に形成された切削溝11aをなぞって、切削を行う。
好ましくは、第2切削ステップに続いて、判定ステップを行う。判定ステップは、切削ブレード6の先端の領域6aの形状に基づいて、切削ブレード6の整形を続行するか否かを判定するステップである。
次に、上記の第1切削ステップ、第2切削ステップ及び判定ステップを含む一連のドレッシング工程の具体例を説明する。図7は、ドレッシング工程の例を説明するフローチャートである。
4 スピンドル
6 切削ブレード
6a 先端の領域
6b 丸みの領域
8 チャックテーブル
8a 保持面
10 クランプ
11 ドレッシングボード
11a 切削溝
11b 溝底
13 ダイシングテープ
15 フレーム
Claims (4)
- 板状のドレッシングボードを、スピンドルに装着した切削ブレードで切削し、該切削ブレードの先端の丸みの領域を低減するように該切削ブレードを整形する切削ブレードのドレッシング方法であって、
チャックテーブルの保持面に保持された該ドレッシングボードに、該丸みの領域の、該切削ブレードの半径方向における長さを超えない切り込み深さで、該切削ブレードを切り込ませ、該チャックテーブルと該切削ブレードとを、該保持面と平行で該スピンドルの軸心と垂直な方向に相対的に移動させ、該ドレッシングボードに切削溝を形成する第1切削ステップと、
該第1切削ステップで形成した該切削溝の溝底に、該丸みの領域の、該切削ブレードの半径方向における長さを超えない切り込み深さで、更に該切削ブレードを切り込ませ、該チャックテーブルと該切削ブレードとを、該保持面と平行で該スピンドルの軸心と垂直な方向に相対的に移動させ、該切削溝をなぞって該溝底に対し切削を実施する第2切削ステップと、を備えることを特徴とする切削ブレードのドレッシング方法。 - 該第1切削ステップ及び該第2切削ステップにおける該切削ブレードの切り込み深さは、1μm以上50μm以下であることを特徴とする請求項1記載の切削ブレードのドレッシング方法。
- 該第2切削ステップを実施した該切削ブレードの該丸みの領域の形状を測定し、該丸みの領域の形状が所定の条件を満たす場合は該切削ブレードの整形を終了すると判定し、該丸みの領域の形状が該所定の条件を満たさない場合は該第1切削ステップ又は該第2切削ステップを実施すると判定する判定ステップを更に備えることを特徴とする請求項1又は2記載の切削ブレードのドレッシング方法。
- 該判定ステップでは、該丸みの領域の長さ又は該丸みの領域が有する曲面の曲率半径が所定の値以下であることを該条件として判定を行うことを特徴とする請求項3記載の切削ブレードのドレッシング方法。
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