JP2015083527A - ガラス積層体、光学結像部材、ガラス積層体の製造方法及び光学結像部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】コストアップを招来させることなく、反射面の間隔を狭小化、且つ均一化し得る積層体を創案することにより、高解像に結像し得る光学結像部材を得る。【解決手段】本発明のガラス積層体は、厚み５００μｍ以下のガラスフィルムを積層させたガラス積層体であって、ガラスフィルム間に反射膜を有することを特徴とする。【選択図】図１

Description

本発明は、ガラス積層体、光学結像部材、ガラス積層体の製造方法及び光学結像部材の製造方法に関し、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイから発生される光を中空に結像するためのガラス積層体、光学結像部材、ガラス積層体の製造方法及び光学結像部材の製造方法に関する。

周知の通り、省スペース化の観点から、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイが普及している。

また、フラットパネルディスプレイから発生される光を中空に結像する技術開発が進んでいる。特許文献１には、隣接する反射面が互いに向かい合うように、複数本の両面反射帯を一定間隔で配置してなる光学結像部材が提案されている。しかし、特許文献１に記載の光学結像部材には、散乱光が通過した後は、必ずしも一点に収束しないという問題がある。

特開昭５８−２１７０２号公報

上記問題を解決するために、一方の表面が反射面である透明板を多数枚積層した後、各反射面に対して垂直な切断面が形成されるように切断して、一対の積層体を作製した上で、一方の積層体に形成されている反射面に対して、他方の積層体に形成されている反射面が直交するように、向かい合わせに密着させた光学結像部材が検討されている。この光学結像部材では、透明板の厚みが反射面の間隔に相当する。

上記の光学結像部材の場合、高解像度の結像を得るためには、透明板の厚みを均一に薄くする必要があるが、このような透明板を作製することは困難であり、コストアップの要因になっていた。

本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、コストアップを招来させることなく、反射面の間隔を狭小化、且つ均一化し得る積層体を創案することにより、高解像に結像し得る光学結像部材を得ることである。

本発明者は、鋭意努力の結果、ガラスフィルム間に反射膜を介在させて、これを積層一体化させたガラス積層体を光学結像部材に適用することにより、上記技術的課題を解決し得ることを見出し、本発明として提案するものである。すなわち、本発明のガラス積層体は、厚み５００μｍ以下のガラスフィルムを積層させたガラス積層体であって、ガラスフィルム間に反射膜を有することを特徴とする。

本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムの厚みが５００μｍ以下である。このようにすれば、反射膜の間隔が狭小化されるため、高解像度の結像を得易くなる。更に、ガラスフィルムは、表面平滑性を高め易く、厚みのばらつきを低減し得るため、その表面に反射膜を精度良く形成し得ると共に、積層一体化を適正に行うことができる。これにより、コストアップを招来させることなく、反射面の間隔を狭小化、且つ均一化することができる。

第二に、本発明のガラス積層体は、短冊状のガラスフィルムが積層されていることが好ましい。このようにすれば、光学結像部材に適用し易くなる。ここで、「短冊状のガラスフィルム」とは、ガラスフィルムの長さ寸法／幅寸法の比率が５以上のものを指す。なお、「長さ寸法」は、縦寸法と横寸法の内、長い方を指し、「幅寸法」は、縦寸法と横寸法の内、短い方を指す。

第三に、本発明のガラス積層体は、少なくとも一方の表面に反射膜が形成されたガラスフィルムが積層されていることが好ましい。

第四に、本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムの表面の表面粗さＲａが１００Å以下であることが好ましい。ここで、「表面粗さＲａ」は、ＪＩＳ Ｂ０６０１：２００１に準拠した方法で測定した値を指す。

第五に、本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムのうねりが１μｍ以下であることが好ましい。ここで、「うねり」は、触針式の表面形状測定装置を用いて、ＪＩＳ Ｂ０６０１：２００１に記載のＷＣＡ（ろ波中心線うねり）を測定した値を指し、この測定は、ＳＥＭＩ ＳＴＤ Ｄ１５−１２９６「ＦＰＤガラス基板の表面うねりの測定方法」に準拠した方法で測定し、測定時のカットオフは０．８〜８ｍｍ、ガラスフィルムの引き出し方向に対して垂直な方向に３００ｍｍの長さで測定した値を指す。

第六に、本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みの差が２０μｍ以下であることが好ましい。ここで、「ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みの差」は、レーザー式厚み測定装置を用いて、ガラスフィルムの任意の一辺に厚み方向からレーザーを走査することにより、ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みを測定した上で、最大厚みの値から最小厚みの値を減じた値を指す。

第七に、本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムが未研磨の表面を有することが好ましい。

第八に、本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムの長さ寸法が５００ｍｍ以下であることが好ましい。

第九に、本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムがオーバーフローダウンドロー法で成形されてなることが好ましい。

第十に、本発明のガラス積層体は、ガラスフィルム間に接着層を有し、該接着層の厚みが１００μｍ以下であることが好ましい。接着層を設けると、ガラスフィルムを積層一体化し易くなる。また、接着層の厚みを低減すると、反射膜の間隔を狭小化し易くなる。

第十一に、本発明のガラス積層体は、反射膜がＡｌ又はＡｇであることが好ましい。これらの反射膜は、高解像度の結像を得る観点から有利である。

第十二に、本発明の光学結像部材は、一対のガラス積層体を備える光学結像部材であって、一対のガラス積層体のそれぞれが、上記何れかのガラス積層体であり、且つ一対のガラス積層体が、反射膜が形成された面同士が直交するように配置されていることを特徴とする。

第十三に、本発明の光学結像部材は、一対のガラス積層体の積層外表面（通常、ガラスフィルムの端面側になる）にガラス基板が配置されていることが好ましい。

第十四に、本発明の光学結像部材は、ガラス基板の外側表面に反射防止膜が形成されていることが好ましい。

第十五に、本発明のガラス積層体の製造方法は、厚み５００μｍ以下のガラスフィルムの少なくとも一方の表面に反射膜が形成された反射膜付きガラスフィルムを用意する工程と、反射膜付きガラスフィルムを積層一体化して、ガラス積層体を得る工程と、を備えることを特徴とする。

第十六に、本発明のガラス積層体の製造方法は、反射膜付きガラスフィルムを接着剤により積層一体化することが好ましい。

第十七に、本発明のガラス積層体の製造方法は、反射膜付きガラスフィルムに押圧力を付与して、積層一体化することが好ましい。

第十八に、本発明のガラス積層体の製造方法は、反射膜付きガラスフィルムが積層一体化されたガラス積層体に対して、反射膜が形成された面に直交する方向（通常、ガラスフィルムの厚み方向）に短冊状に切断する工程を有することを特徴とする。

第十九に、本発明のガラス積層体の製造方法は、ガラス積層体をワイヤーソーで切断することが好ましい。

第二十に、本発明のガラス積層体の製造方法は、ワイヤーソーをガラス積層体のガラスフィルムの表面に対して４５°以下の角度に規制した状態で切断することが好ましい。

第二十一に、本発明の光学結像部材の製造方法は、反射膜付きガラスフィルムが積層一体化されたガラス積層体を一対用意する工程と、一対のガラス積層体を反射膜が形成された面同士が直交するように配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とする。

第二十二に、本発明の光学結像部材の製造方法は、一対のガラス積層体が短冊状であることが好ましい。ここで、「短冊状のガラス積層体」とは、ガラスフィルムを基準にして、長さ寸法／幅寸法の比率が５以上のガラスフィルムが積層されたものを指す。

第二十三に、本発明の光学結像部材の製造方法は、更に、一対のガラス積層体の積層外表面にガラス基板を配置する工程を有することが好ましい。

第二十四に、本発明の光学結像部材の製造方法は、厚み５００μｍ以下のガラスフィルムの少なくとも一方の表面に反射膜を形成して、反射膜付きガラスフィルムを得る工程と、反射膜付きガラスフィルムを積層一体化して、ガラス積層体を得る工程と、一対のガラス積層体を反射膜が形成された面同士が直交するように配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とする。

第二十五に、本発明のガラスフィルムは、厚みが５００μｍ以下であり、且つ少なくとも一方の表面に反射膜が形成されていることを特徴とする。

第二十六に、本発明のガラスフィルムは、厚みが５００μｍ以下であり、厚み５００μｍ換算、波長３５０ｎｍにおける透過率が７０％以上であり、且つガラス積層体に用いることを特徴とする。なお、透過率は、市販の透過率測定装置で測定可能である。

本発明のガラス積層体の一例を示す概念斜視図である。 本発明のガラス積層体の一例を示す概念斜視図である。 本発明の光学結像部材の一例を示す概念斜視図である。 本発明の光学結像部材の一例を示す概念斜視図である。 反射膜付きガラスフィルムを積層一体化する方法の一例を示す概念断面図である。 ワイヤーソーにより大型のガラス積層体を短冊状に切断する方法の一例を示す概念説明図である。

本発明のガラス積層体において、ガラスフィルムの厚みは５００μｍ以下であり、好ましくは３００μｍ以下、２００μｍ以下、１００μｍ以下、９０μｍ以下、８０μｍ以下、７０μｍ以下、６０μｍ以下、５０μｍ以下、４０μｍ以下、３０μｍ以下、１〜２０μｍ、特に５〜１０μｍである。ガラスフィルムの厚みが薄い程、反射膜の間隔が狭小化されるため、高解像度の結像を得易くなる。

ガラスフィルムの表面の表面粗さＲａは、好ましくは１００Å以下、５０Å以下、１０Å以下、８Å以下、４Å以下、３Å以下、特に０．０１〜２Åである。ガラスフィルムの表面の表面粗さＲａが大き過ぎると、反射膜の間隔がばらつき易くなり、特にガラスフィルムを積層一体化した時に、反射膜の間隔のばらつきが増幅されて、高解像度の結像を得難くなる。更に、ガラスフィルムを積層する際に、空気を巻き込み易くなったり、オプティカルボンディングし難くなる。

ガラスフィルムの端面の表面粗さＲａは、好ましくは１００Å以下、５０Å以下、１０Å以下、８Å以下、４Å以下、３Å以下、特に０．１〜２Åである。ガラスフィルムの端面の表面粗さＲａが大き過ぎると、ガラス積層体が破損し易くなる。

ガラスフィルムのうねりは、好ましくは１μｍ以下、０．０８μｍ以下、０．０５μｍ以下、０．０３μｍ以下、０．０２μｍ以下、特に０．０１μｍ以下である。ガラスフィルムのうねりが大き過ぎると、反射膜の間隔がばらつき易くなり、特にガラスフィルムを積層一体化した時に、反射膜の間隔のばらつきが増幅されて、高解像度の結像を得難くなる。更に、ガラスフィルムを積層する際に、空気を巻き込み易くなったり、オプティカルボンディングし難くなる。

ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みの差は、好ましくは１０μｍ以下、５μｍ以下、２μｍ以下、特に０．０１〜１μｍである。この差が大き過ぎると、反射膜の間隔がばらつき易くなり、特にガラスフィルムを積層一体化した時に、反射膜の間隔のばらつきが増幅されて、高解像度の結像を得難くなる。更に、ガラスフィルムを積層する際に、空気を巻き込み易くなったり、オプティカルボンディングし難くなる。

ガラスフィルムは、未研磨の表面を有することが好ましい。ガラスの理論強度は、本来、非常に高いが、理論強度よりも遥かに低い応力でも破壊に至ることが多い。これは、ガラスフィルムの表面にグリフィスフローと呼ばれる小さな欠陥がガラスの成形後の工程、例えば研磨工程等で生じるからである。よって、ガラスフィルムの表面を未研磨とすれば、本来の機械的強度を損ない難くなり、ガラスフィルムが破壊し難くなる。また、研磨工程を省略し得るため、ガラスフィルムの製造コストを低廉化することができる。なお、両表面の有効面全体を未研磨の表面とすれば、ガラスフィルムが更に破壊し難くなる。

ガラスフィルムの長さ寸法は、好ましくは５００ｍｍ以上、６００ｍｍ以上、８００ｍｍ以上、１０００ｍｍ以上、１２００ｍｍ以上、１５００ｍｍ以上、特に２０００ｍｍ以上である。このようにすれば、光学結像部材を大型化し易くなる。一方、ガラスフィルムの長さ寸法が大き過ぎると、反射膜が形成された面に直交する方向にガラス積層体を切断し難くなる。よって、ガラスフィルムの長さ寸法は、好ましくは３５００ｍｍ以下、３２００ｍｍ以下、特に３０００ｍｍ以下である。

ガラスフィルムの幅寸法は、長さ寸法以下である限り、特に制限されないが、短冊状のガラス積層体に加工される場合、長さ寸法／幅寸法の比率は５以上であり、好ましくは１０以上、２０以上、３０以上、４０以上、５０以上、６０以上、特に１００〜２０００である。長さ寸法／幅寸法の比率が小さ過ぎると、光学結像部材の製造効率が低下し易くなる。

ガラスフィルムは、オーバーフローダウンドロー法で成形されてなることが好ましい。このようにすれば、未研磨で表面品位が良好なガラスフィルムを製造することができる。その理由は、オーバーフローダウンドロー法の場合、ガラスフィルムの表面となるべき面は樋状耐火物に接触せず、自由表面の状態で成形されるからである。ここで、オーバーフローダウンドロー法は、溶融ガラスを耐熱性の樋状構造物の両側から溢れさせて、溢れた溶融ガラスを樋状構造物の下端で合流させながら、下方に延伸成形してガラスフィルムを製造する方法である。樋状構造物の構造や材質は、ガラスフィルムの寸法や表面精度を所望の状態とし、ガラスフィルムに使用できる品位を実現できるものであれば、特に限定されない。また、下方への延伸成形を行うために、ガラスに対してどのような方法で力を印加するものであってもよい。例えば、充分に大きい幅を有する耐熱性ロールをガラスに接触させた状態で回転させて延伸する方法を採用してもよいし、複数の対になった耐熱性ロールをガラスの端面近傍のみに接触させて延伸する方法を採用してもよい。なお、オーバーフローダウンドロー法以外にも、例えば、スロットダウン法、リドロー法等の成形方法を採用することもできる。

オーバーフローダウンドロー法で成形する場合、樋状耐火物から非接触となる部分（下頂端部分）におけるガラスの粘度は、１０^３．５〜１０^５．０ｄＰａ・ｓが好ましい。樋状構造物の下頂端部分に何も力を加えなければ、表面張力によって縮みながら下方へ落下していく。これを防ぐためにガラス生地の両側をローラー上のもので挟み込みガラス生地が縮まないように幅方向に引き伸ばす必要がある。ガラスフィルムを成形する場合、ガラス自身が有する熱量が小さいため、樋状耐火物から離れた瞬間からガラスの冷却速度は急激に速くなる。よって、下頂端部分でのガラスの粘度は、好ましくは１０^５．０ｄＰａ・ｓ以下、１０^４．８ｄＰａ・ｓ以下、１０^４．６ｄＰａ・ｓ以下、１０^４．４ｄＰａ・ｓ以下、１０^４．２ｄＰａ・ｓ以下、特に１０^４．０ｄＰａ・ｓ以下である。このようにすれば、幅方向に引っ張り応力が付与されて、破損を防止した上で、フィルム幅を広げることが可能になると共に、安定して下方へ延伸することが可能になる。一方、下頂端部分でのガラスの粘度が低過ぎると、ガラスが変形し易くなり、反り、うねり等の品位が低下し易くなる。またその後の冷却速度が速くなり、ガラスフィルムの熱収縮が大きくなり易い。よって、下頂端部分でのガラスの粘度は、好ましくは１０^３．５ｄＰａ・ｓ以上、１０^３．７ｄＰａ・ｓ以上、１０^３．８ｄＰａ・ｓ以上、特に１０^３．９ｄＰａ・ｓ以上である。

ガラスフィルムのクラック発生率は、好ましくは７０％以下、５０％以下、４０％以下、３０％以下、特に２０％以下である。このようにすれば、ガラス積層体が破損し難くなる。ここで、「クラック発生率」は、湿度３０％、温度２５℃に保持された恒温恒湿槽内において、荷重１０００ｇに設定したビッカース圧子をガラス表面（光学研磨相当面）に１５秒間打ち込み、その１５秒後に圧痕の４隅から発生するクラックの数をカウント（１つの圧痕につき最大４とする）し、この操作を２０回繰り返し（即ち、圧子を２０回打ち込み）、総クラック数を計数した後、総クラック発生数／８０にて得られた値を指す。

ガラスフィルムの液相温度は、好ましくは１２００℃以下、１１５０℃以下、１１３０℃以下、１１１０℃以下、１０９０℃以下、特に７００〜１０７０℃である。ガラスフィルムの液相粘度は、好ましくは１０^５．０ｄＰａ・ｓ以上、１０^５．６ｄＰａ・ｓ以上、１０^５．８ｄＰａ・ｓ以上、特に１０^６．０〜１０^１０．０ｄＰａ・ｓ以上である。このようにすれば、成形時にガラスが失透し難くなる。なお、「液相温度」は、標準篩３０メッシュ（５００μｍ）を通過し、５０メッシュ（３００μｍ）に残るガラス粉末を白金ボートに入れ、温度勾配炉中に２４時間保持して、結晶の析出する温度を測定した値を指す。「液相粘度」は、液相温度におけるガラスの粘度を白金球引き上げ法で測定した値を指す。

ガラスフィルムのヤング率は、好ましくは６５ＧＰａ以上、６７ＧＰａ以上、６８ＧＰａ以上、６９ＧＰａ以上、７０ＧＰａ以上、７１ＧＰa以上、７２ＧＰａ以上、特に７５〜１００ＧＰａである。このようにすれば、ガラスフィルムの表面に反射膜を形成した後に、ガラスフィルムが反り難くなり、結果として、反射膜の間隔がばらつき難くなり、高解像度の結像を得易くなる。なお、「ヤング率」は、共振法により測定した値を指す。

ガラスフィルムの密度は、好ましくは２．７ｇ／ｃｍ^３以下、２．６ｇ／ｃｍ^３以下、２．５ｇ／ｃｍ^３以下、特に２．０〜２．４ｇ／ｃｍ^３である。このようにすれば、光学結像部材の軽量化を図り易くなる。

ガラスフィルムの熱膨張係数は、好ましくは２５〜１００×１０^−７／℃、３０〜９０×１０^−７／℃、３０〜６０×１０^−７／℃、３０〜４５×１０^−７／℃、特に３０〜４０×１０^−７／℃である。このようにすれば、各種機能膜の熱膨張係数に整合させ易くなる。なお、「熱膨張係数」は、ディラトメーターを用いて、３０〜３８０℃における平均熱膨張係数を測定した値を指し、熱膨張係数の測定用試料として、端面にＲ加工を施したφ５ｍｍ×２０ｍｍの円柱状の試料を用いる。

ガラスフィルムの歪点は、好ましくは６００℃以上、特に６３０〜７５０℃である。このようにすれば、耐熱性を高め易くなる。なお、「歪点」は、ＡＳＴＭ Ｃ３３６−７１の方法に基づいて測定した値を指す。

ガラスフィルムの厚み５００μｍ換算、波長３００ｎｍにおける透過率は、好ましくは３０％以上、５０％以上、７０％以上、８０％以上、８５％以上、特に８９〜９９％である。また厚み５００μｍ換算、波長３５０ｎｍにおける透過率は、好ましくは５０％以上、７０％以上、８０％以上、８５％以上、８９％以上、９０％以上、特に９１％以上である。また厚み５００μｍ換算、波長５５０ｎｍにおける透過率は、８５％以上、８９％以上、９０％以上、特に９１〜９９％である。このようにすれば、光学結像部材等に適用した場合、光が反射を繰り返しながら透過する際に、光の損失が低減されて、高解像度の結像を得易くなる。

ガラスフィルムのＨａｚｅは、好ましくは１０％以下、５％以下、３％以下、１％以下、０．５％以下、特に０．３％以下である。このようにすれば、表面での拡散反射を低減することが可能になり、光学結像部材等に適用した場合、光が反射を繰り返しながら透過する際に、光の損失が低減されて、高解像度の結像を得易くなる。なお、「Ｈａｚｅ」は、市販のＨａｚｅメーターで測定可能である。

ガラスフィルムは、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ_２ ３５〜８０％、Ａｌ_２Ｏ_３ ０〜２０％、Ｂ_２Ｏ_３ ０〜１７％、ＭｇＯ ０〜１０％、ＣａＯ ０〜１５％、ＳｒＯ ０〜１５％、ＢａＯ ０〜３０％を含有することが好ましい。上記のように、各成分の含有範囲を限定した理由を下記に示す。なお、ガラス組成に関する説明において、％表示は、質量％を指す。

ＳｉＯ_２の含有量は３５〜８０％が好ましい。ＳｉＯ_２の含有量が多過ぎると、溶融性、成形性が低下し易くなる。よって、ＳｉＯ_２の含有量は、好ましくは７５％以下、６４％以下、６２％以下、特に６１％以下である。一方、ＳｉＯ_２の含有量が少な過ぎると、ガラス網目構造を形成し難くなって、ガラス化が困難になったり、クラックの発生率が高くなったり、耐酸性が低下し易くなる。よって、ＳｉＯ_２の含有量は、好ましくは４０％以上、５０％以上、５５％以上、特に５７％以上である。

Ａｌ_２Ｏ_３の含有量は０〜２０％が好ましい。Ａｌ_２Ｏ_３の含有量が多過ぎると、ガラスに失透結晶が析出して、液相粘度が低下し易くなる。Ａｌ_２Ｏ_３の含有量は、好ましくは１８％以下、１７．５％以下、特に１７％以下である。一方、Ａｌ_２Ｏ_３の含有量が少な過ぎると、歪点、ヤング率が低下し易くなる。よって、Ａｌ_２Ｏ_３の含有量は、好ましくは３％以上、５％以上、８．５％以上、１０％以上、１２％以上、１３％以上、１３．５％以上、１４％以上、特に１４．５％以上である。

Ｂ_２Ｏ_３の含有量は０〜１７％が好ましい。Ｂ_２Ｏ_３の含有量が多過ぎると、歪点、ヤング率、耐酸性が低下し易くなる。よって、Ｂ_２Ｏ_３の含有量は、好ましくは１５％以下、１３％以下、１２％以下、１１％以下、特に１０．４％以下である。一方、Ｂ_２Ｏ_３の含有量が少な過ぎると、高温粘度が高くなって、溶融性が低下したり、クラック発生率が上昇したり、液相温度が高くなったり、密度が高くなり易い。よって、Ｂ_２Ｏ_３の含有量は、好ましくは２％以上、３％以上、４％以上、５％以上、７％以上、８．５％以上、８．８％以上、特に９％以上である。

ＭｇＯは、ヤング率、歪点を高めると共に、高温粘度、クラック発生率を低下させる成分である。しかし、ＭｇＯの含有量が多過ぎると、液相温度が上昇して、耐失透性が低下し易くなることに加えて、耐ＢＨＦ性が低下し易くなる。よって、ＭｇＯの含有量は、好ましくは１０％以下、５％以下、３％以下、２％以下、１．５％以下、１％以下、特に０．５％以下である。

ＣａＯの含有量は０〜１５％が好ましい。ＣａＯの含有量が多過ぎると、密度、熱膨張係数が高くなり易い。よって、ＣａＯの含有量は、好ましくは１２％以下、１０％以下、９％以下、特に８．５％以下である。一方、ＣａＯの含有量が少な過ぎると、溶融性、ヤング率が低下し易くなる。よって、ＣａＯの含有量は、好ましくは２％以上、３％以上、５％以上、６％以上、７％以上、特に７．５％以上である。

ＳｒＯの含有量は０〜１５％が好ましい。ＳｒＯの含有量が多過ぎると、密度、熱膨張係数が高くなり易い。よって、ＳｒＯの含有量は、好ましくは１２％以下、１０％以下、６％以下、５％以下、特に６．５％以下である。一方、ＳｒＯの含有量が少な過ぎると、溶融性、耐薬品性が低下し易くなる。よって、ＳｒＯの含有量は、好ましくは０．５％以上、１％以上、２％以上、３％以上、特に３．５％以上である。

ＢａＯの含有量が多過ぎると、密度、熱膨張係数が高くなり易い。よって、ＢａＯの含有量は、好ましくは３０％以下、２５％以下、２０％以下、１５％以下、１０％以下、５％以下、２％以下、１％以下、特に０．５％以下である。

ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯの各成分を複数導入すると、液相温度が低下して、ガラス中に結晶異物が発生し難くなる。一方、これらの成分の合量が少な過ぎると、融剤としての働きを十分に発揮できず、溶融性が低下し易くなる。よって、これらの成分の合量は、好ましくは５％以上、８％以上、９％以上、１１％以上、特に１３％以上である。一方、これらの成分の合量が多過ぎると、密度が上昇し、ガラスの軽量化が図り難くなることに加えて、クラック発生率が高くなる傾向がある。よって、これらの成分の合量は、好ましくは３０％以下、２０％以下、１８％以下、特に１５％以下である。特に、ガラスフィルムの低密度化を優先したい場合、これらの成分の合量は、好ましくは５％以上、特に８％以上であり、また１３％以下、１１％以下、特に１０％以下である。

ＺｎＯは、溶融性、ヤング率を高める成分である。しかし、ＺｎＯの含有量が多過ぎると、ガラスが失透したり、歪点が低下したり、密度が上昇し易くなる。よって、ＺｎＯの含有量は、好ましくは１５％以下、１０％以下、５％以下、３％以下、１％以下、特に０．５％以下である。

ＺｒＯ_２は、ヤング率を高める成分である。しかし、ＺｒＯ_２の含有量が多過ぎると、液相温度が上昇し、ジルコンの失透異物が発生し易くなる。よって、ＺｒＯ_２の含有量は、好ましくは３％以下、１％以下、０．５％以下、特に０．１％以下である。

Ｆｅ_２Ｏ_３の上限含有量は、好ましくは１０００ｐｐｍ（０．１％）以下、８００ｐｐｍ以下、３００ｐｐｍ以下、２００ｐｐｍ以下、１３０ｐｐｍ以下、１００ｐｐｍ以下、８０ｐｐｍ以下、６０ｐｐｍ以下、４０ｐｐｍ以下、３０ｐｐｍ以下、２０ｐｐｍ以下、特に１０ｐｐｍ以下であり、下限含有量は、好ましくは１ｐｐｍ以上、特に３ｐｐｍ以上である。Ｆｅ_２Ｏ_３の含有量が少ない程、透過率が高くなるため、光学結像部材等に適用した場合、光が反射を繰り返しながら透過する際に、光の損失が低減されて、高解像度の結像を得易くなる。なお、Ｆｅ_２Ｏ_３の含有量を低減するためには、高純度の原料を使用することが好ましい。

Ｙ_２Ｏ_３、Ｎｂ_２Ｏ_３、Ｌａ_２Ｏ_３は、歪点、ヤング率等を高める成分である。しかし、これらの成分の含有量が多過ぎると、密度が高くなり易い。よって、Ｙ_２Ｏ_３、Ｎｂ_２Ｏ_３、Ｌａ_２Ｏ_３の含有量は、それぞれ３％以下が好ましい。

清澄剤として、Ａｓ_２Ｏ_３、Ｓｂ_２Ｏ_３、ＣｅＯ_２、ＳｎＯ_２、Ｆ、Ｃｌ、ＳＯ_３の群から選択された一種又は二種以上を０〜３％添加してもよい。但し、Ａｓ_２Ｏ_３、Ｓｂ_２Ｏ_３及びＦ、特にＡｓ_２Ｏ_３及びＳｂ_２Ｏ_３は、環境的観点から、その使用を極力控えることが好ましく、各々の含有量を０．１％未満に制限することが好ましい。好ましい清澄剤は、ＳｎＯ_２、ＳＯ_３及びＣｌである。ＳｎＯ_２の含有量は、好ましくは０〜１％、０．０１〜０．５％、特に０．０５〜０．４％である。また、ＳｎＯ_２＋ＳＯ_３＋Ｃｌ（ＳｎＯ_２、ＳＯ_３及びＣｌの合量）の含有量は、好ましくは０．００１〜１％、０．０１〜０．５％、特に０．０１〜０．３％である。

上記成分以外にも、他の成分を添加してもよく、他の成分の含有量は１０％以下、特に５％以下が好ましい。

本発明のガラス積層体は、少なくとも一方の表面に反射膜が形成されたガラスフィルムが積層されていることが好ましい。このようにすれば、ガラス積層体の製造コストを低廉化し易くなる。また、成膜効率の観点から、一方の表面のみに反射膜が形成されたガラスフィルムが積層されていることが更に好ましい。

反射膜は、種々の材料が使用可能であるが、その中でも、高解像度の結像を得る観点からＡｌ又はＡｇが好ましい。

ガラスフィルムの表面に反射膜を形成する方法として、種々の方法があり、例えば、蒸着、スパッタ、めっき等が挙げられる。特に、成膜効率の観点から、スパッタで反射膜を形成することが好ましい。

スパッタ、蒸着により反射膜（特にＡｌの反射膜）を形成する場合、その反射膜を電解研磨することが好ましい。このようにすれば、反射膜の正反射率が向上して、結像される像の画質を高めることができる。

ガラスフィルムの表面に対して、反射膜付き樹脂フィルムを貼り付けることも好ましい。このようにすれば、反射膜の形成コストを低減することができる。

ガラスフィルムの表面に対して、Ａｌペースト、Ａｇペースト等の金属ペーストを塗布、乾燥した後、得られたガラスフィルムを積層、焼成することも好ましく、金属ペーストにはガラスフリットが含まれることが好ましい。このようにすれば、ガラスフィルム同士の固着と反射膜の形成を同時に行うことができる。

反射膜上には、必要に応じて、ＳｉＯ_２等の保護膜を形成してもよい。このようにすれば、反射膜を適正に保護することができる。

本発明のガラス積層体において、ガラスフィルムの積層枚数は、好ましくは１００枚以上、２００枚以上、３００枚以上、４００枚以上、５００枚以上、６００枚以上、特に７００枚以上である。ガラスフィルムの積層枚数が多い程、大型の光学結像部材を作製し易くなる。

本発明のガラス積層体は、ガラスフィルム同士が接着剤により積層一体化されていることが好ましい。つまりガラスフィルム間に接着層を有することが好ましい。このようにすれば、ガラスフィルム同士を強固に積層一体化することができる。また、接着層の厚みは、好ましくは１００μｍ以下、７０μｍ以下、５０μｍ以下、４０μｍ以下、特に３０μｍ以下である。このようにすれば、反射膜の間隔を狭小化し易くなる。なお、接着剤として、種々の材料が使用可能であるが、光学特性の観点からＯＣＡ、セメダイン等の透明接着剤が好ましく、製造効率の観点からＵＶ硬化樹脂接着剤も好ましい。

接着層として、ＥＶＡ樹脂（エチレン−酢酸ビニル共重合樹脂）接着層が好ましく、ＥＶＡ樹脂接着層は、ガラスフィルムの表面に反射膜を形成した後に設けることが好ましい。ＥＶＡ樹脂接着層の厚みは、好ましくは０．５ｍｍ以下、０．４ｍｍ以下、０．３ｍｍ以下、０．２ｍｍ以下、０．１ｍｍ以下、０．０５ｍｍ以下、特に０．００５〜０．０３ｍｍである。これにより、高解像度の結像を得易くなる。

接着層、特にＥＶＡ樹脂接着層を形成するに際し、加熱することが好ましく、加熱温度は、好ましくは５０℃以上、７０℃以上、９０℃以上、１００℃以上、特に１１０〜２５０℃である。これにより、ＥＶＡ樹脂層の形成時間を短縮することができる。また、加熱時の圧力は、好ましくは７００ｔｏｒｒ以下、７０ｔｏｒｒ以下、１０ｔｏｒｒ以下、１ｔｏｒｒ以下、０．１ｔｏｒｒ以下、特に０．０１ｔｏｒｒ以下である。これにより、接着層、特にＥＶＡ樹脂接着層の界面での発泡を抑制することができる。

接着層は、生産効率の観点から、接着剤の塗布により形成されていることが好ましい。接着剤の塗布方法として、種々の方法が利用可能であるが、その中でも塗布作業性の観点からディスペンサー塗布、スクリーン印刷が好ましい。

ガラスフィルム同士を積層一体化する方法として、ガラスフィルムを重ね合わせた状態で熱処理する方法も考えられる。この方法では、接着層が不要になるため、反射膜の間隔を狭小化し易くなる。なお、隣り合う表面同士が平滑であれば、低温（２５０℃程度）で積層一体化を行うことができる。

本発明の光学結像部材は、一対のガラス積層体を備える光学結像部材であって、一対のガラス積層体のそれぞれが、上記のガラス積層体であり、且つ一対のガラス積層体が、反射膜が形成された面同士が直交するように配置されていることを特徴とする。

一対のガラス積層体は、接着剤により接着固定されていることが好ましい。つまり、ガラス積層体間に接着層を有することが好ましい。このようにすれば、一対のガラス積層体を強固に接着固定することができる。また、接着層の厚みは、光学的な影響を最小化するために、好ましくは１００μｍ以下、７０μｍ以下、５０μｍ以下、４０μｍ以下、特に１〜３０μｍである。なお、接着剤として、種々の材料が使用可能であるが、ＯＣＡ等の透明接着剤が好ましい。

一対のガラス積層体の最外層側にガラス基板をそれぞれ配置することが好ましく、ガラス基板とガラス積層体を接着層で接着固定することが好ましい。具体的には、第一のガラス基板、接着層、第一のガラス積層体、接着層、第二のガラス積層体、接着層、第二のガラス基板の順に積層配置することが好ましい。このようにすれば、一対のガラス積層体の表面（好ましくは切断面）を高精度に研磨する必要がなくなり、光学結像部材の製造コストを大幅に低減することができる。

一対のガラス積層体の表面（好ましくは切断面）の表面粗さＲａは、好ましくは０．０１μｍ以上、０．０５μｍ以上、０．１μｍ以上、０．２μｍ以上、０．４μｍ以上、特に０．７μｍ以上であり、好ましくは３μｍ以下、２μｍ以下、１．５μｍ以下、１．２μｍ以下、特に１μｍ以下である。一対のガラス積層体の表面の表面粗さＲａを過小にしようとすると、この表面の研磨の必要性が高くなり、結果として、光学結像部材の製造コストが高騰する虞がある。一方、一対のガラス積層体の表面の表面粗さＲａが大き過ぎると、接着層に空気が混入し易くなる。

ガラス積層体とガラス基板を接着固定するための接着層の屈折率ｎ_ｄは、ガラス積層体中のガラスフィルムの屈折率と整合していることが好ましい。ガラスフィルムと接着層の屈折率ｎ_ｄ差は、好ましくは０．２以下、０．１５以下、０．１２以下、０．１以下、０．０８以下、０．０５以下、０．０２以下、０．０１以下、０．００８以下、特に０．００５以下である。これにより、ガラス積層体の接着層側の表面を研磨しなくても、ガラス積層体と接着層の界面での拡散反射を低減することができる。結果として、光学結像部材の製造コストを大幅に低減することができる。なお、屈折率ｎ_ｄは、精密屈折率計により測定可能である。

接着層の屈折率は、ガラス基板の屈折率と整合していることが好ましい。ガラス基板と接着層の屈折率ｎ_ｄ差は、好ましくは０．２以下、０．１５以下、０．１２以下、０．１以下、０．０８以下、０．０５以下、０．０２以下、０．０１以下、０．００８以下、特に０．００５以下である。これにより、ガラス基板と接着層の界面での拡散反射を低減することができる。

接着層の屈折率ｎ_ｄは、好ましくは１．６０以下、１．５５以下、１．５４以下、１．５２以下、１．５１以下、特に１．５０以下であり、好ましくは１．４５以上、１．４８以上、特に１．４９以上である。これにより、ガラスフィルムやガラス基板の屈折率に整合させ易くなり、接着層の界面での拡散反射を抑制することができる。

ガラス基板の表面粗さＲａは、好ましくは１．０ｎｍ以下、０．８ｎｍ以下、０．６ｎｍ以下、０．５ｎｍ以下、０．４ｎｍ以下、０．３ｎｍ以下、０．２ｎｍ以下、特に０．００１〜０．１ｎｍが好ましい。このようにすれば、光学結像部材の機械的強度を高めることができる。

ガラス基板は、オーバーフローダウンドロー法により成形されていることが好ましい。このようにすれば、ガラス基板の表面精度が向上し、研磨工程を省略することが可能になる。

ガラス基板は、表面に圧縮応力層を有する強化ガラスであることが好ましい。この場合、圧縮応力層の圧縮応力値は、好ましくは２００ＭＰａ以上、４００ＭＰａ以上、６００ＭＰａ以上、特に８００〜１５００ＭＰａであり、応力深さは、好ましくは１０μｍ以上、２０μｍ以上、３０μｍ以上、特に４０〜８０μｍである。このようにすれば、光学結像部材の機械的強度を高めることができる。

ガラス基板は、外側表面（ガラス積層体とは反対側）に反射防止膜（反射防止層）を有することが好ましい。これにより、外側表面の反射が抑制されて、高解像度の結像を得易くなる。

本発明のガラス積層体の製造方法は、厚み５００μｍ以下のガラスフィルムの少なくとも一方の表面に反射膜が形成された反射膜付きガラスフィルムを用意する工程と、反射膜付きガラスフィルムを積層一体化して、ガラス積層体を得る工程と、を備えることを特徴とし、反射膜付きガラスフィルムを接着剤により積層一体化することが好ましい。ここで、本発明のガラス積層体の製造方法の技術的特徴（例えば、ガラスフィルム、ガラス積層体の好適な特性、態様等）は、本発明のガラス積層体の説明欄に一部記載されている。本明細書では、便宜上、重複部分の説明を省略する。

本発明のガラス積層体の製造方法において、反射膜付きガラスフィルムに押圧力を付与して、積層一体化することが好ましく、反射膜付きガラスフィルム間に接着剤を介在させた状態で押圧力を付与して、積層一体化することがより好ましい。このようにすれば、接着剤が反射膜付きガラスフィルム間で広がり易くなると共に、接着剤の密着性が向上して、ガラス積層体の一体化強度を高めることができる。

押圧力を付与する手段として、ローラーを用いることが好ましい。このようにすれば、押圧力を簡便に付与することができる。

反射膜付きガラスフィルムの表面にディスペンサー等により接着剤を塗布し、その上に別の反射膜付きガラスフィルムを重ねた後、この反射膜付きガラスフィルムの一端から他端に渡って、ローラーを回転移動させながら、反射膜付きガラスフィルムに押圧力を付与することが好ましい。このようにすれば、反射膜付きガラスフィルムの撓みが抑制されると共に、接着剤の密着性が向上して、ガラス積層体の一体化強度を高めることができる。

第一の反射膜付きガラスフィルムの表面にディスペンサー等により接着剤を塗布し、その上に第二の反射膜付きガラスフィルムを重ねた後、第二の反射膜付きガラスフィルムの一端から他端に渡って、ローラーを回転移動させながら、第二の反射膜付きガラスフィルムに押圧力を付与し、更に第二の反射膜付きガラスフィルムの表面にディスペンサー等により接着剤を塗布し、その上に第三の反射膜付きガラスフィルムを重ねた後、第二の反射膜付きガラスフィルムの場合とは逆方向に、第三の反射膜付きガラスフィルムの一端から他端に渡って、ローラーを回転移動させながら、第三の反射膜付きガラスフィルムに押圧力を付与することが好ましく、このような工程を繰り返し、反射膜付きガラスフィルムを順次積層一体化することが好ましい。このようにすれば、ガラス積層体を効率良く作製することができる。

反射膜付きガラスフィルムに押圧力を付与する工程は、押圧力を適正に付与するために、ガラス積層体を短冊状に切断する前に行うことが好ましく、この工程におけるガラスフィルムの長さ寸法と幅寸法は、何れも２００ｍｍ以上、３００ｍｍ以上、５００ｍｍ以上、６００ｍｍ以上、８００ｍｍ以上、特に１０００〜３０００ｍｍが好ましい。

本発明のガラス積層体の製造方法は、反射膜付きガラスフィルムが積層一体化されたガラス積層体に対して、反射膜が形成された面に直交する方向に短冊状に切断する工程を有することが好ましい。このようにすれば、短冊状のガラス積層体を簡便に作製することができ、光学結像部材の製造効率が向上する。

ガラス積層体を短冊状に切断する方法として、種々の方法が使用可能である。その中でもワイヤーソーを用いて切断することが好ましく、ワイヤーソーに研磨砥粒を含むスラリーを供給しながら切断することが好ましい。更に、ワイヤーソーをガラス積層体のガラスフィルムの表面に対して４５°以下、３０°以下、２０°以下、１０°以下、５°以下、３°以下、特に１°以下の角度に規制した状態で切断することが好ましい。ガラス積層体の切断は、通常のガラス単体の切断とは異なり、ガラスフィルム、反射膜、接着層等を有する複合材料の切断になる。このため、ガラス積層体の切断時に、各構成部材の接着強度が不十分であると、構成部材の一部が引き剥がされる虞がある。そこで、切断手段として、上記方法を用いると、各種部材の引き剥がしに繋がる応力が低減されて、上記不具合を適正に防止することができる。

ワイヤソーのワイヤー幅は、好ましくは５００μｍ以下、３００μｍ以下、２００μｍ以下、特に１０〜１００μｍである。ワイヤーソーのワイヤー幅が大き過ぎると、短冊状のガラス積層体の収率が低下し易くなる。なお、ワイヤーソーのワイヤー幅が小さ過ぎると、切断時にワイヤーが切れる虞がある。

ワイヤーソーを用いて切断する場合、切断後のスラリーに含まれる金属を沈殿回収するために、スラリーの循環装置を設置することが好ましく、更に金属沈殿槽を併設することが好ましい。なお、スラリー中に金属が混入すると、切断効率が低下し易くなる。

本発明の光学結像部材の製造方法は、反射膜付きガラスフィルムが積層一体化されたガラス積層体を一対用意する工程と、一対のガラス積層体を反射膜が形成された面同士が直交するように配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とし、ガラス積層体は、本発明のガラス積層体の製造方法により作製されていることが好ましい。ここで、本発明の光学結像部材の製造方法の技術的特徴（例えば、ガラスフィルム、ガラス積層体、ガラス積層体の製造方法の好適な特性、態様等）は、本発明のガラス積層体及びガラス積層体の製造方法の説明欄に一部記載されている。本明細書では、便宜上、重複部分の説明を省略する。

本発明の光学結像部材の製造方法は、更に、一対のガラス積層体の積層外表面（通常、切断面になる）にガラス基板を配置する工程を有することが好ましい。このようにすれば、一対のガラス積層体の積層外表面を高精度に研磨する必要がなくなり、光学結像部材の製造コストを大幅に低減することができる。更に、この場合、一対のガラス積層体の積層外表面を実質的に研磨しないことが好ましい。

次に、本発明のガラス積層体、光学結像部材の一例について、図面を参酌しながら説明する。図１は、本発明のガラス積層体１の一例を示す概念斜視図である。ガラス積層体１は、厚み５００μｍ以下のガラスフィルム１０が積層されており、ガラスフィルム１０間にそれぞれ反射膜１１を有している。ガラスフィルム１０の一方の表面には、反射膜１１が形成されており、他方の表面には反射膜１１が形成されていない。ガラスフィルム１０同士は、反射膜同士が重ならないように、図示しない接着層により積層一体化されている。なお、図中において、反射膜１１の厚みは、誇張して表示されている。

図２は、本発明のガラス積層体２の一例を示す概念斜視図であり、図１に記載のガラス積層体１を反射膜が形成された面に直交する方向に短冊状に切断したものである。このようにすれば、短冊状のガラス積層体２を効率良く作製することができる。なお、切断幅は、光学結像部材の寸法から適宜決定されている。

図３は、本発明の光学結像部材３の一例を示す概念斜視図である。光学結像部材３は、図２に記載のガラス積層体２が一対使用されており、一対のガラス積層体２は、反射膜１３が形成された面同士が直交するように、ガラス積層体２の側面（切断面）同士が、図示しない接着層により接着固定されている。光学結像部材３は、ガラスフィルム１２により、反射膜１３の間隔が狭小化、且つ均一化されている。

図４は、本発明の光学結像部材４の一例を示す概念斜視図である。光学結像部材４は、図２に記載のガラス積層体２が一対使用されており、一対のガラス積層体２は、反射膜１４が形成された面同士が直交するように、ガラス積層体２の側面（切断面）同士が、図示しない接着層により接着固定されている。光学結像部材４は、ガラスフィルム１５により、反射膜１４の間隔が狭小化、且つ均一化されている。ガラス積層体２の積層外表面には、それぞれガラス基板１６が配置されている。一対のガラス積層体２とガラス基板１６とは、図示しない接着層により接着固定されている。ここで、接着層の屈折率は、ガラスフィルム１５とガラス基板１６の屈折率と整合している。

更に、本発明のガラス積層体の製造方法の一例について、図面を参酌しながら説明する。図５は、反射膜付きガラスフィルムを積層一体化する方法の一例を示す概念断面図である。図５（ａ）は、反射膜付きガラスフィルム２１を吸引装置２２により吸着保持して、順次積層する状態を示しており、積層する直前に接着剤の塗布装置２３により、既に積層されているガラス積層体２４の最外層の表面に接着剤が塗布される。図５（ｂ）は、反射膜付きガラスフィルム２１を既に積層されているガラス積層体２４に重ねた後、反射膜付きガラスフィルム２１の一端から他端に渡って、ローラー２５を回転移動させながら、反射膜付きガラスフィルム２１に押圧力を付与して、最外の反射膜付きガラスフィルム２１を既に積層されているガラス積層体２４と積層一体化する状態を示している。図５（ｃ）は、更に別の反射膜付きガラスフィルム２６を既に積層されているガラス積層体２６に重ねた後、前回とは反対の方向に、反射膜付きガラスフィルム２６の一端から他端に渡って、ローラー２５を回転移動させながら、反射膜付きガラスフィルム２６に押圧力を付与して、反射膜付きガラスフィルム２６を既に積層されているガラス積層体２７と積層一体化する状態を示している。

図６は、ワイヤーソーにより大型のガラス積層体を短冊状に切断する方法の一例を示す概念説明図である。図６（ａ）は、大型のガラス積層体３１にワイヤーソー３２を接触させて、大型のガラス積層体３１を反射膜が形成された面に直交する方向に切断する直前の状態を示す概念断面図であり、ワイヤーソー３２は、大型のガラス積層体３１のガラスフィルムの表面からａ度だけ傾いた状態になっている。図６（ｂ）は、大型のガラス積層体３１を反射膜が形成された面に直交する方向に切断する途中の状態を示す概念断念図である。ここで、ワイヤーソー３２の角度は、大型のガラス積層体３１のガラスフィルムの表面からα度だけ傾いた状態に維持されている。図６（ｃ）は、大型のガラス積層体３１を反射膜が形成された面に直交する方向に切断して、短冊状のガラス積層体３３を分断した状態を示す概念斜視図である。

本発明のガラスフィルムは、厚みが５００μｍ以下であり、且つ少なくとも一方の表面に反射膜が形成されていることを特徴とする。また、本発明のガラスフィルムは、厚みが５００μｍ以下であり、厚み５００μｍ換算、波長３５０ｎｍにおける透過率が７０％以上であり、且つガラス積層体に用いることを特徴とする。なお、本発明のガラスフィルムの技術的特徴は、既述であり、ここでは詳細な説明を省略する。

実施例に基づいて、本発明を詳細に説明する。但し、以下の実施例は単なる例示である。本発明は、以下の実施例に何ら限定されない。

表１は、ガラスフィルム（試料Ｎｏ．１〜７）のガラス組成と特性を示している。

まず表１に記載のガラス組成になるように、ガラス原料を調合し、得られたガラス原料をガラス溶融炉に供給して１５００〜１６００℃で溶融した。次いで、得られた溶融ガラスをオーバーフローダウンドロー法により、表中の厚み、長さ寸法１５００ｍｍになるように成形した。続いて、成形直後のガラスフィルムを徐冷エリアに移動させた。その際に、１０^１２〜１０^１４ｄＰａ・ｓにおける温度での冷却速度が２０℃／分になるように、徐冷エリアの温度とフィルム引き出し速度を調整した。

密度は、周知のアルキメデス法により測定した値である。

歪点は、ＡＳＴＭ Ｃ３３６−７１の方法に基づいて測定した値である。

ガラス転移温度は、熱膨張曲線からＪＩＳ Ｒ３１０３−３の方法に基づいて測定した値である。

軟化点は ＡＳＴＭ Ｃ３３８−９３の方法に基づいて測定した値である。

１０^４．０、１０^３．０、１０^２．５ｄＰａ・ｓにおける温度は、白金球引き上げ法で測定した値である。この温度が低い程、溶融性に優れていることになる。

ヤング率は、共振法により測定した値である。

熱膨張係数は、ディラトメーターを用いて、３０〜３８０℃における平均熱膨張係数を測定したものである。熱膨張係数の測定用試料として、端面にＲ加工を施したφ５ｍｍ×２０ｍｍの円柱状の試料を用いた。

液相温度は、標準篩３０メッシュ（５００μｍ）を通過し、５０メッシュ（３００μｍ）に残るガラス粉末を白金ボートに入れ、温度勾配炉中に２４時間保持して、結晶の析出する温度を測定したものである。液相粘度は、液相温度におけるガラスの粘度を白金球引き上げ法で測定した値である。

下記の方法により、耐ＨＣｌ性と耐ＢＨＦ性を評価した。まず各試料の両表面を光学研磨した後、表面の一部をマスキングした。次に、所定の濃度に調合した薬液中で、所定の温度で所定の時間浸漬した。その後、マスクを外し、マスク部分と浸食部分の段差を表面粗さ計で測定し、その値を浸食量とした。また、各試料の両表面を光学研磨した後、所定の濃度に調合した薬液中で、所定の温度で所定の時間浸漬した。その後、試料の表面を目視で観察し、表面が白濁したり、荒れたり、クラックが入っているものを「×」、変化が全く無いものを「○」として評価した。

ここで、耐ＢＨＦ性の浸食量は、１３０ＢＨＦ溶液（ＮＨ_４ＨＦ：４．６質量％，ＮＨ_４Ｆ：３６質量％）を用いて２０℃、３０分間の処理条件で測定した。外観評価は、６３ＢＨＦ溶液（ＨＦ：６質量％，ＮＨ_４Ｆ：３０質量％）を用いて、２０℃、３０分間の処理条件で行った。また耐ＨＣｌ性の浸食量は、１０質量％塩酸水溶液を用いて８０℃、２４時間の処理条件で測定した。外観評価は、１０質量％塩酸水溶液を用いて８０℃、３時間の処理条件で行った。

クラック発生率は、湿度３０％、温度２５℃に保持された恒温恒湿槽内において、荷重１０００ｇに設定したビッカース圧子を試料表面（光学研磨面）に１５秒間打ち込み、その１５秒後に圧痕の４隅から発生するクラックの数をカウント（１つの圧痕につき最大４とする）する。２０回圧子を打ち込み、総クラック発生数／８０×１００として評価した。

表面の表面粗さＲａは、ＪＩＳ Ｂ０６０１：２００１に準拠した方法で測定した値である。

端面の表面粗さＲａは、ＪＩＳ Ｂ０６０１：２００１に準拠した方法で測定した値である。

うねりは、触針式の表面形状測定装置を用いて、ＪＩＳ Ｂ０６０１：２００１に記載のＷＣＡ（ろ波中心線うねり）を測定した値であり、この測定は、ＳＥＭＩ ＳＴＤ Ｄ１５−１２９６「ＦＰＤガラス基板の表面うねりの測定方法」に準拠した方法で測定し、測定時のカットオフは０．８〜８ｍｍ、ガラスフィルムの引き出し方向に対して垂直な方向に３００ｍｍの長さで測定した値である。

ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みの差は、レーザー式厚み測定装置を用いて、ガラスフィルムの任意の一辺に厚み方向からレーザーを走査することにより、ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みを測定した上で、最大厚みの値から最小厚みの値を減じた値である。

屈折率ｎ_ｄは、精密屈折率計（島津製作所社製ＫＰＲ−２０００）を用いて測定した値である。

表１から明らかなように、試料Ｎｏ．１〜７は、厚みが小さく、表面精度が良好である。よって、試料Ｎｏ．１〜７の表面に反射膜を形成した上で、これを積層一体化すれば、コストアップを招来させることなく、ガラス積層体を作製することができる。そして、一対のガラス積層体を反射膜が形成された面同士が直交するように配置すれば、高解像に結像し得る光学結像部材を得ることができる。

試料Ｎｏ．１〜６につき、表中の厚み、波長にて透過率を測定した。測定装置として、ＵＶ−３１００ＰＣを使用し、スリット幅：２．０ｎｍ、スキャン速度：中速、サンプリングピッチ：０．５ｎｍの条件で測定した。その結果を表２に示す。

表２から明らかなように、試料Ｎｏ．１〜６は、何れも厚み、波長でも透過率が高かった。

更に、各試料について、Ｈａｚｅメーター（日本電飾工業社製Ｈａｚｅ Ｍｅｔｅｒ ＮＤＨ−５０００）によりＨａｚｅを測定した。その結果を表２に示す。表２から明らかなように、試料Ｎｏ．１〜６は、何れもＨａｚｅが小さいため、表面での拡散反射を抑制することができる。

まず試料Ｎｏ．２のガラス組成を有するガラスフィルムを用意した。ガラスフィルムの厚みは０．２５ｍｍであり、屈折率ｎ_ｄは１．５０である。次に、ガラスフィルムの一方の表面に対して、Ａｌ膜、ＳｉＯ_２膜を順次形成した後、得られたガラスフィルム１６００枚をＬＯＣＴＩＴＥ４５４（ヘンケルジャパン株式会社製）を用いて積層一体化しガラス積層体を得た。続いて、マルチワイヤーソー（砥粒＃６００）を用いて、反射膜が形成された面に直交する方向、つまりガラスフィルムの厚み方向にガラス積層体を切断した後、砥粒等を除くために洗浄を行い、ガラス積層体（４００ｍｍ×４００ｍｍ×０．７５ｍｍ）を得た。なお、切断に際し、ワイヤーソーの角度をガラス積層体のガラスフィルムの表面と平行になるように調整した。ガラス積層体の切断面の表面粗さを測定したところ、Ｒａは０．７μｍ、Ｒｑは０．８９μｍ、Ｒｓｍは６３μｍであった。更に、ガラス積層体の切断面にＵＶ硬化樹脂（ヘンケルジャパン株式会社製Ｌｏｃｔｉｔｅ３３０１）を滴下した後、反射膜が形成された面同士が直交するように、別のガラス積層体を配置し、上方から３６５ｎｍのＵＶランプ（３０ｍＷ／ｃｍ^２）を１００秒照射して、一対のガラス積層体を接着固定した。また、試料Ｎｏ．２のガラス組成を有するガラス基板を２枚用意した。ガラス基板の厚みは０．３ｍｍであり、オーバーフローダウンドロー法により成形されている。最後に、一対のガラス積層体の最外層側にそれぞれガラス基板を配置すると共に、上記と同様のＵＶ硬化樹脂により接着固定して、光学結像部材を得た。

１ ガラス積層体
２ ガラス積層体
３ 光学結像部材
４ 光学結像部材
１０ ガラスフィルム
１１ 反射膜
１２ ガラスフィルム
１３ 反射膜
１４ 反射膜
１５ ガラスフィルム
１６ ガラス基板
２１ 反射膜付きガラスフィルム
２２ 吸引装置
２３ 塗布装置
２４ ガラス積層体
２５ ローラー
２６ 反射膜付きガラスフィルム
２７ ガラス積層体
３１ ガラス積層体
３２ ワイヤーソー
３３ ガラス積層体

Claims (26)

1. 厚み５００μｍ以下のガラスフィルムを積層させたガラス積層体であって、ガラスフィルム間に反射膜を有することを特徴とするガラス積層体。
2. 短冊状のガラスフィルムが積層されていることを特徴とする請求項１に記載のガラス積層体。
3. 少なくとも一方の表面に反射膜が形成されたガラスフィルムが積層されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス積層体。
4. ガラスフィルムの表面の平均表面粗さＲａが１００Å以下であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のガラス積層体。
5. ガラスフィルムのうねりが１μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のガラス積層体。
6. ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みの差が２０μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のガラス積層体。
7. ガラスフィルムが未研磨の表面を有することを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のガラス積層体。
8. ガラスフィルムの長さ寸法が５００ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載のガラス積層体。
9. ガラスフィルムがオーバーフローダウンドロー法で成形されてなることを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載のガラス積層体。
10. ガラスフィルム間に接着層を有し、該接着層の厚みが１００μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜９の何れかに記載のガラス積層体。
11. 反射膜がＡｌ又はＡｇであることを特徴とする請求項１〜１０の何れかに記載のガラス積層体。
12. 一対のガラス積層体を備える光学結像部材であって、
    一対のガラス積層体のそれぞれが、請求項１〜１１の何れかに記載のガラス積層体であり、且つ一対のガラス積層体が、反射膜が形成された面同士が直交するように配置されていることを特徴とする光学結像部材。
13. 一対のガラス積層体の積層外表面にガラス基板が配置されていることを特徴とする請求項１２に記載の光学結像部材。
14. ガラス基板の外側表面に反射防止膜が形成されていることを特徴とする請求項１３に記載の光学結像部材。
15. 厚み５００μｍ以下のガラスフィルムの少なくとも一方の表面に反射膜が形成された反射膜付きガラスフィルムを用意する工程と、
    反射膜付きガラスフィルムを積層一体化して、ガラス積層体を得る工程と、を備えることを特徴とするガラス積層体の製造方法。
16. 反射膜付きガラスフィルムを接着剤により積層一体化することを特徴とする請求項１５に記載のガラス積層体の製造方法。
17. 反射膜付きガラスフィルムに押圧力を付与して、積層一体化することを特徴とする請求項１５又は１６に記載のガラス積層体の製造方法。
18. 反射膜付きガラスフィルムが積層一体化されたガラス積層体に対して、反射膜が形成された面に直交する方向に短冊状に切断する工程を有することを特徴とするガラス積層体の製造方法。
19. ガラス積層体をワイヤーソーで切断することを特徴とする請求項１８に記載のガラス積層体の製造方法。
20. ワイヤーソーをガラス積層体のガラスフィルムの表面に対して４５°以下の角度に規制した状態で切断することを特徴とする請求項１８又は１９に記載のガラス積層体の製造方法。
21. 反射膜付きガラスフィルムが積層一体化されたガラス積層体を一対用意する工程と、
    一対のガラス積層体を反射膜が形成された面同士が直交するように配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とする光学結像部材の製造方法。
22. 一対のガラス積層体が短冊状であることを特徴とする請求項２１に記載の光学結像部材の製造方法。
23. 更に、一対のガラス積層体の積層外表面にガラス基板を配置する工程を有することを特徴とする請求項２１又は２２に記載の光学結像部材の製造方法。
24. 厚み５００μｍ以下のガラスフィルムの少なくとも一方の表面に反射膜を形成して、反射膜付きガラスフィルムを得る工程と、
    反射膜付きガラスフィルムを積層一体化して、ガラス積層体を得る工程と、
    一対のガラス積層体を反射膜が形成された面同士が直交するように配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とする光学結像部材の製造方法。
25. 厚みが５００μｍ以下であり、且つ少なくとも一方の表面に反射膜が形成されていることを特徴とするガラスフィルム。
26. 厚みが５００μｍ以下であり、厚み５００μｍ換算、波長３５０ｎｍにおける透過率が７０％以上であり、且つガラス積層体に用いることを特徴とするガラスフィルム。