JP2015083373A - 積層体の作製装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施の形態では、本発明の一態様の積層体の作製装置について図1〜図7を用いて説明する。さらに、該積層体の作製装置で形成できる積層体について図8を用いて説明する。
図1(A)に、本発明の一態様の積層体の作製装置を示す。
図1(A)、及び図2〜図4では、積層体の作製装置20が、分断ユニットを有する例を示したが、本発明の一態様はこれに限られない。図5(A)に示すように、制御ユニット150が巻き取りユニットを兼ねて(制御ユニット150に、巻き取りユニットが含まれて)いてもよい。
図1(B)に、本発明の別の態様の積層体の作製装置を示す。なお、構成例1と同様の構成については、説明を省略する。
上記本発明の一態様の作製装置を用いて作製できる積層体の構成の一例について図8を用いて説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様を適用して作製できるフレキシブルな発光パネルについて、図9〜図12を用いて説明する。
図9(A)に発光パネルの平面図を示し、図9(B)に、図9(A)の一点鎖線X1−Y1間及びX2−Y2間の断面図を示す。
図9(A)に発光パネルの平面図を示し、図9(C)に、図9(A)の一点鎖線X1−Y1間及びX2−Y2間の断面図を示す。なお、構成例1と同様の構成については説明を省略する。
図9(A)に発光パネルの平面図を示し、図9(D)に、図9(A)の一点鎖線X1−Y1間及びX2−Y2間の断面図を示す。なお、構成例1、2と同様の構成については説明を省略する。
図10(A)に発光パネルの平面図を示し、図10(B)に、図10(A)の一点鎖線X3−Y3間の断面図を示す。図10(B)に示す発光パネルはカラーフィルタ方式を用いたボトムエミッション型の発光パネルである。
図11(A)に発光パネルの平面図を示し、図11(B)に、図11(A)の一点鎖線X4−Y4間の断面図を示す。図11(B)に示す発光パネルは塗り分け方式を用いたトップエミッション型の発光パネルである。なお、構成例4と同様の構成については説明を省略する。
図12(A)に発光パネルの平面図を示し、図12(B)に、図12(A)の一点鎖線X5−Y5間の断面図を示す。図12(B)に示す発光パネルはカラーフィルタ方式を用いたトップエミッション型の発光パネルである。なお、構成例4、5と同様の構成については説明を省略する。
図13(A)に発光パネルの平面図を示し、図13(B)、(C)に、図13(A)の一点鎖線X6−Y6間の断面図をそれぞれ示す。図13(B)に示す発光パネルはカラーフィルタ方式を用いたボトムエミッション型の発光パネルであり、図13(C)に示す発光パネルはカラーフィルタ方式を用いたトップエミッション型の発光パネルである。
次に、発光パネルに用いることができる材料の一例を示す。また、発光パネルを作製する際に用いる作製基板及び剥離層の材料の一例を示す。
作製基板には、少なくとも作製行程中の処理温度に耐えうる耐熱性を有する基板を用いる。作製基板としては、例えばガラス基板、石英基板、サファイア基板、半導体基板、セラミック基板、金属基板、樹脂基板、プラスチック基板などを用いることができる。
剥離層は、タングステン、モリブデン、チタン、タンタル、ニオブ、ニッケル、コバルト、ジルコニウム、亜鉛、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、シリコンから選択された元素、該元素を含む合金材料、又は該元素を含む化合物材料等を用いて形成できる。シリコンを含む層の結晶構造は、非晶質、微結晶、多結晶のいずれでもよい。また、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化亜鉛、二酸化チタン、酸化インジウム、インジウムスズ酸化物、インジウム亜鉛酸化物、In−Ga−Zn酸化物等の金属酸化物を用いてもよい。剥離層に、タングステン、チタン、モリブデンなどの高融点金属材料を用いると、被剥離層の形成工程の自由度が高まるため好ましい。
可撓性基板には、可撓性を有する材料を用いる。例えば、有機樹脂や可撓性を有する程度の厚さのガラスを用いることができる。さらに、発光パネルにおける発光を取り出す側の基板には、可視光を透過する材料を用いる。可撓性基板が可視光を透過しなくてもよい場合、金属基板等も用いることができる。
接着層には、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤としてはエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂、PVC(ポリビニルクロライド)樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)樹脂、EVA(エチレンビニルアセテート)樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低い材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用いてもよい。
絶縁層408、絶縁層424、及び絶縁層463には、それぞれバリア性の高い絶縁層を用いることが好ましい。
本発明の一態様の発光パネルに用いるトランジスタの構造は特に限定されない。例えば、スタガ型のトランジスタとしてもよいし、逆スタガ型のトランジスタとしてもよい。また、トップゲート型又はボトムゲート型のトランジスタのいずれのトランジスタ構造としてもよい。また、トランジスタに用いる材料についても特に限定されない。例えば、シリコンやゲルマニウム、酸化物半導体をチャネル形成領域に用いたトランジスタを適用することができる。半導体の結晶性については特に限定されず、非晶質半導体、又は結晶性を有する半導体(微結晶半導体、多結晶半導体、又は一部に結晶領域を有する半導体)のいずれを用いてもよい。結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化が抑制されるため好ましい。シリコンとしては、非晶質シリコン、単結晶シリコン、多結晶シリコン等を用いることができ、酸化物半導体としては、In−Ga−Zn−O系金属酸化物等を用いることができる。
本発明の一態様の発光パネルに用いる有機EL素子の構造は特に限定されない。
着色層は特定の波長帯域の光を透過する有色層である。例えば、赤色の波長帯域の光を透過する赤色(R)のカラーフィルタ、緑色の波長帯域の光を透過する緑色(G)のカラーフィルタ、青色の波長帯域の光を透過する青色(B)のカラーフィルタなどを用いることができる。各着色層は、様々な材料を用いて、印刷法、インクジェット法、フォトリソグラフィ法を用いたエッチング方法などでそれぞれ所望の位置に形成する。
トランジスタの電極や配線、又は有機EL素子の補助電極等として機能する導電層は、例えば、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料又はこれらの元素を含む合金材料を用いて、単層で又は積層して形成することができる。また、導電層は、導電性の金属酸化物を用いて形成してもよい。導電性の金属酸化物としては酸化インジウム(In2O3等)、酸化スズ(SnO2等)、酸化亜鉛(ZnO)、ITO、インジウム亜鉛酸化物(In2O3−ZnO等)又はこれらの金属酸化物材料に酸化シリコンを含ませたものを用いることができる。
光取り出し構造としては、半球レンズ、マイクロレンズアレイ、凹凸構造が施されたフィルム、光拡散フィルム等を用いることができる。例えば、基板上に上記レンズやフィルムを、該基板又は該レンズもしくはフィルムと同程度の屈折率を有する接着剤等を用いて接着することで、光取り出し構造を形成することができる。
接続体497としては、熱硬化性の樹脂に金属粒子を混ぜ合わせたペースト状又はシート状の、熱圧着によって異方性の導電性を示す材料を用いることができる。金属粒子としては、例えばニッケル粒子を金で被覆したものなど、2種類以上の金属が層状となった粒子を用いることが好ましい。
本実施の形態では、本発明の一態様を適用して作製できる発光パネルを用いた発光装置について、図14及び図15を用いて説明する。
開閉回路310は、定電流と制御パルス信号が供給されている間、定電流パルスを発光パネル320に供給する。
定電流電源340は、第1の電圧を供給する電池と、第1の電圧が供給され第1の電圧より高い第2の電圧を供給する第1のDCDCコンバータと、第2の電圧が供給されるコンデンサと、コンデンサから電荷が供給される第2のDCDCコンバータと、を有する。
駆動回路330は、所定の幅(半値幅)の制御パルス信号を供給する。所定の幅としては、例えば、1ミリ秒以上1000ミリ秒以下、好ましくは10ミリ秒以上100ミリ秒以下である。
発光パネル320は、発光素子を有する。発光パネル320には、点光源、線光源、面光源のいずれも用いることができる。
本実施の形態では、本発明の一態様を適用して作製できる発光パネルを用いた電子機器及び照明装置について、図16及び図17を用いて説明する。
21 作製装置
110 第1の接着層形成ユニット
111 チャンバー
112 加圧ローラ
113 ステージ
115 接着層形成機構
117 搬送ローラ
120 起点形成ユニット
123 ステージ
130 第1の貼り合わせユニット
131 チャンバー
133 ステージ
135 部材保持機構
139 ストック室
140 分離ユニット
143 ステージ
145 刃物
147 吸着部材
149 ストック室
150 制御ユニット
151 保持機構
152 保持機構
153 ステージ
155 分断機構
156a 固定機構
156b 固定機構
157a 固定機構
157b 固定機構
160 第2の接着層形成ユニット
163 ステージ
165 接着層形成機構
170 チャンバー
171 巻き出しローラ
173 ガイドローラ
175 ガス供給機構
177 排気機構
178 巻き取りローラ
179 ガイドローラ
180 第2の貼り合わせユニット
181 チャンバー
182 加圧ローラ
183 ステージ
184 ガイドローラ
185 巻き出しローラ
186 方向転換ローラ
187 ガイドローラ
188 巻き取りローラ
189 ストック室
190 第1の支持体供給ユニット
191 イオナイザ
200 バリア性の高い層
201 素子層
202 バリア性の高い層
203 接着層
204 バリア性の低い層
209 接着層
210 第1の支持体
210r 第1の支持体
211 部材
219 第1の接着層
220 第1の積層体
220r 第1の積層体
221 残部
222 表層
223 第2の積層体
223r 第2の積層体
229 第2の接着層
231r 第2の支持体
233 分離テープ
250 第1の積層体
300 発光装置
310 開閉回路
320 発光パネル
330 駆動回路
332 スタートスイッチ
333 スタートスイッチ回路
334 可変抵抗
335 パルス間隔変調回路
337 マイコン
340 定電流電源
401 第1の電極
402 EL層
403 第2の電極
404 接着層
405 絶縁層
406 導電層
407 接着層
408 絶縁層
416 導電層
420a 可撓性基板
420b 可撓性基板
422a 接着層
422b 接着層
423 下地膜
424 絶縁層
424a 絶縁層
424b 絶縁層
431 遮光層
432 着色層
435 導電層
450 有機EL素子
453 オーバーコート
454 トランジスタ
455 トランジスタ
457 導電層
463 絶縁層
465 絶縁層
467 絶縁層
490a バリア層
490b バリア層
491 発光部
493 駆動回路部
495 FPC
497 接続体
498 EL層
499 導電層
505 処理部
507 表示装置
509 カメラ
511 レーザ装置
515 光源
517 ハーフミラー
521a シャッター
521b シャッター
521c シャッター
523 集光レンズ
531 レーザ光
533 反射光
535 光
593 レーザ光照射位置
1201 第1の電極
1202 EL層
1203 第2の電極
1205 隔壁
1206 補助配線
1210 導電層
1220 支持基板
1222 接着層
1224 絶縁層
1226 封止材
1227 封止材
1228 封止基板
1250 発光素子
7100 携帯情報端末
7101 筐体
7102 表示部
7103 バンド
7104 バックル
7105 操作ボタン
7106 入出力端子
7107 アイコン
7200 照明装置
7201 台部
7202 発光部
7203 操作スイッチ
7210 照明装置
7212 発光部
7220 照明装置
7222 発光部
7300 表示装置
7301 筐体
7302 表示部
7303 操作ボタン
7304 部材
7305 制御部
7310 デジタルスチルカメラ
7311 筐体
7313 発光部
7314 レンズ
7315 非発光部
7320 発光装置
7350 携帯情報端末
7351 筐体
7352 表示部
7353 発光部
7354 レンズ
7355 非発光部
7360 発光装置
7370 携帯電話機
7371 筐体
7372 表示部
7373 発光装置
7374 レンズ
7400 携帯電話機
7401 筐体
7402 表示部
7403 操作ボタン
7404 外部接続ポート
7405 スピーカ
7406 マイク
Claims (9)
- ロールシート状の第1の支持体を間欠的に巻き出すことができ、巻き出された前記第1の支持体に張力を加えることができる一対の張力付与装置の一方を有する第1の支持体供給ユニットと、
巻き出された前記第1の支持体が供給され、静止した前記第1の支持体上に第1の接着層を形成することができる第1の接着層形成ユニットと、
前記第1の接着層が形成された前記第1の支持体、及びシート状の部材が供給され、静止した前記第1の支持体上に、前記第1の接着層を用いて前記部材を貼り合わせ、前記第1の支持体、前記第1の接着層、及び前記部材がこの順で重なる第1の積層体を形成することができる第1の貼り合わせユニットと、
前記巻き出された第1の支持体の端部を保持することができ、前記一対の張力付与装置の他方を有する制御ユニットと、を有する、積層体の作製装置。 - 請求項1において、
前記第1の積層体が供給され、静止した前記第1の支持体を分断することができる分断ユニットを有する、積層体の作製装置。 - 請求項1において、
前記第1の積層体が供給され、前記第1の積層体を間欠的に巻き取ることができる巻き取りユニットを有する、積層体の作製装置。 - 請求項1乃至3のいずれか一項において、
前記第1の積層体が供給され、前記第1の接着層を硬化させることができる第1の接着層硬化ユニットを有する、積層体の作製装置。 - ロールシート状の第1の支持体を間欠的に巻き出すことができ、巻き出された前記第1の支持体に張力を加えることができる一対の張力付与装置の一方を有する第1の支持体供給ユニットと、
巻き出された前記第1の支持体が供給され、静止した前記第1の支持体上に第1の接着層を形成することができる第1の接着層形成ユニットと、
前記第1の接着層が形成された前記第1の支持体、及びシート状の部材が供給され、静止した前記第1の支持体上に、前記第1の接着層を用いて前記部材を貼り合わせ、前記第1の支持体、前記第1の接着層、及び前記部材がこの順で重なる第1の積層体を形成することができる第1の貼り合わせユニットと、
前記第1の積層体が供給され、静止した前記第1の接着層及び前記部材の端部近傍に、剥離の起点を形成することができる起点形成ユニットと、
前記剥離の起点が形成された前記第1の積層体が供給され、静止した前記第1の積層体を、表層及び残部に分離することができる分離ユニットと、
前記残部が供給され、静止した前記残部上に第2の接着層を形成することができる第2の接着層形成ユニットと、
前記第2の接着層が形成された前記残部、及びシート状の第2の支持体が供給され、静止した前記残部上に、前記第2の接着層を用いて前記第2の支持体を貼り合わせ、前記残部、前記第2の接着層、及び前記第2の支持体がこの順で重なる第2の積層体を形成することができる第2の貼り合わせユニットと、
前記巻き出された第1の支持体の端部を保持することができ、前記一対の張力付与装置の他方を有する制御ユニットと、を有する、積層体の作製装置。 - 請求項5において、
前記第2の積層体が供給され、静止した前記第1の支持体を分断することができる分断ユニットを有する、積層体の作製装置。 - 請求項5において、
前記第2の積層体が供給され、前記第2の積層体を間欠的に巻き取ることができる巻き取りユニットを有する、積層体の作製装置。 - 請求項5乃至7のいずれか一項において、
前記第1の積層体が供給され、前記第1の接着層を硬化させることができる第1の接着層硬化ユニットを有する、積層体の作製装置。 - 請求項5乃至8のいずれか一項において、
前記第2の積層体が供給され、前記第2の接着層を硬化させることができる第2の接着層硬化ユニットを有する、積層体の作製装置。
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