JP2015056469A

JP2015056469A - 外部共振器により波長制御されたダイオードレーザモジュール

Info

Publication number: JP2015056469A
Application number: JP2013188100A
Authority: JP
Inventors: 実角谷; Minoru Sumiya; 淳増井; Atsushi Masui
Original assignee: Showa Optronics Co Ltd
Current assignee: Kyocera Soc Corp
Priority date: 2013-09-11
Filing date: 2013-09-11
Publication date: 2015-03-23
Also published as: US20150070774A1

Abstract

【課題】ダイオードレーザの中心波長を制御するとともに、モードホッピングの影響を小さくする。【解決手段】ダイオードレーザ１から出力されるレーザ光７を、コリメートレンズ２によって平行光にしたのち、アナモルフィックプリズム対５を通過させることにより、伝搬方向の角度に波長分散が付与された円形断面のレーザ光８に変換する。球面に部分反射コーティング１６ａが施された部分反射ミラー１６によってレーザ光８の一部を反射させ、反射したレーザ光９の光スペクトルの一成分をダイオードレーザ１に再び結合させることで、結合させたスペクトル成分の波長を中心としたマルチ縦モードで発振させる。これにより、ダイオードレーザ１への注入電流の変化や環境温度の変化によるモードホッピングの影響が小さくなる。中心波長は、部分反射ミラー１６の位置をレーザ光８の光軸に対して垂直方向に移動することで調整する。【選択図】図３

Description

本発明は、レーザ波長を制御するためにアナモルフィックプリズム対を含んだ外部共振器をもつダイオードレーザモジュールに関するものである。

半導体を利得媒質とし、電流注入することでレーザ光を発生するダイオードレーザは、一般にレーザの中心波長の個体差が大きく、量産され販売されているダイオードレーザでは中心波長の特定値に対する公差が±３ｎｍから±５ｎｍとされることが多い。他方、ダイオードレーザの中心波長は動作電流や温度に依存して変動するという特徴をもっている。

レーザを利用した応用装置では、この中心波長の公差や変動が問題とならないものもあるが、特に分析や計測の分野で使用する用途の中には、レーザの中心波長の公差や変動は小さくなくてはいけないものがある。

ダイオードレーザの中心波長を制御する手段として、ダイオードレーザの中心波長が温度に依存する特徴を利用して、温度を制御することで所望の波長に調整するものがある。例えば、波長が約０．８μｍのＡｌＧａＡｓ系のダイオードレーザでは、中心波長の温度係数は＋０．３ｎｍ／Ｋ程度であり、波長が０．４μｍのＩｎＧａＮ系のダイオードレーザでは、中心波長の温度係数は＋０．１ｎｍ／Ｋ程度である。そこで、温度係数に応じて温度を低く設定することにより、中心波長を短波長側に所望量だけシフトさせ、同じく温度を高く設定することにより、中心波長を長波長側に量だけシフトさせることができる。

別の波長制御方法の例として、レーザ波長の制御に体積ホログラム格子（volume holographic grating、ＶＨＧ）を使用した発明がある（特許文献１参照）。ＶＨＧは体積ブラッグ格子（volume Bragg grating、ＶＢＧ）などとも呼ばれる。ＶＨＧは特殊なガラスに屈折率の周期的変化を１次元方向に与えたものであり、特定の入射角度に対して特定の波長で反射する特性をもつ。特許文献１の発明では、ダイオードレーザの出力光をＶＨＧに垂直に入射し、その一部を反射させてダイオードレーザに再び結合させることで、出力光を特定の波長に制御している。

光回折格子を利用した例として特許文献２の発明がある。この発明は、光回折格子に光を照射したときに回折光の伝搬方向が波長分散をもつ特性を利用しており、ダイオードレーザから出力されたレーザ光を反射型の光回折格子に照射し、発生する回折光を反射ミラーによって戻すときに、反射ミラーの角度を調整して特定の波長成分のみをダイオードレーザに再び結合させることで出力光の波長を制御している。

プリズムを利用した例としては、非特許文献１に示されているものがある。これは、特許文献２と同様に基本的には光回折格子によって波長を選択する方式であるが、波長選択性を向上させるために、ダイオードレーザの出力光を複数のプリズムに通すことでレーザ光を断面の一方向に拡大した後に光回折格子に照射している。

非特許文献１にはエタロンを利用した例も示されている。これも特許文献２と同様に基本的にはこの光回折格子によって波長を選択する方式であるが、波長選択性を向上させるために、レーザダイオードと光回折格子の間の光路上にエタロンを配置している。

ダイオードレーザの例ではないが、プリズムの波長選択特性を利用した例として、光励起の半導体プレートレットレーザの発明がある（特許文献３参照）。この発明では、利得媒質である半導体プレートレットと出力ミラーとの間に構成されるレーザ共振器の中に１個のプリズムを置いた構造となっており、この１個のプリズムによって光スペクトルの狭帯域化とともに波長のチューニングを行っている。

米国特許第７６３６３７６号明細書米国特許第５５９４７４４号明細書米国特許第４４６２１０３号明細書

ＦｒａｎｋＪ．Ｄｕａｒｔｅ編著、「ＴｕｎａｂｌｅＬａｓｅｒＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ，２ｎｄｅｄｉｔｉｏｎ」、ＣＲＣＰｒｅｓｓ、２００８、Ｃｈａｐｔｅｒ５

波長を制御するために温度を制御する方式では、結露が生じない範囲でしか温度を下げられないといった問題や、温度を高くすることでダイオードレーザの寿命が短くなるという問題、ダイオードレーザに供給する電力よりも温度制御に必要な電力の方が大きくなってしまうといった問題がある。

特許文献１のようにＶＨＧを利用した方式、あるいは特許文献２のように光回折格子を利用した方式では、非特許文献１のようなエタロンやプリズムを併用した方式も含めて、単一縦モードか縦モードの本数が少ないマルチ縦モードになってしまい、ダイオードレーザへの注入電流を変化させたり、ダイオードレーザモジュールの温度や気圧が変化したりすると、モードホップが生じ、出力が変動してしまうという問題がある。

光回折格子を利用した方式や、特許文献３のように１個のプリズムによって波長選択した光励起の半導体プレートレットレーザでは、波長選択に必要な光路が大きく折れ曲がり、モジュール化したときに寸法が大きくなってしまうという問題もある。

本発明は、このような背景に鑑みなされたもので、ダイオードレーザの中心波長を制御して中心波長のばらつきを小さくするとともにモードホッピングのレーザパワーへの影響が小さいダイオードレーザモジュールを提供する。

そこで本発明は、波長分散特性が異なるプリズム２個を組み合わせてアナモルフィックプリズム対とし、このアナモルフィックプリズム対を、少なくとも片側端面に反射防止コーティングを付けたダイオードレーザと部分反射ミラーとの間に置く構造とした。このアナモルフィックプリズム対を通過するビームの波長に応じた分散を適度な値にして、部分反射ミラーによる反射光の角度を調整することによって出力されるビームの波長を所望に設定するとともに、モードホッピングの影響を少なくする。

本発明の一側面によれば、少なくともダイオードレーザ（１）、コリメートレンズ（２）、およびアナモルフィックプリズム対（５）を有し、前記ダイオードレーザ（１）の出力光を前記コリメートレンズ（２）で平行光にした後、前記アナモルフィックプリズム対（５）によってビーム断面形状を円形にして出力するダイオードレーザモジュールであって、前記ダイオードレーザ（１）の前記コリメートレンズ側の端面には反射防止コーティング（１ｂ）が施されており、前記アナモルフィックプリズム対（５）は、頂角（α）または材料の屈折率が異なる２つのプリズム（３、４）により構成され、前記アナモルフィックプリズム対（５）に対して前記ダイオードレーザ（１）と相反する側に、前記アナモルフィックプリズム対（５）を通過してきたレーザ光（８）の一部を反射させ、前記アナモルフィックプリズム対（５）を逆方向へ伝搬させて前記ダイオードレーザ（１）に結合させる部分反射ミラー（６、１６）が配置され、当該部分反射ミラー（６、１６）が前記レーザ光（８）の反射角度を調整可能に設けられることで、外部共振器により波長制御されるレーザダイオードモジュールを提供する。

また、本発明の一側面によれば、前記部分反射ミラー（６）が、光路上に配置される少なくとも２つの平面を有するとともに、前記レーザ光（８）の光軸に対して角度調整可能に設けられ、前記２つの平面の一方に部分反射コーティング（６ａ）が施されており、前記２つの平面の他方に反射防止コーティング（６ｂ）が施されている構成とすることができる。

また、本発明の一側面によれば、前記部分反射ミラー（１６）が、光路上に配置される少なくとも１つの球面および１つの平面を有するとともに、前記レーザ光（８）の光軸と直交する方向に移動可能に設けられ、前記球面に部分反射コーティング（１６ａ）が施されており、前記平面に反射防止コーティング（１６ｂ）が施されている構成とすることができる。

本発明によるダイオードレーザモジュールでは、レーザ光を所望の波長に調整し、しかも気圧が大きく変化したり、注入する電流を大きく変化させたりしても、あるいは、温度を変化させても、中心波長がほぼ一定となり、また、多数の縦モードをもつマルチ縦モードでレーザ動作するのでモードホップによる出力変化が小さくなる。注入電流に対するレーザパワーの特性は単調増加となるために、レーザパワーをモニターしながらレーザパワーが一定になるよう注入電流を制御する自動パワー制御（Automatic Power Control、ＡＰＣ）が可能となる。

さらに、ダイオードレーザモジュール内でレーザ光の光路が折れ曲がる箇所があるものの、ダイオードレーザの光軸と出力されるレーザ光の光軸は平行で、しかもそれらのシフト量が小さいので、前記の特性を持たせたまま小型のダイオードレーザモジュールを提供できる。

第１実施形態に係る外部共振器により波長制御されたダイオードレーザの構成を示す図である。図１の要部を詳しく説明するための図である。第２実施形態に係る外部共振器により波長制御されたダイオードレーザの構成を示す図である。図３の要部を詳しく説明するための図である。

本発明のダイオードレーザモジュールは、異なる値の頂角αを持つ２個のプリズム３、４を組み合わせてアナモルフィックプリズム対５とし、このアナモルフィックプリズム対５を、平面あるいは球面の片側端面に部分反射コーティング６ａ，１６ａを施した部分反射ミラー６、１６とダイオードレーザ１と間に置いた構造であり、この部分反射ミラー６、１６を透過したレーザ光１０を出力光としている。

波長分散特性が異なる個々のプリズム３、４を対にしてアナモルフィックプリズム対５として使用するとき、波長分散の一部がキャンセルされる性質を利用して、アナモルフィックプリズム対５に適当な大きさの波長分散を持たせた。

反射面が平面である部分反射ミラー６を使用する場合は、部分反射ミラー６の角度を調整して平面の法線の向きを変更することで中心波長を調整でき、反射面が球面である部分反射ミラー１６を使用する場合は、レーザ光８の光軸に対して垂直方向に部分反射ミラー１６の位置を調整することで中心波長を調整できる。

≪第１実施形態≫
図１は、本発明の外部共振器により波長制御されたダイオードレーザモジュールの光学的な機能をもつ構成要素を示す図である。ダイオードレーザ１は、ＩｎＧａＮ系であって波長４０５ｎｍに利得のピークをもつものである。ダイオードレーザ１の活性領域の片側の端面には波長４０５ｎｍに対して反射率が９５％以上となる高反射コーティング１ａが施され、もう一方の端面には同じ波長に対して反射率が１％以下となる反射防止コーティング１ｂが施されている。このダイオードレーザ１は、十分な電流を注入することにより、外部の光学素子がなくても単独でレーザ光を発生することができる。ダイオードレーザ１に対して反射防止コーティング１ｂが施された側には、非球面レンズであるコリメートレンズ２が配置され、ダイオードレーザ１から出力されるレーザ光がコリメートされる。コリメートされたレーザ光７の断面形状は楕円であり、その長軸と短軸の長さの比はおよそ２：１となる。

第１プリズム３と第２プリズム４とが一組になってアナモルフィックプリズム対５を構成している。断面形状が楕円のレーザ光７は、第１プリズム３と第２プリズム４とをこの順に通過することで、ビーム断面の長軸方向が約０．５倍に縮小される。そのため、アナモルフィックプリズム対５を通過したレーザ光８は断面形状がほぼ円形となる。また、これらのプリズム３、４を通過した後のレーザ光８の光軸は、プリズム３、４を通過する前のレーザ光７の光軸とほぼ平行になる。両レーザ光７、８の光軸のシフト量は約２ｍｍである。

アナモルフィックプリズム対５を通過したレーザ光８は部分反射ミラー６に入射する。部分反射ミラー６のアナモルフィックプリズム対５側の一面には、レーザ光８の波長とその近傍の波長域において約１０％の反射率をもつ誘電体多層膜による部分反射コーティング６ａが施されている。また、部分反射ミラー６の反対側の面には誘電体多層膜による反射防止コーティング６ｂが施されている。これら部分反射コーティング６ａおよび反射防止コーティング６ｂが施された面は互いに平行な平面である。部分反射ミラー６に入射するレーザ光８のうちの１０％が部分反射コーティング６ａが施された面で反射し（レーザ光９）、残りは部分反射ミラー６を通過する（レーザ光１０）。

ダイオードレーザ１やコリメートレンズ２は位置を調整できるように構成されている。一方、部分反射ミラー６は、偏向するレーザ光７、８の光軸を通る面に直交する向き（図１の紙面を貫通する方向）に回転中心をおいて角度を調整できるように構成されている。これらの位置や角度が調整されることにより、部分反射ミラー６で反射してアナモルフィックプリズム対５とコリメートレンズ２とを逆方向に伝播するレーザ光９のうち、所望の波長成分がダイオードレーザ１の発光領域に戻る。

アナモルフィックプリズム対５について図２を用いてさらに詳しく説明する。第１プリズム３は、株式会社オハラ製のＳ−ＴＩＨ１０（ＳＦ１０相当の）ガラスを材料とし、その頂角α_１は２０°である。第２プリズム４も、株式会社オハラ製のＳ−ＴＩＨ１０（ＳＦ１０相当の）ガラスを材料とし、その頂角α_２は１５°である。これらのプリズム３、４のレーザ光７が通過する２面にはそれぞれ反射防止コーティング（図示省略）が施されている。

第１プリズム３は、レーザ光７に対して６°だけ傾けて配置されており、レーザ光７の入射角θ_１が６°、ガラス内部から空気層へ射出するときの屈折角が４４．８°となる。このとき、第１プリズム３によるビーム縮小率は０．７８倍である。

第２プリズム４は、レーザ光７の光軸に対して４３．９°だけ傾けて配置しており、第１プリズム３によって偏向したレーザ光が入射するときの入射角θ_２が２５．１°、ガラス内部から空気層への射出するときの屈折角が５８．９°となる。このとき、第２プリズム４だけによるビーム縮小率は０．６３倍である。

上記の配置角度に第１プリズム３および第２プリズム４を配置したアナモルフィックプリズム対５をレーザ光７が通過すると、透過光はその楕円形の断面の長軸方向が約０．５倍に縮小される。

さらに図２を使いながら波長選択の原理について説明する。レーザ光７が前記のアナモルフィックプリズム対５を通過すると、レーザ光７の光軸とほぼ平行な光軸をもつレーザ光８として透過する。偏向角がほぼ０°といえる。しかし、厳密には波長によって偏向角が異なり、レーザ光８の偏向角は１２７μｒａｄ／ｎｍの波長分散特性をもつ。上記のプリズムの配置では、第１プリズム３だけでは２４８μｒａｄ／ｎｍ、第２プリズム４だけでは−２６６μｒａｄ／ｎｍの波長分散特性をもつが、第２プリズム４への入射角θ_２の変化に対する射出角の変化が０．５８倍となる効果が組み合わさって前述の１２７μｒａｄ／ｎｍの波長分散特性となっている。

ダイオードレーザ１の発振可能な波長範囲のうち、発振させたい波長をλ_２、λ_２より短い波長をλ_１、λ_２より長い波長をλ_３とする。波長選択がされていない状態では、ダイオードレーザ１から出力され、コリメートレンズ２によってコリメートされた直後では、それぞれ波長λ_１、λ_２、λ_３のレーザ光の成分７ａ、７ｂ、７ｃは同軸上を伝搬する。しかし、上記の偏向角度において波長分散特性をもつアナモルフィックプリズム対５を通過すると、これらの成分は分離され、異なる伝搬方向をもつレーザ光の成分８ａ、８ｂ、８ｃとなる。

図２では部分反射ミラー６に対してレーザ光の成分８ｂが垂直となるよう描いている。この場合、レーザ光の成分８ｂの一部が部分反射コーティング６ａによって反射され、レーザ光の成分９ｂとしてもとの光路を逆にたどりダイオードレーザ１の活性領域に結合する。レーザ光の成分８ａと８ｃも部分反射コーティング６ａによってそれらの一部が反射するが、０度入射ではないために、反射したレーザ光の成分８ａと８ｃも、ダイオードレーザ１の付近まで戻るが活性領域に結合するまでには至らない。このようにして、波長λ_２の成分だけが選択的に活性領域にフィードバックされるために、波長λ_２とその近傍の縦モードだけでレーザ動作し、出力光であるレーザ光１０の中心波長がλ_２となる。

波長を調整するためには部分反射ミラー６の配置角度を調整する。部分反射ミラー６の角度をレーザ光の成分８ａに垂直になるよう調整すると出力光であるレーザ光１０の中心波長はλ_１となる。また、部分反射ミラー６の角度をレーザ光８の成分８ｃに垂直になるよう調整すると出力光であるレーザ光１０の中心波長はλ_３となる。

実際に部分反射ミラー６の角度を約１．３ｍｒａｄの範囲で調整することにより、約１０ｎｍの範囲で中心波長を調整することができた。また、スペクトルバンド幅は０．３ｎｍ〜０．５ｎｍとなった。そして、ダイオードレーザ１の共振器の自由スペクトル領域２８ｐｍに相当する波長間隔で１０本から３０本程度の縦モードをもつマルチ縦モード発振となった。

非常に多くの縦モードが発生するために、電流値を変化させたり、レーザ筐体の温度を変化させたりしたときに生じるモードホッピングのレーザパワーへの影響は小さい。例えば電流を増加させながらレーザパワーの変化をモニターすると、レーザパワーは単調増加となる。したがって、レーザパワーをモニターしながらレーザパワーを一定にする自動パワー制御（automatic power control, ＡＰＣ）が可能となる。

ここまで説明してきたダイオードレーザモジュールは、ダイオードレーザ１の駆動回路や温度制御に必要な電子冷却素子（Thermo−Electric Cooler、ＴＥＣ）とその駆動回路を含めて、８１ｍｍ×４０ｍｍ×４０ｍｍの寸法のコンパクトな筐体に納まった。これは、ダイオードレーザ１から出力されたレーザ光の光軸と、最終的に出力されるレーザ光１０の光軸がシフトしているものの、そのシフト量が２ｍｍと非常に小さいために実現できた。

≪第２実施形態≫
図３は、本発明の外部共振器により波長制御されたダイオードレーザモジュールの第２実施形態の光学的な機能をもつ構成要素を示す図である。ダイオードレーザ１がコリメートレンズ２でコリメートされ、アナモルフィックプリズム対５を通過した際にビーム断面形状の補正をうけるとともに、偏向方向の波長分散を受け、レーザ光８の成分８ａ、８ｂ、８ｃが分散して伝搬するところまでは、第１実施形態と全く同じである。

図１で示した第１実施形態と異なるところは、部分反射ミラー１６の部分反射コーティング１６ａが施されている面が曲率半径１ｍの球面になっている点である。なお、部分反射ミラー１６の出力側の面は第１実施形態と同様に平面とされ、この面には反射防止コーティング１６ｂが施されている。そして部分反射ミラー１６は、レーザ光８の光軸に対して垂直に（反射防止コーティング１６ｂが施された平面がレーザ光８の光軸に対して垂直に）配置される。また、部分反射ミラー１６は、レーザ光８が球面の略中心に入射する位置に、より詳細にはレーザ光８のある成分が部分反射コーティング１６ａが施された球面の接平面に垂直に入射する位置に配置される。部分反射コーティング１６ａには、レーザ光７の波長とその近傍の波長域において２０％となる反射率を持たせている。

図４は、第２実施形態の波長選択の原理を説明するための図である。この図は、レーザ光８が含む波長成分のなかから波長λ_１の成分８ａが選択される場合について描いている。波長λ_１のレーザ光８の成分８ａは、部分反射ミラー１６の曲面の曲率中心１１方向を向いている。この場合、レーザ光８の成分８ａが部分反射ミラー１６に対して０度入射となるので、反射したレーザ光９の成分９ａは往路を逆にたどりダイオードレーザ１の活性領域に結合する。しかしながら、反射した波長がそれぞれλ_２およびλ_３であるレーザ光９の成分９ｂ、９ｃは、ダイオードレーザ１の近傍まで戻るが、活性領域に結合するまでには至らない。このようにして、波長λ_１の成分９ａだけが選択的に活性領域にフィードバックされるために、波長λ_１とその近傍の縦モードだけでレーザ動作し、出力光であるレーザ光１０の中心波長がλ_１となる。

波長を調整するためには部分反射ミラー１６の位置をレーザ光８の光軸に対して垂直方向にシフトさせる。レーザ光８の成分８ｂの伝搬方向の延長線上に部分反射ミラー１６の曲面の曲率中心１１が当たるように調整すると、出力光であるレーザ光１０の中心波長はλ_２となる。レーザ光８の成分８ｃの伝搬方向の延長線上に部分反射ミラー１６の曲面の曲率中心１１が当たるように調整すると、出力光であるレーザ光１０の中心波長はλ₃となる。

レーザ光の成分８ａ、８ｂ、８ｃが仮想的に分散を開始する仮想点１２から部分反射ミラー１６の曲面までの距離は、部分反射ミラー１６の曲面からその曲率中心１１までの距離、すなわち曲率半径Ｒに比べて十分に小さい。部分反射ミラー１６の移動量をδ、波長分散の値をβとすると、ダイオードレーザ１の活性領域に結合する波長の変化量は近似的にδ／βＲとして表すことができる。

実際に部分反射ミラー１６の位置を約１．５ｍｍの範囲で調整することにより、約１０ｎｍの範囲でレーザの中心波長を調整することができた。また、第１実施形態と同様に、１０本から３０本程度縦モードをもつマルチ縦モードのレーザ動作が得られ、電流値を変化させたり、レーザ筐体の温度を変化させたりしたときに生じるモードホッピングのレーザパワーへの影響は小さかった。また、筐体は第１実施形態の場合と同じ寸法で実現できた。

以上で具体的実施形態の説明を終えるが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、第１プリズム３および第２プリズム４として、同じガラス材料からなる互いに頂角αが異なるプリズムを用いることで、アナモルフィックプリズム対５に適度な分散特性を付与しているが、屈折率が互いに異なる材料からなり同一の頂角αをもつ２つのプリズムを用いてもよい。また、適度な分散特性が付与できるものであれば、屈折率が互いに異なる材料からなり且つ互いに頂角αが異なる２つのプリズムを用いてもよい。他方、部分反射ミラー６、１６をひっくり返して配置してもよい。このほか、ダイオードレーザモジュールを構成する各部材や部位の具体的形状や配置、材料、特性など、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜な変更を加えてもよい。一方、上記実施形態に示したの各要素は必ずしも全てが必須ではなく、適宜選択してもよい。

レーザを応用する分析や計測などの分野で、中心波長の公差が小さいことが要求される用途において、小型のダイオードレーザモジュールが使用できるようになる。

１ダイオードレーザ
１ａ反射防止コーティング
２コリメートレンズ
３第１プリズム
４第２プリズム
５アナモルフィックプリズム対
６、１６部分反射ミラー
６ａ、１６ａ部分反射コーティング
６ｂ、１６ｂ反射防止コーティング
α 頂角

Claims

少なくともダイオードレーザ、コリメートレンズ、およびアナモルフィックプリズム対を有し、前記ダイオードレーザの出力光を前記コリメートレンズで平行光にした後、前記アナモルフィックプリズム対によってビーム断面形状を円形にして出力するダイオードレーザモジュールであって、
前記ダイオードレーザの前記コリメートレンズ側の端面には反射防止コーティングが施されており、
前記アナモルフィックプリズム対は、頂角または材料の屈折率が異なる２つのプリズムにより構成され、
前記アナモルフィックプリズム対に対して前記ダイオードレーザと相反する側には、前記アナモルフィックプリズム対を通過してきたレーザ光の一部を反射させ、前記アナモルフィックプリズム対を逆方向へ伝搬させて前記ダイオードレーザに結合させる部分反射ミラーが配置され、当該部分反射ミラーが前記レーザ光の反射角度を調整可能に設けられたことを特徴とする、外部共振器により波長制御されたレーザダイオードモジュール。
前記部分反射ミラーが、光路上に少なくとも２つの平面を有するとともに、前記レーザ光の光軸に対して角度調整可能に設けられ、前記２つの平面の一方に部分反射コーティングが施されており、前記２つの平面の他方に反射防止コーティングが施されていることを特徴とする、請求項１に記載のダイオードレーザモジュール。
前記部分反射ミラーが、光路上に少なくとも１つの球面および１つの平面を有するとともに、前記レーザ光の光軸と直交する方向に移動可能に設けられ、前記球面に部分反射コーティングが施されており、前記平面に反射防止コーティングが施されていることを特徴とする、請求項１に記載のダイオードレーザモジュール。