JP2015048194A - 搬送装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】大型搬送物と小型搬送物とを搬送できながら、これらの搬送物の支持部の支持や支持解除の切換動作を迅速に行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】一対の大型用支持部31La,31Lbの夫々を大型用支持位置及び大型用退避位置に移動させる大型用駆動部と、一対の小型用支持部31Sa,31Sbの夫々を小型用支持位置及び小型用退避位置に移動させる小型用駆動部と、を設け、小型用退避位置を、一対の大型用支持部31La,31Lbにて支持されている被支持部9よりも一対の小型用支持部31Sa,31Sbが上方に位置する高さに設定し、一対の小型用支持部31Sa,31Sbを、横幅方向において一対の大型用支持部31La,31Lbの間に設ける。
【選択図】図6

Description

本発明は、搬送物に、本体部と、前記本体部の上面より上方に突出した突出部と、前記突出部から横幅方向の両側に突出する被支持部と、が備えられ、前記被支持部を支持する一対の支持部と、前記一対の支持部を前記横幅方向及び上下方向に移動自在に支持する移動体と、前記移動体を移動させる搬送用駆動部と、を設けている搬送装置に関する。
かかる搬送装置の従来例が、特開2003−171081号公報(特許文献1)に記載されている。特許文献1の搬送設備では、一対の支持部にて搬送物の被支持部を支持した状態で移動体を移動させて物品を搬送するようになっており、搬送物を搬送するために用いられるものである。
特開2003−171081号公報
上記した特許文献1の搬送設備は、1種類の搬送物を搬送するように構成されているが、搬送装置において、容積が異なる複数種の物品を搬送することが要求される場合がある。
具体例を挙げると、特許文献1の搬送装置では、半導体ウェハを収容するFOUPを搬送物として搬送しているが、FOUPには、450mmサイズの半導体ウェハを収容するFOUP(以下、大型搬送物の一例)や、300mmサイズの半導体ウェハを収容するFOUP(以下、小型搬送物の一例)があり、これらの容積が異なるFOUPを搬送することが要求される場合がある。そして、上述の450mm用FOUPと300mm用FOUPとでは、容積が異なるに伴って被支持部の横幅方向の幅(横幅)も異なっている。
このように、大型搬送物と小型搬送物とを搬送しようとする場合、一対の支持部にて支持する被支持部は、大型搬送物と小型搬送物とで横幅が異なる場合がある。
そこで、被支持部の横幅が異なる大型搬送物と小型搬送物とを搬送する場合、例えば、一対の支持部の位置を、互いの間隔が大型搬送物の被支持部の横幅より幅広となる退避位置と、大型搬送物の被支持部の横幅に対応する間隔となる大型用支持位置と、小型搬送物の支持部の横幅に対応する間隔となる小型用支持位置と、に位置変更させるようにすることで、一対の支持部にて大型搬送物と小型搬送物とを支持できるようにすることが考えられる。
しかしながら、上述のように構成した場合では、大型用支持位置での一対の支持部の間隔は退避位置での一対の支持部の間隔より狭く、小型用支持位置での一対の支持部の間隔は大型用位置での一対の支持部の間隔よりさらに狭い。そのため、一対の支持体の退避位置から小型用支持位置までの移動距離が長く、一対の支持体を退避位置から小型支持位置まで移動に要する時間が長くなるので、小型搬送物を支持や支持解除の切換動作に長い時間を要することになる。
そこで、大型搬送物と小型搬送物とを搬送できながら、これらの搬送物の支持部の支持や支持解除の切換動作を迅速に行うことができる搬送装置が求められる。
本発明に係る搬送装置の特徴構成は、搬送物の上端部に備えられた被支持部を支持する一対の支持部と、前記一対の支持部を支持する移動体と、前記移動体を移動させる搬送用駆動部と、を設けている搬送装置において、
前記搬送物として、小型搬送物と当該小型搬送物より体積が大きい大型搬送物とがあり、前記大型搬送物の前記被支持部が、前記小型搬送物の前記被支持部より横幅方向に幅広に形成され、前記一対の支持部として、前記大型搬送物の前記被支持部を支持する一対の大型用支持部と、前記小型搬送物の前記被支持部を支持する一対の小型用支持部と、を各別に設け、 前記一対の大型用支持部の夫々を、他方の前記大型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる大型用支持位置、及び、他方の前記大型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅広な間隔となる大型用退避位置、に移動させる大型用駆動部と、前記一対の小型用支持部の夫々を、他方の前記小型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記小型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる小型用支持位置、及び、他方の前記小型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記小型搬送物の前記被支持部の横幅より幅広な間隔で且つ前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる小型用退避位置、に移動させる小型用駆動部と、が設けられ、前記小型用退避位置が、前記一対の大型用支持部にて支持されている前記被支持部よりも前記一対の小型用支持部が上方に位置する高さに設定され、前記一対の小型用支持部が、前記横幅方向において前記一対の大型用支持部の間に設けられている点にある。
この特徴構成によれば、一対の大型用支持部を、大型用退避位置から大型用支持位置に移動させることで、一対の大型用支持部にて大型搬送物の被支持部を支持することができ、このように一対の大型用支持部にて大型搬送物の被支持部を支持した状態で、移動体を移動させることで、大型搬送物を搬送することができる。
また、一対の小型用支持部を、小型用退避位置から小型用支持位置に移動させることで、一対の小型用支持部にて小型搬送物の被支持部を支持することができ、このように一対の小型用支持部にて小型搬送物の被支持部を支持した状態で、移動体を移動させることで、小型搬送物を搬送することができる。
そして、大型用退避位置を、一対の大型用支持部の互いの間隔が大型搬送物の被支持部の横幅より幅広となる位置に設定しており、これに対して、小型用退避位置を、一対の小型用支持部の互いの間隔が小型搬送物の被支持部の横幅より幅広で且つ大型搬送物の被支持部の横幅より幅狭となる位置に設定している。
つまり、小型用退避位置に位置する一対の小型用支持部の間隔は、大型用退避位置に位置する一対の大型用支持部の間隔より横幅方向に狭い。そのため、小型搬送物を支持するときや支持を解除する場合、一対の小型用支持部を小型用退避位置から小型用支持位置に移動させるときに、その移動距離を比較的短くでき、小型搬送物を支持するときや支持を解除するときの時間の短縮化を図ることができる。
小型用退避位置は、一対の大型用支持部にて支持されている被支持部よりも一対の小型用支持部が上方に位置する高さに設定されている。そのため、搬送装置の小型化を図るべく一対の小型用支持部を一対の大型用支持部の間に配設したとしても、一対の大型用支持部にて支持されている大型搬送物の被支持部が小型用退避位置に位置する一対の小型用支持部に接触することを回避できるため、大型搬送物と小型搬送物とを搬送することができる。
このように、大型搬送物と小型搬送物とを搬送できながら、これらの搬送物の支持部の支持や支持解除の切換動作を迅速に行うことができる搬送装置を提供できるに至った。
ここで、前記一対の大型用支持部及び前記一対の小型用支持部の夫々が、前記横幅方向と直交する前後方向に沿う揺動軸心周りに揺動自在に前記移動体に支持され、前記一対の大型用支持部が、前記揺動軸心周りの揺動により、前記大型用支持位置と前記大型用退避位置とに移動自在に構成され、前記一対の小型用支持部が、前記揺動軸心周りの揺動により、前記小型用支持位置と前記小型用退避位置とに移動自在に構成されていると好適である。
この構成によれば、一対の大型用支持部を揺動軸心周りに揺動させることで、一対の大型用支持部を横幅方向及び上下方向に移動させて大型用退避位置や小型用支持位置に移動させることができる。また、一対の小型用支持部を揺動軸心周りに揺動させることで、一対の小型用支持部を横幅方向及び上下方向に移動させて小型用退避位置や大型用支持位置に移動させることができる。
このように一対の大型用支持部や一対の小型用支持部を揺動軸心周りに揺動させるだけで退避位置や支持位置に移動させることができるので、支持部を横幅方向に移動させる機構と支持部を上下方向に移動させる機構とを各別に設ける場合に比べて構成の簡素化を図ることができる。
また、前記一対の大型用支持部について、前記横幅方向の一方側となる第1方向側に位置する前記大型用支持部を第1大型用支持部、前記横幅方向の前記第1方向側とは反対側の第2方向側に位置する前記大型用支持部を第2大型用支持部とし、前記一対の小型用支持部について、前記第1方向側に位置する前記小型用支持部を第1小型用支持部、前記第2方向側に位置する前記小型用支持部を第2小型用支持部として、前記第1大型用支持部及び前記第1小型用支持部を移動操作する第1操作部と、前記第2大型用支持部及び前記第2小型用支持部を移動操作する第2操作部と、を設け、前記第1操作部が、第1基準位置から前記第1方向側に移動することで前記第1大型用支持部における揺動軸心より上方に位置する大型用***作部分を前記第1方向側に押圧して前記第1大型用支持部を前記大型用退避位置から前記大型用支持位置に移動操作し、且つ、前記第1基準位置から前記第2方向側に移動することで前記第1小型用支持部における揺動軸心より下方に位置する小型用***作部分を前記第2方向側に押圧して前記第1小型用支持部を前記小型用退避位置から前記小型用支持位置に移動操作する状態で、前記横幅方向で前記第1大型用支持部と前記第1小型用支持部との間に設けられ、前記第2操作部が、第2基準位置から前記第2方向側に移動することで前記第2大型用支持部における揺動軸心より上方に位置する大型用***作部分を前記第2方向側に押圧して前記第2大型用支持部を前記大型用退避位置から前記大型用支持位置に移動操作し、且つ、第2基準位置から前記第1方向側に移動することで前記第2小型用支持部における揺動軸心より下方に位置する小型用***作部分を前記第1方向側に押圧して前記第2小型用支持部を前記小型用退避位置から前記小型用支持位置に移動操作する状態で、前記横幅方向で前記第2大型用支持部と前記第2小型用支持部との間に設けられ、前記第1操作部と前記第2操作部とを前記横幅方向で反対方向に移動させるように前記第1操作部と前記第2操作部とを連係する連係部と、前記支持用駆動部が、前記連係部を駆動操作するように構成されて前記大型用駆動部及び前記小型用駆動部として機能していると好適である。
この構成によれば、連係部の操作により、第1操作部を第1方向側に移動させて第1大型用支持部を大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作するとともに、第2操作部を第2方向側に移動させて第2大型操作部を大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作することができる。また、連係部の操作により、第1操作部を第2方向側に移動させて第1小型用支持部を小型用退避位置から小型用支持位置に移動操作するとともに、第2操作部を第1方向側に移動させて第2小型操作部を小型用退避位置から小型用支持位置に移動操作することができる。
そして、第1操作部の第1方向への移動と第2操作部の第2方向への移動とを同期させた状態で移動させることができ、また、第1操作部の第2方向への移動と第2操作部の第1方向への移動とを同期させることができるので、横幅方向の両側から同時に一対の支持部を移動させて搬送物を適切に支持し易い。
また、連係部を駆動操作する1つの支持用駆動部に、一対の大型用支持部を大型用退避位置と大型用支持位置とに移動させる大型用駆動部としての機能と、一対の小型用支持部を小型用退避位置と小型用支持位置とに移動させる小型用駆動部としての機能と、を備えさせることができるため、駆動部の個数を減少させることができる。
また、前記第1大型用支持部における前記大型用***作部分を前記第2方向側に付勢する第1大型用付勢部材と、前記第2大型用支持部における前記大型用***作部分を前記第1方向側に付勢する第2大型用付勢部材と、前記第1小型用支持部における前記小型用***作部分を前記第1方向側に付勢する第1小型用付勢部材と、前記第2小型用支持部における前記小型用***作部分を前記第2方向側に付勢する第2小型用付勢部材と、が設けられていると好適である。
この構成によれば、第1大型用支持部を第1大型用支持位置に移動させた状態では、第1大型用付勢部材の***作部が第1大型用付勢部材にて第1操作部が存在する第1方向側に付勢される。そのため、第1大型用付勢部材の***作部が第1操作部に押し付けられて、第1大型用付勢部材を第2大型用支持位置に保持することができる。同様に、第2大型用支持部を第2大型用支持位置に保持し、第1小型用支持部を第1小型用支持位置に保持し、第2小型用支持部を第2小型用支持位置に保持することができる。
このように一対の大型用支持部の夫々を大型用支持位置に保持し、一対の小型用支持部の夫々を小型用支持位置に保持することができるので、大型搬送物や小型搬送物を適切に支持して搬送することができる。
物品搬送設備の正面図 大型搬送物を支持している搬送装置の正面図 小型搬送物を支持している搬送装置の正面図 移動体の内部構造を示す平面図 移動体の縦断正面図 一対の大型用支持部を支持位置に移動させた移動体の縦断正面図 一対の小型用支持部を支持位置に移動させた移動体の縦断正面図 第1操作部の移動作用図
以下、本発明にかかる搬送装置を備えた物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1〜図4に示すように、物品搬送設備には、天井側に走行経路に沿って配設された走行レール2に案内支持されて走行経路に沿って走行自在な搬送装置としての天井搬送車1と、基板に対して処理を行う処理装置3と、その処理装置3に隣接する状態で床側に設けられた物品支持台4と、が設けられている。搬送物6は、収容物を収容する搬送容器であり、具体的には、半導体ウェハを収容するFOUPである。
図2及び図3に示すように、搬送物6には、複数枚の基板を収容する本体部7と、この本体部7より上方に位置して搬送物6の上端部に備えられた被支持部9と、本体部7と被支持部9とを連結する連結部8と、が備えられている。被支持部9は、連結部8から容器前後方向及び容器左右方向に突出する形状に形成されており、本体部7と被支持部9との間には、後述する支持部31が容器横幅方向に挿入される隙間が形成されている。また、被支持部9の上面には、天井搬送車1に備えられた突起部34が上方から係合する凹入部10(図6及び図7参照)が備えられている。図示は省略するが、本体部7の前面には、本体部7の収容空間に対して基板を出し入れするための開口部が形成されている。
図2及び図3に示すように、搬送物6には、小型搬送物6S(300mmサイズの半導体ウェハを収容するFOUP)と当該小型搬送物6Sより体積が大きい大型搬送物6L(450mmサイズの半導体ウェハを収容するFOUP)とがある。大型搬送物6Lの本体部7は、小型搬送物6Sの本体部7に比べて、上下方向、容器左右方向及び容器前後方向に大きく形成されており、小型搬送物6Sの本体部7より大きな基板を収容できるようになっている。
ちなみに、図1は、大型搬送物6Lを例に、天井搬送車1が処理装置3の物品支持台4との間で搬送物6を授受する状態を示す図である。また、図2は、大型搬送物6Lを搬送している天井搬送車1を示す図であり、図3は、小型搬送物6Sを搬送している天井搬送車1を示す図である。
図6及び図7に示すように、大型搬送物6Lの連結部8は、小型搬送物6Sの連結部8に比べて、上下方向に長く形成されている。そのため、大型搬送物6Lにおける本体部7と被支持部9との間に上下方向に形成される隙間は、小型搬送物6Sにおける本体部7と被支持部9との間に上下方向に形成される隙間より広い隙間となっている。
また、大型搬送物6Lの被支持部9は、小型搬送物6Sの被支持部9に比べて、容器前後方向及び容器左右方向に幅広に形成されている。ちなみに、大型搬送物6Lの凹入部10と小型搬送物6Sの凹入部10とは同じ大きさ及び形状に形成されている。
〔天井搬送車〕
図2及び図3に示すように、天井搬送車1は、走行レール2上を走行経路に沿って走行する走行移動部12と、走行レール2の下方に位置するように走行移動部12に吊り下げ支持され且つ搬送物6を支持する支持機構19を昇降移動自在に支持する昇降支持部13と、を備えて構成されている。
ちなみに、天井搬送車1の走行方向に沿う方向を横幅方向と称し、この横幅方向と交差する方向を前後方向と称する。また、昇降支持部13には、搬送物6はその容器左右方向が天井搬送車1の横幅方向に沿う状態で支持される。そのため、以下、搬送物6の容器左右方向について横幅方向と称して説明する。また、横幅方向の一方側(図4における左側)を第1方向側、横幅方向の第1方向とは反対側(図4における右側)を第2方向側と称する。
走行移動部12には、走行用モータ15にて回転駆動されて走行レール2の上面を転動する駆動輪16と、走行レール2の側面に当接する回転自在な案内輪17と、が設けられている。そして、走行移動部12は、走行用モータ15にて駆動輪16を回転駆動し、案内輪17が走行レール2にて接触案内されることにより、走行移動部12が走行レール2に案内されて走行経路に沿って走行するように構成されている。
昇降支持部13には、搬送物6を支持する支持機構19と、支持機構19を昇降移動させる昇降操作機構20と、搬送用位置に位置する搬送物6の上方側及び走行経路長手方向の両側を覆うカバー部21と、支持機構19にて搬送用位置で支持された搬送物6の落下を防止する落下防止体22と、を備えて構成されている。
昇降操作機構20は、先端部に支持機構19を連結支持した巻き取りベルト20aを巻回する巻回体24と、巻回体24を回転駆動する昇降用モータ25と、が設けられている。そして、昇降用モータ25にて巻回体24を正逆に回転駆動させて、巻き取りベルト20aを巻き取り及び繰り出し操作することで、支持機構19を昇降移動させるように構成されている。図2や図3に示すように、巻き取りベルト20aを巻き取った状態では、支持機構19に支持された搬送物6(大型搬送物6L及び小型搬送物6S)はカバー部21内の搬送用位置に位置している。
落下防止体22は、横幅方向に並ぶ状態で一対設けられており、一対の落下防止体22の間隔を、小型搬送物6Sの横幅方向の幅より幅狭な受止用間隔(図1(b),図2及び図3参照)と、大型搬送物6Lの横幅方向の幅より幅広な退避用間隔(図1(a)参照)と、に位置変更自在に構成されている。
そして、落下防止用モータ27の駆動により、一対の落下防止体22の間隔を受止用間隔に変更することで、天井搬送車1の走行中に支持機構19による支持が外れても搬送物6を落下防止体22にて受け止めることで搬送物6の落下を防止することができるようになっている。また、落下防止用モータ27の駆動により、一対の落下防止体22の間隔を退避用間隔に変更することで、図1に示すように、支持機構19を昇降移動させて搬送物6を物品支持台4に受け渡すことや物品支持台4から搬送物6を受け取ることができるようになっている。
〔支持機構〕
次に、天井搬送車1の支持機構19について説明する。
図4及び図5に示すように、天井搬送車1の支持機構19には、搬送物6の被支持部9を載置支持する一対の支持部31と、一対の支持部31を前後方向に沿う軸心周りに揺動自在に支持する移動体32と、移動体32に対する一対の支持部31の位置を支持位置と退避位置とに移動させる支持用駆動部としての支持用モータ33と、搬送物6の凹入部10に係合して移動体32に対して水平方向でセンタリングさせる突起部34と、が設けられている。
移動体32は、走行用モータ15の駆動により天井搬送車1を走行移動させることで水平方向に沿って移動し、昇降用モータ25の駆動により昇降支持部13を昇降移動させることで昇降移動する。そのため、これら走行用モータ15や昇降用モータ25が、移動体32を移動させる搬送用駆動部に相当する。
一対の支持部31として、大型搬送物6Lの被支持部9を載置支持する一対の大型用支持部31Lと、小型搬送物6Sの被支持部9を載置支持する一対の小型用支持部31Sと、が各別に設けられており、支持機構19には、2組の支持部31、計4つの支持部31が設けられている。そして、一対の小型用支持部31Sが、横幅方向において一対の大型用支持部31Lの間で且つ上下方向において一対の大型用支持部31Lと同じ高さに設けられている。
図5及び図6に示すように、一対の大型用支持部31Lの夫々は、前後方向に沿う大型用揺動軸心PL周りに揺動自在に移動体32に支持されている。一対の大型用支持部31Lの夫々は、大型用揺動軸心PL周りに揺動することで、移動体32に対して大型用支持位置(図6参照)と大型用退避位置(図5参照)とに移動するように構成されている。
また、図5及び図7に示すように、一対の小型用支持部31Sの夫々は、前後方向に沿う小型用揺動軸心PS周りに揺動自在に移動体32に支持されている。一対の小型用支持部31Sの夫々は、小型用揺動軸心PS周りに揺動することで、移動体32に対して小型用支持位置(図7参照)と小型用退避位置(図5参照)とに移動するように構成されている。
このように、一対の大型用支持部31L及び一対の小型用支持部31Sの夫々を、前後方向に沿う揺動軸心周りに揺動自在に移動体32に支持している。
図5〜図7に示すように、大型用支持位置は、他方の大型用支持部31Lとの横幅方向での間隔が大型搬送物6Lの被支持部9の横幅より幅狭で且つ小型搬送物6Sの被支持部9の横幅より幅広な間隔となる位置に設定されている。大型用退避位置は、他方の大型用支持部31Lとの横幅方向での間隔が大型搬送物6Lの被支持部9の横幅より幅広な間隔となる位置に設定されている。また、この大型用退避位置は、大型用支持位置より設定高さ高い位置に設定されており、一対の小型用支持部31Sにて載置支持されている小型搬送物6Sの被支持部9よりも一対の大型用支持部31Lが上方に位置する高さに設定されている。
小型用支持位置は、他方の小型用支持部31Sとの横幅方向での間隔が小型搬送物6Sの被支持部9の横幅より幅狭な間隔となる位置に設定されている。小型用退避位置は、他方の小型用支持部31Sとの横幅方向での間隔が小型搬送物6Sの被支持部9の横幅より幅広で且つ大型搬送物6Lの被支持部9の横幅より幅狭な間隔となる位置に設定されている。また、この小型用退避位置は、小型用支持位置より設定高さ高い位置に設定されており、一対の大型用支持部31Lにて載置支持されている大型搬送物6Lの被支持部9よりも一対の小型用支持部31Sが上方に位置する高さに設定されている。
ちなみに、一対の大型用支持部31Lと一対の小型用支持部31Sとは、大型用揺動軸心PLと小型用揺動軸心PSとが同じ高さ(図8参照)になるように移動体32に支持されており、大型用支持部31Lを大型用支持位置に位置させた状態での大型用揺動軸心PLから大型用支持部31Lの載置面までの上下方向の間隔と、小型用支持部31Sを小型用支持位置に位置させた状態での小型用揺動軸心PSから小型用支持部31Sの載置面までの上下方向の間隔とが同じ間隔となっている。
図5及び図6に示すように、一対の大型用支持部31Lについて、横幅方向の第1方向側に位置する大型用支持部31Lを第1大型用支持部31La、横幅方向の第2方向側に位置する大型用支持部31Lを第2大型用支持部31Lbとしている。そして、図6に示すように、支持機構19は、第1大型用支持部31Laにて、大型搬送物6Lの被支持部9における第1方向側端部を載置支持し、第2大型用支持部31Lbにて、大型搬送物6Lの被支持部9における第2方向側端部を載置支持することで、大型搬送物6Lを吊り下げ支持するように構成されている。
また、図5及び図7に示すように、一対の小型用支持部31Sについて、横幅方向の第1方向側に位置する小型用支持部31Sを第1小型用支持部31Sa、横幅方向の第2方向側に位置する小型用支持部31Sを第2小型用支持部31Sbとしている。そして、図7に示すように、支持機構19は、第1小型用支持部31Saにて、小型搬送物6Sの被支持部9における第1方向側端部を載置支持し、第2小型用支持部31Sbにて、小型搬送物6Sの被支持部9における第2方向側端部を載置支持することで、小型搬送物6Sを吊り下げ支持するように構成されている。
図8に示すように、一対の大型用支持部31Lの夫々は、支持位置から退避位置側に向けて大型用付勢部材30Lにて付勢されるとともに、退避位置から支持位置とは反対側への揺動は大型用規制部材29Lとの接当により規制されている。そのため、図8(b),(c)に示すように、一対の大型用支持部31Lの夫々は、大型用付勢部材30Lの付勢力にて大型用規制部材29Lに押し付けられることで、退避位置に保持されている。
また、一対の小型用支持部31Sの夫々は、支持位置から退避位置側に向けて小型用付勢部材30Sにて付勢されるとともに、退避位置から支持位置とは反対側への揺動は小型用規制部材29Sとの接当により規制されている。そのため、図8(a),(b)に示すように、一対の小型用支持部31Sの夫々は、小型用規制部材29Sの付勢力にて小型用規制部材29Sに押し付けられることで、退避位置に保持されている。
ちなみに、図8では、一対の大型用支持部31Lのうちの第1大型用支持部31Laのみを図示しており、一対の小型用支持部31Sのうちの第1小型用支持部31Saのみを図示している。また、大型用付勢部材30L及び小型用付勢部材30Sは、コイルスプリングにて構成されている。
図4に示すように、支持機構19には、回転軸36に螺合されて回転軸36の回転に伴って横幅方向に移動する第1移動ブロック37a及び第2移動ブロック37bと、案内レール38に案内される状態で横幅方向に移動自在な第1案内ブロック39a及び第2案内ブロック39bと、第1大型用支持部31Laを移動操作する第1大型用操作部40Laと、第2大型用支持部31Lbを移動操作する第2大型用操作部40Lbと、第1小型用支持部31Saを移動操作する第1小型用操作部40Saと、第2小型用支持部31Sbを移動操作する第2小型用操作部40Sbと、が設けられている。
そして、横幅方向において同じ第1方向側に位置する第1移動ブロック37aと第1案内ブロック39aと第1大型用操作部40Laと第1小型用操作部40Saとが、一体的に横幅方向に移動するように第1連結部材41aにて互いに連結されている。
また、横幅方向において同じ第2方向側に位置する第2移動ブロック37bと第2案内ブロック39bと第2大型用操作部40Lbと第2小型用操作部40Sbとが、一体的に横幅方向に移動するように第2連結部材41bにて互いに連結されている。
ちなみに、第1大型用支持部31Laを移動操作する第1大型用操作部40Laと第1小型用支持部31Saを移動操作する第1小型用操作部40Saとで、第1操作部40aが構成されている。また、第2大型用支持部31Lbを移動操作する第2大型用操作部40Lbと第2小型用支持部31Sbを移動操作する第2小型用操作部40Sbとで、第2操作部40bが構成されている。
そして、回転軸36、第1移動ブロック37a、第2移動ブロック37b、第1連結部材41a及び第2連結部材41bにて、第1操作部40aと第2操作部40bとを横幅方向移動させるように第1操作部40aと第2操作部40bとを連結する連係部が構成されている。
また、支持用モータ33が、連係部を駆動操作する支持用駆動部に相当し、一対の大型用支持部31Lの夫々を大型用支持位置及び大型用退避位置に移動させる大型用駆動部や一対の小型用支持部31Sの夫々を小型用支持位置及び小型用退避位置に移動させる小型用駆動部として設けられている。
図5〜図8に示すように、第1操作部40aは、第1基準位置から第1方向側に移動することで、第1大型用支持部31Laにおける揺動軸心より上方に位置する大型用***作部分47Lを第1方向側に押圧して第1大型用支持部31Laを大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作する。また、第1操作部40aは、第1基準位置から第2方向側に移動することで第1小型用支持部31Saにおける揺動軸心より下方に位置する小型用***作部分47Sを第2方向側に押圧して第1小型用支持部31Saを小型用退避位置から小型用支持位置に移動操作する。
このように第1操作部40aは、第1基準位置から第1方向側に移動することで第1大型用支持部31Laを移動操作し、第1基準位置から第2方向側に移動することで第1小型用支持部31Saを移動操作するように、横幅方向で第1大型用支持部31Laと第1小型用支持部31Saとの間に設けられている。
第2操作部40bは、第2基準位置から第2方向側に移動することで第2大型用支持部31Lbにおける揺動軸心より上方に位置する大型用***作部分47Lを第2方向側に押圧して第2大型用支持部31Lbを大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作する。また、第2操作部40bは、第2基準位置から第1方向側に移動することで第2小型用支持部31Sbにおける揺動軸心より下方に位置する小型用***作部分47Sを第1方向側に押圧して第2小型用支持部31Sbを小型用退避位置から小型用支持位置に移動操作する。
このように第2操作部40bは、第2基準位置から第2方向側に移動することで第2大型用支持部31Lbを移動操作し、第2基準位置から第1方向側に移動することで第2小型用支持部31Sbを移動操作するように、横幅方向で第2大型用支持部31Lbと第2小型用支持部31Sbとの間に設けられている。
図4に示すように、支持用モータ33の出力軸に駆動側プーリ43で設けられ、回転軸36の第1方向側の端部に従動側プーリ44が設けられており、これら駆動側プーリ43と従動側プーリ44とに亘って駆動ベルト45が巻回されている。支持用モータ33を正逆に回転駆動させることで、回転軸36を正逆に回転させるようになっている。尚、移動体32には、回転軸36の回転を制動させるブレーキ46が設けられている。
回転軸36には、第1移動ブロック37aや第2移動ブロック37bを螺合させるためのネジ山が螺刻されている。この回転軸36に螺刻されているネジ山は、第1移動ブロック37aが螺合する第1方向側に位置する部分と第2移動ブロック37bが螺合する第2方向側に位置する部分とでは、逆向きのネジ山が螺刻されている。そのため、回転軸36を回転させたときの第1移動ブロック37aの移動方向と第2移動ブロック37bの移動方向とが逆になるようになっている。
4つの支持部31の夫々は、前後方向に沿う板状に形成されて上面にて被支持部9を載置支持する載置面を形成する支持用部分と、その支持用部分の前後方向両端部から上方に立ち上げられた一対の連結部分と、を備えて構成されており、横幅方向視でU字状に形成されている。そして、第1大型用支持部31Laの板状部分と連結部分とに囲まれる空間を利用して駆動側プーリ43、従動側プーリ44及び駆動ベルト45等が配設されている。
次に、図8に基づいて一対の大型用支持部31Lと一対の小型用支持部31Sとの操作構造について説明する。
第1大型用支持部31Laや第1小型用支持部31Saの操作構造と第2大型用支持部31Lbや第2小型用支持部31Sbの操作構造とは、横幅方向に反転させた点以外は同様に構成されているため、第1大型用支持部31Laや第1小型用支持部31Saの操作構造について説明し、第2大型用支持部31Lbや第2小型用支持部31Sbの操作構造については説明を省略する。
第1大型用支持部31Laは、大型用揺動軸心PL周りに揺動するように移動体32に連結されており、第1大型用支持部31Laにおける大型用揺動軸心PLより上方箇所に大型用***作部分47Lが設けられている。そのため、第1大型用支持部31Laは、大型用***作部分47Lが第1方向側に押圧操作されることで、反時計回りに揺動して大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作されるようになっている。
ちなみに、押圧操作が解除されるに伴って、第1大型用支持部31Laは、大型用付勢部材30Lの付勢力により時計回りに揺動して大型用支持位置から大型用退避位置に移動操作されるようになっている。
尚、図8に示された大型用付勢部材30Lが、第1大型用支持部31Laにおける大型用***作部分47Lを第2方向側に付勢する第1大型用付勢部材に相当し、第2大型用支持部31Lbにおける大型用***作部分47Lを第1方向側に付勢する第2大型用付勢部材については図示を省略している。
第1小型用支持部31Saは、小型用揺動軸心PS周りに揺動するように構成されており、第1小型用支持部31Saにおける小型用揺動軸心PSより下方箇所に小型用***作部分47Sが設けられている。そのため、第1小型用支持部31Saは、小型用***作部分47Sが第2方向側に押圧操作されることで、反時計回りに揺動して小型用退避位置から小型用支持位置に移動操作されるようになっている。
ちなみに、押圧操作が解除されるに伴って、第1小型用支持部31Saは、小型用付勢部材30Sの付勢力により時計回りに揺動して小型用支持位置から大型用退避位置に移動操作されるようになっている。
尚、図8に示された小型用付勢部材30Sが、第1小型用支持部31Saにおける小型用***作部分47Sを第1方向側に付勢する第1小型用付勢部材に相当し、第2小型用支持部31Sbにおける小型用***作部分47Sを第2方向側に付勢する第2小型用付勢部材については図示を省略している。
そして、図8(a),(b)に示すように、第1操作部40aを第1基準位置から第1方向側に移動させることで、第1小型用支持部31Saを小型用退避位置に維持させた状態で、第1大型用支持部31Laを大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作できるようになっている。
また、図8(b),(c)に示すように、第1操作部40aを第1基準位置から第2方向側に移動させることで、第1大型用支持部31Laを大型用退避位置に維持させた状態で、第1小型用支持部31Saを小型用退避位置から小型用支持位置に移動操作できるようになっている。
物品搬送設備には、天井搬送車1の作動を制御する制御装置(図示せず)が設けられている。この制御装置は、搬送物6を物品支持台4に受け渡す受渡処理と、搬送物6を物品支持台4から受け取る受取処理と、を実行するように構成されている。
受渡処理では、まず、搬送物6を支持する天井搬送車1を物品支持台4に対応する停止位置に停止させた状態で、落下防止体22の間隔を退避用間隔に変更した後、搬送用位置の搬送物6の下面と物品支持台4の載置面との高低差に対応した長さの巻き取りベルト20aを繰り出す。そして、搬送物6が大型搬送物6Lである場合は、一対の大型用支持部31Lを大型用支持位置から大型用退避位置に移動させて大型搬送物6Lを物品支持台4に受け渡し、搬送物6が小型搬送物6Sである場合は、一対の小型用支持部31Sを小型用支持位置から小型用退避位置に移動させて小型搬送物6Sを物品支持台4に受け渡す。その後、天井搬送車1の高さと物品支持台4に位置する搬送物6の被支持部9の高さとの高低差に対応する長さの巻き取りベルト20aを巻き取る。このように各機構を作動させるべく、走行用モータ15、昇降用モータ25、落下防止用モータ27及び支持用モータ33の作動が制御されて受渡処理が実行される。
また、受取処理では、まず、搬送物6を支持しない天井搬送車1を物品支持台4に対応する停止位置に停止させた状態で、天井搬送車1の高さと物品支持台4に位置する搬送物6の被支持部9の高さとの高低差に対応する長さの巻き取りベルト20aを繰り出す。そして、搬送物6が大型搬送物6Lである場合は、一対の大型用支持部31Lを大型用退避位置から大型用支持位置に移動させて大型搬送物6Lを物品支持台4から受け取り、搬送物6が小型搬送物6Sである場合は、一対の小型用支持部31Sを小型用退避位置から小型用支持位置に移動させて小型搬送物6Sを物品支持台4から受け取る。その後、搬送用位置の搬送物6の下面と物品支持台4の載置面との高低差に対応した長さの巻き取りベルト20aを巻き取る。このように各機構を作動させるべく、走行用モータ15、昇降用モータ25、落下防止用モータ27及び支持用モータ33の作動が制御されて受取処理が実行される。
このように構成された天井搬送車1は、小型用退避位置に位置する一対の小型用支持部31Sの間隔は、大型用退避位置に位置する一対の大型用支持部31Lの間隔より狭いため、小型搬送物6Sを支持するときや支持を解除する場合、一対の小型用支持部31Sを小型用退避位置から小型用支持位置に移動させるときに、その移動距離を比較的短くできる。そのため、小型搬送物6Sを支持するときや支持を解除するときの時間の短縮化を図ることができるようになっている。
〔別実施形態〕
(1)上記実施形態では、大型用揺動軸心PLの高さと小型用揺動軸心PSの高さとを同じ高さとしたが、大型用揺動軸心PLの高さと小型用揺動軸心PSの高さとを異なる高さにしてもよい。具体的には、例えば、大型用揺動軸心PLを小型用揺動軸心PSより低い高さにしてもよい。この場合、大型用揺動軸心PLより低く且つ小型用揺動軸心PSより高い高さに、大型用操作部と小型用操作部とを設けてもよい。
(2)上記実施形態では、一対の大型用支持部31Lの夫々を大型用揺動軸心PL周りに揺動させて大型用支持位置と大型用退避位置とに移動するように構成したが、一対の大型用支持部31Lの夫々を左右方向と上下方向とに各別に移動させて大型用支持位置と大型用退避位置とに移動するように構成してもよい。また、一対の小型用支持部31Sの夫々を小型用揺動軸心PS周りに揺動させて小型用支持位置と小型用退避位置とに移動するように構成したが、一対の小型用支持部31Sの夫々を左右方向と上下方向とに各別に移動させて小型用支持位置と小型用退避位置とに移動するように構成してもよい。
(3)上記実施形態では、支持用駆動部を、大型用駆動部及び小型用駆動部として設けて、1つの駆動部にて、4つの支持部31を移動操作するように構成したが、大型用駆動部と小型用駆動部とを各別に設けて、2つの駆動部にて4つの支持部31を移動操作するように構成してもよく、また、大型用駆動部として、第1大型用支持部31Laを移動操作する第1大型用駆動部と第2大型用支持部31Lbを移動操作する第1大型用駆動部とを設け、小型用駆動部として、第1小型用支持部31Saを移動操作する第1小型用駆動部と第2小型用支持部31Sbを移動操作する第2小型用駆動部とを設けて、4つの駆動部にて4つの支持部31を移動操作するように構成してもよい。
(4)上記実施形態では、搬送物6として、大型搬送物6Lと小型搬送物6Sとの2種類の搬送物6を搬送するようにしたが、搬送物6として、3種類以上の搬送物6を搬送するようにしてもよい。また、一対の支持部31として、一対の大型用支持部31Lと一対の小型用支持部31Sとの2組の一対の支持部31を設けたが、3組以上の一対の支持部31を設けてもよい。
(5)上記実施形態では、第1大型用付勢部材、第2大型用付勢部材、第1小型用付勢部材及び第2小型用付勢部材を設けて、付勢部材の付勢力により支持部31を支持位置に保持するように構成したが、このような付勢部材を設けずに支持部31を支持位置に保持するように構成してもよい。
具体的には、例えば、第1大型用支持部31Laであれば、第1大型用支持部31Laと大型用揺動軸心PL周りに一体回転するピニオンを設け、第1大型用操作部40Laにラックを設けて、第1大型用操作部40Laが第1方向側に移動するときは、ラックとピニオンとが噛合して第1大型用支持部31Laを大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作するとともにラックとピニオンとの噛合により大型用支持位置に保持するように構成してもよい。ちなみに、このように構成する場合、第1大型用操作部40Laが第2方向側に移動するときは、ラックとピニオンとの噛合が外れて第1大型用支持部31Laが大型用退避位置から移動しないように構成してもよい。
(6)上記実施形態では、搬送装置を、天井近くを走行する天井搬送車1としたが、床面上を走行する床面走行車や、案内マストに沿って昇降移動する昇降台車や、床面上等に固設された移載ロボット等でもよい。
(7)上記実施形態では、搬送物をFOUPとしたが、例えばコンテナの上面に被支持部と取り付けたもの等、搬送物としては別のものでもよい。
6 搬送物
6L 大型搬送物
6S 小型搬送物
9 被支持部
15 走行用モータ(搬送用駆動部)
25 昇降用モータ(搬送用駆動部)
30L 大型用付勢部材(第1大型用付勢部材、第2大型用付勢部材)
30S 小型用付勢部材(第1小型用付勢部材、第2小型用付勢部材)
31 支持部
31L 大型用支持部
31La 第1大型用支持部
31Lb 第2大型用支持部
31S 小型用支持部
31La 第1大型用支持部
31Lb 第2大型用支持部
32 移動体
33 支持用モータ(支持用駆動部、大型用駆動部、小型用駆動部)
40a 第1操作部
40b 第2操作部
47L 大型用***作部(***作部)
47S 小型用***作部(***作部)
PL 大型用揺動軸心(揺動軸心)
PS 小型用揺動軸心(揺動軸心)

Claims (4)

  1. 搬送物の上端部に備えられた被支持部を前記搬送物の横幅方向から支持する一対の支持部と、
    前記一対の支持部を支持する移動体と、
    前記移動体を移動させる搬送用駆動部と、が設けられている搬送装置であって、
    前記搬送物として、小型搬送物と当該小型搬送物より体積が大きい大型搬送物とがあり、
    前記大型搬送物の前記被支持部が、前記小型搬送物の前記被支持部より前記横幅方向に幅広に形成され、
    前記一対の支持部として、前記大型搬送物の前記被支持部を支持する一対の大型用支持部と、前記小型搬送物の前記被支持部を支持する一対の小型用支持部と、を各別に設け、
    前記一対の大型用支持部の夫々を、他方の前記大型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる大型用支持位置、及び、他方の前記大型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅広な間隔となる大型用退避位置、に移動させる大型用駆動部と、
    前記一対の小型用支持部の夫々を、他方の前記小型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記小型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる小型用支持位置、及び、他方の前記小型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記小型搬送物の前記被支持部の横幅より幅広な間隔で且つ前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる小型用退避位置、に移動させる小型用駆動部と、が設けられ、
    前記小型用退避位置が、前記一対の大型用支持部にて支持されている前記被支持部よりも前記一対の小型用支持部が上方に位置する高さに設定され、
    前記一対の小型用支持部が、前記横幅方向において前記一対の大型用支持部の間に設けられている搬送装置。
  2. 前記一対の大型用支持部及び前記一対の小型用支持部の夫々が、前記横幅方向と直交する前後方向に沿う揺動軸心周りに揺動自在に前記移動体に支持され、
    前記一対の大型用支持部が、前記揺動軸心周りの揺動により、前記大型用支持位置と前記大型用退避位置とに移動自在に構成され、
    前記一対の小型用支持部が、前記揺動軸心周りの揺動により、前記小型用支持位置と前記小型用退避位置とに移動自在に構成されている請求項1記載の搬送装置。
  3. 前記一対の大型用支持部について、前記横幅方向の一方側となる第1方向側に位置する前記大型用支持部を第1大型用支持部、前記横幅方向の前記第1方向側とは反対側の第2方向側に位置する前記大型用支持部を第2大型用支持部とし、
    前記一対の小型用支持部について、前記第1方向側に位置する前記小型用支持部を第1小型用支持部、前記第2方向側に位置する前記小型用支持部を第2小型用支持部として、
    前記第1大型用支持部及び前記第1小型用支持部を移動操作する第1操作部と、前記第2大型用支持部及び前記第2小型用支持部を移動操作する第2操作部と、を設け、
    前記第1操作部が、第1基準位置から前記第1方向側に移動することで前記第1大型用支持部における揺動軸心より上方に位置する小型用***作部分を前記第1方向側に押圧して前記第1大型用支持部を前記大型用退避位置から前記大型用支持位置に移動操作し、且つ、前記第1基準位置から前記第2方向側に移動することで前記第1小型用支持部における揺動軸心より下方に位置する小型用***作部分を前記第2方向側に押圧して前記第1小型用支持部を前記小型用退避位置から前記小型用支持位置に移動操作する状態で、前記横幅方向で前記第1大型用支持部と前記第1小型用支持部との間に設けられ、
    前記第2操作部が、第2基準位置から前記第2方向側に移動することで前記第2大型用支持部における揺動軸心より上方に位置する大型用***作部分を前記第2方向側に押圧して前記第2大型用支持部を前記大型用退避位置から前記大型用支持位置に移動操作し、且つ、第2基準位置から前記第1方向側に移動することで前記第2小型用支持部における揺動軸心より下方に位置する小型用***作部分を前記第1方向側に押圧して前記第2小型用支持部を前記小型用退避位置から前記小型用支持位置に移動操作する状態で、前記横幅方向で前記第2大型用支持部と前記第2小型用支持部との間に設けられ、
    前記第1操作部と前記第2操作部とを前記横幅方向で反対方向に同期させた状態で移動させるように前記第1操作部と前記第2操作部とを連係する連係部と、
    前記連係部を駆動操作する支持用駆動部が、前記大型用駆動部及び前記小型用駆動部として設けられている請求項2記載の搬送装置。
  4. 前記第1大型用支持部における前記大型用***作部分を前記第2方向側に付勢する第1大型用付勢部材と、前記第2大型用支持部における前記大型用***作部分を前記第1方向側に付勢する第2大型用付勢部材と、前記第1小型用支持部における前記小型用***作部分を前記第1方向側に付勢する第1小型用付勢部材と、前記第2小型用支持部における前記小型用***作部分を前記第2方向側に付勢する第2小型用付勢部材と、が設けられている請求項3記載の搬送装置。
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