JP2015048194A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015048194A JP2015048194A JP2013180101A JP2013180101A JP2015048194A JP 2015048194 A JP2015048194 A JP 2015048194A JP 2013180101 A JP2013180101 A JP 2013180101A JP 2013180101 A JP2013180101 A JP 2013180101A JP 2015048194 A JP2015048194 A JP 2015048194A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- small
- support
- size
- sized
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 8
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 7
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/0052—Gripping heads and other end effectors multiple gripper units or multiple end effectors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/907—Devices for picking-up and depositing articles or materials with at least two picking-up heads
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
- B66C1/00—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles
- B66C1/10—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by mechanical means
- B66C1/62—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by mechanical means comprising article-engaging members of a shape complementary to that of the articles to be handled
- B66C1/66—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by mechanical means comprising article-engaging members of a shape complementary to that of the articles to be handled for engaging holes, recesses, or abutments on articles specially provided for facilitating handling thereof
- B66C1/663—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by mechanical means comprising article-engaging members of a shape complementary to that of the articles to be handled for engaging holes, recesses, or abutments on articles specially provided for facilitating handling thereof for containers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)
Abstract
【解決手段】一対の大型用支持部31La,31Lbの夫々を大型用支持位置及び大型用退避位置に移動させる大型用駆動部と、一対の小型用支持部31Sa,31Sbの夫々を小型用支持位置及び小型用退避位置に移動させる小型用駆動部と、を設け、小型用退避位置を、一対の大型用支持部31La,31Lbにて支持されている被支持部9よりも一対の小型用支持部31Sa,31Sbが上方に位置する高さに設定し、一対の小型用支持部31Sa,31Sbを、横幅方向において一対の大型用支持部31La,31Lbの間に設ける。
【選択図】図6
Description
具体例を挙げると、特許文献1の搬送装置では、半導体ウェハを収容するFOUPを搬送物として搬送しているが、FOUPには、450mmサイズの半導体ウェハを収容するFOUP(以下、大型搬送物の一例)や、300mmサイズの半導体ウェハを収容するFOUP(以下、小型搬送物の一例)があり、これらの容積が異なるFOUPを搬送することが要求される場合がある。そして、上述の450mm用FOUPと300mm用FOUPとでは、容積が異なるに伴って被支持部の横幅方向の幅(横幅)も異なっている。
そこで、被支持部の横幅が異なる大型搬送物と小型搬送物とを搬送する場合、例えば、一対の支持部の位置を、互いの間隔が大型搬送物の被支持部の横幅より幅広となる退避位置と、大型搬送物の被支持部の横幅に対応する間隔となる大型用支持位置と、小型搬送物の支持部の横幅に対応する間隔となる小型用支持位置と、に位置変更させるようにすることで、一対の支持部にて大型搬送物と小型搬送物とを支持できるようにすることが考えられる。
しかしながら、上述のように構成した場合では、大型用支持位置での一対の支持部の間隔は退避位置での一対の支持部の間隔より狭く、小型用支持位置での一対の支持部の間隔は大型用位置での一対の支持部の間隔よりさらに狭い。そのため、一対の支持体の退避位置から小型用支持位置までの移動距離が長く、一対の支持体を退避位置から小型支持位置まで移動に要する時間が長くなるので、小型搬送物を支持や支持解除の切換動作に長い時間を要することになる。
前記搬送物として、小型搬送物と当該小型搬送物より体積が大きい大型搬送物とがあり、前記大型搬送物の前記被支持部が、前記小型搬送物の前記被支持部より横幅方向に幅広に形成され、前記一対の支持部として、前記大型搬送物の前記被支持部を支持する一対の大型用支持部と、前記小型搬送物の前記被支持部を支持する一対の小型用支持部と、を各別に設け、 前記一対の大型用支持部の夫々を、他方の前記大型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる大型用支持位置、及び、他方の前記大型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅広な間隔となる大型用退避位置、に移動させる大型用駆動部と、前記一対の小型用支持部の夫々を、他方の前記小型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記小型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる小型用支持位置、及び、他方の前記小型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記小型搬送物の前記被支持部の横幅より幅広な間隔で且つ前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる小型用退避位置、に移動させる小型用駆動部と、が設けられ、前記小型用退避位置が、前記一対の大型用支持部にて支持されている前記被支持部よりも前記一対の小型用支持部が上方に位置する高さに設定され、前記一対の小型用支持部が、前記横幅方向において前記一対の大型用支持部の間に設けられている点にある。
また、一対の小型用支持部を、小型用退避位置から小型用支持位置に移動させることで、一対の小型用支持部にて小型搬送物の被支持部を支持することができ、このように一対の小型用支持部にて小型搬送物の被支持部を支持した状態で、移動体を移動させることで、小型搬送物を搬送することができる。
つまり、小型用退避位置に位置する一対の小型用支持部の間隔は、大型用退避位置に位置する一対の大型用支持部の間隔より横幅方向に狭い。そのため、小型搬送物を支持するときや支持を解除する場合、一対の小型用支持部を小型用退避位置から小型用支持位置に移動させるときに、その移動距離を比較的短くでき、小型搬送物を支持するときや支持を解除するときの時間の短縮化を図ることができる。
このように、大型搬送物と小型搬送物とを搬送できながら、これらの搬送物の支持部の支持や支持解除の切換動作を迅速に行うことができる搬送装置を提供できるに至った。
このように一対の大型用支持部や一対の小型用支持部を揺動軸心周りに揺動させるだけで退避位置や支持位置に移動させることができるので、支持部を横幅方向に移動させる機構と支持部を上下方向に移動させる機構とを各別に設ける場合に比べて構成の簡素化を図ることができる。
そして、第1操作部の第1方向への移動と第2操作部の第2方向への移動とを同期させた状態で移動させることができ、また、第1操作部の第2方向への移動と第2操作部の第1方向への移動とを同期させることができるので、横幅方向の両側から同時に一対の支持部を移動させて搬送物を適切に支持し易い。
また、連係部を駆動操作する1つの支持用駆動部に、一対の大型用支持部を大型用退避位置と大型用支持位置とに移動させる大型用駆動部としての機能と、一対の小型用支持部を小型用退避位置と小型用支持位置とに移動させる小型用駆動部としての機能と、を備えさせることができるため、駆動部の個数を減少させることができる。
このように一対の大型用支持部の夫々を大型用支持位置に保持し、一対の小型用支持部の夫々を小型用支持位置に保持することができるので、大型搬送物や小型搬送物を適切に支持して搬送することができる。
図1〜図4に示すように、物品搬送設備には、天井側に走行経路に沿って配設された走行レール2に案内支持されて走行経路に沿って走行自在な搬送装置としての天井搬送車1と、基板に対して処理を行う処理装置3と、その処理装置3に隣接する状態で床側に設けられた物品支持台4と、が設けられている。搬送物6は、収容物を収容する搬送容器であり、具体的には、半導体ウェハを収容するFOUPである。
ちなみに、図1は、大型搬送物6Lを例に、天井搬送車1が処理装置3の物品支持台4との間で搬送物6を授受する状態を示す図である。また、図2は、大型搬送物6Lを搬送している天井搬送車1を示す図であり、図3は、小型搬送物6Sを搬送している天井搬送車1を示す図である。
また、大型搬送物6Lの被支持部9は、小型搬送物6Sの被支持部9に比べて、容器前後方向及び容器左右方向に幅広に形成されている。ちなみに、大型搬送物6Lの凹入部10と小型搬送物6Sの凹入部10とは同じ大きさ及び形状に形成されている。
図2及び図3に示すように、天井搬送車1は、走行レール2上を走行経路に沿って走行する走行移動部12と、走行レール2の下方に位置するように走行移動部12に吊り下げ支持され且つ搬送物6を支持する支持機構19を昇降移動自在に支持する昇降支持部13と、を備えて構成されている。
ちなみに、天井搬送車1の走行方向に沿う方向を横幅方向と称し、この横幅方向と交差する方向を前後方向と称する。また、昇降支持部13には、搬送物6はその容器左右方向が天井搬送車1の横幅方向に沿う状態で支持される。そのため、以下、搬送物6の容器左右方向について横幅方向と称して説明する。また、横幅方向の一方側(図4における左側)を第1方向側、横幅方向の第1方向とは反対側(図4における右側)を第2方向側と称する。
そして、落下防止用モータ27の駆動により、一対の落下防止体22の間隔を受止用間隔に変更することで、天井搬送車1の走行中に支持機構19による支持が外れても搬送物6を落下防止体22にて受け止めることで搬送物6の落下を防止することができるようになっている。また、落下防止用モータ27の駆動により、一対の落下防止体22の間隔を退避用間隔に変更することで、図1に示すように、支持機構19を昇降移動させて搬送物6を物品支持台4に受け渡すことや物品支持台4から搬送物6を受け取ることができるようになっている。
次に、天井搬送車1の支持機構19について説明する。
図4及び図5に示すように、天井搬送車1の支持機構19には、搬送物6の被支持部9を載置支持する一対の支持部31と、一対の支持部31を前後方向に沿う軸心周りに揺動自在に支持する移動体32と、移動体32に対する一対の支持部31の位置を支持位置と退避位置とに移動させる支持用駆動部としての支持用モータ33と、搬送物6の凹入部10に係合して移動体32に対して水平方向でセンタリングさせる突起部34と、が設けられている。
また、図5及び図7に示すように、一対の小型用支持部31Sの夫々は、前後方向に沿う小型用揺動軸心PS周りに揺動自在に移動体32に支持されている。一対の小型用支持部31Sの夫々は、小型用揺動軸心PS周りに揺動することで、移動体32に対して小型用支持位置(図7参照)と小型用退避位置(図5参照)とに移動するように構成されている。
このように、一対の大型用支持部31L及び一対の小型用支持部31Sの夫々を、前後方向に沿う揺動軸心周りに揺動自在に移動体32に支持している。
また、一対の小型用支持部31Sの夫々は、支持位置から退避位置側に向けて小型用付勢部材30Sにて付勢されるとともに、退避位置から支持位置とは反対側への揺動は小型用規制部材29Sとの接当により規制されている。そのため、図8(a),(b)に示すように、一対の小型用支持部31Sの夫々は、小型用規制部材29Sの付勢力にて小型用規制部材29Sに押し付けられることで、退避位置に保持されている。
ちなみに、図8では、一対の大型用支持部31Lのうちの第1大型用支持部31Laのみを図示しており、一対の小型用支持部31Sのうちの第1小型用支持部31Saのみを図示している。また、大型用付勢部材30L及び小型用付勢部材30Sは、コイルスプリングにて構成されている。
また、横幅方向において同じ第2方向側に位置する第2移動ブロック37bと第2案内ブロック39bと第2大型用操作部40Lbと第2小型用操作部40Sbとが、一体的に横幅方向に移動するように第2連結部材41bにて互いに連結されている。
そして、回転軸36、第1移動ブロック37a、第2移動ブロック37b、第1連結部材41a及び第2連結部材41bにて、第1操作部40aと第2操作部40bとを横幅方向移動させるように第1操作部40aと第2操作部40bとを連結する連係部が構成されている。
また、支持用モータ33が、連係部を駆動操作する支持用駆動部に相当し、一対の大型用支持部31Lの夫々を大型用支持位置及び大型用退避位置に移動させる大型用駆動部や一対の小型用支持部31Sの夫々を小型用支持位置及び小型用退避位置に移動させる小型用駆動部として設けられている。
このように第1操作部40aは、第1基準位置から第1方向側に移動することで第1大型用支持部31Laを移動操作し、第1基準位置から第2方向側に移動することで第1小型用支持部31Saを移動操作するように、横幅方向で第1大型用支持部31Laと第1小型用支持部31Saとの間に設けられている。
このように第2操作部40bは、第2基準位置から第2方向側に移動することで第2大型用支持部31Lbを移動操作し、第2基準位置から第1方向側に移動することで第2小型用支持部31Sbを移動操作するように、横幅方向で第2大型用支持部31Lbと第2小型用支持部31Sbとの間に設けられている。
第1大型用支持部31Laや第1小型用支持部31Saの操作構造と第2大型用支持部31Lbや第2小型用支持部31Sbの操作構造とは、横幅方向に反転させた点以外は同様に構成されているため、第1大型用支持部31Laや第1小型用支持部31Saの操作構造について説明し、第2大型用支持部31Lbや第2小型用支持部31Sbの操作構造については説明を省略する。
ちなみに、押圧操作が解除されるに伴って、第1大型用支持部31Laは、大型用付勢部材30Lの付勢力により時計回りに揺動して大型用支持位置から大型用退避位置に移動操作されるようになっている。
尚、図8に示された大型用付勢部材30Lが、第1大型用支持部31Laにおける大型用***作部分47Lを第2方向側に付勢する第1大型用付勢部材に相当し、第2大型用支持部31Lbにおける大型用***作部分47Lを第1方向側に付勢する第2大型用付勢部材については図示を省略している。
ちなみに、押圧操作が解除されるに伴って、第1小型用支持部31Saは、小型用付勢部材30Sの付勢力により時計回りに揺動して小型用支持位置から大型用退避位置に移動操作されるようになっている。
尚、図8に示された小型用付勢部材30Sが、第1小型用支持部31Saにおける小型用***作部分47Sを第1方向側に付勢する第1小型用付勢部材に相当し、第2小型用支持部31Sbにおける小型用***作部分47Sを第2方向側に付勢する第2小型用付勢部材については図示を省略している。
また、図8(b),(c)に示すように、第1操作部40aを第1基準位置から第2方向側に移動させることで、第1大型用支持部31Laを大型用退避位置に維持させた状態で、第1小型用支持部31Saを小型用退避位置から小型用支持位置に移動操作できるようになっている。
(1)上記実施形態では、大型用揺動軸心PLの高さと小型用揺動軸心PSの高さとを同じ高さとしたが、大型用揺動軸心PLの高さと小型用揺動軸心PSの高さとを異なる高さにしてもよい。具体的には、例えば、大型用揺動軸心PLを小型用揺動軸心PSより低い高さにしてもよい。この場合、大型用揺動軸心PLより低く且つ小型用揺動軸心PSより高い高さに、大型用操作部と小型用操作部とを設けてもよい。
具体的には、例えば、第1大型用支持部31Laであれば、第1大型用支持部31Laと大型用揺動軸心PL周りに一体回転するピニオンを設け、第1大型用操作部40Laにラックを設けて、第1大型用操作部40Laが第1方向側に移動するときは、ラックとピニオンとが噛合して第1大型用支持部31Laを大型用退避位置から大型用支持位置に移動操作するとともにラックとピニオンとの噛合により大型用支持位置に保持するように構成してもよい。ちなみに、このように構成する場合、第1大型用操作部40Laが第2方向側に移動するときは、ラックとピニオンとの噛合が外れて第1大型用支持部31Laが大型用退避位置から移動しないように構成してもよい。
6L 大型搬送物
6S 小型搬送物
9 被支持部
15 走行用モータ(搬送用駆動部)
25 昇降用モータ(搬送用駆動部)
30L 大型用付勢部材(第1大型用付勢部材、第2大型用付勢部材)
30S 小型用付勢部材(第1小型用付勢部材、第2小型用付勢部材)
31 支持部
31L 大型用支持部
31La 第1大型用支持部
31Lb 第2大型用支持部
31S 小型用支持部
31La 第1大型用支持部
31Lb 第2大型用支持部
32 移動体
33 支持用モータ(支持用駆動部、大型用駆動部、小型用駆動部)
40a 第1操作部
40b 第2操作部
47L 大型用***作部(***作部)
47S 小型用***作部(***作部)
PL 大型用揺動軸心(揺動軸心)
PS 小型用揺動軸心(揺動軸心)
Claims (4)
- 搬送物の上端部に備えられた被支持部を前記搬送物の横幅方向から支持する一対の支持部と、
前記一対の支持部を支持する移動体と、
前記移動体を移動させる搬送用駆動部と、が設けられている搬送装置であって、
前記搬送物として、小型搬送物と当該小型搬送物より体積が大きい大型搬送物とがあり、
前記大型搬送物の前記被支持部が、前記小型搬送物の前記被支持部より前記横幅方向に幅広に形成され、
前記一対の支持部として、前記大型搬送物の前記被支持部を支持する一対の大型用支持部と、前記小型搬送物の前記被支持部を支持する一対の小型用支持部と、を各別に設け、
前記一対の大型用支持部の夫々を、他方の前記大型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる大型用支持位置、及び、他方の前記大型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅広な間隔となる大型用退避位置、に移動させる大型用駆動部と、
前記一対の小型用支持部の夫々を、他方の前記小型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記小型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる小型用支持位置、及び、他方の前記小型用支持部との前記横幅方向での間隔が前記小型搬送物の前記被支持部の横幅より幅広な間隔で且つ前記大型搬送物の前記被支持部の横幅より幅狭な間隔となる小型用退避位置、に移動させる小型用駆動部と、が設けられ、
前記小型用退避位置が、前記一対の大型用支持部にて支持されている前記被支持部よりも前記一対の小型用支持部が上方に位置する高さに設定され、
前記一対の小型用支持部が、前記横幅方向において前記一対の大型用支持部の間に設けられている搬送装置。 - 前記一対の大型用支持部及び前記一対の小型用支持部の夫々が、前記横幅方向と直交する前後方向に沿う揺動軸心周りに揺動自在に前記移動体に支持され、
前記一対の大型用支持部が、前記揺動軸心周りの揺動により、前記大型用支持位置と前記大型用退避位置とに移動自在に構成され、
前記一対の小型用支持部が、前記揺動軸心周りの揺動により、前記小型用支持位置と前記小型用退避位置とに移動自在に構成されている請求項1記載の搬送装置。 - 前記一対の大型用支持部について、前記横幅方向の一方側となる第1方向側に位置する前記大型用支持部を第1大型用支持部、前記横幅方向の前記第1方向側とは反対側の第2方向側に位置する前記大型用支持部を第2大型用支持部とし、
前記一対の小型用支持部について、前記第1方向側に位置する前記小型用支持部を第1小型用支持部、前記第2方向側に位置する前記小型用支持部を第2小型用支持部として、
前記第1大型用支持部及び前記第1小型用支持部を移動操作する第1操作部と、前記第2大型用支持部及び前記第2小型用支持部を移動操作する第2操作部と、を設け、
前記第1操作部が、第1基準位置から前記第1方向側に移動することで前記第1大型用支持部における揺動軸心より上方に位置する小型用***作部分を前記第1方向側に押圧して前記第1大型用支持部を前記大型用退避位置から前記大型用支持位置に移動操作し、且つ、前記第1基準位置から前記第2方向側に移動することで前記第1小型用支持部における揺動軸心より下方に位置する小型用***作部分を前記第2方向側に押圧して前記第1小型用支持部を前記小型用退避位置から前記小型用支持位置に移動操作する状態で、前記横幅方向で前記第1大型用支持部と前記第1小型用支持部との間に設けられ、
前記第2操作部が、第2基準位置から前記第2方向側に移動することで前記第2大型用支持部における揺動軸心より上方に位置する大型用***作部分を前記第2方向側に押圧して前記第2大型用支持部を前記大型用退避位置から前記大型用支持位置に移動操作し、且つ、第2基準位置から前記第1方向側に移動することで前記第2小型用支持部における揺動軸心より下方に位置する小型用***作部分を前記第1方向側に押圧して前記第2小型用支持部を前記小型用退避位置から前記小型用支持位置に移動操作する状態で、前記横幅方向で前記第2大型用支持部と前記第2小型用支持部との間に設けられ、
前記第1操作部と前記第2操作部とを前記横幅方向で反対方向に同期させた状態で移動させるように前記第1操作部と前記第2操作部とを連係する連係部と、
前記連係部を駆動操作する支持用駆動部が、前記大型用駆動部及び前記小型用駆動部として設けられている請求項2記載の搬送装置。 - 前記第1大型用支持部における前記大型用***作部分を前記第2方向側に付勢する第1大型用付勢部材と、前記第2大型用支持部における前記大型用***作部分を前記第1方向側に付勢する第2大型用付勢部材と、前記第1小型用支持部における前記小型用***作部分を前記第1方向側に付勢する第1小型用付勢部材と、前記第2小型用支持部における前記小型用***作部分を前記第2方向側に付勢する第2小型用付勢部材と、が設けられている請求項3記載の搬送装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013180101A JP6136775B2 (ja) | 2013-08-30 | 2013-08-30 | 搬送装置 |
TW103126765A TWI630163B (zh) | 2013-08-30 | 2014-08-05 | 搬送裝置 |
KR1020140105233A KR102184615B1 (ko) | 2013-08-30 | 2014-08-13 | 반송 장치 |
US14/471,203 US9685360B2 (en) | 2013-08-30 | 2014-08-28 | Transport device |
CN201410434065.7A CN104418236B (zh) | 2013-08-30 | 2014-08-29 | 运送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013180101A JP6136775B2 (ja) | 2013-08-30 | 2013-08-30 | 搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015048194A true JP2015048194A (ja) | 2015-03-16 |
JP6136775B2 JP6136775B2 (ja) | 2017-05-31 |
Family
ID=52583506
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013180101A Active JP6136775B2 (ja) | 2013-08-30 | 2013-08-30 | 搬送装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9685360B2 (ja) |
JP (1) | JP6136775B2 (ja) |
KR (1) | KR102184615B1 (ja) |
CN (1) | CN104418236B (ja) |
TW (1) | TWI630163B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180048346A (ko) | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송차 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015216659A1 (de) * | 2015-09-01 | 2017-03-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur Anbindung an einen Roboter |
US11001400B2 (en) * | 2016-01-20 | 2021-05-11 | R.A Jones & Co. | Apparatus and methods for transferring continuously moving articles to continuously moving packages with intervening article grouping and group pitch adjustment |
KR101746605B1 (ko) * | 2016-03-10 | 2017-06-27 | 주식회사 신성이엔지 | 카세트 이송 시스템 |
NO342459B1 (en) * | 2016-06-06 | 2018-05-22 | Autostore Tech As | Lifting system for lifting and placing bins and method for same |
US10773930B2 (en) * | 2016-07-27 | 2020-09-15 | Jeong-Hoon SHIN | Home-delivered article loading device for drone |
JP6769336B2 (ja) * | 2017-02-23 | 2020-10-14 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
DE102017206652A1 (de) | 2017-04-20 | 2018-10-25 | Kuka Deutschland Gmbh | Robotergreifer zum Handhaben von Objekten, insbesondere Behältern |
CN114502471A (zh) | 2019-07-30 | 2022-05-13 | 安海斯-布希英博有限公司 | 物品拾取和处理设备 |
WO2021181923A1 (ja) * | 2020-03-13 | 2021-09-16 | 村田機械株式会社 | グリッパ装置、搬送車、及び搬送方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61160114U (ja) * | 1985-03-26 | 1986-10-03 | ||
JP2003128381A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-08 | Daifuku Co Ltd | 搬送設備 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3029100A (en) * | 1960-05-16 | 1962-04-10 | Allegheny Ludlum Steel | Lifting tongs |
US3762586A (en) * | 1972-04-04 | 1973-10-02 | E Updike | Refuse collection vehicle |
JPS57115723A (en) * | 1981-01-08 | 1982-07-19 | Yamaha Motor Co Ltd | Handle switch unit |
JPS61160114A (ja) * | 1985-01-08 | 1986-07-19 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽捕捉姿勢制御装置 |
US4682931A (en) * | 1986-09-22 | 1987-07-28 | Cascade Corporation | Lift truck clamp for handling stacked loads of different sizes |
JPH033326A (ja) | 1989-05-31 | 1991-01-09 | Kawasaki Steel Corp | 半導体装置における多結晶シリコン膜の形成方法 |
US5054836A (en) * | 1989-07-26 | 1991-10-08 | Odetics, Inc. | Gripper mechanism having spring-loaded jaws |
DE3940865C1 (ja) * | 1989-12-11 | 1991-04-25 | Steinle Maschinenfabrik Gmbh, 8900 Augsburg, De | |
JPH0715677U (ja) * | 1993-08-26 | 1995-03-17 | いすゞ自動車株式会社 | 吊り具 |
US5775867A (en) * | 1995-12-28 | 1998-07-07 | Mcneilus Truck And Manufacturing, Inc. | Clamshell basket loader |
JP2747269B2 (ja) * | 1996-02-21 | 1998-05-06 | 山形日本電気株式会社 | 箱体搬送装置 |
NL1011645C2 (nl) * | 1999-03-23 | 2000-09-27 | Heineken Tech Services | Inrichting voor het inklemmen van een krat. |
JP2003171081A (ja) | 2001-12-06 | 2003-06-17 | Murata Mach Ltd | 天井搬送システム及びその搬送方法 |
DE102006025844B3 (de) * | 2005-10-13 | 2007-11-22 | Thyssenkrupp Drauz Nothelfer Gmbh | Handlingsystem für formverwandte Bauteile, insbesondere Karosseriebauteile für Kraftfahrzeuge |
US8226140B1 (en) * | 2009-03-30 | 2012-07-24 | Honda Motor Co., Ltd. | Article holding assembly |
DE102009026361A1 (de) * | 2009-08-11 | 2011-02-17 | Krones Ag | Greifervorrichtung zum gleichzeitigen Erfassen und/oder Greifen mehrerer Gebinde und/oder Kästen |
JP5713202B2 (ja) * | 2012-01-27 | 2015-05-07 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6179406B2 (ja) * | 2014-01-10 | 2017-08-16 | 株式会社ダイフク | 搬送装置 |
JP6171984B2 (ja) * | 2014-03-07 | 2017-08-02 | 株式会社ダイフク | 物品支持装置 |
-
2013
- 2013-08-30 JP JP2013180101A patent/JP6136775B2/ja active Active
-
2014
- 2014-08-05 TW TW103126765A patent/TWI630163B/zh active
- 2014-08-13 KR KR1020140105233A patent/KR102184615B1/ko active IP Right Grant
- 2014-08-28 US US14/471,203 patent/US9685360B2/en active Active
- 2014-08-29 CN CN201410434065.7A patent/CN104418236B/zh active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61160114U (ja) * | 1985-03-26 | 1986-10-03 | ||
JP2003128381A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-08 | Daifuku Co Ltd | 搬送設備 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180048346A (ko) | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송차 |
US10347518B2 (en) | 2016-10-31 | 2019-07-09 | Daifuku Co., Ltd. | Transport vehicle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150026835A (ko) | 2015-03-11 |
US9685360B2 (en) | 2017-06-20 |
US20150063963A1 (en) | 2015-03-05 |
JP6136775B2 (ja) | 2017-05-31 |
KR102184615B1 (ko) | 2020-11-30 |
CN104418236A (zh) | 2015-03-18 |
CN104418236B (zh) | 2017-09-26 |
TW201522198A (zh) | 2015-06-16 |
TWI630163B (zh) | 2018-07-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6136775B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP5316907B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
TWI246501B (en) | Overhead traveling carriage system | |
JP6222135B2 (ja) | 自動倉庫 | |
JP5472209B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
JP4378656B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
JP4378655B2 (ja) | 物品処理設備 | |
WO2011065146A1 (ja) | 天井搬送車 | |
JP2019043753A (ja) | 搬送車、及び、搬送設備 | |
JP2013039985A (ja) | 物品搬送設備 | |
JP2009256004A (ja) | 物品収納設備 | |
JP5505503B2 (ja) | 自動倉庫システム | |
JP2016155659A (ja) | 搬送装置 | |
TWI664691B (zh) | 搬運裝置 | |
JP3832745B2 (ja) | 天井走行車システム | |
JP2019026443A (ja) | ベルトコンベア装置 | |
JP6056707B2 (ja) | 物品移載装置及び搬送設備 | |
KR101341425B1 (ko) | 스토커 시스템 | |
JP6593270B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
JP5365302B2 (ja) | 走行車システム | |
KR20160008274A (ko) | 클린룸용 픽업 크레인장치 | |
JP6086073B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP4411537B2 (ja) | 物品収集設備 | |
KR101666803B1 (ko) | 정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템 | |
JP2005255265A (ja) | 移動体支持装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161025 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170404 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170417 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6136775 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |