JP2015036170A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】研削砥石の破損や残量を容易に認識することができ、板状ワークの加工不良を防止できる研削装置を提供する。【解決手段】研削装置1は、板状ワークWを保持する保持テーブル3と、板状ワークを研削する研削砥石4dを環状に配設する研削ホイール4fを装着する研削手段4と、研削ホイールを回転させる駆動モータと、測定器と、認識部とを備えている。測定器は、測定光Bを投光させる投光部と、研削砥石の研削面4eで反射する測定光Bを受光する受光部とを備えている。認識部は、回転する研削面を測定器で測定し、研削砥石の残量及び破損有無を認識する。【選択図】図2
Description
本発明は、板状ワークを研削する研削装置に関し、特に研削手段の研削砥石によって板状ワークを研削することができる研削装置に関する。
従来、板状ワークの加工装置として、板状ワークを目標である仕上げ厚みまで薄化する研削装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に記載された研削装置は、板状ワークを保持面で保持する保持テーブルと、板状ワークを研削面で研削する研削砥石を備えた研削手段とを有している。研削手段では、研削砥石がホイール基台に配設され、このホイール基台がホイールマウントに取り付けられている。
ところで、研削装置にあっては、研削砥石の残量や摩耗量を認識できるタイプのものが知られており、その認識方法としては、下記に述べる方法がある。先ず、研削を行う前に、保持テーブルの保持面に対し、研削面が接触する研削手段の高さ位置を原点位置として認識させておく。研削加工中においては、プローブ等を介して保持面に対する板状ワークの被研削面の高さ位置を測定する一方、研削手段を保持テーブルに接近および離反させる駆動モータ等を介して、原点位置に対する研削手段の高さ位置を測定する。そして、測定された原点位置に対する板状ワークの高さ位置と研削手段の高さ位置とから、研削砥石の残量を算出して認識することができる。
しかしながら、上述した方法では、研削砥石が部分的に破損したり研削砥石が目詰まりしても、測定される板状ワークや研削手段の高さ位置が変わらなくなる。このため、研削された板状ワークに形成される研削模様にムラが生じる等、加工不良を引き起こすという問題がある。かかる問題を解消するため、研削砥石をオペレータが目視にて定期的に確認することが考えられるが、非効率的でオペレータの労力が多大になる、という問題がある。
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、研削砥石の破損や残量を容易に認識することができ、板状ワークの加工不良を防止することができる研削装置を提供することを目的とする。
本発明の研削装置は、板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持する板状ワークを研削する研削砥石を環状に配置する研削ホイールを装着する研削手段と、該研削ホイールを回転させる回転手段と、該保持テーブルに接近および離反する方向に該研削手段を移動させる研削送り手段と、を備えた研削装置において、該研削砥石の研削面に対して測定光を投光させる投光部と、該投光部から投光されて該研削面で反射する該測定光を受光する受光部とを備えた測定器を含んで構成し、該回転手段によって所定の回転数で回転する該研削ホイールの該研削面を該測定器で測定し、該研削砥石の残量及び破損有無を認識する認識部を備えている。
この構成によれば、研削手段の研削面に測定光を投光して反射した反射光を受光することによって研削砥石における研削面の形状を検出することができる。これにより、研削砥石の部分的な破損や異常磨耗を検出することができ、研削された板状ワークに形成される研削模様のムラなどの加工不良を防止することが可能となる。また、研削砥石の残量を検出することで、研削ホイールの交換時期を的確にオペレータに伝えることができる。
また、本発明の研削装置は、該測定器を囲繞する枠体と、該枠体に形成され、該測定器の投光受光による測定を許容する測定口と、該枠体内部に水を貯留可能に形成され、該投光部および該受光部を水で覆いつつ、該測定口から該水を流出可能とする水層形成部と、該水層形成部に水を供給する供給口と、を備えている。この構成では、投光部および受光部が水で覆われ、供給口から供給された水が測定口から流出するので、投光部および受光部に汚れが付着することを防止でき、測定精度をより安定させることが可能となる。
本発明によれば、研削砥石の破損や残量を容易に認識することができ、板状ワークの加工不良を防止することができる。
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。図1は、実施の形態1に係る研削装置の一例を示す斜視図である。図2は、実施の形態1に係る研削装置の断面模式図である。
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。図1は、実施の形態1に係る研削装置の一例を示す斜視図である。図2は、実施の形態1に係る研削装置の断面模式図である。
図1および図2に示すように、研削装置1は、保持テーブル3と研削手段4とを相対回転させることにより、保持テーブル3が保持する板状ワークWを研削するように構成されている。保持テーブル3の右側領域には測定手段5が設けられている。保持テーブル3の左側領域には検出手段11が設けられている。
研削装置1における被加工物である板状ワークWとしては、シリコンウエーハや、硬質な難研削材で構成される基板を採用することができる。このような板状ワークWは、たとえば、ビッカーズ硬度2000以上の硬質を有する、サファイア、炭化ケイ素(SiC)、アルチック(AlTiC)またはアルミナセラミック(Al2O3)などの材料により構成される。
研削装置1は、略直方体形状の基台2を有している。基台2の上面には、X軸方向に延在する矩形状の開口部21と、開口部21の後方に垂直に設けられたコラム22と、が配置されている。開口部21は、保持テーブル3を支持するテーブル支持台24および蛇腹状の防塵カバー25で覆われている。コラム22は、直方体形状を有し、その前面に研削手段4が設けられている。
テーブル支持台24は、略正方形状を有し、保持テーブル3を支持する。また、テーブル支持台24は、図示しない駆動機構に接続されており、この駆動機構から供給される駆動力によって、開口部21内をX軸方向にスライド移動する。これにより、保持テーブル3は、加工前の板状ワークWを供給し、また、加工後の板状ワークWを回収する載せ替え位置と、研削手段4と板状ワークWとが対向する研削位置との間をスライド移動する。
防塵カバー25は、板状ワークWの研削加工時に発生する研削屑などが基台2内へ侵入することを防止する。防塵カバー25は、テーブル支持台24の前面および後面に取り付けられるとともに、その移動位置に応じて伸縮可能に設けられている。
保持テーブル3は、円盤形状を有し、図示しないチャック回転手段によって円盤中心を軸に回転可能に設けられている。保持テーブル3の上面には、板状ワークWを吸着保持する保持面3aが設けられている。保持面3aは、たとえば、ポーラスセラミック材により構成されており、ホーラスセラミック材が吸引源(不図示)に接続されている。
研削手段4では、円筒状のスピンドル4aの下端にホイールマウント4bが設けられ、ホイールマウント4bの下面に対し、研削ホイール4fが装着されている。研削ホイール4fは、ホイール基台4cの下面に複数の研削砥石4dを環状に配置して構成されている。研削砥石4dは、たとえば、ビトリファイドボンド砥石で構成される。研削砥石4dは、スピンドル4aの駆動に伴ってZ軸まわりに高速回転し、下面が研削面4eとなって板状ワークWに接触して研削する。なお、スピンドル4aは、回転手段となる駆動モータ8の出力軸に固定されている。従って、研削ホイール4fは、駆動モータ8の駆動によってスピンドル4aを介して回転される。
研削手段4は、コラム22に設けられた研削送り手段44によって駆動されて上下方向(Z軸方向)に移動可能に構成され、研削手段4と保持テーブル3とを相対的に接近および離反させることが可能である。研削送り手段44は、Z軸テーブル44aを有しており、Z軸テーブル44aの前面側に取り付けられた支持部44bを介して研削手段4が支持されている。Z軸テーブル44aの背面には、後方に突出したナット部(不図示)が設けられている。Z軸テーブル44aのナット部には、コラム22の前面に設けられたボールネジ44cが螺合されている。そして、ボールネジ44cの一端部に連結されたサーボモータ44dが回転駆動されることで、研削手段4が上下方向(Z軸方向)に移動される。サーボモータ44dには回転数(パルス数)を検知する検知部としてロータリエンコーダ44eが配設されていて、サーボモータ44dの回転数を検出するロータリーエンコーダ44eから出力されるパルス信号によって研削手段4の移動量を算出している。
測定手段5は、基台2の上面側であって、保持テーブル3の図2中右側に設けられた測定器51(図3参照)を備えている。図3及び図4に示すように、測定器51は、投光部51a及び受光部51bを有し、枠体52によって囲繞されている。投光部51aは、枠体52の上部に形成された測定口52aを通じ、レーザ光となる測定光Bを上方に位置する研削面4eに向けて投光する。受光部51bは、研削面4eで反射されて測定口52aを通過する測定光Bを受光する。受光部51bは、CCDを備えており、CCDが受光する測定光Bの位置に応じて研削面4eのZ軸方向の位置を測定する。そして、測定手段5に接続された認識部7において、回転する研削砥石4dの回転角に応じた研削面4eの位置の変化から、研削砥石4dの残量及び破損有無が認識される。
枠体52の測定口52aは、上下方向に貫通して形成され、測定器51の投光受光による測定を許容するように設けられている。枠体52の内部であって、測定器51の上面と測定口52aとの間の空間は、水層形成部52bとして形成されている。枠体52の側面には、水層形成部52bに連通する供給口52cが形成され、この供給口52cに水供給源(不図示)が接続され、水層形成部52bに0.5〜1.0L/minの流量で水を供給している。水層形成部52bに供給された水は、測定口52aから流出され、研削手段4で用いる研削水と共に回収手段(不図示)を介して回収される。従って、水層形成部52bでは、供給口52cから測定口52aへの水流が常に維持され、測定器51の投光部51a及び受光部51bが水で覆われた状態となり、測定口52cから研削屑等が浸入することを抑制している。
検出手段11は、基台2上に垂直に設けられた支持部11aと、支持部11aの上部に設けられた2つの測定用のプローブ11b,11cと、を含んで構成される。検出手段11は、一方のプローブ11bをチャックテーブル3に保持された板状ワークWの上面に接触させるとともに、他方のプローブ11cを保持テーブル3の保持面3aに接触させて、それぞれのプローブ11b,11cの高さ位置を測定する。そして、プローブ11b,11cの高さ位置の差分を取ることにより、板状ワークWの厚みが認識される。
基台2内には、研削装置1の各部を統括制御する制御部6が設けられている。制御部6は、各種処理を実行するプロセッサや、ROM(Read Only Memory),RAM(Random Access Memory)などの記憶媒体を含んで構成される。制御部6は、たとえば、認識部7が認識した研削砥石4dの残量及び破損有無に応じ、表示装置(不図示)に研削ホイール4fの交換時期等を表示する処理を制御する。
次いで、本実施の形態の研削装置1を用いた研削方法について説明する。先ず、板状ワークWを保持テーブル3の保持面3aで吸引保持した後、テーブル支持台24を駆動して保持テーブル3をX軸方向に移動し、板状ワークWが研削砥石4dと対向する研削位置で位置決めする。
続いて、研削送り手段44のサーボモータ44dを駆動することによって、研削手段4が高速で下降し、保持テーブル3上の板状ワークWに接近する。そして、サーボモータ44dに配設されるロータリーエンコーダ44eのパルス数をカウントし、研削手段4が待機する研削加工開始位置から所定距離だけ接近したことを検出すると、研削砥石4dを回転させるとともに、研削手段4の下降速度を低速とする。研削手段4の下降が進み、研削砥石4dが板状ワークWの表面に達すると研削加工が開始される。研削加工中は、検出手段11で板状ワークWの厚さがリアルタイムに測定される。その測定結果が目標の仕上げ厚みに近付くようにサーボモータ44dによる研削手段4の送り量が制御され、板状ワークWが仕上げ厚みまで研削される。
ところで、従来、研削砥石の磨耗量は、検出手段により研削される前の板状ワークの厚みと研削された後の板状ワークの厚みとの差から板状ワークが研削された研削量を認識し、ロータリーエンコーダ44eから検出されるパルス信号から研削手段の送り量を認識し、
[研削手段の送り量]−[板状ワークが研削された研削量]=[研削砥石の磨耗量]
として算出している。
[研削手段の送り量]−[板状ワークが研削された研削量]=[研削砥石の磨耗量]
として算出している。
本実施の形態に説明を戻すと、板状ワークWの研削加工中、回転する研削ホイール4fにおける研削砥石4dの研削面4eが測定器51によって測定される。図2に示すように、板状ワークWの研削加工中、研削砥石4dの一部領域(本実施の形態では図2の右側領域)が保持テーブル3からはみ出た状態となり、このはみ出た領域の研削砥石4dの研削面4eに対し、測定器51の受光部51aから測定光Bを投光する。すると、研削ホイール4fは所定の回転数で回転するので、測定光Bが入射する研削面4eの位置も回転方向に変位する。従って、研削面4eで反射する測定光Bを受光部51bで受光し、研削面4eのZ軸方向の位置をリアルタイムで測定して波形処理(図5参照)することによって、研削面4eの形状を検出することができる。
図5は、測定手段5による測定結果のグラフであり、図5Bは、図5Aの横軸方向の一部を拡大したものである。図5において、縦軸は研削砥石4dのZ軸方向高さ(ホイール基台4cの下面からの研削砥石4dの突出量)を示し、横軸は研削ホイール4fの回転角度を示している。図5Bにおいて、横軸方向約20°間隔毎に、研削砥石4dのZ軸方向高さが小さくなっているが、これは、複数の研削砥石4dが環状に並設され、隣り合う研削砥石4dの間に隙間があることを示すものである。従って、図5Bの2つの隙間の間の符号d1で示す部分は、研削砥石4dの幅を示し、この部分において研削砥石4dの形状が検出される。
図5Bに示すように、各研削砥石4dの研削面4eの高さが所定角度範囲内で増減を複数繰り返して変化している。認識部7においては、研削ホイール4fの1回転分となる360°の範囲内において、研削面4eの高さの最頻値h1が算出される。最頻値h1を基準として所定高さ増減した設定領域h2に、測定データの80%が入っていた場合、研削砥石4dが正常に研削を行える正常状態として認識部7において認識される。設定領域h2に存在する測定データが80%未満で最頻値h1に近い値が多い場合、つまり研削面4eの増減が少ない場合は、研削砥石4dへの研削屑等の目詰まりが発生した異常状態として認識部7において認識される。また、設定領域h2に存在する測定データが80%未満で設定領域h2を超えている値が多い場合、つまり研削面4eの増減が多い場合は、研削砥石4dの異常摩耗や破損が生じた異常状態として認識部7において認識される。更に、図5Bの点線で示すように、複数の研削砥石4dのうちの一部だけ、研削面4eの高さが極端に低い場合、研削砥石4dが破損した異常状態として認識部7において認識される。上述した異常状態を認識部7が認識したことに基づき、制御部6は、研削手段4等の作動を制御して研削を中断したり、表示装置や通知装置(何れも不図示)を作動し、オペレータに対して上述の異常を伝える。
また、認識部7においては、最頻値h1となる研削面4eの高さが、研削砥石4dの残量として認識される。最頻値h1が所定値より小さいと認識部7が認識したことに基づき、制御部6は、表示装置や通知装置(何れも不図示)を作動し、オペレータに対して研削ホイール4fの交換時期を的確に伝えることができる。
以上のように、本実施の形態に係る研削装置1によれば、回転する研削面4eを面形状として認識することができ、静止状態の研削面の複数箇所を検出する場合に比べ、研削砥石4dの破損や異常磨耗をより的確に検出することができる。これにより、研削された板状ワークWに形成される研削模様のムラなどの加工不良を防止することができ、品質の安定化、製品精度の向上を図ることができる。
(実施の形態2)
以下、実施の形態2について説明する。なお、実施の形態2において、実施の形態1と共通する構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。図6は、実施の形態2に係る研削装置の断面模式図である。図6に示すように、実施の形態2の研削手段4では、研削ホイール4fの直径寸法が板状ワークWの直径寸法の半分程度に設定されている。このような研削手段4による研削では、板状ワークWの外縁に沿う所定幅領域だけを研削せずに環状凸部W1を形成し、板状ワークWの中央部分だけを薄化している。
以下、実施の形態2について説明する。なお、実施の形態2において、実施の形態1と共通する構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。図6は、実施の形態2に係る研削装置の断面模式図である。図6に示すように、実施の形態2の研削手段4では、研削ホイール4fの直径寸法が板状ワークWの直径寸法の半分程度に設定されている。このような研削手段4による研削では、板状ワークWの外縁に沿う所定幅領域だけを研削せずに環状凸部W1を形成し、板状ワークWの中央部分だけを薄化している。
基台2と保持テーブル3との間には、保持テーブル移動機構9が設けられている。保持テーブル移動機構9は、基台2上に配置されY軸方向に延在するガイドレール91と、ガイドレール91にスライド可能に設置されたY軸テーブル92と、Y軸テーブル92をガイドレール91に沿って移動するためのボールネジやナット、モータからなる移動手段(不図示)を有している。Y軸テーブル92の上面であって保持テーブル3の側方には、測定手段5が設けられている。
本実施の形態における板状ワークWの研削は、図6Aに示すように、研削手段4の研削面4eが板状ワークWの外周からはみ出ずに、板状ワークWの面内に収まる位置で行われる。そして、図6Bに示すように、板状ワークWに研削を行う前や後において、サーボモータ44d(図6Bでは不図示)を駆動することによって、研削手段4を上昇する。研削手段4の上昇後、Y軸テーブル92をY軸方向に移動し、研削砥石4dにおける研削面4eの直下位置に測定手段5を位置付ける。この状態で、駆動モータ8(図6Bでは不図示)の駆動によって研削ホイール4fを所定の回転数で回転しながら、測定手段5の投光部51a(図6Bでは不図示)から測定光Bを投光する。この際の研削ホイール4fの回転数は、研削時の回転数と同じに限られず、少なくしたりする等調整することができる。測定光Bは研削面4eで反射されてから、受光部51b(図6Bでは不図示)で受光され、実施の形態1と同様に処理される。
従って、本実施の形態によれば、研削面4eを測定する際の研削ホイール4fの回転数を調整できるので、測定器51に適した回転数を設定することで、研削面4eの測定を高精度に安定して行うことが可能となる。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
また、測定手段5の設置数は、1体に限られるものでなく、複数としてもよい。この際、研削ホイール4fの径方向に測定手段5を並べることで、研削面4eの測定可能な範囲を拡大することができる。
以上説明したように、本発明は、回転する研削ホイールに装着された研削砥石によって板状ワークを研削する研削装置に有用である。
1 研削装置
3 保持テーブル
4 研削手段
4d 研削砥石
4e 研削面
4f 研削ホイール
7 認識部
8 駆動モータ(回転手段)
44 研削送り手段
51 測定器
51a 投光部
51b 受光部
52 枠体
52a 測定口
52b 水層形成部
52c 供給口
B 測定光
W 板状ワーク
3 保持テーブル
4 研削手段
4d 研削砥石
4e 研削面
4f 研削ホイール
7 認識部
8 駆動モータ(回転手段)
44 研削送り手段
51 測定器
51a 投光部
51b 受光部
52 枠体
52a 測定口
52b 水層形成部
52c 供給口
B 測定光
W 板状ワーク
Claims (2)
- 板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持する板状ワークを研削する研削砥石を環状に配置する研削ホイールを装着する研削手段と、該研削ホイールを回転させる回転手段と、該保持テーブルに接近および離反する方向に該研削手段を移動させる研削送り手段と、を備えた研削装置において、
該研削砥石の研削面に対して測定光を投光させる投光部と、該投光部から投光されて該研削面で反射する該測定光を受光する受光部とを備えた測定器を含んで構成し、
該回転手段によって所定の回転数で回転する該研削ホイールの該研削面を該測定器で測定し、該研削砥石の残量及び破損有無を認識する認識部を備えた研削装置。 - 該測定器を囲繞する枠体と、該枠体に形成され、該測定器の投光受光による測定を許容する測定口と、該枠体内部に水を貯留可能に形成され、該投光部および該受光部を水で覆いつつ、該測定口から該水を流出可能とする水層形成部と、該水層形成部に水を供給する供給口と、を備えた請求項1に記載の研削装置。
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