JP2015024571A - シートの製造方法およびシート製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】効率よくシートを製造することのできるシートの製造方法およびシート製造装置を提供すること。【解決手段】シートの製造方法は、シート組成物を枚葉シート２に成膜する成膜処理をバッチ毎に実施する成膜工程と、枚葉シート２に対して加熱処理を実施する後処理工程とを備え、加熱処理に要する加熱処理時間が、成膜処理に要する成膜時間よりも長く設定され、後処理工程では、複数バッチの枚葉シート２を同時に並行して加熱処理を実施する。【選択図】図１

Description

本発明は、シートの製造方法およびシート製造装置、詳しくは、電子素子の封止に用いられるシートを製造するための製造方法、および、その製造方法に用いられるシート製造装置に関する。

電子素子に用いられるシート、例えば、光半導体素子を封止するための封止シートは、シートの原料となる液状組成物を基材上に塗布して１枚のシートごと（枚葉シート）に成膜され、次いで、そのシートに加熱などの後処理を実施することにより半硬化状態または硬化状態として製造される。

そして、シートを連続して工業的に加熱処理生産する方式として、例えば、成膜された枚葉シートをベルトコンベアにて搬送し、加熱オーブン内部を通過させるベルトコンベア方式が挙げられる。

しかし、このベルトコンベア方式では、枚葉シートを十分に加熱させるためには、オーブンおよびベルトコンベアの距離を長くする必要があり、装置全体が大型化するという不具合が生じる。

一方、ベルトコンベア方式の他に、例えば、加熱室の内部に設けられた熱板と、加熱室に隣接するように設けられた冷却プレートとを備えた加熱装置であって、熱板と冷却プレートとに設けられた吐出孔からの気体の吐出により、熱板と冷却プレートとの間で基板を移動させる加熱装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。

特開２００７−１８４４２９号公報

しかしながら、シートの製造方法においては、成膜処理時間に比べて、加熱処理時間が長い場合がある。そのような場合には、特許文献１の加熱装置を用いて、枚葉シートを連続して生産する場合、成膜されたある枚葉シートは、その直前に成膜され加熱処理されている枚葉シートの加熱処理が終了するまで、加熱処理を実施することはできず、待機しなければならない。従って、生産効率が劣るという不具合が生じる。

本発明の目的は、効率よくシートを製造することのできるシートの製造方法およびシート製造装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明のシートの製造方法は、シート組成物を枚葉シートに成膜する成膜処理をバッチ毎に実施する成膜工程と、前記枚葉シートに対して第１後処理を実施する後処理工程とを備え、前記第１後処理に要する第１後処理時間が、前記成膜処理に要する成膜時間よりも長く設定され、前記後処理工程では、複数バッチの枚葉シートを同時に並行して前記第１後処理を実施することを特徴としている。

この製造方法によれば、成膜工程において成膜された枚葉シートを、その直前に成膜された枚葉シートと同時に並行して第１後処理することができる。そのため、成膜された枚葉シートは、その直前に成膜された枚葉シートの第１後処理が終了するまで待機することなく、第１後処理を実施することができる。

その結果、枚葉シートの製造時間が短縮でき、枚葉シートを効率よく製造することができる。

また、本発明のシートの製造方法は 前記後処理工程では、バッチ毎に異なる静止領域で前記第１後処理を実施することが好適である。

この製造方法によれば、成膜された枚葉シートをバッチ毎に、異なる静止領域で第１後処理を実施できるため、成膜された枚葉シートは、その直前に成膜された枚葉シートと同時に並行して、異なる静止領域で第１後処理を実施することができる。そのため、枚葉シートの製造時間が短縮でき、枚葉シートを効率よく製造することができる。

また、異なる静止領域毎に処理条件を設定できるため、枚葉シートをバッチ毎に、異なる条件で第１後処理を実施することができる。そのため、異なる種類の枚葉シートをバッチ毎に製造することができる。

また、本発明のシートの製造方法では 前記第１後処理が、前記枚葉シートを加熱する加熱処理であることが好適である。

この製造方法によれば、加熱処理された枚葉シートを製造することができる。

また、本発明のシートの製造方法において、前記後処理工程では、前記第１後処理を実施し、その後、前記枚葉シートを冷却することが好適である。

この製造方法によれば、第１後処理後に、加熱処理された枚葉シートを冷却するため、枚葉シートに的確な熱履歴を付与することができる。

また、本発明のシートの製造方法において、前記後処理工程では、第１後処理の前に、前記枚葉シートを脱泡することが好適である。

この製造方法によれば、第１後処理の前に、枚葉シートを脱泡するため、第１後処理によって生じる表面荒れが抑制された枚葉シートを製造することができる。

また、本発明のシートの製造装置は、シート組成物を枚葉シートに成膜する成膜処理をバッチ毎に実施する成膜部と、前記枚葉シートに対して第１後処理を実施する後処理部と、前記成膜部および前記後処理部を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記枚葉シートに対して前記第１後処理を実施する第１後処理時間が、前記シート組成物を前記枚葉シートに成膜する成膜時間よりも長くなるように設定し、前記後処理部は、複数バッチの枚葉シートを同時に並行して前記第１後処理を実施するように構成されていることを特徴としている。

この製造装置によれば、成膜部において成膜された枚葉シートが、後処理部において、その直前に成膜された枚葉シートと同時に並行して第１後処理を実施することができる。そのため、成膜された枚葉シートは、その直前に成膜された枚葉シートの第１後処理が終了するまで待機することなく、第１後処理を実施することができる。

その結果、枚葉シートの製造時間が短縮でき、枚葉シートを効率よく製造することができる。

また、本発明の製造装置において、前記後処理部では、バッチ毎に異なる静止領域で前記第１後処理が実施される第１後処理領域を複数備えることが好適である。

この製造装置によれば、成膜された枚葉シートをバッチ毎に、異なる静止領域で第１後処理を実施できるため、成膜された枚葉シートを、その直前に成膜された枚葉シートと同時に並行して、異なる静止領域で第１後処理することができる。そのため、枚葉シートの製造時間が短縮でき、枚葉シートを効率よく製造することができる。

また、異なる静止領域毎に処理条件を設定できるため、枚葉シートをバッチ毎に、異なる条件で第１後処理を実施することができる。そのため、異なる種類の枚葉シートをバッチ毎に製造することができる。

また、本発明の製造装置は、前記成膜部と、前記各第１後処理領域とが直列配置されていることが好適である。

この製造装置によれば、枚葉シートを成膜部から第１後処理領域に直列方向に沿ってスムーズに移動させることができる。

また、本発明の製造装置は、前記第１後処理領域が、加熱手段を備えていることが好適である。

この製造装置によれば、加熱処理された枚葉シートを製造することができる。

また、本発明の製造装置では、前記加熱手段が、ホットプレートであることが好適である。

この製造装置によれば、枚葉シートを確実かつ効率的に加熱することができる。

また、本発明の製造装置では、前記加熱手段が、オーブンであることが好適である。

この製造装置によれば、製造装置を容易に設計することができ、シートを低コストで製造することができる。

また、本発明の製造装置では、前記後処理部は、最後の第１後処理領域に対して前記成膜部と反対側に、前記枚葉シートを冷却する冷却領域を備えていることが好適である。

この製造装置によれば、第１後処理後に、加熱処理された枚葉シートを冷却するため、枚葉シートに的確な熱履歴を付与することができる。

また、本発明の製造装置では、前記後処理部は、前記成膜部と最初の第１後処理領域との間に、前記枚葉シートを脱泡する脱泡領域を備えていることが好適である。

この製造装置によれば、枚葉シートを脱泡するため、第１後処理によって生じる表面荒れが抑制された枚葉シートを製造することができる。

また、本発明の製造装置では、前記後処理部は、第１後処理領域をｎ個備え、前記制御手段は、前記第１後処理をｎバッチ実施する処理を１つの周期とし、前回の周期の最初のバッチの前記第１後処理の終了タイミングを基準として、今回の周期の開始タイミングを設定することが好適である。

前回の周期の最初のバッチに対し第１後処理を終了させた後に、滞りなく今回の周期の最初のバッチに対し第１後処理を開始させることができる。そのため、枚葉シートを効率よく製造することができる。

本発明の製造方法および製造装置によれば、枚葉シートの製造時間が短縮でき、枚葉シートを効率よく製造することができる。

図１は、本発明のシート製造装置の一実施形態の斜視図を示す。 図２は、図１のシート製造装置の脱泡領域の断面図を示す。 図３は、図１のシート製造装置の加熱領域の断面図を示す。 図４は、図１のシート製造装置の冷却領域の断面図を示す。 図５は、本発明のシートの製造方法の一実施形態におけるバッチ毎の各工程に要する時間を表すタイムチャートを示す。 図６は、本発明のシート製造装置の他の実施形態（加熱領域が上下方向に区画されている実施形態）の斜視図を示す。 図７は、本発明のシート製造装置の他の実施形態（加熱手段がオーブンである実施形態）の斜視図を示す。 図８は、本発明のシート製造装置の他の実施形態（加熱手段がオーブンであって、加熱領域が上下方向に区画されている実施形態）の斜視図を示す。

図１において、前後方向は、第１方向とし、前側は、後述する枚葉シートの搬送方向下流側（第１方向一方側）であり、後側は、枚葉シートの搬送方向上流側（第１方向他方側）である。また、前後方向に直交する方向が、左右方向（第２方向）とし、前後方向および左右方向に直交する方向が、上下方向（第３方向）とする。図２〜図４の方向は、図１において矢印で示される方向に準拠する。

１．シート製造装置
図１に示すように、シート製造装置１は、電子素子としての光半導体素子の封止に用いるための枚葉シート２（図２〜図４参照）を、シート組成物から製造するための製造装置である。

このシート製造装置１は、成膜部３と、成膜部３の前側に配置される後処理部４とを備えている。なお、シート製造装置１では、成膜部３の後側に搬送キャリア収容部（図示せず）が配置され、後処理部４の前側に回収部（図示せず）が配置されている。

シート製造装置１では、前後方向に沿って、成膜部３と、後処理部４とが直列配置されている。このシート製造装置１では、シート組成物が成膜部３で成膜され、成膜された枚葉シート２が後方から前方に向かって搬送され、その後、後処理部４にて後処理される。

搬送キャリア収容部は、シート製造装置１の後側に配置されている。搬送キャリア収容部は、複数の搬送キャリア６を収容し、搬送キャリア６を成膜部３に１枚ずつ搬送可能に構成されている。搬送キャリア収容部は、移動可能な台車でもある。

搬送キャリア６は、その上面に離型基材７（後述）が載置可能に構成されている。具体的には、搬送キャリア６は、平面視略矩形状の平板に形成されている。

成膜部３は、成膜台５と、成膜装置８とを備えている。

成膜台５は、前後方向に延びる平面視略矩形状をなし、箱状に形成されている。

成膜装置８は、搬送キャリア６に配置される離型基材７（後述）の表面にシート組成物を塗布するための装置であり、レール９と、摺動部材１０と、載置台１１と、支持部材１２と、塗布部材１３とを備えている。

レール９は、成膜台５の上面に、左右方向に互いに間隔を隔てて１対設けられており、各レール９は、前後方向に延びるように直線上に形成されている。

摺動部材１０は、レール９に取り付けられて、載置台１１を前後方向に移動させるように構成されており、１対のガイドから構成されている。各ガイドは、正面視において、下方に開放されている略コ字形状に形成されており、レール９と摺動可能に取り付けられている。

載置台１１は、１対の摺動部材１０の上面に固定され、搬送キャリア６を載置可能に構成されている。具体的には、載置台１１は、平面視において、１つの搬送キャリア６を含むことができるように、略矩形状の平板に形成されている。

載置台１１の左右方向中央部には、載置台１１を前後方向に貫通する貫通孔が形成されている。その貫通孔には、ボールねじ４８が嵌合されている。ボールねじ４８は、軸心が前後方向に延びるように形成され、載置台１１を前後方向に移動可能に構成されている。具体的には、ボールねじ４８の後端は、カップリング（軸受）（図示せず）を介して、モータ（図示せず）が取り付けられている。モータには、載置台１１の位置および速度を調整する第１制御基板４４（ＣＰＵ）が接続されている。第１制御基板４４は、制御手段としての制御装置４６に内蔵されている。

支持部材１２は、成膜台５の上面において前後方向中央に配置されており、下方に向かって開放される正面視略コ字状をなしている。支持部材１２は、載置台１１が移動する軌跡に重複しないように設けられている。支持部材１２は、成膜台５の上面から上方に延び、左右方向に載置台１１を挟んで互いに対向配置される１対の支持棒１７と、１対の支持棒１７の上端を架設するように固定される架設棒１８とを備えている。架設棒１８には、接続管１６（後述）を左右方向に移動させるためのモータ（図示せず）およびガイド（図示せず）が設けられている。

塗布部材１３は、架設棒１８に取り付けられており、ポンプ１４と、ノズル１５と、それらを接続する接続管１６とを備えている。

ポンプ１４は、塗布部材１３の上端に配置されている。ポンプ１４には、シート組成物（ワニス）が貯蔵されているタンク（図示せず）から、シート組成物をノズル１５に供給するためのホース（図示せず）が接続されており、ポンプ１４は、シート組成物をノズル１５に供給するように構成されている。

ノズル１５は、塗布部材１３の下端に配置されている。ノズル１５の下端には、シート組成物を吐出するためのノズル開口部（図示せず）が、形成されている。ノズル開口部は、左右方向に延びるスリット状に形成されている。

接続管１６は、上下方向に延びるように形成されており、その上端がポンプ１４に接続され、その下端がノズル１５に接続されている。接続管１６は、架設棒１８に対して上下左右に移動可能に取り付けられている。

シート製造装置１には、搬送キャリア収容部と成膜部３との間に、第１搬送ロボット（図示せず）が設けられている。第１搬送ロボットは、搬送キャリア収容部に収容されている搬送キャリア６を載置台１１に搬送可能に構成されている。

後処理部４は、前後方向に延びる後処理台４７を備えており、その後処理台４７の上面に、供給領域２３と、脱泡領域２４と、静止領域および第１後処理領域としての加熱領域２５と、冷却領域２６と、排出領域２７とが直列的に区画されている。

後処理台４７は、平面視略矩形状をなし、箱状に形成されている。

供給領域２３は、後処理台４７の後部の上面に区画されている。供給領域２３は、成膜部３で成膜された枚葉シート２を一時的に載置して、脱泡処理の開始タイミングを調整する調整領域である。供給領域２３は、平面視において、一時的に載置される１つの搬送キャリア６を含むことができるように略矩形状に区画されている。

脱泡領域２４は、後処理台４７の上面において、供給領域２３の前側に連続して区画されている。脱泡領域２４は、平面視において、脱泡処理される１つの搬送キャリア６を含むことができるように略矩形状に区画されている。脱泡領域２４は、枚葉シート２内部に含有される気泡、および／または、枚葉シート２と離型基材７との界面に存在する気泡を排出可能に構成されている。具体的には、脱泡領域２４は、図２に示すように、第１吸着ベースプレート２９および真空チャンバー２８を備えている。

第１吸着ベースプレート２９は、平面視略矩形板状に形成されており、搬送キャリア６を第１吸着ベースプレート２９の上面に吸着可能に構成されている。具体的には、第１吸着ベースプレート２９の上面には、真空ポンプＰに接続される複数の穴３０が形成されている。

真空チャンバー２８は、その周端縁が第１吸着ベースプレート２９と接触したとき、密閉空間が生じるように形成されており、平面視において、第１吸着ベースプレート２９よりも小さい略矩形状であって、かつ、断面視略コ字状をなしている。真空チャンバー２８にも、真空ポンプＰが接続されており、密閉空間を真空（または減圧）下に設定できるように構成されている。

加熱領域２５は、図１に示すように、後処理台４７の上面において、複数（３個）区画されている。複数の加熱領域２５は、脱泡領域２４の前側に連続して区画され、前後方向に直列配置されている。すなわち、複数の加熱領域２５は、脱泡領域２４の前側に隣接配置される第１加熱領域２５ａ、第１加熱領域２５ａの前側に隣接配置される第２加熱領域２５ｂ、および、第２加熱領域２５ｂの前側に隣接配置される第３加熱領域２５ｃを備えている。

各加熱領域２５（すなわち、第１加熱領域２５ａ、第２加熱領域２５ｂおよび第３加熱領域２５ｃのそれぞれ）は、平面視において、１つの搬送キャリア６を含むことができるように、略矩形状に形成されている。各加熱領域２５に対応する後処理台４７の上面には、加熱手段としてのホットプレート３１が設けられており、枚葉シート２を加熱するように構成されている。具体的には、加熱領域２５は、図３に示すように、ホットプレート３１と、第２吸着ベースプレート３３と、保温フード３２とを備えている。

ホットプレート３１は、後処理台４７の上面に接触するように配置されている。ホットプレート３１は、平面視において、１つの搬送キャリア６を含むことができるように、略矩形板状に形成されており、ヒータ３１ａを内蔵し、搬送キャリア６を加熱可能に構成されている。

第２吸着ベースプレート３３は、ホットプレート３１の上面に接触するように配置されている。第２吸着ベースプレート３３は、平面視において、ホットプレート３１と同一の略矩形板状に形成されており、搬送キャリア６を第２吸着ベースプレート３３の上面に吸着可能に構成されている。具体的には、第２吸着ベースプレート３３の上面には、真空ポンプＰに接続される複数の穴３４が形成されている。第２吸着ベースプレート３３は、熱伝導性材料から形成されており、その熱伝導性材料としては、例えば、アルミニウム、鉄、銅、ステンレス、これらの合金、または、セラミックなどの金属が挙げられる。

保温フード３２は、その周端縁が第２吸着ベースプレート３３と接触したとき、密閉空間（保温空間）が生じるように形成されており、平面視において第２吸着ベースプレート３３より小さい略矩形状であって、かつ、断面視略コ字状をなしている。

冷却領域２６は、後処理台４７の上面において、加熱領域２５の前側に連続して区画されている。冷却領域２６は、平面視略において、冷却処理される１つの搬送キャリア６を含むことができるように、矩形状に区画され、枚葉シート２を冷却可能に構成されている。具体的には、冷却領域２６は、図４に示すように、冷却プレート３６および第３吸着ベースプレート３５を備えている。

冷却プレート３６は、後処理台４７の上面に接触するように配置されている。冷却プレート３６は、平面視略において、冷却処理される１つの搬送キャリア６を含むことができるように、略矩形板状に形成されている。冷却プレート３６は、冷却水などの冷媒を循環する冷却循環路３６ａを内蔵し、搬送キャリア６を冷却可能に構成されている。

第３吸着ベースプレート３５は、冷却プレート３６の上面と接触するように配置されている。第３吸着ベースプレート３５は、平面視において、冷却プレート３６と同一の形状に形成されており、搬送キャリア６を第３吸着ベースプレート３５の上面に吸着可能に構成されている。具体的には、第３吸着ベースプレート３５の上面には、真空ポンプＰに接続される複数の穴３７が形成されている。第３吸着ベースプレート３５は、熱伝導性材料から形成されており、その熱伝導性材料としては、例えば、アルミニウム、鉄、銅、ステンレス、これらの合金、または、セラミックなどの金属が挙げられる。

排出領域２７は、後処理台４７の上面において、図１に示すように、冷却領域２６の前側に連続して区画されている。排出領域２７は、冷却領域２６で冷却された枚葉シート２を一時的に載置する領域である。排出領域２７は、平面視において、一時的に載置される１つの搬送キャリア６を含むことができるように略矩形状に区画されている。

後処理台４７には、その左端に、溝３９と、第１搬送機構３８とが設けられている。

溝３９は、後処理台４７の左端において、供給領域２３から排出領域２７にかけて前後方向に直線的に延びるように形成されている。溝３９は、アーム支持板４１（後述）を収容可能に形成されている。

第１搬送機構３８は、１対のアーム４０と、１対のアーム４０を支持するアーム支持板４１とを備えている。

１対のアーム４０は、前後方向に互いに間隔を隔てて対向配置されている。各アーム４０は、左右方向に延びるように形成され、各アーム４０の左端がアーム支持板４１の上端縁に固定されている。各アーム４０の左右方向長さは、搬送キャリア６の左右方向長さよりも長くなるように形成されている。各アーム４０は、２つの吸着パッド４２を備えている。

吸着パッド４２は、搬送キャリア６を吸脱着可能に構成されている。２つの吸着パッド４２は、アーム４０の下面に互いに左右方向に間隔を隔てて設けられている。その間隔は、搬送キャリア６の左右方向長さよりもわずかに短くなるように配置されている。

アーム支持板４１は、平板状をなし、アーム４０を上下方向および前後方向に移動可能に構成されている。アーム支持板４１は、その上端が溝３９から露出されるように、溝３９に収容されている。アーム支持板４１は、後処理台４７内に収容されているシリンダ機構（図示せず）およびプーリ機構（図示せず）に連結されている。

シリンダ機構は、アーム支持板４１に連結される上下方向に進退可能なエアシリンダを備えており、アーム支持板４１を上下方向に移動させるように構成されている。

プーリ機構は、溝３９の下方において、前後方向に沿って設けられている。プーリ機構は、前後方向に間隔を隔てて配置される２つのプーリと、それら２つのプーリ間に掛け回されるエンドレスベルトとを備えている。シリンダ機構のエアシリンダは、エンドレスベルトに固定されている。

第１搬送機構３８には、吸着パッド４２の吸着解除作動およびアーム支持板４１の上下前後移動を制御する第２制御基板４５（ＣＰＵ）が接続されている。第２制御基板４５は、制御装置４６に内蔵されている。

また、シート製造装置１は、成膜部３と後処理部４との間において、第２搬送機構１９を備えている。第２搬送機構１９は、成膜部３の後端に搬送される搬送キャリア６を、供給領域２３に搬送可能に構成されている。

第２搬送機構１９は、成膜部３と後処理部４との間付近に設けられる支持フレーム（図示せず）に固定されるロッド２０と、ロッド２０に前後方向に摺動可能に取り付けられ、上下方向に伸縮可能なエアシリンダ２２と、エアシリンダ２２の下端に取り付けられる平面視略矩形板状の吸着移動プレート２１とを備えている。吸着移動プレート２１には、その四隅に４つの吸着パッド４３が設けられている。

回収部は、後処理部４において、後処理された枚葉シート２を収容可能に構成される台車である。

シート製造装置１には、後処理部４と回収部との間に第２搬送ロボット（図示せず）が設けられている。第２搬送ロボットは、排出領域２７に載置される搬送キャリア６を、回収部に搬送可能に構成されている。

脱泡領域２４、加熱領域２５および冷却領域２６に接続されている真空ポンプＰは、共通している。

２．シートの製造方法
次に、このシート製造装置１を用いて、枚葉シート２を連続的に製造する方法を説明する。この製造方法は、シート組成物を枚葉シート２に成膜する成膜処理をバッチ毎に実施する成膜工程と、枚葉シート２に対して第１後処理としての加熱処理を実施する後処理工程とを備える。具体的には、この製造方法では、成膜処理、調整処理、脱泡処理、加熱処理および冷却処理が順次実施される。

＜準備工程＞
まず、成膜工程および後処理工程の前に、準備工程を実施する。準備工程は、シート組成物を調製する組成物調製工程、離型基材７が上面に載置された搬送キャリア６を搬送キャリア収容部に収容する収容工程、ならびに、加熱領域２５および冷却領域２６の温度を所定温度に調整する温度調整工程を備える。

（組成物調製工程）
組成物調製工程は、シート組成物を調製する。

シート組成物は、硬化型樹脂を含有する。硬化型樹脂としては、１段階硬化型樹脂、または、２段階硬化型樹脂が挙げられ、好ましくは、２段階硬化型樹脂が挙げられる。

２段階硬化型樹脂は、２段階の反応機構を有しており、１段階目の反応でＢステージ化（半硬化）し、２段階目の反応でＣステージ化（完全硬化）する硬化性樹脂である。

なお、Ｂステージは、２段階硬化型樹脂が、液状であるＡステージと、完全硬化したＣステージとの間の状態であって、硬化およびゲル化がわずかに進行し、圧縮弾性率がＣステージの弾性率よりも小さい状態である。

２段階硬化型樹脂としては、例えば、加熱により硬化する２段階硬化型熱硬化性樹脂、例えば、活性エネルギー線（例えば、紫外線、電子線など）の照射により硬化する２段階硬化型活性エネルギー線硬化性樹脂などが挙げられる。好ましくは、２段階硬化型熱硬化性樹脂が挙げられる。

具体的には、２段階硬化型熱硬化型樹脂として、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などが挙げられる。好ましくは、透光性および耐久性の観点から、シリコーン樹脂が挙げられる。

シリコーン樹脂としては、例えば、縮合反応と付加反応との２つの反応系を有する縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂などが挙げられる。

硬化型樹脂の配合割合は、シート組成物に対して、例えば、３０質量％以上、好ましくは、４０質量％以上、より好ましくは、５０質量％以上であり、また、例えば、９８質量％以下、好ましくは、９５質量％以下、より好ましくは、９０質量％以下である。

また、シート組成物には、必要により、蛍光体および／または充填剤を含有させることもできる。

蛍光体は、波長変換機能を有しており、例えば、青色光を黄色光に変換することのできる黄色蛍光体、青色光を赤色光に変換することのできる赤色蛍光体などが挙げられる。

蛍光体の配合割合は、硬化型樹脂１００質量部に対して、例えば、０．１質量部以上、好ましくは、０．５質量部以上であり、例えば、８０質量部以下、好ましくは、５０質量部以下でもある。

充填剤は、例えば、シリコーン粒子などの有機微粒子、例えば、シリカ、タルク、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素などの無機微粒子が挙げられる。

充填剤の配合割合は、硬化型樹脂１００質量部に対して、例えば、０．１質量部以上、好ましくは、０．５質量部以上であり、また、例えば、７０質量部以下、好ましくは、５０質量部以下でもある。

シート組成物を調製するには、具体的には、ポンプ１４に接続されるタンク（図示せず）に上記した各成分を配合し、続いて、タンクに内蔵される撹拌機を用いてそれらを混合する。

シート組成物の２５℃、１気圧の条件下における粘度は、例えば、１，０００ｍＰａ・ｓ以上、好ましくは、４，０００ｍＰａ・ｓ以上であり、また、例えば、１，０００，０００ｍＰａ・ｓ以下、好ましくは、１００，０００ｍＰａ・ｓ以下である。なお、粘度は、シート組成物を２５℃に温度調節し、Ｅ型コーンを用いて、回転数９９ｓ^−１で測定される。

（収容工程）
収容工程では、離型基材７が上面に載置された搬送キャリア６を搬送キャリア収容部に収容する。

搬送キャリア６の材料としては、例えば、アルミニウム、鉄、銅、ステンレス、これらの合金、セラミックなどの金属、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂などの樹脂などが挙げられる。加熱処理および冷却処理における熱伝導効率の観点から、好ましくは、金属が挙げられ、より好ましくは、アルミニウム、ステンレス、銅、または、これらの合金、セラミックが挙げられる。

搬送キャリア６は、平面視略矩形状をなし、その前後方向長さは、例えば、２００〜４００ｍｍであり、左右方向長さは、例えば、２００〜４００ｍｍである。

離型基材７は、具体的には、例えば、ポリエチレンシート、ポリエステルシート（ＰＥＴなど）、ポリスチレンシート、ポリカーボネートシート、ポリイミドシートなどのポリマーシート、例えば、セラミクスシート、例えば、金属箔などが挙げられる。離型基材７の上面に、フッ素処理などの剥離処理を施すこともできる。離型基材７の前後方向長さおよび左右方向長さは、搬送キャリア６の前後方向長さおよび左右方向長さよりも短くなるように設定されている。

そして、収容工程では、搬送キャリア６の上面に離型基材７を載置し、その後、それらを収容部において上下方向に複数スタックする。

（温度調整工程）
温度調整工程では、加熱領域２５および冷却領域２６の温度を所定温度に予め調整する。具体的には、ホットプレート３１および冷却プレート３６を予め所定温度に設定する。

ホットプレート３１の温度は、硬化型樹脂が２段階硬化型樹脂である場合は、例えば、液状（Ａステージ）の枚葉シート２を半硬化（Ｂステージ化）することが可能な温度であり、例えば、８０℃以上、好ましくは、１３０℃以上であり、また、例えば、１５０℃以下、好ましくは、１４０℃以下である。

冷却プレート３６の温度は、加熱処理によって加熱された半硬化状態の枚葉シート２を冷却することが可能な温度であり、硬化型樹脂が２段階硬化型樹脂である場合は、半硬化状態を維持できる温度であり、例えば、１０℃以上、好ましくは、１３℃以上であり、また、例えば、２０℃以下、好ましくは、１５℃以下である。

以下、バッチ毎に、すなわち、１つの搬送キャリア６毎に、成膜工程および後処理工程を実施する方法について説明する。

＜第１回目のバッチにおける製造方法＞
第１回目のバッチ（第１バッチ：１周期における最初のバッチ）におけるシートの製造について、説明する。

（搬送キャリア収容部から載置台１１までの搬送：第１バッチの製造開始）
離型基材７が上面に載置された第１枚目の搬送キャリア６（以下、「搬送キャリア」、または、「第１搬送キャリア」ともいう。）を、搬送キャリア収容部から載置台１１の上面に搬送する。

具体的には、第１搬送ロボットのアームを上下方向および前後方向に可動させることにより、搬送キャリア６を把持して、搬送キャリア収容部から載置台１１の上面まで搬送する。なお、載置台１１は、成膜部３の後端部（ホームポジション）に位置させておく。

この搬送キャリア収容部から載置台１１までの搬送キャリア６の搬送に要する搬送時間Ａ_１は、図５が参照されるように、例えば、１秒以上であり、また、例えば、３０秒以下、好ましくは、１０秒以下である。

（成膜処理）
次いで、離型基材７の上面にシート組成物を成膜して、枚葉シート２を形成する。

具体的には、まず、載置台１１を、モータの駆動により、ボールねじ４８を回転させ、前方に移動させる。これによって、搬送キャリア６を前方に搬送させる。

搬送キャリア６が架設棒１８の下方を通過する際に、ノズル１５から吐出されるシート組成物が、離型基材７上に塗布される。すなわち、搬送キャリア６の架設棒１８に対する通過時において、ノズル１５が、離型基材７とごくわずかな距離を隔てて近接するように下方に移動し、そのノズル開口部からポンプ１４の作動によってシート組成物を離型基材７に吐出する。なお、ノズル開口部からシート組成物を離型基材７に吐出してから、搬送キャリア６を前方に所定距離（すなわち、目的とする枚葉シート２の前後方向長さ）搬送させた後、ポンプ１４を停止させるとともに、ノズル１５を上方に移動させて、ノズル開口部を離型基材７から離間させる。これにより、シート組成物からなる単数の枚葉シート２が成膜される。

複数の枚葉シート２を１つ（単数）の離型基材７の表面に成膜する場合は、ポンプ１４の作動および停止、ノズル１５の上下方向移動および左右方向移動、ならびに、載置台１１の前後方向移動を繰り返す。図１においては、１つの離型基材７の上面に２つの枚葉シート２が形成されている。

枚葉シート２を離型基材７の上に成膜した後、ボールねじ４８を回転させて、載置台１１を成膜部３の前端部に移動させる。

この成膜処理に要する成膜時間Ａ_２、すなわち、搬送キャリア６を載置台１１に載置してから、載置台１１を成膜部３の前端部に搬送するまでの時間Ａ_２は、例えば、１秒以上であり、また、例えば、１２０秒以下、好ましくは、６０秒以下である。

（成膜部３の前端部から供給領域２３への搬送キャリア６の搬送）
次いで、搬送キャリア６を成膜部３の前端部から供給領域２３に、搬送する。

具体的には、予め吸着移動プレート２１を第２搬送機構１９の後端部、すなわち、成膜部３の前端部の上方に移動させておく。

次いで、搬送キャリア６が成膜部３の前端部に搬送された後に、エアシリンダ２２を伸長させて、つまり、吸着移動プレート２１を降下させて、４つの吸着パッド４３を搬送キャリア６の上面の四隅と接触させる。続いて、４つの吸着パッド４３の吸着作動によって、搬送キャリア６を吸着する。

続いて、エアシリンダ２２を短縮させて、つまり、吸着移動プレート２１を上昇させて、搬送キャリア６を引き上げる。

続いて、エアシリンダ２２をロッド２０に沿って、ロッド２０の前端部、すなわち、供給領域２３の上方まで移動させる。

続いて、エアシリンダ２２を伸長させて、つまり、吸着移動プレート２１を降下させて、搬送キャリア６を引き下げる。
続いて、搬送キャリア６の下面が供給領域２３に接触するまで、吸着移動プレート２１を降下させた後、吸着パッド４３の吸着解除作動によって、搬送キャリア６を、供給領域２３の上面に載置する。

この成膜部３の前端部から供給領域２３への搬送に要する搬送キャリア６の搬送時間Ａ_３は、例えば、１秒以上であり、また、例えば、３０秒以下、好ましくは、１０秒以下である。

（供給領域２３における調整処理）
次いで、搬送キャリア６を供給領域２３で、所定時間待機させる（調整処理）。

供給領域２３における搬送キャリア６の調整時間Ａ_４は、例えば、１秒以上であり、また、例えば、３０秒以下、好ましくは、１０秒以下である。

（供給領域２３から脱泡領域２４への搬送キャリア６の搬送）
次いで、搬送キャリア６を供給領域２３から脱泡領域２４へ搬送する。

まず、第１搬送機構３８を、供給領域２３に移動させる。具体的には、アーム４０を、プーリ機構により搬送キャリア６の上側に移動させる。

続いて、シリンダ機構によりアーム支持板４１を降下させ、これにより、１対のアーム４０を降下させて、４つの吸着パッド４２を搬送キャリア６の四隅に接触させる。

続いで、吸着パッド４２の吸着作動によって、搬送キャリア６を吸着する。

続いて、シリンダ機構によりアーム支持板４１を上昇させ、これにより、アーム４０を上昇させて、搬送キャリア６を引き上げる。

続いて、搬送キャリア６を引き上げた状態で、プーリ機構によりアーム支持板４１を前方向に移動させ、これにより、搬送キャリア６を前方に搬送させて、搬送キャリア６を脱泡領域２４の上方に到達させる。

続いて、シリンダ機構によりアーム支持板４１を降下させて、これにより、アーム４０を降下させて、搬送キャリア６を脱泡領域２４の上面に接触させる。

続いて、吸着パッド４２の吸着解除作動により、搬送キャリア６を脱泡領域２４の上面に載置する。

続いて、第１搬送機構３８を前方または後方に移動させて、脱泡領域２４から退避させる。

この供給領域２３から脱泡領域２４までの搬送キャリア６の搬送に要する搬送時間Ａ_５は、例えば、１秒以上であり、また、例えば、３０秒以下、好ましくは、１０秒以下である。

（脱泡処理）
次いで、枚葉シート２を脱泡する脱泡処理を脱泡領域２４にて実施する。

具体的には、真空ポンプＰを作動させ、搬送キャリア６を第１吸着ベースプレート２９に吸着させる。

続いて、図２に示すように、真空チャンバー２８を閉めて、真空チャンバー２８と第１吸着ベースプレート２９とによって、脱泡領域２４を密閉し、密閉空間を形成する。

続いて、真空チャンバー２８に接続される真空ポンプＰを作動させ、密閉空間を真空（または減圧）にさせる。

これにより、枚葉シート２内部に含有される気泡、および、枚葉シート２と離型基材７との界面に存在する気泡が除去される。

真空度は、例えば、１００Ｐａ以下、好ましくは、１０Ｐａ以下である。

この脱泡処理に要する脱泡時間Ａ_６は、例えば、３０秒以上、好ましくは、６０秒以上であり、また、例えば、１８０秒以下、好ましくは、１２０秒以下である。

（脱泡領域２４から第１加熱領域２５ａへの搬送キャリア６の搬送）
次いで、脱泡処理された枚葉シート２を載置する搬送キャリア６を脱泡領域２４から第１加熱領域２５ａに搬送させる。

具体的には、密閉空間の減圧および搬送キャリア６の吸着を解除し、真空チャンバー２８を開放する。その後、第１搬送機構３８を、供給領域２３から脱泡領域２４への搬送と同様に作動させて、搬送キャリア６を、脱泡領域２４から第１加熱領域２５ａに搬送する。

この脱泡領域２４から第１加熱領域２５ａまでの搬送に要する搬送時間Ａ_７は、例えば、１秒以上であり、また、例えば、３０秒以下、好ましくは、１０秒以下である。

（加熱処理）
次いで、枚葉シート２を加熱する加熱処理を第１加熱領域２５ａにて実施する。

具体的には、真空ポンプＰを作動させ、搬送キャリア６を第２吸着ベースプレート３３に吸着させる。

続いて、図３に示すように、保温フード３２を閉めて、保温フード３２と第２吸着ベースプレート３３とによって第１加熱領域２５ａを密閉し、密閉空間を形成する。

これにより、ホットプレート３１の熱が、第２吸着ベースプレート３３および搬送キャリア６を介して、枚葉シート２を伝導し、その結果、枚葉シート２が加熱される。また、密閉空間の高温空気によっても、枚葉シート２が加熱される。

制御装置４６は、搬送キャリア６の加熱処理に要する加熱時間Ａ_８が、成膜時間Ａ_２よりも長くなるように、第１制御基板４４および第２制御基板４５の条件を設定している。

加熱時間Ａ_８は、成膜時間Ａ_２に対して、例えば、１倍を超過し、好ましくは、２倍以上であり、例えば、１２倍以下、好ましくは、１０倍以下である。また、特に好ましくは、（加熱手段（ホットプレート３１）の数＋１）倍以下、さらに好ましくは、（加熱手段（ホットプレート３１）の数）倍以下でもある。具体的には、加熱時間Ａ_８は、例えば、１２０秒以上、好ましくは、１８０秒以上であり、また、例えば、１５００秒以下、好ましくは、１２００秒以下である。

（第１加熱領域２５ａから冷却領域２６への搬送キャリア６の搬送）
次いで、加熱処理された枚葉シート２を載置する搬送キャリア６を第１加熱領域２５ａから冷却領域２６に搬送させる。

具体的には、密閉空間の減圧および搬送キャリア６の吸着を解除し、保温フード３２を開放する。その後、第１搬送機構３８を、供給領域２３から脱泡領域２４への搬送と同様に作動させて、搬送キャリア６を、第１加熱領域２５ａから冷却領域２６に搬送させる。

この第１加熱領域２５ａから冷却領域２６までの搬送に要する搬送時間Ａ_９は、例えば、１秒以上であり、また、例えば、３０秒以下、好ましくは、１０秒以下である。

（冷却処理）
次いで、枚葉シート２を冷却する冷却処理を冷却領域２６にて実施する。

具体的には、図５に示すように、真空ポンプＰを作動させ、搬送キャリア６を第３吸着ベースプレート３５に吸着させる。冷却プレート３６には、冷却循環路３６ａ内において、冷媒が流通している。

これにより、冷却プレート３６が、第３吸着ベースプレート３５および搬送キャリア６を介して、枚葉シート２を冷却する。

この冷却処理に要する冷却時間Ａ_１０は、例えば、３０秒以上、好ましくは、４５秒以上であり、また、例えば、１２０秒以下、好ましくは、６０秒以下である。

（冷却領域２６から排出領域２７への搬送キャリア６の搬送）
次いで、冷却処理された枚葉シート２を載置する搬送キャリア６を冷却領域２６から排出領域２７に搬送させる。

具体的には、搬送キャリア６の吸着を解除し、その後、第１搬送機構３８を、供給領域２３から脱泡領域２４への搬送と同様に作動させて、搬送キャリア６を、冷却領域２６から排出領域２７に搬送させる。

この冷却領域２６から排出領域２７までの搬送に要する搬送時間Ａ_１１は、例えば、１秒以上であり、また、例えば、３０秒以下、好ましくは、１０秒以下である。

（排出領域２７から回収部への搬送キャリア６の搬送）
次いで、搬送キャリア６を排出領域２７から回収部に搬送する。

具体的には、第２搬送ロボットのアームを上下方向および前後方向に可動させることにより、搬送キャリア６を把持して、排出領域２７から回収部に搬送させる。その後、回収部が、搬送キャリア６を、内部に回収する。

＜第２回目のバッチにおける製造方法＞
第２回目のバッチ（第２バッチ）におけるシートの製造では、第２枚目の搬送キャリア６（第２搬送キャリア）を用いて実施される。

第２バッチにおける製造は、第２搬送キャリアが、第１搬送キャリアから所定時間遅延して、搬送キャリア収容部から搬送されること、および、加熱処理が、第２加熱領域２５ｂで実施されること以外は、第１バッチの製造と同様に実施される。

第２バッチの開始は、図５に示すように、第１バッチの開始（０秒時点）から、第２バッチ遅延時間Ｂ_０（第１搬送キャリアにおける搬送キャリア収容部からの搬送を開始するタイミングから、第２搬送キャリアにおける搬送キャリア収容部からの搬送を開始するタイミングまでの遅延時間）経過した時点で、実施される。具体的には、第２バッチの開始は、第１搬送キャリアが脱泡領域２４で脱泡処理されているタイミングで実施される。また、第２バッチの開始は、脱泡領域２４から第１加熱領域２５ａへの第１搬送キャリアの搬送が終了した直後（Ｔ_４）に、第１バッチにおいて、供給領域２３から脱泡領域２４への第２搬送キャリアの搬送が開始されるように（すなわち、図５において、搬送時間Ａ_７と搬送時間Ｂ_５とが、時間軸で連続するように）、実施される。

第１バッチにおける各時間Ａ_１〜Ａ_１１は、第２バッチにおける各時間Ｂ_１〜Ｂ_１１に適用される。

とりわけ、この第２搬送キャリアにおける脱泡領域２４から第２加熱領域２５ｂまでの搬送に要する搬送時間Ｂ_７は、搬送時間Ａ_７より長く設定され、例えば、１秒以上であり、また、例えば、３０秒以下、好ましくは、１０秒以下である。

この第２搬送キャリアにおける第２加熱領域２５ｂから冷却領域２６までの搬送に要する搬送時間Ｂ_９は、搬送時間Ａ_９より短く設定され、例えば、１秒以上であり、また、例えば、３０秒以下、好ましくは、１０秒以下である。

＜第３回目のバッチにおける製造方法＞
第３回目のバッチ（第３バッチ：１周期における最後のバッチ）におけるシートの製造では、第３枚目の搬送キャリア６（第３搬送キャリア）を用いて実施される。

第３バッチにおける製造は、第３搬送キャリアが、第２搬送キャリアから所定時間遅延して搬送キャリア収容部から搬送されること、および、加熱処理が、第３加熱領域２５ｃで実施されること以外は、第１バッチの製造と同様に実施される。

第３バッチの開始は、図５に示すように、第１バッチの開始から、第３バッチ遅延時間Ｃ_０（第１搬送キャリアにおける搬送キャリア収容部からの搬送を開始するタイミングから、第３搬送キャリアにおける搬送キャリア収容部からの搬送を開始するタイミングまでの遅延時間）経過した時点で、実施される。具体的には、第３バッチの開始は、第１搬送キャリアが第１加熱領域２５ａで加熱処理され、第２搬送キャリアが脱泡領域２４で脱泡処理されているタイミングで実施される。また、この第３バッチの開始は、脱泡領域２４から第２加熱領域２５ｂへの第２搬送キャリアの搬送が終了した直後に、供給領域２３から脱泡領域２４への第３搬送キャリアの搬送が開始されるように（すなわち、図５において、搬送時間Ｂ_７と搬送時間Ｃ_５とが、時間軸で連続するように）、実施される。

第１バッチにおける各時間Ａ_１〜Ａ_１１は、第３バッチにおける各時間Ｃ_１〜Ｃ_１１に適用される。

なお、この第３搬送キャリアにおける脱泡領域２４から第３加熱領域２５ｃまでの搬送に要する搬送時間Ｃ_７においては、搬送時間Ｂ_７より長く設定され、例えば、１秒以上であり、また、例えば、３０秒以下、好ましくは、１０秒以下である。

この第３搬送キャリアにおける第３加熱領域２５ｃから冷却領域２６までの搬送に要する搬送時間Ｃ_９においては、搬送時間Ｂ_９より短く設定され、例えば、１秒以上であり、また、例えば、３０秒以下、好ましくは、１０秒以下である。

＜第４回目のバッチにおける製造方法＞
第４回目のバッチ（第４バッチ：２周期における最初のバッチ）におけるシートの製造では、第４枚目の搬送キャリア６（第４搬送キャリア）を用いて実施される。

第４バッチにおける製造は、第４搬送キャリアが、第３搬送キャリアから所定時間遅延して搬送キャリア収容部から搬送されること以外は、第１バッチの製造と同様に実施される。

第４バッチの開始は、図５に示すように、第１バッチの開始から、第４バッチ遅延時間Ｄ_０（第１搬送キャリアにおける搬送キャリア収容部からの搬送を開始するタイミングから、第４搬送キャリアにおける搬送キャリア収容部からの搬送を開始するタイミングまでの遅延時間）経過した時点で、実施される。具体的には、第４バッチの開始は、第１搬送キャリアが第１加熱領域２５ａで加熱処理されているタイミングで実施される。第４バッチの加熱処理は、第１バッチの加熱処理の後に実施される。また、この第４バッチ開始は、第１加熱領域２５ａから冷却領域２６への第１搬送キャリアの搬送が終了した直後に、脱泡領域２４から第１加熱領域２５ａへの第４搬送キャリアの搬送が開始されるように（すなわち、図５において、搬送時間Ａ_９と搬送時間Ｄ_７とが、時間軸で連続するように）、実施される。

第１バッチにおける各時間Ａ_１〜Ａ_１１は、第４バッチにおける各時間Ｄ_１〜Ｄ_１１に適用される。

＜第５回目のバッチにおける製造方法＞
第５回目のバッチ（第５バッチ：２周期における第２バッチ）におけるシートの製造では、第５枚目の搬送キャリア６（第５搬送キャリア）を用いて実施される。

第５バッチにおける製造は、第５搬送キャリアが、第４搬送キャリアから所定時間遅延して、搬送キャリア収容部から搬送されること以外は、第２バッチの製造と同様に実施される。

第５バッチの開始は、図５に示すように、第１バッチの開始から、第５バッチ遅延時間Ｅ_０（第１搬送キャリアにおける搬送キャリア収容部からの搬送を開始するタイミングから、第５搬送キャリアにおける搬送キャリア収容部からの搬送を開始するタイミングまでの遅延時間）経過した時点で、実施される。具体的には、第５バッチの開始は、第４搬送キャリアが脱泡領域２４で脱泡処理されているタイミングで実施される。第５バッチの加熱処理は、第２バッチの加熱処理の後に実施される。また、この第５バッチの開始は、脱泡領域２４から第１加熱領域２５ａへの第４搬送キャリアの搬送が終了すると直後に、供給領域２３から脱泡領域２４への第５搬送キャリアの搬送が開始されるように（すなわち、図５において、搬送時間Ｄ_７と搬送時間Ｅ_５とが、時間軸で連続するように）、実施される。さらに、この第５バッチの開始は、第２加熱領域２５ｂから冷却領域２６への第２搬送キャリアの搬送が終了した直後に、脱泡領域２４から第２加熱領域２５ｂへの第５搬送キャリアの搬送が開始されるように（すなわち、図５において、搬送時間Ｂ_９と搬送時間Ｅ_７とが、時間軸で連続するように）、実施される。

第２バッチにおける各時間Ｂ_１〜Ｂ_１１は、第５バッチにおける各時間Ｅ_１〜Ｅ_１１に適用される。

＜第６回目のバッチにおける製造方法＞
第６回目のバッチ（第６バッチ：２周期における最後のバッチ）におけるシートの製造では、第６枚目の搬送キャリア６（第６搬送キャリア）を用いて実施される。

第６バッチにおける製造は、第６搬送キャリアが、第５搬送キャリアから所定時間遅延して、搬送キャリア収容部から搬送されること以外は、第３バッチの製造と同様に実施される。

この第６バッチの開始は、図５に示すように、第１バッチの開始から、第６バッチ遅延時間Ｆ_０（第１搬送キャリアにおける搬送キャリア収容部からの搬送を開始するタイミングから、第６搬送キャリアにおける搬送キャリア収容部からの搬送を開始するタイミングまでの遅延時間）経過した時点で、実施される。具体的には、第６バッチの開始は、第４搬送キャリアが第１加熱領域２５ａで加熱処理され、第５搬送キャリアが脱泡領域２４で脱泡処理されているタイミングで実施される。第６バッチの加熱処理は、第３バッチの加熱処理の後に実施される。また、この第６バッチの開始は、脱泡領域２４から第２加熱領域２５ｂへの第５搬送キャリアの搬送が終了すると直後に、供給領域２３から脱泡領域２４への第６搬送キャリアの搬送が開始されるように（すなわち、図５において、搬送時間Ｅ_７と搬送時間Ｆ_５とが、時間軸で連続するように）、実施される。さらに、この第６バッチの開始は、第３加熱領域２５ｃから冷却領域２６への第３搬送キャリアの搬送が終了した直後に、脱泡領域２４から第３加熱領域２５ｃへの第６搬送キャリアの搬送が開始されるように（すなわち、図５において、搬送時間Ｂ_９と搬送時間Ｅ_７とが、時間軸で連続するように）、実施される。

第３バッチにおける各時間Ｃ_１〜Ｃ_１１は、第６バッチにおける各時間Ｆ_１〜Ｆ_１１に適用される。

＜第７回目以降のバッチにおける製造方法＞
７回目以降のシート製造方法は、各バッチ開始時間以外は、上記第４〜６搬送キャリアと同様にして、繰り返し実施される。

＜加熱領域２５における各搬送キャリアの製造工程＞
次いで、加熱領域２５に着目して、第１〜第６搬送キャリアの製造工程を説明する。

まず、第１搬送キャリアが、脱泡領域２４から第１加熱領域２５ａに搬送され、加熱処理が開始される(図５の時間Ｔ_１)。その後、第１バッチの枚葉シート２（第１搬送キャリアに載置される枚葉シート２）が第１加熱領域２５ａにて加熱処理が実施されている時に、第２搬送キャリアが、脱泡領域２４から第２加熱領域２５ｂに搬送され、加熱処理が開始される(Ｔ_２)。Ｔ_２からＴ_３（後述）にかけて、第１バッチの枚葉シート２および第２バッチの枚葉シート２が、同時に並行して加熱処理される。

その後、第３搬送キャリアが、脱泡領域２４から第３加熱領域２５ｃに搬送され、加熱処理が開始される(Ｔ_３)。Ｔ_３からＴ_４（後述）にかけて、第１バッチの枚葉シート２、第２バッチの枚葉シート２および第３バッチの枚葉シート２が、同時に並行して加熱処理される。

その後、第１バッチの枚葉シート２が所定の加熱時間（Ａ_８）が終了すると（Ｔ_４）、第１搬送キャリアは、第１加熱領域２５ａから冷却領域２６に搬送される。その後、第４搬送キャリアが、脱泡領域２４から第１加熱領域２５ａに搬送され、第４バッチの枚葉シートにおける加熱処理が開始される(Ｔ_５)。なお、このＴ_４からＴ_５において、第１搬送機構３８は、第１搬送キャリアに対する冷却領域２６への搬送を完了させると同時に、第４搬送キャリアに対する脱泡領域２４から第１加熱領域２５ａへの搬送を開始させる。Ｔ_４からＴ_５（後述）にかけて、第２バッチの枚葉シート２および第３バッチの枚葉シート２が、同時に並行して加熱処理される。Ｔ_５からＴ_６（後述）にかけて、第２バッチの枚葉シート、第３バッチの枚葉シート２および第４バッチの枚葉シート２が、同時に並行して加熱処理される。

その後、第２バッチの枚葉シート２が所定の加熱時間（Ｂ_８）が終了すると（Ｔ_６）、第２搬送キャリアは、第２加熱領域２５ｂから冷却領域２６に搬送される。その後、第５搬送キャリアが、脱泡領域２４から第２加熱領域２５ｂに搬送され、第５バッチの枚葉シート２における加熱処理が開始される(Ｔ_７)。なお、このＴ_６からＴ_７の間の搬送において、第１搬送機構３８は、第２搬送キャリアに対する冷却領域２６への搬送を完了させると同時に、第５搬送キャリアに対する脱泡領域２４から第２加熱領域２５ｂへの搬送を開始させる。Ｔ_６からＴ_７にかけて、第３バッチの枚葉シート２および第４バッチの枚葉シート２が、同時に並行して加熱処理される。Ｔ_７からＴ_８（後述）にかけて、第３バッチの枚葉シート２、第４バッチの枚葉シート２および第５バッチの枚葉シート２が、同時に並行して加熱処理される。

その後、第３バッチの枚葉シート２が所定の加熱時間（Ｃ_８）が終了すると（Ｔ_８）、第３搬送キャリアは、第３加熱領域２５ｃから冷却領域２６に搬送される。その後、第６搬送キャリアが、脱泡領域２４から第３加熱領域２５ｃに搬送され、第６バッチの枚葉シート２における加熱処理が開始される(Ｔ_９)。なお、このＴ_８からＴ_９の間の搬送において、第１搬送機構３８は、第３搬送キャリアに対する冷却領域２６への搬送を完了させると同時に、第６搬送キャリアに対する脱泡領域２４から第３加熱領域２５ｃへの搬送を開始させる。Ｔ_８からＴ_９にかけて、第４バッチの枚葉シート２および第５バッチの枚葉シート２が、同時に並行して加熱処理される。Ｔ_９からＴ_１０（後述）にかけて、第４バッチの枚葉シート２、第５バッチの枚葉シート２および第６バッチの枚葉シート２が、同時に並行して加熱処理される。

その後、第４バッチの枚葉シート２が所定の加熱時間（Ｄ_８）が終了すると（Ｔ_１０）、第４搬送キャリアは、第１加熱領域２５ａから冷却領域２６に搬送される。

その後、第７バッチ以降の枚葉シート２について、上記第４〜６バッチの枚葉シート２と同様に繰り返し実施される。

以上から、Ｔ_２以降では、複数バッチの枚葉シート２を同時に並行して加熱処理が実施されている。具体的には、Ｔ_２からＴ_３では、２つバッチの枚葉シート２が加熱され、Ｔ_３からＴ_４では３つのバッチの枚葉シート２が加熱され、Ｔ_４からＴ_５では２つのバッチの枚葉シート２が加熱され、Ｔ_５からＴ_６では３つのバッチの枚葉シート２が加熱され、Ｔ_６からＴ_７では２つのバッチの枚葉シート２が加熱され、Ｔ_７からＴ_８では３つのバッチの枚葉シート２が加熱され、Ｔ_８からＴ_９では２つのバッチの枚葉シート２が加熱され、Ｔ_９からＴ_１０では３つのバッチの枚葉シート２が加熱されている。

＜今回の周期におけるバッチの開始タイミング＞
図１および図５を用いて、今回の周期におけるバッチの開始タイミングについて、２周期目におけるバッチの開始タイミングを例にして以下に説明する。

図１のシート製造装置１は、加熱領域２５を３個（ｎ個）備えている。よって、制御手段（制御装置４６）は、加熱領域２５の個数に対応して３バッチ実施する処理を１つの周期として、シート製造を制御している。

２周期目におけるバッチ開始タイミング（図５で示すＴ_Ｄ）は、４バッチ目の開始タイミングであり、すなわち、第４搬送キャリアにおける搬送キャリア収容部からの搬送の開始タイミング（Ｔ_Ｄ）である。

第４搬送キャリアの開始タイミング（Ｔ_Ｄ）は、第１搬送キャリア（１回目の周期の最初のバッチ）の加熱処理の終了タイミング（Ｔ_４）を基準として、制御装置４６によって設定されている。

すなわち、第１搬送キャリアに対する加熱処理が終了した後（Ｔ_４）、第１搬送キャリアにおける第１加熱領域２５ａから冷却領域２６への搬送が終了する（Ｔ_５）と連続して、第４搬送キャリアにおける脱泡領域２４から第１加熱領域２５ａへの搬送が開始されるように、第４搬送キャリアの開始タイミングが決定されている。

これにより、第１加熱領域２５ａにおける空の時間（すなわち、いずれの搬送キャリアも第１加熱領域２５ａに載置されていない時間）を最小限にすることができ、第１加熱領域２５ａにおける加熱時間を最大限確保することができる。その結果、枚葉シート２を効率よく製造することができる。

このようにして得られる枚葉シート２は、種々の産業用途に用いることができ、例えば、液晶パネル、半導体、プリント配線板、集積回路、二次電池容器などの電子製品用途に用いることができる。

より具体的には、電子素子を封止するための封止シートとして用いられ、好ましくは、発光ダイオード素子などの光半導体素子を封止するための封止シートとして用いられる。

そして、この製造方法によれば、成膜工程において成膜された枚葉シート２（第ｎ＋１バッチ、例えば、第２バッチにおける枚葉シート）を、その直前に成膜された枚葉シート２（第ｎバッチ、例えば、第１バッチにおける枚葉シート）と同時に並行して加熱処理することができる。そのため、成膜された枚葉シート２は、その直前に成膜された枚葉シートの加熱処理が終了するまで待機することなく、加熱処理を実施することができる。

その結果、枚葉シート２の製造時間が短縮でき、枚葉シート２を効率よく製造することができる。

また、この製造方法によれば、加熱処理工程では、バッチ毎に異なる加熱領域２５、つまり、第１加熱領域２５ａ、第２加熱領域２５ｂおよび第３加熱領域２５ｃで加熱処理を実施するため、成膜部３において成膜された枚葉シート２は、その直前に成膜された枚葉シート２と同時に並行して、異なる加熱領域２５、つまり、第１加熱領域２５ａ、第２加熱領域２５ｂおよび第３加熱領域２５ｃで加熱処理を実施することができる。そのため、枚葉シート２の製造時間が短縮でき、枚葉シート２を効率よく製造することができる。

また、この製造方法によれば、異なる加熱領域２５毎に処理条件を設定できるため、枚葉シート２をバッチ毎に、異なる条件で加熱処理を実施することができる。そのため、異なる種類の枚葉シート２をバッチ毎に製造することができる。

また、このシートの製造方法によれば 第１後処理が、枚葉シート２を加熱する加熱処理であるため、加熱処理された枚葉シートを製造することができる。その結果、シート組成物が熱硬化型樹脂を含有すれば、半硬化状態または硬化状態の枚葉シート２を製造することができる。

また、このシート製造装置１によれば、成膜部３において成膜された枚葉シート２（第ｎ＋１バッチ、例えば、第２バッチにおける枚葉シート）を、後処理部４において、その直前に成膜された枚葉シート（第ｎバッチ、例えば、第１バッチにおける枚葉シート）２と同時に並行して加熱処理することができる。そのため、成膜された枚葉シート２は、その直前に成膜された枚葉シート２の加熱処理が終了するまで待機することなく、加熱処理を実施することができる。

その結果、枚葉シート２の製造時間が短縮でき、枚葉シート２を効率よく製造することができる。

また、このシート製造装置１によれば、後処理部４では、バッチ毎に異なる加熱領域２５で加熱処理が実施される複数の加熱領域２５、つまり、第１加熱領域２５ａ、第２加熱領域２５ｂおよび第３加熱領域２５ｃを備えるため、成膜された枚葉シート２は、その直前に成膜された枚葉シート２と同時に並行して、異なる加熱領域２５で加熱処理を実施することができる。そのため、枚葉シート２の製造時間が短縮でき、枚葉シート２を効率よく製造することができる。

また、異なる加熱領域２５毎に処理条件を設定できるため、枚葉シート２をバッチ毎に、異なる条件で加熱処理を実施することができる。そのため、異なる種類の枚葉シート２をバッチ毎に製造することができる。

また、このシート製造装置１によれば、加熱領域２５が、ホットプレート３１を備えている。

そのため、加熱処理された枚葉シート２を製造することができる。その結果、シート組成物が熱硬化型樹脂を含有すれば、半硬化状態または硬化状態の枚葉シート２を製造することができる。

また、このシート製造装置１によれば、後処理部４は、加熱領域２５を３個備え、制御装置４６は、加熱処理を３バッチ実施する処理を１つの周期とし、前回の周期（ｎ周期、例えば、第１周期）の最初のバッチ（第ｎバッチ、例えば、第１バッチ）の加熱処理の終了タイミング（例えば、Ｔ_４）を基準として、今回の周期（ｎ＋１周期、例えば、第２周期）の開始タイミング（例えば、Ｔ_Ｄ）を設定することができる。

そのため、前回の周期（第１周期）の最初のバッチ（第１バッチ）に対し加熱処理を終了させた後に、滞りなく今回の周期（第２周期）の最初のバッチ（第４バッチ）に対し加熱処理を開始させることができる。そのため、枚葉シート２を効率よく製造することができる。

＜変形例＞
図６〜図８を参照して、製造装置の変形例を説明する。図６〜図８において、上記した実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。

図１の実施形態の製造装置では、加熱領域２５（２５ａ、２５ｂ、２５ｃ）が、前後方向に直列に区画されているが、例えば、図６に示すように、加熱領域２５（２５ａ、２５ｂ、２５ｃ）を上下方向に区画することもできる。

すなわち、図６の実施形態では、上下方向に延びる箱状に形成される加熱塔５０が脱泡領域２４の前側に設けられており、加熱塔５０の内部には、複数の加熱領域２５（２５ａ、２５ｂ、２５ｃ）が上下方向に間隔を隔てて区画されている。なお、加熱塔５０の前側面および後側面には、搬送キャリア６を加熱領域２５に搬出入するための搬入口５１および搬出口（図示せず）が、各加熱領域２５と対応するように、形成されている。

なお、加熱塔５０の前側および後側には、搬送キャリア６を各加熱領域２５の搬入口５１および搬出口に搬出入するためのリフト（図示せず）が設けられている。

図１の実施形態の製造装置では、加熱手段として静止領域を構成する（つまり、ベルトコンベアのように移動しない）ホットプレート３１を備えているが、例えば、図７で示すように、加熱手段として、オーブン５２を備えることができる。

図７の実施形態では、複数（３つ）のオーブン５２が、各加熱領域２５（２５ａ、２５ｂ、２５ｃ）の右側部分に設けられている。オーブン５２の左側側面には、オーブン移動用アーム（図示せず）によって図７の矢印に示す方向に搬送キャリア６を搬出入可能なように、オーブン開口部５３が形成されている。

図１の実施形態であれば、ホットプレート３１の上面に配置される第２吸着ベースプレート３３の上面に、搬送キャリア６を確実に固定している。そのため、ホットプレート３１の安定した熱を搬送キャリア６に確実に伝導させることができる。その結果、枚葉シート２を確実かつ効率的に加熱することができる。

一方、図７の実施形態であれば、製造装置を容易に設計することができるため、枚葉シート２を低コストで製造することができる。

図７の実施形態では、加熱手段としてのオーブン５２は、前後方向に直列に複数設けられているが、例えば、図８に示すように、加熱手段としてオーブンを使用する他の実施形態として、そのオーブンを、複数の搬送キャリア６を上下方向に載置し、加熱できる棚式オーブン５４とすることもできる。

図８の実施形態であれば、製造装置をより一層容易に設計することができるため、枚葉シート２を低コストで製造することができる。

図１の実施形態の製造装置では、後処理部４が、３つの加熱領域２５を備えているが（すなわち、ｎが３である）、例えば、図示しないが、２つの加熱領域２５または４つ以上の加熱領域２５を備えることもできる。

この実施形態では、２つのバッチの枚葉シート２または４つ以上のバッチの枚葉シート２を同時に並行して加熱することができる。

なお、ｎ（整数）は、２以上であり、好ましくは、３以上であり、また、例えば、１２以下、好ましくは、１０以下である。

図１および図５の実施形態における製造方法では、各加熱領域２５（第１加熱領域２５ａ、第２加熱領域２５ｂ、第３加熱領域２５ｃ）における加熱時間Ａ_８、Ｂ_８およびＣ_８は、それぞれ同一時間に設定しているが、例えば、図示しないが、各加熱時間Ａ_８、Ｂ_８およびＣ_８は、それぞれ異なる時間に設定することもできる。

この異なる時間に設定する実施形態によれば、枚葉シート２をバッチ毎に、異なる条件で加熱処理を実施することができる。そのため、異なる種類の枚葉シート２をバッチ毎に製造することができる。

図１の実施形態における製造方法では、加熱時間が、成膜時間より長く設定され、複数（３つ）のバッチの枚葉シートを同時に並行して加熱処理しているが、例えば、図示しないが、第１後処理としての脱泡処理を成膜時間より長く設定し、複数（３つ）のバッチの枚葉シートを同時に並行して脱泡することもできる。

すなわち、図１の実施形態におけるシート製造装置１において、制御装置４６を、脱泡時間が成膜時間よりも長くなるように設定し、後処理部４を、複数バッチの枚葉シート２を同時に並行して脱泡処理を実施するように構成することができる。具体的には、図示しないが、後処理部４において、複数（３つ）の脱泡領域２４を備える。

この実施形態によっても、図１の実施形態と同様の作用効果を奏することができる。

図１の実施形態における製造方法では、加熱処理を実施し、その後、枚葉シートを冷却しているが、例えば、図示しないが、加熱処理を実施した後に、冷却処理をせずに、枚葉シートを回収部に回収することもできる。

すなわち、図１の実施形態における製造装置では、第３加熱領域２５ｃの前側に冷却領域２６を配置しているが、図示しないが、例えば、冷却領域２６を設けずに、第３加熱領域２５ｃの前側に、排出領域２７を隣接配置することができる。

図１の実施形態によれば、加熱処理後に、加熱処理された枚葉シート２を冷却できるため、枚葉シート２に的確な熱履歴を付与することができる。

図１の実施形態の製造方法では、後処理工程において、加熱処理の前に、枚葉シートを脱泡しているが、例えば、図示しないが、脱泡領域２４を設けず、成膜シートを成膜した後、脱泡処理を実施せずに、加熱処理を実施することができる。

すなわち、図１の実施形態の製造装置では、後処理部４は、成膜部３と第１加熱領域２５ａとの間に、枚葉シート２を脱泡する脱泡領域２４を備えているが、例えば、図示しないが、供給領域２３の前側に第１加熱領域２５ａを隣接配置することができる。

しかるに、成膜された枚葉シート２は、内部に気泡を含有したり、また、枚葉シート２、枚葉シート２と離型基材７との界面に気泡が存在する。この枚葉シート２を加熱すると、枚葉シート２内部や界面で気泡が膨張した状態で、枚葉シート２が硬化されるため、枚葉シート２の表面荒れが発生する。

一方、図１の実施形態によれば、枚葉シート２内部に含有される気泡、および／または、枚葉シート２と離型基材７との界面に存在する気泡を加熱処理に先立って排出することができる。そのため、加熱処理時における気泡の発生を抑制し、枚葉シート２の表面荒れを抑制することができる。

図１の実施形態のシート製造装置１では、後処理部４は、供給領域２３を備えているが、例えば、図示しないが、後処理部４は、脱泡領域２４および供給領域２３を備えない構成とすることもできる。すなわち、搬送キャリア６が、成膜部３から脱泡領域２４に直接搬送される構成とすることもできる。

図１の実施形態では、搬送キャリア６を脱泡処理や加熱処理に先立って、供給領域２３で、所定時間待機させることができる。このため、各バッチの搬送キャリア６が第１搬送機構３８を使用するタイミングをずらすことができる。すなわち、例えば、図５で示されるように、各搬送時間Ａ_５、Ａ_７、Ｂ_５、Ｂ_７、Ｃ_５、Ｃ_７、Ｄ_５、Ａ_９，Ｄ_７、Ｅ_５、Ａ_１１、Ｂ_９、Ｅ_７、Ｆ_５、Ｂ_１１、Ｃ_９、Ｆ_７、Ｃ_１１、Ｇ_５、Ｄ_９，Ｇ_７、Ｄ_１１を時間軸でずらすことができる。その結果、各バッチの搬送キャリア６が、第１搬送機構３８による搬送がなされるまでの待機時間を低減することができる。

図１の実施形態のシート製造装置１では、後処理部４において、１つの第１搬送機構３８が設けているが、例えば、図示しないが、複数の第１搬送機構３８を後処理部４に設けることができる。

複数の第１搬送機構３８は、１つの溝３９内部に収容することもできる。また、後処理台４７の右端に、第２の溝を、供給領域２３から排出領域２７にかけて前後方向に延びるように形成し、その第２の溝内部に第１搬送機構３８を収容することもできる。

図１の実施形態のシート製造装置１によれば、成膜部３と、各加熱領域２５（第１加熱領域２５ａ、第２加熱領域２５ｂ、第３加熱領域２５ｃ）とを直列配置しているが、例えば、図示しないが、各加熱領域２５は並列配置することもできる。すなわち、第１加熱領域２５ａ、第２加熱領域２５ｂおよび第３加熱領域２５ｃを左右方向に延びる直線上に配置することもできる。

図１の実施形態のシート製造装置１では、枚葉シート２を成膜部３から加熱領域２５に直列方向に沿ってスムーズに搬送させることができる。

図１の実施形態のシート製造装置１によれば、左右方向の幅を最小限にして、左右方向に省スペース化することができる。

図１の実施形態のシート製造装置１によれば、供給領域２３、脱泡領域２４、第１加熱領域２５ａ、第２加熱領域２５ｂ、第３加熱領域２５ｃ、冷却領域２６および排出領域２７が一体的に構成しているが、例えば、図示しないが、供給領域２３、脱泡領域２４、第１加熱領域２５ａ、第２加熱領域２５ｂ、第３加熱領域２５ｃ、冷却領域２６および排出領域２７は、それぞれ分離可能に構成することもできる。

各領域を分離可能に構成する実施形態によれば、枚葉シート２の目的・用途に応じて容易に各処理工程を調整することができたり、シート製造装置１の設置スペースに応じて、加熱領域２５の配置数を変更してシート製造装置１のサイズを容易に変更することができる。

１ シート製造装置
２ 枚葉シート
３ 成膜部
４ 後処理部
６ 搬送キャリア
２４ 脱泡領域
２５ 加熱領域
２５ａ 第１加熱領域
２５ｂ 第２加熱領域
２５ｃ 第３加熱領域
２６ 冷却領域
４６ 制御装置
５２ オーブン
５４ 棚式オーブン

Claims (14)

1. シート組成物を枚葉シートに成膜する成膜処理をバッチ毎に実施する成膜工程と、
   前記枚葉シートに対して第１後処理を実施する後処理工程と
   を備え、
   前記第１後処理に要する第１後処理時間が、前記成膜処理に要する成膜時間よりも長く設定され、
   前記後処理工程では、複数バッチの枚葉シートを同時に並行して前記第１後処理を実施することを特徴とする、シートの製造方法。
2. 前記後処理工程では、バッチ毎に異なる静止領域で前記第１後処理を実施することを特徴とする、請求項１に記載のシートの製造方法。
3. 前記第１後処理が、前記枚葉シートを加熱する加熱処理であることを特徴とする、請求項１または２に記載のシートの製造方法。
4. 前記後処理工程では、前記第１後処理を実施し、その後、前記枚葉シートを冷却することを特徴とする、請求項３に記載のシートの製造方法。
5. 前記後処理工程では、前記第１後処理の前に、前記枚葉シートを脱泡することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載のシートの製造方法。
6. シート組成物を枚葉シートに成膜する成膜処理をバッチ毎に実施する成膜部と、
   前記枚葉シートに対して第１後処理を実施する後処理部と、
   前記成膜部および前記後処理部を制御する制御手段と
   を備え、
   前記制御手段は、前記枚葉シートに対して前記第１後処理を実施する第１後処理時間が、前記シート組成物を前記枚葉シートに成膜する成膜時間よりも長くなるように設定し、
   前記後処理部は、複数バッチの枚葉シートを同時に並行して前記第１後処理を実施するように構成されていることを特徴とする、シート製造装置。
7. 前記後処理部では、バッチ毎に異なる静止領域で前記第１後処理が実施される第１後処理領域を複数備えることを特徴とする、請求項６に記載のシート製造装置。
8. 前記各第１後処理領域が、前記成膜部と直列配置されていることを特徴とする、請求項７に記載の製造装置。
9. 前記第１後処理領域が、加熱手段を備えていることを特徴とする、請求項７または８に記載のシート製造装置。
10. 前記加熱手段が、ホットプレートであることを特徴とする、請求項９に記載のシート製造装置。
11. 前記加熱手段が、オーブンであることを特徴とする、請求項９に記載のシート製造装置。
12. 前記後処理部は、最後の第１後処理領域に対して前記成膜部と反対側に、前記枚葉シートを冷却する冷却領域を備えていることを特徴とする、請求項９〜１１のいずれかに記載のシート製造装置。
13. 前記後処理部は、前記成膜部と最初の第１後処理領域との間に、前記枚葉シートを脱泡する脱泡領域を備えていることを特徴とする、請求項７〜１２のいずれか一項に記載のシート製造装置。
14. 前記後処理部は、第１後処理領域をｎ個備え、
    前記制御手段は、前記第１後処理をｎバッチ実施する処理を１つの周期とし、
    前回の周期の最初のバッチの前記第１後処理の終了タイミングを基準として、今回の周期の開始タイミングを設定することを特徴とする、請求項７〜１３のいずれか一項に記載のシート製造装置。
    

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