JP2015005561A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、外縁にノッチ(基準部)が形成されたウエハ(被着体)に対向させて接着シートを供給する供給手段と、接着シートをウエハに押圧して貼付する押圧手段と、接着シートを切断する切断手段とを備え、ウエハに貼付した接着シートをウエハの外縁に沿って切断するように構成されている。
しかしながら、被着体に割れや損傷等が発生した場合、他の装置の検出手段がこの割れや損傷等を基準部と誤認識してしまい、被着体の方位を特定することができなくなり、被着体の処理に支障をきたすという不都合がある。
なお、特許文献1のシート貼付装置で貼付した接着シートに基準部に沿って切り込みを形成し、当該切り込みを他の装置の検出手段で検出する方法も考えられるが、接着シートが透明や半透明のものである場合、接着シートの切り込みを検出できないことがあり、上記不都合を完全に払拭できない場合がある。
また、接着シートの一端側および他端側の方位特定部の位置を位置決めすれば、接着シートの位置決め精度を向上させることができる。
なお、本明細書におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、接着シートASを図1中実線で示すようにセットする。次に、搬送手段8が多関節ロボット81および図示しない減圧手段を駆動し、吸着ツール82でウエハWFを吸着保持し、基準部検出手段6で当該ウエハWFの外縁およびノッチVNを検出させる。次いで、搬送手段8が多関節ロボット81を駆動し、基準部検出手段6の検出結果を基にして、ウエハWFの中心WCの位置が支持面73Aの中心と重なり、かつ、ノッチVNの中心が支持面73Aの中心を通るX軸に平行な直線上の右位置となるように、ウエハWFを内側テーブル73の支持面73A上に載置する。
また、接着シート位置決め手段4は、内側テーブル73を回転可能とするとともに、X、Y軸方向の両方へ移動可能とし、搬送手段8でウエハWFを支持面73A上に載置した後、方位特定部検出手段3で方位特定部PDを検出し、内側テーブル73を回転させたり移動させたりして接着シートASとウエハWFとの位置決めを行うようにしてもよい。
さらに、方位特定部PDは、例えば、矢印、V字、次第に狭幅する直線等の方位を示す狭幅部を有する平面形状であってもよいし、点、真円や楕円等の円、十字、多角形、文字、数字、図等任意の平面形状を所定の方向に複数並設してもよい。要は、方位特定部PDがどんな形状やどんなものであっても、被着面WAに対して所定の法則性をもたせて接着シートASを位置決めし、当該所定の法則性をもってウエハWFに接着シートASを貼付したときに、他の装置に方位特定部PDを介してウエハWFの方位を認識させることができればよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
2 供給手段
3 方位特定部検出手段
4 接着シート位置決め手段
5 押圧手段
31 第1検出手段
32 第2検出手段
41 リニアモータ(第1位置決め手段)
42 リニアモータ(第2位置決め手段)
AS 接着シート
PD 方位特定部
WA 被着面
WF ウエハ(被着体)
Claims (3)
- 被着体の方位を特定することができる方位特定部を有する接着シートを供給する供給手段と、
前記方位特定部を検出する方位特定部検出手段と、
前記方位特定部検出手段の検出結果に基づいて、前記方位特定部が被着体の被着面に対して所定の法則性をもった所定の位置となるように前記接着シートを位置決めする接着シート位置決め手段と、
前記接着シートを前記被着面に押圧して貼付する押圧手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記方位特定部検出手段は、前記接着シートの一端側の方位特定部の位置を検出する第1検出手段と、前記接着シートの他端側の方位特定部の位置を検出する第2検出手段とを備え、
前記接着シート位置決め手段は、前記第1検出手段の検出結果に基づいて、前記一端側の方位特定部の位置を位置決めする第1位置決め手段と、前記第2検出手段の検出結果に基づいて、前記他端側の方位特定部の位置を位置決めする第2位置決め手段とを備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。 - 被着体の方位を特定することができる方位特定部を有する接着シートを供給する工程と、
前記方位特定部を検出する工程と、
前記方位特定部を検出する工程の検出結果に基づいて、前記方位特定部が被着体の被着面に対して所定の法則性をもった所定の位置となるように前記接着シートを位置決めする工程と、
前記接着シートを前記被着面に押圧して貼付する工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
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