JP2020176986A - 厚み測定装置および厚み測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態の測定対象物WKは、一方の面(上面)における外縁部WK1を除く中央部WK2に凸部BPが形成されたものが採用される。
第1押付機構11は、駆動機器としての直動モータ11Aと、当該直動モータ11Aの出力軸11Bに支持され、下面が第1接触面11Dとされた第1押付部材11Cとを備えている。
第2押付機構12は、第1押付機構11と共有する直動モータ11Aと、押付機構移動手段13に支持され、下面が第2接触面12Bとされた第2押付部材12Aとを備えている。
押付機構移動手段13は、第1押付部材11Cの下面に形成された凹部11Eに支持され、その出力軸13Bで第2押付部材12Aを支持する駆動機器としての直動モータ13Aを備えている。
流体吹付手段14は、加圧ポンプやタービン等の図示しない加圧手段に接続され、第1押付部材11Cと第2押付部材12Aとの間隙14Bから気体を吹き付ける吹出口14Aを備えている。
なお、測定手段20は、単一とされ、支持手段38の所定の位置としての保持面38Aと、第1押付機構11の所定の位置としての第1接触面11Dとの間隔を測定することで外縁部WK1の厚みを測定し、保持面38Aと、第2押付機構の所定の位置としての第2接触面12Bとの間隔を測定することで中央部WK2の厚みを測定する構成となっている。本実施形態では、測定対象物WKには接着シートASが貼付され、測定手段20は、接着シートASが貼付された中央部WK2の厚みを測定するようになっている。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EA1に対し、当該シート貼付装置EA1の使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように原反RSをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、シート貼付手段30が回動モータ35Aを駆動し、原反RSを繰り出し、先頭の接着シートASの繰出方向先端部が剥離板33の剥離縁33Aで所定長さ剥離されると、回動モータ35Aの駆動を停止する。また、押付手段10が直動モータ11Aを駆動し、第1押付部材11Cを下降させ、図1(B)に示すように、第1接触面11Dを保持面38Aに所定の押付力で押し付けた状態で、測定手段20が接触式変位センサ21を駆動し、本体21Aに対する測定軸21Bの位置を検出することで原点出し動作を行う。この原点出し動作において、接触式変位センサ21の検出結果をパーソナルコンピュータやシーケンサ等の図示しない制御手段が厚み0として記憶すると、押付手段10が直動モータ11Aを駆動し、第1押付部材11Cを初期位置に復帰させる。
なお、測定装置EAは、図示しない制御手段が記憶した外縁部WK1の厚みや、接着シートASが貼付された中央部WK2の厚みを、例えば、測定対象物WKを所定の厚みにまで研削する研削装置や、測定対象物WKを所定の大きさに切断する切断装置等の次工程を実施する他の装置にデータとして送信してもよいし、接着シートASや測定対象物WKに記載したり、刻印したり、他の接着シートに記載して当該他の接着シートを接着シートASや測定対象物WKに貼付したりしてもよいし、他の装置に送信したり、接着シートASや測定対象物WKに記載したり、刻印したり、貼付したりしなくてもよい。
押付手段10は、原点出し動作の際に、保持面38Aに第1押付部材11Cを押し付ける所定の押付力と、外縁部WK1の厚みを測定する際に、第1押付部材11Cで保持面38Aに外縁部WK1を押し付ける所定の押付力と、中央部WK2のシート貼付厚みを測定する際に、第2押付部材12Aで保持面38Aに中央部WK2を押し付ける所定の押付力とを同じ押圧力としてもよいし、異なる押圧力としてもよく、それら各々の所定の押付力は、使用者が任意に決定することができる。
測定対象物WKは、外縁部WK1に凸部BPが形成され、その他の中央部WK2に凸部BPが形成されていないものでもよいし、凸部BPとして例えば半導体ウエハのバンプでもよいし、凹部が形成された位置を第1測定位置や第2測定位置としてもよいし、凸部BPや凹部は、1つでもよいし複数でもよいし、凸部BPや凹部が形成されていなくてもよく、第1測定位置や第2測定位置は、使用者が任意に決定することができる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。
10 押付手段
11 第1押付機構
11D 第1接触面(第1押付機構の所定の位置)
12 第2押付機構
12B 第2接触面(第2押付機構の所定の位置)
13 押付機構移動手段
20 測定手段
38 支持手段
38A 保持面(支持手段の所定の位置)
AS 接着シート
WK 測定対象物
WK1 外縁部(第1測定位置)
WK2 中央部(第2測定位置)
Claims (4)
- 測定対象物の厚みを測定する厚み測定装置において、
前記測定対象物を支持する支持手段に当該測定対象物を押し付ける押付手段と、
前記測定対象物の厚みを測定する測定手段とを備え、
前記押付手段は、前記測定対象物の所定の第1測定位置を前記支持手段に押し付ける第1押付機構と、前記測定対象物の所定の第2測定位置を前記支持手段に押し付ける第2押付機構と、前記第1押付機構と第2押付機構とを相対移動させる押付機構移動手段とを有し、
前記測定手段は、単一とされ、前記支持手段の所定の位置と、前記第1押付機構の所定の位置との間隔を測定することで前記第1測定位置の厚みを測定し、前記支持手段の所定の位置と、前記第2押付機構の所定の位置との間隔を測定することで前記第2測定位置の厚みを測定することを特徴とする厚み測定装置。 - 前記測定対象物には接着シートが貼付され、前記測定手段は、前記接着シートが貼付された前記第1測定位置の厚みおよび、前記接着シートが貼付された前記第2測定位置の厚みのうち少なくとも一方を測定することを特徴とする請求項1に記載の厚み測定装置。
- 前記押付手段は、前記測定対象物を前記支持手段の方向に付勢する流体を吹き付ける流体吹付手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の厚み測定装置。
- 測定対象物の厚みを測定する厚み測定方法において、
前記測定対象物を支持する支持手段に当該測定対象物を押し付ける押付工程と、
前記測定対象物の厚みを測定手段で測定する測定工程とを実施し、
前記押付工程では、前記測定対象物の所定の第1測定位置を第1押付機構で前記支持手段に押し付ける第1押付工程と、前記測定対象物の所定の第2測定位置を第2押付機構で前記支持手段に押し付ける第2押付工程と、前記第1押付機構と第2押付機構とを相対移動させる押付手段移動工程とを行い、
前記測定工程では、単一の前記測定手段を用い、前記支持手段の所定の位置と、前記第1押付機構の所定の位置との間隔を測定することで前記第1測定位置の厚みを測定し、前記支持手段の所定の位置と、前記第2押付機構の所定の位置との間隔を測定することで前記第2測定位置の厚みを測定することを特徴とする厚み測定方法。
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