JP2014529006A - モリブデン・ニオブ合金板ターゲット材の加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1、材料の結晶組織の均一化及び微細化。
2、粉末冶金における酸素含有量の低下。
3、電極材料における電子移動度の問題(合金化及び微細化)。
4、耐食性及びエッチング性に優れた、低抵抗率の新型合金の開発。
5、新型反射膜材料の開発、高密度透明導電膜材料の開発。
6、ITOの代わりに、低透湿性、高柔軟性、透明性を有するモリブデン・ニオブ合金を開発する。モリブデン・ニオブ合金は、高パワー、低抵抗率、低脆性、低透過性、合金の組織及び成分分布の均一性、結晶粒微細化、エッチング性、安定した蒸発速度、低蒸発温度、低仕事関数を有する。モリブデン元素90%及びニオブ元素5〜10%をドープした合金元素の融点は、他のモリブデン系合金の融点より高い。上述した合金元素に対して、より一層の密度の向上、ニオブ元素分布の均一化、引張延性の改善、柔軟性の向上を如何に実現するかについては、さらなる研究が必要となっている。
そこで、本発明は、ターゲット材結晶粒が微細化され、品質の良いモリブデン・ニオブ合金板ターゲット材の加工方法を提供する。
モリブデン原子がニオブ原子に置き換えられると、拡散の抵抗が克服され、結晶粒が膨張してしまい、不規則な形状を有するため、後処理としての熱加工を行うことが困難である。方法2によれば、気体による触媒作用によって還元が欠けるため、溶融する際の置き換えや融合に不利が生じ、全体的に均一化した合金を得ることができない。合金成分が大きく偏析し、樹枝状又は柱状の結晶が発達するため、作製された合金の性能が極めて不安定になって脆くなるとともに、結晶粒界に沿って容易に破断し、不規則な亀裂が生じることによって、その後の熱加工の塑性が極めて悪くなる。
(1)一定量のモリブデン粉末及びニオブ粉末をそれぞれ少なくとも3つに小分けし、当該小分けしたモリブデン粉末とニオブ粉末とをそれぞれ混合することによって混合粉末を得、各混合粉末を複数回かき混ぜて篩にかけた後、3つの混合粉末を再び混合して混合合金粉末を得、当該混合合金粉末を少なくとも3つのグループに分け、それぞれをかき混ぜて最後に互いに混合し、再びかき混ぜて成分を均一にした合金粉末を得る混合工程。
(2)静水圧プレスによって合金粉末を加圧して合金ビレットを成形し、高温中周波炉に合金ビレットを入れて水素雰囲気中で0〜800℃、800〜1600℃及び1600〜2000℃の3つの焼結温度の各温度範囲で少なくとも3時間ずつ順に焼結した後、合金素材に本焼成する成型工程。
(3)合金素材を1200〜1400℃の高温で鍛造して圧密化した後、高温炉の中で1500〜1600℃の加熱温度で圧延してフィード仕様のプレートを形成する鍛造及び圧延工程。
(4)プレートを切断、研削、機械加工することによってモリブデン・ニオブ合金板ターゲット材の完成品を得る仕上げ工程。
混合工程において、合金粉末の含量は、モリブデン粉末が90〜95wt%、ニオブ粉末が5〜10wt%である。
本発明のモリブデン・ニオブ合金板ターゲット材の加工方法は、原料の純度や粒径などについて厳密な制御を行うとともに、複数のグループに分ける方法を採用して混合処理を行う。これによって形成された予合金粉末の成分が比較的に均質である。このような方法により作製された合金は、全体混合により作製された合金と比較すると、ターゲット材に対する要求をより満足させることができる。また、3つの異なる温度で焼結し、予合金を形成する温度範囲において純水素雰囲気下で還元を行った。その故、得られたビレットでは、結晶粒が比較的に微細化し、結晶粒径が均一化する。成分が比較的に均質であり、等軸晶系合金の偏析度が0.3%のみであることから、モリブデン・ニオブがすでに良好に合金化し、さらに、合金化が均一であればあるほど、加工に有利であることがわかった。高温鍛造、圧延切断及び研削加工を経て、最後に、規格に合うモリブデン・ニオブ合金板ターゲット材を使用者に提供でき、使用者にも認められた。
Claims (2)
- モリブデン・ニオブ合金板ターゲット材の加工方法であって、
(1)一定量のモリブデン粉末及びニオブ粉末をそれぞれ少なくとも3つに小分けし、当該小分けしたモリブデン粉末とニオブ粉末とをそれぞれ混合することによって混合粉末を得、各混合粉末を複数回かき混ぜて篩にかけた後、3つの混合粉末を再び混合して混合合金粉末を得、当該混合合金粉末を少なくとも3つのグループに分け、それぞれをかき混ぜて最後に互いに混合し、再びかき混ぜて成分を均一にした合金粉末を得る混合工程と、
(2)静水圧プレスによって合金粉末を加圧して合金ビレットを成形し、高温中周波炉に入れて水素雰囲気中で0〜800℃、800〜1600℃及び1600〜2000℃の3つの焼結温度の各温度範囲で少なくとも3時間ずつ順に焼結した後、合金素材に本焼成する成型工程と、
(3)合金素材を1200〜1400℃の高温で鍛造して圧密化した後、高温炉の中で1500〜1600℃の加熱温度で圧延してフィード仕様のプレートを形成する鍛造及び圧延工程と、
(4)プレートを切断、研削、機械加工することによってモリブデン・ニオブ合金板ターゲット材の完成品を得る仕上げ工程と、
を含むことを特徴とするモリブデン・ニオブ合金板ターゲット材の加工方法。 - 混合工程において、合金粉末の含量は、モリブデン粉末が90〜95wt%、ニオブ粉末が5〜10wt%であることを特徴とする請求項1に記載のモリブデン・ニオブ合金板ターゲット材の加工方法。
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