JP2014504364A - 高性能湾曲加速度計 - Google Patents
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Abstract
Description
Pb(Zn,Al,A2,A3,...)1/3(Nb,C1,C2,C3,...)2/3O3−xPbTiO3 (0.045≦x≦0.09)、およびPb(Mg,Bl,B2,B3,...)1/3(Nb, C1,C2,C3,...)2/3O3−yPbTiO3 (0.26≦y≦0.33)
ここで、A1,A2,A3,…は、Zn2+のモル比率の合計で1/3まで、Mg2+、Ni2+、Fe2+、Co2+、Yb2+、Sc3+、およびIn3+の少なくとも1つを含む。
B1,B2,B3,…は、Mg2+のモル比率の合計で1/3まで、Zn2+、Ni2+、Fe2+、Co2+、Yb2+、Sc3+、およびIn3+の少なくとも1つを含む。
C1,C2,C3,…は、Nb5+のモル比率の合計で1/4まで、Ta5+、W6+、およびMo6+の少なくとも1つを含む。
Pb(Zn,Al,A2,A3,...)1/3 (Nb,B1,B2,B3,...)2/3O3−xPbTiO3
ここで、xは、0.05≦x≦0.09により与えられるモル比率である。
A1,A2,A3,…は、Zn2+のモル比率の合計で1/3まで、Mg2+、Ni2+、Fe2+、Co2+、Yb2+、Sc3+、およびIn3+の少なくとも1つを含む。
B1,B2,B3,…は、Nb5+のモル比率の合計で1/4まで、Ta5+、W6+、およびMo6+の少なくとも1つを含む。
Pb(Mg,Al,A2,A3,...)1/3 (Nb,B1,B2,B3,...)2/3O3−yPbTiO3
ここで、yは、0.26≦y≦0.33により与えられるモル比率である。
A1、A2、A3、・・・は、Mg2+のモル比率の合計で1/3まで、Mg2+、Ni2+、Fe2+、Co2+、Yb2+、Sc3+、およびIn3+の少なくとも1つを含む。
B1、B2、B3、・・・は、Nb5+のモル比率の合計で1/4まで、Ta5+、W6+、およびMo6+の少なくとも1つを含む。
4 端部
6 固定支持部
8 弾性基材
10 端部
12 支持部
14 中心線
18 圧電活性材料
20 圧電活性材料
22 上部表面
24 下部表面
28 弾性梁基材
30 荷重部
34 端部
36 支持部
40 弾性梁基材
42 刃形支持部
44 プルーフマス
46 圧電活性材料
48 圧電活性材料
50 端部
52 上部表面
54 下部表面
58 端部フランジ
60 弾性梁基材
62 圧電活性材料
64 圧電活性材料
66 上部表面
68 下部表面
70 荷重部
74 端部
76 支持部
80 梁基材
82 圧電検知要素
84 圧電検知要素
86 圧電検知要素
88 圧電検知要素
90 圧電検知要素
92 圧電検知要素
98 2次元加速度計
100 3次元加速度計
102 角速度センサ
106 2軸角速度センサ
Claims (25)
- 第1の端部および第2の端部を有し、上面および下面を有する弾性基材梁と、
前記基材梁の前記第1の端部および前記第2の端部を支持するための支持部と、
前記基材梁の前記上面、前記下面、または前記上面および前記下面の両方に接合された圧電材料を含む検知要素と、
前記第1の端部と前記第2の端部との間の2つの位置に力を及ぼすための力付加要素と、
を含み、
前記基材梁および前記圧電材料は、四点湾曲構成で動作する、
加速度計。 - 前記基材梁の前記第1の端部および前記第2の端部は、前記支持部により固定される、請求項1に記載の加速度計。
- 前記基材梁の前記第1の端部および前記第2の端部は、前記支持部により簡単に支持される、請求項1に記載の加速度計。
- 前記基材梁の前記第1の端部および前記第2の端部は、固定端部と簡単に支持された状態との間の方法で前記支持部により支持される、請求項1に記載の加速度計。
- 前記基材梁は、前記装置の物理的寸法を低減するために、両端部で湾曲される、請求項1に記載の加速度計。
- 2つのプルーフマスは、前記梁基材に荷重を提供するために、前記梁基材にわたり前記2つの端部の間に配置される、請求項1に記載の加速度計。
- 前記プルーフマスは、それぞれ、前記基材梁のいずれかの支持部から等距離に配置される、請求項5に記載の加速度計。
- 前記それぞれのプルーフマスのそれぞれは、2つ以上のより小さい質量を含む、請求項6に記載の加速度計。
- 前記基材梁は、梁の幅がその径間に等しいか、またはそれよりも大きい、プレート状の構成を有する、請求項1に記載の加速度計。
- 前記圧電材料は、絶対値で500pC/Nを超える横圧電係数を有する圧電単結晶を含む、請求項1に記載の加速度計。
- 前記検知要素は、
- 前記検知要素は、最適に分極するPZN−PTもしくはPMN−PT固溶体単結晶、または添加されたその誘導体の少なくとも1つを含み、前記結晶は、
Pb(Zn,Al,A2,A3,...)1/3(Nb,C1,C2,C3,...)2/3O3−xPbTiO3 (0.045≦x≦0.09)、およびPb(Mg,Bl,B2,B3,...)1/3(Nb, C1,C2,C3,...)2/3O3−yPbTiO3 (0.26≦y≦0.33)
を含み、
ここで、A1,A2,A3,…は、Zn2+のモル比率の合計で1/3まで、Mg2+、Ni2+、Fe2+、Co2+、Yb2+、Sc3+、およびIn3+の少なくとも1つを含み、
B1,B2,B3,…は、Mg2+のモル比率の合計で1/3まで、Zn2+、Ni2+、Fe2+、Co2+、Yb2+、Sc3+、およびIn3+の少なくとも1つを含み、
C1,C2,C3,…は、Nb5+のモル比率の合計で1/4まで、Ta5+、W6+、およびMo6+の少なくとも1つを含む、
請求項10に記載の加速度計。 - 前記検知要素は、適当なカットおよび寸法の以下の成分、すなわちPb(Zn1/3Nb2/3)O3、Pb(Mg1/3Nb2/3)O3、Pb(In1/2Nb1/2)O3、Pb(Sc1/2Nb1/2)O3、Pb(Fe1/2Nb1/2)O3、Pb(Mn1/2Nb1/2)O3、PbZrO3およびPbTiO3の、最適に分極する二元、三元、または多元の固溶体単結晶の少なくとも1つを含む、請求項10に記載の加速度計。
- 前記検知要素は、前記分極するPZTセラミクスおよび添加されたその誘導体の少なくとも1つを含む、請求項1に記載の加速度計。
- 前記それぞれの検知要素は、並列、直列、またはそれらの組合せの少なくとも1つで電気的に接続される、請求項1に記載の加速度計。
- 少なくとも1つの取付構造体をさらに含む、請求項1に記載の加速度計。
- ハウジングをさらに含む、請求項1に記載の加速度計。
- 請求項1に記載の少なくとも1つの加速度計を含む、多軸加速度計。
- 請求項1に記載の少なくとも1つの加速度計を含む、直線運動センサ。
- 請求項1に記載の少なくとも1つの加速度計を含む、多軸運動センサ。
- 請求項1に記載の少なくとも1つの加速度計を含む、角速度センサ。
- 請求項1に記載の少なくとも1つの加速度計を含む、多軸角速度センサ。
- 請求項1に記載の少なくとも1つの加速度計を含む、回転運動センサ。
- 請求項1に記載の少なくとも1つの加速度計を含む、直線回転兼用センサ。
- 請求項1に記載の少なくとも1つの加速度計を含む、多軸直線回転兼用センサ。
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