JP2008175578A - 圧電振動ジャイロ用振動子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 簡素な形状、電極構造、2軸検出での振動子構成が可能となり、小型、低価格、高性能な圧電振動ジャイロ用振動子を提供すること。
【解決手段】 圧電すべり効果によるねじり振動モードを駆動振動モードに用いた圧電振動ジャイロ用振動子であり、柱状の第2のアーム部42に対して垂直に接続される2つの柱状の第1のアーム部43a、43bを有し、圧電単結晶で一体的に平板状の振動子が構成され、第1のアーム部43a、43bの表裏面には帯状の検出電極45a、45b、45c、45d及び基準電位電極46a、46bが形成され、第2のアーム部42の表裏面には帯状の駆動電極44a、44bが形成された圧電振動ジャイロ用振動子である。
【選択図】 図1
Description
図6は上記実施の形態1による圧電振動ジャイロ用振動子に加えさらに端面47(図1)を対称面にしてT字形状の同様な振動子を接続し、第1のアーム部91a、91b、91c、91dの先端に負荷質量部92a、92b、92c、92dを接続した圧電振動ジャイロ用振動子の上面図である。
42、93a、93b 第2のアーム部
43a、43b、91a、91b、91c、91d 第1のアーム部
44a、44b 駆動電極
45a、45b、45c、45d 検出電極
46a、46b 基準電位電極
47 端面
48 ねじり振動
92a、92b、92c、92d 負荷質量部
94a、94b ビーム部
95 外縁部
111 振動子
111a、111b、111c、111d、112 振動体
113 圧電素子
116 電極
121、122、123、124 切り欠き
N1、N2 ノード軸
Claims (7)
- 圧電すべり効果によるねじり振動モードを駆動振動モードまたは検出振動モードの少なくとも一方に用いたことを特徴とする圧電振動ジャイロ用振動子。
- 柱状の第2のアーム部に対して垂直に接続された2以上の柱状の第1のアーム部を有し、圧電単結晶で一体的に平板状に形成され、該第1のアーム部及び該第2のアーム部の表面に、電気信号入力用の帯状駆動電極と、振動検出用の帯状検出電極とが形成されたことを特徴とする請求項1記載の圧電振動ジャイロ用振動子。
- 柱状の第2のアーム部に対して垂直に接続された2以上の柱状の第1のアーム部を有し、圧電単結晶で一体的に平板状に形成され、該平板の面内で振動する第1及び第2の振動モードと該第1及び第2の振動モードに振動方向が直交する第3の振動モードとを、前記駆動振動モード及び検出振動モードに用いたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の圧電振動ジャイロ用振動子。
- 前記駆動振動モード及び検出振動モードのうちの少なくとも1つの振動モードには前記第2のアーム部の厚さ方向または主面内方向の圧電厚さすべり効果により発生する前記第2のアーム部の長手方向に垂直な面内のねじり振動を用い、他の振動モードには前記第1のアーム部の厚さ方向または主面内方向で且つ該ねじり振動の回転中心軸に垂直な方向の圧電横効果による該第1のアーム部の屈曲振動を用いたことを特徴とする請求項2または請求項3記載の圧電振動ジャイロ用振動子。
- 枠体と、該枠体に両端が支持されてなる支持部と、該支持部と交差し形成される1以上の第2のアーム部と、該第2のアーム部に接続される2以上の第1のアーム部と、該第1のアーム部に支持される負荷質量部とからなり、前記駆動振動モード及び前記検出モードのいずれに対しても、前記枠体が振動のノードとなることを特徴とする請求項3または請求項4記載の圧電振動ジャイロ用振動子。
- 前記圧電単結晶がLiNbO3であり、前記第1のアーム部及び前記第2のアーム部の厚さ方向が該圧電単結晶の結晶方位のX軸であり、前記第2のアーム部の長手方向と平行な方向が該圧電単結晶の結晶方位の140°±15°回転Y軸であることを特徴とする請求項2〜5のいずれか1項に記載の圧電振動ジャイロ用振動子。
- 前記圧電単結晶がLiTaO3であり、前記第1のアーム部及び前記第2のアーム部の厚さ方向が該圧電単結晶の結晶方位のX軸であり、前記第2のアーム部の長手方向と平行な方向が該圧電単結晶の結晶方位の140°±15°回転Y軸であることを特徴とする請求項2〜5のいずれか1項に記載の圧電振動ジャイロ用振動子。
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