JP2014238318A - 検査装置、検査装置のキャリブレーション方法及び検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】センサパネル等の検査対象物の検査装置において、ケーブルの浮遊容量等による誤差をキャンセルするキャリブレーションを実現するとともに、センサパネルの微小な静電容量を良好な精度で測定可能にする。
【解決手段】センサパネルが取り外された状態において、センサパネル検査装置１のキャリブレーション部４６は、複数ある第２ケーブル３７の少なくとも何れかにシグナル部１１の交流信号を供給させながら、第１ケーブル３６に電気的に接続される電流検出部４１の電流計の出力がゼロになるように、キャリブレーションシグナル部４２において前記電流計に対応する交流電源の電圧及び位相を調整する。電流計の出力がゼロになると、そのときの前記交流電源の電圧及び位相が記憶される。センサパネルの検査時においては、記憶された電圧及び位相に基づいて、キャリブレーションシグナル部４２の交流電源に交流信号を発生させる。
【選択図】図２

Description

本発明は、主として、静電容量方式のセンサパネル等を検査の対象とする検査装置に関する。

従来から、タッチ位置を検出するタッチパネル装置の一種として、いわゆる静電容量方式のものが知られている。静電容量式タッチパネル装置のセンサパネルは、例えば、ガラス等で形成された透明な基板に、第１のパターン透明導電層と、第２のパターン透明導電層と、が設けられた構造を有している。このパターン透明導電層は、例えば酸化インジウムスズ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ、ＩＴＯ）を用いて成膜することにより形成することができる。

２つのパターン透明導電層は互いに垂直に交差するよう配置され、それぞれが電極として機能する。なお、以下では、第１及び第２のパターン透明導電層を、第１電極及び第２電極と呼ぶことがある。第１電極と第２電極とは、センサパネルの厚み方向の隙間を挟んで対向するように配置されている。

以上の構成により、第１電極と第２電極との交差部分には一種のコンデンサが形成され、このコンデンサの静電容量が、導電性物体（例えば人体）が接近あるいは接触することで変化する。タッチパネル装置は、この静電容量の変化を検出することにより、センサパネルにタッチされた位置を検出することができる。この方式はいわゆる投影型静電容量方式と呼ばれるものであり、タッチ位置を高精度に検出することができる点で優れている。

ところで、タッチパネル装置の製造者にとって、センサパネルの検査を行うことは、不良品の混入を回避して製品の品質を確保するために極めて重要である。

この検査手法の１つとして、従来、縦横方向に配置されるそれぞれの電極や、それに接続された配線に対して、針状の導通プローブからなる接触子を直接接触させて、各電極（配線）の導通と、隣接する電極（配線）との短絡の有無を検査することが行われてきた。

しかしながら、このように接触子を直接接触させて検査する方法では、ＩＴＯ膜からなる上記の電極と接触子とに安定性がなく、酸化膜による接触抵抗の不安定性によって電気的特性を正確に測定できなかった。また、接触子が検査対象の電極等と直接接触するため、打痕が形成されて品質を低下させてしまう問題があった。

一方、特許文献１に開示されるように、組み立てられたタッチパネル上の所定のタッチ入力位置の検出を精度良く行うために、タッチパネル全体の抵抗値等の電気的特性を検査する方法が提案されている。

また、特許文献１で開示されるもの以外にも、それぞれの電極に検査信号を供給しつつ電極交差部分に接触子を接触させ、接触子の検出信号に基づいて電極等の良否を検査することが行われている。

特開２００５−２７４２２５号公報

しかしながら、このような検査方法では、縦横方向に配置される電極の交差部分のすべてについて接触子を接触させて検査を行う必要がある。従って、電極の数が増加すると、接触子の移動のために長時間が必要になり、検査時間が著しく増加してしまう。

また、検査の過程で第１電極と第２電極との交差部分における静電容量を測定することが考えられるが、この静電容量は大きくても１０ｐＦ程度であるのに対して、検査装置の回路に含まれる意図しない容量成分（いわゆる浮遊容量）は１００ｐＦ程度であり、この浮遊容量が、測定精度を低下させる大きな原因となっている。従って、検査の精度を高める観点から、当該浮遊容量の影響を適切に取り除くことが求められている。

本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、センサパネル等の検査対象物の検査装置において、ケーブルの浮遊容量等による誤差をキャンセルするキャリブレーションを実現するとともに、センサパネルの微小な静電容量を良好な精度で測定可能にすることにある。

課題を解決するための手段及び効果

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。

本発明の第１の観点によれば、パネル状の検査対象物であって、並べられた複数の第１導電体と、並べられた複数の第２導電体と、がパネル厚み方向で見たときに互いに交差するように配置された検査対象物の検査装置における以下の構成が提供される。即ち、この検査装置は、第１配線体と、第２配線体と、シグナル部と、シグナル供給切替部と、電流検出部と、検出切替部と、キャリブレーションシグナル部と、を備える。前記第１配線体は複数備えられ、検査時に前記第１導電体のそれぞれに電気的に接続される。前記第２配線体は複数備えられ、検査時に前記第２導電体のそれぞれに電気的に接続される。前記シグナル部は、交流信号を供給する交流電源である。前記シグナル供給切替部は、複数の前記第２導電体のそれぞれに対して、前記シグナル部の交流信号を前記第２配線体経由で供給するか、遮断するか、を切替可能である。前記電流検出部は、前記第１導電体に流れる電流を検出可能な複数の電流計を有する。前記検出切替部は、前記第１導電体のそれぞれを、前記電流計と前記第１配線体経由で接続するか、遮断するか、を切替可能である。前記キャリブレーションシグナル部は、それぞれの前記電流計に対して交流信号を供給可能な複数の交流電源を有する。前記キャリブレーションシグナル部のそれぞれの前記交流電源は、その電圧及び位相を変更可能に構成されている。

これにより、ケーブルの浮遊容量等による誤差をキャンセルするキャリブレーションを実現することができる。また、浮遊容量等による電流をキャンセルするようにキャリブレーションシグナル部の交流電源を制御するので、電流検出部の電流計は、第１導電体と第２導電体の交差部分の静電容量に基づく電流そのものを検出できる。従って、電流計のレンジを適切に定めることで、センサパネルの微小な静電容量を良好な精度で測定することができる。

前記の検査装置においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、この検査装置は、少なくとも、前記シグナル部、前記電流検出部及び前記キャリブレーションシグナル部を制御するキャリブレーション部を備える。前記キャリブレーション部は、前記検査対象物が取り外されたキャリブレーション時において、前記第２配線体の少なくとも何れかに前記シグナル部の交流信号を供給させながら、前記第１配線体に電気的に接続される前記電流検出部の電流計の出力がゼロになるように、前記キャリブレーションシグナル部において前記電流計に対応する交流電源の電圧及び位相を調整する。また、前記キャリブレーション部は、前記電流計の出力がゼロになったときの前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に与えた電圧及び位相のパラメータであるキャリブレーションパラメータを取得して記憶する。また、前記キャリブレーション部は、前記検査対象物の検査時においては、記憶された前記キャリブレーションパラメータに基づいて、前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に交流信号を発生させる。

これにより、浮遊容量による電流をキャンセルするための、キャリブレーションシグナル部の交流電源の電圧及び位相が自動的に決定される。従って、キャリブレーションの手間を軽減することができる。

前記の検査装置においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、前記キャリブレーション部は、前記キャリブレーション時において、前記シグナル部の信号の供給先となる前記第２配線体を変更させるように前記シグナル供給切替部の状態を切り替えながら、当該シグナル供給切替部の状態と、前記キャリブレーションパラメータと、を対応付けて記憶する。前記キャリブレーション部は、前記検査対象物の検査時においては、前記シグナル供給切替部の状態に対応して記憶された前記キャリブレーションパラメータに基づいて、前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に交流信号を発生させる。

これにより、どの第２配線体を信号供給先にするかに応じて浮遊容量等が変化しても、それに対応したキャリブレーションを行うことができるので、測定精度を良好に維持することができる。

前記の検査装置においては、前記キャリブレーション部は、前記キャリブレーション時において、複数の前記第１配線体と、それに対応する前記電流検出部の電流計と、が同時に接続されるように前記検出切替部を制御することが好ましい。

これにより、複数の電流計に関するキャリブレーション作業を同時並行的に行うことができるので、キャリブレーションに必要な時間を効果的に短縮することができる。

前記の検査装置においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、この検査装置は、少なくとも、前記シグナル部、前記電流検出部、前記シグナル供給切替部、及び前記検出切替部を制御する検査部を備える。前記検査部は、複数の前記第２導電体のうち選択された１個に前記シグナル部の交流信号を供給するように前記シグナル供給切替部を制御するとともに、複数の前記第１導電体のうち選択された１個と、対応する前記電流検出部の電流計と、を接続するように前記検出切替部を制御する。前記検査部は、選択された第２導電体において前記シグナル部の交流信号が供給される端部である供給端から、選択された第２導電体と選択された第１導電体との交差部分を経由して、選択された第１導電体において前記電流計が接続される側の端部である計測端に至る回路を形成回路としたときに、前記形成回路の抵抗である回路抵抗と、前記形成回路に流れる電流の位相のズレである電流位相ズレと、のうち何れかを含む形成回路計測値を、前記電流計で電流を検出することにより計測する。また、前記検査部は、得られた前記形成回路計測値に基づいて、前記第１導電体及び前記第２導電体の異常を検査する。

これにより、第１導電体及び第２導電体が均一に形成されているかどうかを、形成回路計測値を得ることで判定することができる。また、接触子等を用いることがない非接触の検査が実現されるので、タクトタイムを大幅に短縮できる。

前記の検査装置においては、前記検査部は、前記形成回路計測値を計測するとともに、選択された前記第１導電体及び前記第２導電体の交差部分における静電容量の測定を行うことが好ましい。

これにより、検査時間を効率的に活用して検査を行うことができるので、タクトタイムを更に短縮することができる。

前記の検査装置においては、前記検査部は、選択される第１導電体を共通とし、選択される第２導電体を、前記第１導電体の長手方向一側から他側に順に変化させるのに伴って、前記形成回路の回路抵抗又は電流位相ズレが単調に増加又は減少するか否かを判定することにより、前記第１導電体及び前記第２導電体の異常を検査することが好ましい。

また、前記の検査装置においては、前記検査部は、選択される第２導電体を共通とし、選択される第１導電体を、前記第２導電体の長手方向一側から他側に順に変化させるのに伴って、前記形成回路の回路抵抗又は電流位相ズレが単調に増加又は減少するか否かを判定することにより、前記第１導電体及び前記第２導電体の異常を検査することが好ましい。

これにより、第１導電体及び第２導電体の形状が均一であるか否かを合理的に判定することができる。

前記の検査装置においては、以下の構成とすることもできる。即ち、前記検査部は、前記第１導電体と前記第２導電体とをそれぞれ選択して構成される前記形成回路である第１形成回路と、前記第１導電体の選択を、前記第１形成回路で選択された第１導電体に対して、前記第２導電体の前記供給端から遠い方向に１個ズラすとともに、前記第２導電体の選択を、前記第１形成回路で選択された第２導電体に対して、前記第１導電体の前記計測端から近い方向に１個ズラすことで構成される前記形成回路である第２形成回路と、の間で前記回路抵抗又は電流位相ズレが等しいか否かを判定することにより、前記第１導電体及び前記第２導電体の異常を検査する。

これによっても、第１導電体及び第２導電体の形状が均一であるか否かを合理的に判定することができる。

本発明の第２の観点によれば、パネル状の検査対象物であって、並べられた複数の第１導電体と、並べられた複数の第２導電体と、がパネル厚み方向で見たときに互いに交差するように配置された検査対象物の検査装置における、以下のようなキャリブレーション方法が提供される。即ち、前記検査装置は、第１配線体と、第２配線体と、シグナル部と、シグナル供給切替部と、電流検出部と、検出切替部と、キャリブレーションシグナル部と、を備える。前記第１配線体は複数備えられ、検査時に前記第１導電体のそれぞれに電気的に接続される。前記第２配線体は複数備えられ、検査時に前記第２導電体のそれぞれに電気的に接続される。前記シグナル部は、交流信号を供給する交流電源である。前記シグナル供給切替部は、複数の前記第２導電体のそれぞれに対して、前記シグナル部の交流信号を前記第２配線体経由で供給するか、遮断するか、を切替可能である。前記電流検出部は、前記第１導電体に流れる電流を検出可能な複数の電流計を有する。前記検出切替部は、前記第１導電体のそれぞれを、前記電流計と前記第１配線体経由で接続するか、遮断するか、を切替可能である。前記キャリブレーションシグナル部は、それぞれの前記電流計に対して交流信号を供給可能な複数の交流電源を有する。前記キャリブレーションシグナル部のそれぞれの前記交流電源は、その電圧及び位相を変更可能に構成されている。そして、前記のキャリブレーション方法は、シグナル条件調整工程と、シグナル条件記憶工程と、キャリブレーションシグナル発生工程と、を含む。前記シグナル条件調整工程では、前記検査対象物が取り外された状態で、前記第２配線体の少なくとも何れかに前記シグナル部の交流信号を供給させながら、前記第１配線体に電気的に接続される前記電流検出部の電流計の出力がゼロになるように、前記キャリブレーションシグナル部において前記電流計に対応する交流電源の電圧及び位相を調整する。前記シグナル条件記憶工程では、前記電流計の出力がゼロになったときの前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に与えた電圧及び位相のパラメータであるキャリブレーションパラメータを取得して記憶する。前記キャリブレーションシグナル発生工程では、前記検査対象物の検査時において、記憶された前記キャリブレーションパラメータに基づいて、前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に交流信号を発生させる。

これにより、ケーブルの浮遊容量等による誤差をキャンセルするキャリブレーションを実現することができる。また、浮遊容量等による電流をキャンセルするようにキャリブレーションシグナル部の交流電源を制御するので、電流検出部の電流計は、第１導電体と第２導電体の交差部分の静電容量に基づく電流そのものを検出できる。従って、電流計のレンジを適切に定めることで、センサパネルの微小な静電容量を良好な精度で測定することができる。更には、浮遊容量による電流をキャンセルするための、キャリブレーションシグナル部の交流電源の電圧及び位相を自動的に決定するので、キャリブレーションの手間を軽減することができる。

本発明の第３の観点によれば、パネル状の検査対象物であって、並べられた複数の第１導電体と、並べられた複数の第２導電体と、がパネル厚み方向で見たときに互いに交差するように配置された検査対象物の検査装置における、以下の検査方法が提供される。即ち、この検査装置は、第１配線体と、第２配線体と、シグナル部と、シグナル供給切替部と、電流検出部と、検出切替部と、キャリブレーションシグナル部と、を備える。前記第１配線体は複数備えられ、検査時に前記第１導電体のそれぞれに電気的に接続される。前記第２配線体は複数備えられ、検査時に前記第２導電体のそれぞれに電気的に接続される。前記シグナル部は、交流信号を供給する交流電源である。前記シグナル供給切替部は、複数の前記第２導電体のそれぞれに対して、前記シグナル部の交流信号を前記第２配線体経由で供給するか、遮断するか、を切替可能である。前記電流検出部は、前記第１導電体に流れる電流を検出可能な複数の電流計を有する。前記検出切替部は、前記第１導電体のそれぞれを、前記電流計と前記第１配線体経由で接続するか、遮断するか、を切替可能である。前記キャリブレーションシグナル部は、それぞれの前記電流計に対して交流信号を供給可能な複数の交流電源を有する。前記キャリブレーションシグナル部のそれぞれの前記交流電源は、その電圧及び位相を変更可能に構成されている。そして、前記の検査方法は、切替工程と、形成回路計測値取得工程と、判定工程と、を含む。前記切替工程では、複数の前記第２導電体のうち選択された１個に前記シグナル部の交流信号を供給するように前記シグナル供給切替部を制御するとともに、複数の前記第１導電体のうち選択された１個と、対応する前記電流検出部の電流計と、を接続するように前記検出切替部を制御する。前記形成回路計測値取得工程では、選択された第２導電体において前記シグナル部の交流信号が供給される端部である供給端から、選択された第２導電体と選択された第１導電体との交差部分を経由して、選択された第１導電体において前記電流計が接続される側の端部である計測端に至る回路を形成回路としたときに、前記形成回路の抵抗である回路抵抗と、前記形成回路に流れる電流の位相のズレである電流位相ズレと、のうち何れかを含む形成回路計測値を、前記電流計で電流を検出することにより計測する。前記判定工程では、得られた前記形成回路計測値に基づいて、前記第１導電体及び前記第２導電体の異常の有無を判定する。

これにより、第１導電体及び第２導電体が均一に形成されているかどうかを、形成回路計測値を得ることで判定することができる。また、接触子等を用いることがない非接触の検査が実現されるので、タクトタイムを大幅に短縮できる。

本発明の一実施形態に係るセンサパネル検査装置の全体的な構成を示す概念図。 センサパネルを取り外した状態でセンサパネル検査装置のキャリブレーションを行う様子を示す図。 シグナル部の電圧位相と、電流検出部の電流計で検出される電流位相と、の関係を示すグラフ。 センサパネル検査装置がセンサパネルにおける位置（１，４）を検査する場合の形成回路を示す図。 形成回路を簡略的に表した図。 検査する位置の座標と、形成回路の抵抗値と、の関係を示す表。 形成回路の抵抗値と、電流の位相と、の関係を示すベクトル図。

次に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の一実施形態に係るセンサパネル検査装置１の全体的な構成を示す概念図である。図２は、センサパネルを取り外した状態でセンサパネル検査装置１のキャリブレーションを行う様子を示す図である。図３は、シグナル部１１の電圧位相と、電流検出部４１の電流計で検出される電流位相と、の関係を示すグラフである。

図１に示すセンサパネル検査装置１は、検査対象物であるセンサパネル５０を検査できるように構成されている。図１には、センサパネル５０をセンサパネル検査装置１にセットした状態が示されている。

センサパネル５０は、タッチパネル装置の主要な構成部品であって、ガラス等からなる透明な基板上に、縦方向に細長い複数の第１電極（第１導電体）５１と、横方向に細長い複数の第２電極（第２導電体）５２と、を互いに交差するように設けた構成になっている。

第１電極５１と第２電極５２とは、センサパネル５０の厚み方向で見たときに、互いに垂直に交差してマトリクス状に配置される。具体的には、第１電極５１が図１の横方向に等間隔でＭ個並べて設けられ、第２電極が図１の縦方向に等間隔でＮ個並べて設けられている。なお、以後の説明ではそれぞれ、第１電極５１が並べられる方向をｘ方向、第２電極５２が並べられる方向をｙ方向と呼ぶ場合がある。

この結果、２つの電極５１，５２により、Ｍ×Ｎのマトリクスが構成されている。なお、図１においては平面的に描かれているが、第１電極５１と第２電極５２との間には、センサパネル５０の厚み方向に所定の隙間が形成されている。

第１電極５１及び第２電極５２の形状は何れも、一定の大きさの小さな複数の菱形を串刺ししたようなパターンとされ、幅広部と幅狭部とが長手方向で繰返し交互に現れている。第１電極５１及び第２電極５２は、上記の幅狭部の部分において、平面視で互いに交差している。これにより、第１電極５１及び第２電極５２のうち何れかによって、タッチ位置検出可能な領域（以下、タッチ領域と呼ぶことがある。）のほぼ全体が覆われている。

上記のタッチ領域においては、マトリクス状に配置された第１電極５１と第２電極５２との関係で、センサ座標系が設定されている。この座標系は、上記のｘ方向及びｙ方向の座標で表すことができる。具体的には、図１におけるタッチ領域の左下隅にある両電極の交差部分が（１，１）、右上隅にある交差部分が（Ｍ，Ｎ）に設定されている。

なお、図１のセンサパネル５０において、第１電極５１及び第２電極５２の数は何れも４個とされているが（Ｍ＝４、Ｎ＝４）、この例に限定されず、適宜増減させることができる。また、第１電極５１及び第２電極５２の形状についても上記に限定されず、例えば、幅が一定の形状の電極に変更することができる。

第１電極５１及び第２電極５２は、前述のＩＴＯを用いて、スパッタリングや蒸着等の公知の方法でパターン透明導電層を形成することにより構成される。ただし、電極の材料としてはＩＴＯを用いることに限定されず、例えば酸化インジウム亜鉛（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ、ＩＺＯ）等、種々の材料を用いることができる。

第１電極５１及び第２電極５２に接続するようにして、第１タブ配線部５６及び第２タブ配線部５７が基板上に形成されている。この第１タブ配線部５６及び第２タブ配線部５７は、上記のタッチ領域を避けた位置に形成され、第１電極５１及び第２電極５２と、タッチパネル装置のドライバ回路（図略）とを電気的に接続できるように構成されている。

本実施形態において、第１タブ配線部５６及び第２タブ配線部５７は、導電性を有するペースト材料（具体的には、銀ペースト）を用いて、スクリーン印刷により形成されている。ただし、この構成に限られず、銀ペーストに代えて例えば銅ペーストを用いたり、スクリーン印刷に代えて例えばインクジェット印刷等の他の印刷方法を用いたりしても良い。また、導電性を有する各種の金属膜を蒸着した後に選択的なエッチングを行うことで、第１タブ配線部５６及び第２タブ配線部５７のパターンを形成することもできる。

本実施形態のセンサパネル検査装置１は、センサパネル５０における電極交差部分での静電容量が設計どおりであるか否かを検査するとともに、電極５１，５２が正確に形成されているか否かを検査するために用いられる。このセンサパネル検査装置１は、第１ケーブル（第１配線体）３６と、第２ケーブル（第２配線体）３７と、シグナル部１１と、シグナル供給切替部３１と、検出切替部３２と、電流検出部４１と、キャリブレーションシグナル部４２と、コントローラユニット（制御部）４５と、を主要な構成として備えている。

第１ケーブル３６及び第２ケーブル３７は、導電性を有する電線で構成されている。センサパネル５０がセンサパネル検査装置１にセットされると、第１ケーブル３６はセンサパネル５０の第１タブ配線部５６を介して第１電極５１に電気的に接続され、第２ケーブル３７はセンサパネル５０の第２タブ配線部５７を介して第２電極５２に電気的に接続される。

シグナル部１１は、所定の電圧の交流信号を供給する交流電源として構成されている。このシグナル部１１が供給する交流信号は、例えば、周波数が１０ｋＨｚ〜１０００ｋＨｚの範囲内で、電圧の実効値が１Ｖ〜１０Ｖの範囲内となるように設定することができる。シグナル部１１の一端は接地され、他端はシグナル供給切替部３１に電気的に接続される。

シグナル部１１はコントローラユニット４５に接続されており、コントローラユニット４５からの制御指令に基づいて、交流信号を発生させることができる。

シグナル供給切替部３１は、複数の第２電極５２から全部又は一部を選択して、この選択された第２電極５２と、シグナル部１１と、を電気的に接続させることができる。このシグナル供給切替部３１は、第２電極５２にそれぞれ対応する複数のスイッチを有している。なお、図面では、それぞれのスイッチに「１」〜「４」の番号が付されており、この番号は上記のセンサ座標系におけるｙ座標に対応する。それぞれのスイッチはＯＮ／ＯＦＦ動作が可能に構成されるとともに、対応する第２電極５２に対して、前記第２ケーブル３７及び第２タブ配線部５７を介して電気的に接続される。

シグナル供給切替部３１はコントローラユニット４５に接続されており、コントローラユニット４５からの制御指令に基づいて、前記スイッチのＯＮ／ＯＦＦをそれぞれ切り替えることができる。

検出切替部３２は、複数の第１電極５１から全部又は一部を選択して、この選択された第１電極５１と、電流検出部４１と、を電気的に接続させることができる。この検出切替部３２は、第１電極５１にそれぞれ対応する複数のスイッチを有している。なお、図面では、それぞれのスイッチに「１」〜「４」の番号が付されており、この番号は上記のセンサ座標系におけるｘ座標に対応する。これらのスイッチはＯＮ／ＯＦＦ動作が可能に構成されるとともに、対応する第１電極５１に対して、前記第１ケーブル３６及び第１タブ配線部５６を介して電気的に接続される。

検出切替部３２もシグナル供給切替部３１と同様にコントローラユニット４５に接続されており、コントローラユニット４５からの制御指令に基づいて、前記スイッチのＯＮ／ＯＦＦを切り替えることができる。

電流検出部４１は、複数の第１電極５１にそれぞれ対応するように複数配置された電流計を有している。それぞれの電流計は、検出した電流の値を、コントローラユニット４５に送信する。

キャリブレーションシグナル部４２は、電流検出部４１の電流計にそれぞれ対応するように複数配置された交流電源を備えている。この交流電源は、その一端が接地され、他端が前記電流計に接続される。

この交流電源は、前述したシグナル部１１と一致する周波数の交流信号を発生させることができる。また、それぞれの交流電源は、コントローラユニット４５からの制御指令に基づいて、出力する交流信号の電圧及び位相を独立して変更可能に構成されている。

コントローラユニット４５はマイクロコンピュータとして構成されており、図示しない演算部としてのＣＰＵ、及び、記憶部としてのＲＯＭ、ＲＡＭ等を備えている。そして、コントローラユニット４５の前記ＲＯＭには、センサパネル検査装置１を動作させるためのプログラムが記憶されている。

前記プログラムには、本実施形態に係るキャリブレーション方法をセンサパネル検査装置１によって実現するためのキャリブレーションプログラムが含まれている。また、前記プログラムには、本実施形態に係る検査方法をセンサパネル検査装置１によって実現するための検査プログラムが含まれている。

詳細は後述するが、前記キャリブレーション方法は、シグナル条件調整工程と、シグナル条件記憶工程と、キャリブレーションシグナル発生工程と、を含んでいる。従って、前記キャリブレーションプログラムは、前記各工程に対応して、シグナル条件調整ステップと、シグナル条件記憶ステップと、キャリブレーションシグナル発生ステップと、を含んでいる。

また、詳細は後述するが、前記検査方法は、切替工程と、形成回路計測値取得工程と、判定工程と、を含んでいる。従って、前記検査プログラムは、前記各工程に対応して、切替ステップと、形成回路計測値取得ステップと、判定ステップと、を含んでいる。

そして、前記ハードウェアと前記ソフトウェアとが協働して動作することにより、コントローラユニット４５を、キャリブレーション部４６、及び検査部４７として機能させることができるようになっている。

キャリブレーション部４６は、検査の前段階として、シグナル部１１、シグナル供給切替部３１、検出切替部３２、電流検出部４１、キャリブレーションシグナル部４２に対して制御信号を送って制御し、キャリブレーションに必要なパラメータを決定する作業を行う。この作業は、センサパネル５０を取り外した状態で行われる。

検査部４７は、センサパネル５０がセンサパネル検査装置１にセットされた状態で、シグナル部１１、シグナル供給切替部３１、検出切替部３２、電流検出部４１、キャリブレーションシグナル部４２に対して制御信号を送って制御し、センサパネル５０の検査を行う。

最初に、図２を参照して、キャリブレーション作業を説明する。このキャリブレーション作業は通常、センサパネル検査装置１が初めて使用される場合や、装置の設置場所を変更した場合等に行われる。

センサパネル検査装置１は、図示しないが、検査やキャリブレーションの実行を指示するために操作される操作部を備えている。センサパネル検査装置１にセンサパネル５０が取り付けられない図２の状態でユーザがキャリブレーション作業を指示すると、コントローラユニット４５（キャリブレーション部４６）は、シグナル部１１が交流信号を発生している状態で、シグナル供給切替部３１を構成する４つのスイッチのうち１つをＯＮし、残り３つをＯＦＦするように制御する。また、コントローラユニット４５は、検出切替部３２を構成する４つのスイッチのうち１つをＯＮし、残り３つをＯＦＦする。今回の説明では、シグナル供給切替部３１では「１」のスイッチが、検出切替部３２では「１」のスイッチが、それぞれＯＮされたものとする。

そして、シグナル供給切替部３１の「１」のスイッチに対応する第２ケーブル３７がシグナル部１１に接続された状態で、シグナル部１１が交流信号を発生する。これに伴い、検出切替部３２における「１」のスイッチに対応する電流検出部４１の電流計には、当該「１」のスイッチに繋がる第１ケーブル３６等による浮遊容量の影響により、電流が流れる。

本実施形態のセンサパネル検査装置１におけるキャリブレーション作業には、この電流による前記電流計への影響をキャンセルするように、キャリブレーションシグナル部４２を制御する条件を決定することが含まれる。この条件決定作業を具体的に説明すると、コントローラユニット４５（キャリブレーション部４６）は、検出切替部３２における「１」のスイッチに繋がる電流計の出力を読み取りつつ、キャリブレーションシグナル部４２において、当該電流計に対応する交流電源の電圧及び位相を変化させ、電流計の出力がゼロになる条件を探す（シグナル条件調整工程）。

なお、仮に、キャリブレーション時に電流検出部４１に流れる電流が、前記した浮遊容量の影響によるものだけだった場合は、電流計が検出する波形の位相は、図３の点線に示すように、シグナル部１１の電圧位相に対して正確に９０°進むことになる。しかしながら、実際に電流検出部４１の電流計に流れる波形の位相ズレは、９０°より小さい値となり、これを計算で求めることは困難である。これは、回路を構成する配線やスイッチが有する抵抗（例えば、第１ケーブル３６の抵抗や、検出切替部３２のスイッチのＯＮ抵抗）の影響を受けるからである。従って、この電流の影響を適切にキャンセルするには、キャリブレーションシグナル部４２における交流電源の電圧のみならず、位相を細かく調整する必要がある。

電流検出部４１における電流計の出力がゼロになると、コントローラユニット４５は、そのときに交流電源に与えていた条件（電圧及び位相のパラメータ）を、上記の記憶部（ＲＡＭ等）に記憶する（シグナル条件記憶工程）。

上記の作業が、検出切替部３２においてＯＮするスイッチを「１」から「２」、「３」、「４」と順に切り替えつつ繰り返される。これにより、シグナル供給切替部３１において「１」のスイッチがＯＮした状態で、それぞれの第１ケーブル３６等の浮遊容量の影響をキャンセルするために必要な、キャリブレーションシグナル部４２の交流電源に与えるべき電圧及び位相のパラメータ（以下、キャリブレーションパラメータと呼ぶことがある。）を取得することができる。

ただし、上記のキャリブレーションパラメータを取得する作業は、電流検出部４１の複数の電流計で同時並行的に行われても良い。具体的には、コントローラユニット４５は、検出切替部３２において複数（例えば、４つ全て）のスイッチをＯＮした状態で、それぞれのスイッチに繋がる電流検出部４１の電流計の出力を読み取りながら、対応するキャリブレーションシグナル部４２の交流電源の電圧及び位相を変化させる。そしてコントローラユニット４５は、それぞれの電流計の出力をゼロにするために、各交流電源に与えるべき電圧及び位相のパラメータを取得し、記憶部に記憶する。このように構成することで、キャリブレーションに必要な時間を著しく短縮することができる。

電流検出部４１の全ての電流計（キャリブレーションシグナル部４２の交流電源）についてキャリブレーションパラメータを取得すると、今度はシグナル供給切替部３１においてＯＮにするスイッチを「１」から「２」、「３」、「４」と順に切り替えつつ、上記と同様の作業が繰り返される。これにより、シグナル供給切替部３１の４つのスイッチの状態に対応した、キャリブレーションシグナル部４２のそれぞれの交流電源に与えるべきキャリブレーションパラメータを得ることができる。

なお、本実施形態では上述したように、電流計コモンの交流電圧発生源からなるキャリブレーションシグナル部４２を制御することでキャリブレーションを行う構成である。このようなアナログ的なキャリブレーションは、測定値から数値をオフセット演算するだけの（デジタルな）キャリブレーションに比べて、検査精度の面で著しく優れている。即ち、本実施形態のセンサパネル検査装置１による検査には、第１電極５１と第２電極５２との交差箇所における静電容量の測定が含まれ、この静電容量は大きくても１０ｐＦ程度である。一方で、上記の浮遊容量の影響は１００ｐＦ程度にも上る。従って、浮遊容量を含めた形で静電容量を測定し、その後に浮遊容量分をオフセット演算するデジタル的なキャリブレーション方法では、電流検出部４１の電流計のレンジを、１１０ｐＦ以上を測定できるように設定する必要がある。一方で、本実施形態のキャリブレーション方法によれば、電流の測定の段階で既に浮遊容量分がキャンセルされているので、大きくても２０ｐＦ程度を測定できるレンジであれば静電容量を問題なく測定できることになる。従って、電流計の高分解能な測定レンジを活用して、微小な静電容量を良好な精度で測定することができるのである。

以上によりキャリブレーションに必要な作業は完了し、次に、センサパネル５０の検査について説明する。図４は、センサパネル検査装置１がセンサパネル５０における位置（１，４）を検査する場合の形成回路を示す図である。図５は、形成回路を簡略的に表した図である。図６は、検査する位置の座標と、形成回路の抵抗値と、の関係を示す表である。図７は、形成回路の抵抗値と、電流の位相と、の関係を示すベクトル図である。

最初に、検査の考え方について、図４を参照して説明する。本実施形態のセンサパネル検査装置１は、第１電極５１と第２電極５２との交差部分における静電容量を測定するのに加えて、第１電極５１及び第２電極５２の抵抗値（あるいは、抵抗値に応じて変化する値）に基づいて、当該第１電極５１及び第２電極５２の形状の均一性を検査する構成になっている。これは、電極の導通／短絡だけでなく、電極の太り／細りについても適切に検査できるニーズが高まっていることに対応するものである。

以下、詳細に説明する。センサパネル５０に配置される第１電極５１及び第２電極５２は、Ｍ×Ｎ個の箇所で互いに交差している。前述のとおり、第１電極５１と第２電極５２との間には隙間が形成されているので、上記の交差部分にコンデンサが形成されているものと考えることができる。

また、第１電極５１及び第２電極５２は、上述のとおりＩＴＯ導電膜で形成されており、このＩＴＯは他の透明電極材料との関係では優れた低抵抗率を示すといわれるものの、相応の電気抵抗値を示す。従って、第１電極５１及び第２電極５２が形成するＭ×Ｎ個の交差部分に着目した場合、この交差部分と、当該交差部分にｘ方向又はｙ方向で隣り合う他の交差部分との間には、それぞれ１個の抵抗が存在すると考えることができる。なお、以下の説明では、それぞれの抵抗を「単位抵抗」と呼ぶことがある。

上述のとおり、第１電極５１及び第２電極５２は菱形を繰り返し連ねたようなパターン形状とされているが、この菱形の形状は第１電極５１及び第２電極５２を問わず一定である。また、第１電極５１が並べられる間隔と、第２電極５２が並べられる間隔は、互いに等しい。従って、第１電極５１及び第２電極５２の形状に異常（例えば、前述の電極の太り／細り）がなく、パターンが均一に形成されている限り、交差部分と交差部分との間にあるとみなされる抵抗の抵抗値は、その向きがｘ方向であるかｙ方向であるかにかかわらず、一定になる筈である。

また、第１電極５１と第１タブ配線部５６の接続部と、この接続部に最も近い上記交差部分と、の間にも抵抗が存在すると考えることができる。この接続部付近の第１電極５１の形状は、上記抵抗の抵抗値が、上述した単位抵抗の抵抗値と一致するように設定されている。これは第２電極５２についても同様である。

以上の説明をまとめると、第１電極５１及び第２電極５２には、図４に鎖線又は実線で示すように、抵抗値が一定である多数の抵抗（単位抵抗）が配列されているとみなすことができる。

ここで、上記のセンサ座標系における（１，４）を検査する場合を考える。この場合、検査部４７は、４個ずつ存在する前記第１電極５１から検査対象のｘ座標に対応する第１電極５１を選択し、また、４個ずつ存在する前記第２電極５２から検査対象のｙ座標に対応する第２電極５２を選択して、これらの電極が検査対象となるように検出切替部３２及びシグナル供給切替部３１を制御する（切替工程）。具体的には、検査部４７は、検出切替部３２において「１」のスイッチをＯＮし、シグナル供給切替部３１において「４」のスイッチをＯＮする。

これにより、シグナル部１１と電流検出部４１の電流計とが、図４に太線で示すＬ字状の回路によって接続される。この太線で描かれた回路は、第２電極５２とタブ配線部５７との接続部分から、上記の（１，４）で表される電極交差部分を経由して、第１電極５１とタブ配線部５６との接続部分に至っている。

なお、第２電極５２において第２タブ配線部５７と接続する側の端部は、シグナル部１１からの交流信号が供給される端部であることから、以下の説明で供給端と呼ぶことがある。また、第１電極５１において第１タブ配線部５６と接続する側の端部は、電流検出部４１の電流計が繋がれる側の端部であることから、以下の説明で計測端と呼ぶことがある。

図４に示すように、座標（１，４）に対応するＬ字状の回路には、直列接続される５個分の抵抗と、上記の電極交差部分に形成されるコンデンサと、が含まれている。

このように、座標（ｘ，ｙ）の検査は、当該座標においてＬ字状に折れ曲がる回路に対して交流信号を流すことにより行われる。以下、この回路を「形成回路」と呼ぶことがある。この形成回路は、検査する座標に対して１対１で対応している。本実施形態では、検査すべき座標はＭ×Ｎ通りあるので、形成回路もＭ×Ｎ通りあることになる。

図５には、センサパネル５０における前記形成回路がセンサパネル検査装置１に接続された状態がモデル的に示されている（ただし、この図では、キャリブレーションシグナル部４２は省略されている）。この回路を流れる交流電流ｉが、電流検出部４１の電流計によって測定される。

なお、検査したい位置の座標（ｘ，ｙ）に応じて形成回路は様々に変わるため、形成回路の抵抗値も異なってくる。このことを考慮して、検査部４７は、任意の座標（ｘ，ｙ）に対する形成回路の抵抗値を、予め計算して、上記のＲＡＭ等に記憶している。記憶内容の例が図６に示され、この表によれば、（１，４）の場合の形成回路の抵抗値は単位抵抗の５個分であり、（１，１）の場合の形成回路の抵抗値は単位抵抗の２個分であることがわかる。

検査部４７は、シグナル部１１に交流信号を発生させた状態で、電流検出部４１の電流計の出力を位相検波して計算することにより、上記の形成回路における静電容量と、形成回路の抵抗値（形成回路計測値）を取得する。

なお、このときにシグナル部１１が発生する交流信号は、図２で説明したキャリブレーション時のものと同一である。また、キャリブレーションシグナル部４２の交流電源は、シグナル供給切替部３１の状態に応じて記憶された上記のキャリブレーションパラメータに基づいて交流信号を発生するように、キャリブレーション部４６によって制御されている（本実施形態のキャリブレーション方法におけるキャリブレーションシグナル発生工程）。このため、電流計の出力に基づいて得られる静電容量の精度は良好である。

こうして取得された静電容量は所定の判定基準値と比較され、許容範囲を外れた場合は不良品と判定される。また、取得された抵抗値は所定の判定基準値と比較され、許容範囲を外れた場合は、電極５１，５２の形状に異常がある不良品と判定される（判定工程）。

静電容量及び形成回路の抵抗値の取得は、検査したい位置の座標を（１，１）、（１，２）、・・・、（Ｍ−１，Ｎ）、（Ｍ，Ｎ）というように切り替えながら、すべての座標について行われる。ただし、検査する座標の順番は上記に限定されるものではなく、適宜定めることができる。

なお、良品／不良品の判定方法は上記に限定されない。例えば、形成回路の抵抗値を位相検波により取得する代わりに、形成回路計測値として、電流計が検出した電流の出力位相を求めても良い。図７のベクトル図に示すとおり、形成回路の静電容量Ｃが一定であれば、検出される電流の位相とシグナル部１１の電圧位相とのズレθは、形成回路の抵抗値が増えるに伴って小さくなる。従って、この位相に基づいて、電極５１，５２の形状に異常があるか否かを判定しても良い。

また、検査したい位置の座標を切り替えながら計測を繰り返すことで得られた複数の形成回路の抵抗値（あるいは、抵抗値に応じて変化する値）の関係を、電極５１，５２の形状の異常の有無を判定する根拠にしても良い。

例えば、ｙ座標が一定でｘ座標を１ずつ増加させていくと、形成回路の抵抗値が単位抵抗１つ分ずつ増えていくことが、図６により明らかである。このことを利用して、電極５１，５２の形状の正確性については、例えば座標（１，１）、（２，１）、（３，１）、（４，１）というように、ｙ座標を固定してｘ座標を増加させたときに、それに伴って形成回路の抵抗値が単調増加しているか（又は電流の位相ズレが単調減少しているか）を調べることによっても判定することができる。

上記と同様に、ｘ座標が一定でｙ座標を１ずつ増加させていく場合も、形成回路の抵抗値は単位抵抗１つ分ずつ増えていく。従って、例えば、座標（３，１）、（３，２）、（３，３）、（３，４）というように、ｘ座標を固定してｙ座標を増加させたときに、それに伴って形成回路の抵抗値が単調増加しているか（又は電流の位相ズレが単調減少しているか）を調べることによっても、電極５１，５２の形状の正確性を判定することができる。

更には、図６から明らかであるように、座標（ｘ，ｙ）と、（ｘ＋１，ｙ−１）とでは、形成回路の抵抗値が等しいという関係がある。このことを利用して、例えば座標（２，４）、（３，３）、（４，２）について、形成回路の抵抗値（又は電流の位相ズレ）が互いに等しいかを調べることによっても、電極５１，５２の形状の正確性を判定することができる。

以上に説明したように、本実施形態のセンサパネル検査装置１はセンサパネル５０を検査対象とするものであり、このセンサパネル５０においては、並べられた複数の第１電極５１と、並べられた複数の第２電極５２と、がパネル厚み方向で見たときに互いに交差するように配置されている。そして、センサパネル検査装置１は、第１ケーブル３６と、第２ケーブル３７と、シグナル部１１と、シグナル供給切替部３１と、電流検出部４１と、検出切替部３２と、キャリブレーションシグナル部４２と、を備える。第１ケーブル３６は複数備えられ、検査時に第１電極５１のそれぞれに電気的に接続される。第２ケーブル３７は複数備えられ、検査時に第２電極５２のそれぞれに電気的に接続される。シグナル部１１は、交流信号を供給する交流電源である。シグナル供給切替部３１は、複数の第２電極５２のそれぞれに対して、シグナル部１１の交流信号を第２ケーブル３７経由で供給するか、遮断するか、を切替可能である。電流検出部４１は、第１電極５１に流れる電流を検出可能な複数の電流計を有する。検出切替部３２は、第１電極５１のそれぞれを、電流計と第１ケーブル３６経由で接続するか、遮断するか、を切替可能である。キャリブレーションシグナル部４２は、それぞれの前記電流計に対して交流信号を供給可能な複数の交流電源を有する。キャリブレーションシグナル部４２のそれぞれの前記交流電源は、その電圧及び位相を変更可能に構成されている。

これにより、第１ケーブル３６の浮遊容量等による誤差をキャンセルするキャリブレーションを実現することができる。また、浮遊容量等による電流をキャンセルするようにキャリブレーションシグナル部４２の交流電源を制御するので、電流検出部４１の電流計は、第１電極５１と第２電極５２の交差部分の静電容量に基づく電流そのものを検出できる。従って、電流計のレンジを適切に定めることで、センサパネル５０の微小な静電容量を良好な精度で測定することができる。

また、本実施形態のセンサパネル検査装置１は、少なくともシグナル部１１、電流検出部４１、及びキャリブレーションシグナル部４２を制御するキャリブレーション部４６を備える。キャリブレーション部４６は、センサパネル５０が取り外されたキャリブレーション時において、第２ケーブル３７の少なくとも何れかにシグナル部１１の交流信号を供給させながら、第１ケーブル３６に電気的に接続される電流検出部４１の電流計の出力がゼロになるように、キャリブレーションシグナル部４２において前記電流計に対応する交流電源の電圧及び位相を調整する。また、キャリブレーション部４６は、電流計の出力がゼロになったときのキャリブレーションシグナル部４２の交流電源に与えた電圧及び位相のパラメータであるキャリブレーションパラメータを取得して記憶する。そして、キャリブレーション部４６は、センサパネル５０の検査時においては、記憶されたキャリブレーションパラメータに基づいて、キャリブレーションシグナル部４２の交流電源に交流信号を発生させる。

これにより、浮遊容量による電流をキャンセルするための、キャリブレーションシグナル部の交流電源の電圧及び位相が、キャリブレーション部４６によって自動的に決定される。従って、キャリブレーションの手間を軽減することができる。

また、本実施形態のセンサパネル検査装置１のキャリブレーション部４６は、キャリブレーション時において、シグナル部１１の信号の供給先となる第２ケーブル３７を変更させるようにシグナル供給切替部３１の状態を切り替えながら、当該シグナル供給切替部３１の状態と、取得されたキャリブレーションパラメータと、を対応付けて記憶する。そして、キャリブレーション部４６は、センサパネル５０の検査時は、シグナル供給切替部３１の状態に対応して記憶されたキャリブレーションパラメータに基づいて、キャリブレーションシグナル部４２の交流電源に交流信号を発生させる。

これにより、どの第２ケーブル３７を信号供給先にするかに応じて浮遊容量等が変化しても、それに対応したキャリブレーションを行うことができるので、測定精度を良好に維持することができる。

また、本実施形態のセンサパネル検査装置１のキャリブレーション部４６は、キャリブレーション時において、複数の第１ケーブル３６と、それに対応する電流検出部４１の電流計と、が同時に接続されるように検出切替部３２を制御することができる。

これにより、複数の電流計に関するキャリブレーション作業を同時並行的に行うことができるので、キャリブレーションに必要な時間を効果的に短縮することができる。

また、本実施形態のセンサパネル検査装置１は、少なくともシグナル部１１、電流検出部４１、シグナル供給切替部３１、及び検出切替部３２を制御する検査部４７を備える。検査部４７は、４個の第２電極５２のうち選択された１個にシグナル部１１の交流信号を供給するようにシグナル供給切替部３１を制御するとともに、４個の第１電極５１のうち選択された１個と、対応する電流検出部４１の電流計と、を接続するように検出切替部３２を制御する。検査部４７は、選択された第２電極５２においてシグナル部１１の交流信号が供給される端部である供給端から、選択された第２電極５２と選択された第１電極５１との交差部分を経由して、選択された第１電極５１において電流計が接続される側の端部である計測端に至る回路を形成回路としたときに、この形成回路の抵抗である回路抵抗、又は、形成回路に流れる電流の位相のズレである電流位相ズレを、電流計で電流を検出することにより形成回路計測値として計測する。そして検査部４７は、得られた形成回路計測値に基づいて、第１電極５１及び第２電極５２の異常を検査する。

これにより、第１電極５１及び第２電極５２のパターン形状が均一に形成されているかどうかを、形成回路計測値（抵抗値、又は抵抗値に応じて変化する値）を得ることで判定することができる。また、接触子等を用いることがない非接触の検査が実現されるので、タクトタイムを大幅に短縮できる。

また、本実施形態のセンサパネル検査装置１において、検査部４７は、形成回路計測値を計測するとともに、選択された第１電極５１及び第２電極５２の交差部分における静電容量の測定を行う。

これにより、検査時間を効率的に活用して検査を行うことができるので、タクトタイムを更に短縮することができる。

また、本実施形態のセンサパネル検査装置１において、検査部４７は、選択される第１電極５１を共通とし、選択される第２電極５２を、第１電極５１の長手方向一側から他側に順に変化させるのに伴って（言い換えれば、検査位置のｘ座標を固定し、ｙ座標を一側から他側へ順に変化させるのに伴って）、形成回路の回路抵抗又は電流位相ズレが単調に増加又は減少するか否かを判定することにより、第１電極５１及び第２電極５２の異常を検査することができる。

また、前記検査部４７は、選択される第２電極５２を共通とし、選択される第１電極５１を、第２電極５２の長手方向一側から他側に順に変化させるのに伴って（言い換えれば、検査位置のｙ座標を固定し、ｘ座標を一側から他側へ順に変化させるのに伴って）、形成回路の回路抵抗又は電流位相ズレが単調に増加又は減少するか否かを判定することにより、第１電極５１及び第２電極５２の異常を検査することができる。

これにより、第１電極５１及び第２電極５２のパターン形状が均一であるか否かを合理的に判定することができる。

また、検査部４７は、第１電極５１と第２電極５２とをそれぞれ選択して（言い換えれば、検査位置（ｘ，ｙ）を選択して）構成される形成回路である第１形成回路と、この第１形成回路で選択された第１電極５１に対して、第２電極５２の前記供給端から遠い方向に１個ズラすとともに、第２電極５２の選択を、前記第１形成回路で選択された第２電極５２に対して、第１電極５１の前記計測端から近い方向に１個ズラすことで（言い換えれば、検査位置（ｘ＋１，ｙ−１）を選択して）構成される前記形成回路である第２形成回路と、の間で前記回路抵抗又は電流位相ズレが等しいか否かを判定することにより、第１電極５１及び第２電極５２の異常を検査することもできる。

これによっても、第１電極５１及び第２電極５２のパターン形状が均一であるか否かを合理的に判定することができる。

以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。

上記実施形態のキャリブレーション方法と検査方法とは、相互に組み合わせて行うことに限定されない。即ち、上記実施形態のキャリブレーション方法は、他の検査方法、例えば、形成回路の抵抗値を測定せずに静電容量だけを測定する検査方法と組み合わせることもできる。また、上記実施形態の検査方法は、他のキャリブレーション方法、例えば、測定値をオフセット演算するデジタル的なキャリブレーション方法と組み合わせることもできる。

検査対象物としては、タッチパネル装置のセンサパネル５０に限定されない。即ち、本発明は、並べられた複数の第１導電体と、並べられた複数の第２導電体と、がパネル厚み方向で見たときに互いに交差するように配置されたパネル状の検査対象物を検査する場合に広く適用することができる。

１ センサパネル検査装置（検査装置）
３１ シグナル供給切替部
３２ 検出切替部
３６ 第１ケーブル（第１配線体）
３７ 第２ケーブル（第２配線体）
４１ 電流検出部
４２ キャリブレーションシグナル部
４５ コントローラユニット（制御部）
４６ キャリブレーション部
４７ 検査部
５０ センサパネル（検査対象物）
５１ 第１電極（第１導電体）
５２ 第２電極（第２導電体）
５６ 第１タブ配線部
５７ 第２タブ配線部

Claims (11)

1. パネル状の検査対象物であって、並べられた複数の第１導電体と、並べられた複数の第２導電体と、がパネル厚み方向で見たときに互いに交差するように配置された検査対象物の検査装置であって、
   検査時に前記第１導電体のそれぞれに電気的に接続される複数の第１配線体と、
   検査時に前記第２導電体のそれぞれに電気的に接続される複数の第２配線体と、
   交流信号を供給する交流電源であるシグナル部と、
   複数の前記第２導電体のそれぞれに対して、前記シグナル部の交流信号を前記第２配線体経由で供給するか、遮断するか、を切替可能なシグナル供給切替部と、
   前記第１導電体に流れる電流を検出可能な複数の電流計を有する電流検出部と、
   前記第１導電体のそれぞれを、前記電流計と前記第１配線体経由で接続するか、遮断するか、を切替可能な検出切替部と、
   それぞれの前記電流計に対して交流信号を供給可能な複数の交流電源を有するキャリブレーションシグナル部と、
   を備え、
   前記キャリブレーションシグナル部のそれぞれの前記交流電源は、その電圧及び位相を変更可能に構成されていることを特徴とする検査装置。
2. 請求項１に記載の検査装置であって、
   少なくとも、前記シグナル部、前記電流検出部及び前記キャリブレーションシグナル部を制御するキャリブレーション部を備え、
   前記キャリブレーション部は、
   前記検査対象物が取り外されたキャリブレーション時において、前記第２配線体の少なくとも何れかに前記シグナル部の交流信号を供給させながら、前記第１配線体に電気的に接続される前記電流検出部の電流計の出力がゼロになるように、前記キャリブレーションシグナル部において前記電流計に対応する交流電源の電圧及び位相を調整し、
   前記電流計の出力がゼロになったときの前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に与えた電圧及び位相のパラメータであるキャリブレーションパラメータを取得して記憶し、
   前記検査対象物の検査時においては、記憶された前記キャリブレーションパラメータに基づいて、前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に交流信号を発生させることを特徴とする検査装置。
3. 請求項２に記載の検査装置であって、
   前記キャリブレーション部は、前記キャリブレーション時において、前記シグナル部の信号の供給先となる前記第２配線体を変更させるように前記シグナル供給切替部の状態を切り替えながら、当該シグナル供給切替部の状態と、前記キャリブレーションパラメータと、を対応付けて記憶し、
   前記検査対象物の検査時においては、前記シグナル供給切替部の状態に対応して記憶された前記キャリブレーションパラメータに基づいて、前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に交流信号を発生させることを特徴とする検査装置。
4. 請求項２又は３に記載の検査装置であって、
   前記キャリブレーション部は、前記キャリブレーション時において、複数の前記第１配線体と、それに対応する前記電流検出部の電流計と、が同時に接続されるように前記検出切替部を制御することを特徴とする検査装置。
5. 請求項１から４までの何れか一項に記載の検査装置であって、
   少なくとも、前記シグナル部、前記電流検出部、前記シグナル供給切替部及び前記検出切替部を制御する検査部を備え、
   前記検査対象物の検査時において、前記検査部は、
   複数の前記第２導電体のうち選択された１個に前記シグナル部の交流信号を供給するように前記シグナル供給切替部を制御し、
   複数の前記第１導電体のうち選択された１個と、対応する前記電流検出部の電流計と、を接続するように前記検出切替部を制御し、
   選択された第２導電体において前記シグナル部の交流信号が供給される端部である供給端から、選択された第２導電体と選択された第１導電体との交差部分を経由して、選択された第１導電体において前記電流計が接続される側の端部である計測端に至る回路を形成回路としたときに、前記形成回路の抵抗である回路抵抗と、前記形成回路に流れる電流の位相のズレである電流位相ズレと、のうち何れかを含む形成回路計測値を、前記電流計で電流を検出することにより計測し、
   得られた前記形成回路計測値に基づいて、前記第１導電体及び前記第２導電体の異常を検査することを特徴とする検査装置。
6. 請求項５に記載の検査装置であって、
   前記検査部は、前記形成回路計測値を計測するとともに、選択された前記第１導電体及び前記第２導電体の交差部分における静電容量の測定を行うことを特徴とする検査装置。
7. 請求項５又は６に記載の検査装置であって、
   前記検査部は、選択される第１導電体を共通とし、選択される第２導電体を、前記第１導電体の長手方向一側から他側に順に変化させるのに伴って、前記形成回路の回路抵抗又は電流位相ズレが単調に増加又は減少するか否かを判定することにより、前記第１導電体及び前記第２導電体の異常を検査することを特徴とする検査装置。
8. 請求項５から７までの何れか一項に記載の検査装置であって、
   前記検査部は、選択される第２導電体を共通とし、選択される第１導電体を、前記第２導電体の長手方向一側から他側に順に変化させるのに伴って、前記形成回路の回路抵抗又は電流位相ズレが単調に増加又は減少するか否かを判定することにより、前記第１導電体及び前記第２導電体の異常を検査することを特徴とする検査装置。
9. 請求項５から８までの何れか一項に記載の検査装置であって、
   前記検査部は、
   前記第１導電体と前記第２導電体とをそれぞれ選択して構成される前記形成回路である第１形成回路と、
   前記第１導電体の選択を、前記第１形成回路で選択された第１導電体に対して、前記第２導電体の前記供給端から遠い方向に１個ズラすとともに、前記第２導電体の選択を、前記第１形成回路で選択された第２導電体に対して、前記第１導電体の前記計測端から近い方向に１個ズラすことで構成される前記形成回路である第２形成回路と、
   の間で前記回路抵抗又は電流位相ズレが等しいか否かを判定することにより、前記第１導電体及び前記第２導電体の異常を検査することを特徴とする検査装置。
10. パネル状の検査対象物であって、並べられた複数の第１導電体と、並べられた複数の第２導電体と、がパネル厚み方向で見たときに互いに交差するように配置された検査対象物の検査装置であって、
    検査時に前記第１導電体のそれぞれに電気的に接続される複数の第１配線体と、
    検査時に前記第２導電体のそれぞれに電気的に接続される複数の第２配線体と、
    交流信号を供給する交流電源であるシグナル部と、
    複数の前記第２導電体のそれぞれに対して、前記シグナル部の交流信号を前記第２配線体経由で供給するか、遮断するか、を切替可能なシグナル供給切替部と、
    前記第１導電体に流れる電流を検出可能な複数の電流計を有する電流検出部と、
    前記第１導電体のそれぞれを、前記電流計と前記第１配線体経由で接続するか、遮断するか、を切替可能な検出切替部と、
    それぞれの前記電流計に対して交流信号を供給可能な複数の交流電源を有するキャリブレーションシグナル部と、
    を備え、
    前記キャリブレーションシグナル部のそれぞれの前記交流電源は、その電圧及び位相を変更可能に構成されている検査装置のキャリブレーション方法であって、
    前記検査対象物が取り外された状態で、前記第２配線体の少なくとも何れかに前記シグナル部の交流信号を供給させながら、前記第１配線体に電気的に接続される前記電流検出部の電流計の出力がゼロになるように、前記キャリブレーションシグナル部において前記電流計に対応する交流電源の電圧及び位相を調整するシグナル条件調整工程と、
    前記電流計の出力がゼロになったときの前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に与えた電圧及び位相のパラメータであるキャリブレーションパラメータを取得して記憶するシグナル条件記憶工程と、
    前記検査対象物の検査時において、記憶された前記キャリブレーションパラメータに基づいて、前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に交流信号を発生させるキャリブレーションシグナル発生工程と、
    を含むことを特徴とするキャリブレーション方法。
11. パネル状の検査対象物であって、並べられた複数の第１導電体と、並べられた複数の第２導電体と、がパネル厚み方向で見たときに互いに交差するように配置された検査対象物の検査装置であって、
    検査時に前記第１導電体のそれぞれに電気的に接続される複数の第１配線体と、
    検査時に前記第２導電体のそれぞれに電気的に接続される複数の第２配線体と、
    交流信号を供給する交流電源であるシグナル部と、
    複数の前記第２導電体のそれぞれに対して、前記シグナル部の交流信号を前記第２配線体経由で供給するか、遮断するか、を切替可能なシグナル供給切替部と、
    前記第１導電体に流れる電流を検出可能な複数の電流計を有する電流検出部と、
    前記第１導電体のそれぞれを、前記電流計と前記第１配線体経由で接続するか、遮断するか、を切替可能な検出切替部と、
    それぞれの前記電流計に対して交流信号を供給可能な複数の交流電源を有するキャリブレーションシグナル部と、
    を備え、
    前記キャリブレーションシグナル部のそれぞれの前記交流電源は、その電圧及び位相を変更可能に構成されている検査装置における検査方法であって、
    複数の前記第２導電体のうち選択された１個に前記シグナル部の交流信号を供給するように前記シグナル供給切替部を制御するとともに、複数の前記第１導電体のうち選択された１個と、対応する前記電流検出部の電流計と、を接続するように前記検出切替部を制御する切替工程と、
    選択された第２導電体において前記シグナル部の交流信号が供給される端部である供給端から、選択された第２導電体と選択された第１導電体との交差部分を経由して、選択された第１導電体において前記電流計が接続される側の端部である計測端に至る回路を形成回路としたときに、前記形成回路の抵抗である回路抵抗と、前記形成回路に流れる電流の位相のズレである電流位相ズレと、のうち何れかを含む形成回路計測値を、前記電流計で電流を検出することにより計測する形成回路計測値取得工程と、
    得られた前記形成回路計測値に基づいて、前記第１導電体及び前記第２導電体の異常の有無を判定する判定工程と、
    を含むことを特徴とする検査方法。

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