JP2014176076A - 弾性表面波・擬似弾性表面波・弾性境界波を用いた弾性表面波基板とその基板を用いた弾性表面波機能素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電気機械結合係数(k2)の大きな回転Yカット−X伝搬LiTaO3圧電基板1上にすだれ状電極2、誘電体膜3を付着させた構成において、すだれ状電極と誘電体膜の質量付加効果を考慮した表面短絡の条件で、圧電基板1の表面を伝搬する遅い横波より遅い速度で伝搬する疑似弾性表面波を用いること、及び圧電基板と逆の周波数温度特性を持つ誘電体膜3を用いることで、比較的広帯域で温度特性に優れ伝搬減衰の小さな弾性表面波基板が得られる。また、当該基板を用いることで、より温度特性の優れた広帯域の低挿入損失のフィルタ、広帯域電圧制御発振器、遅延線などが得られる。
【選択図】図2
Description
本特許の特性を以下に示す。
図3は、回転20°カット、X伝搬のLiTaO3基板上に膜厚H1/λのAu(H1;Auの膜厚、λ:弾性表面波の波長)を付着させた場合の伝搬減衰をします。図の4は、すだれ状電極の共振状態に対応する界面ショートの場合の伝搬減衰、図の5は、すだれ状電極の***振状態に対応する界面オープンの場合の伝搬減衰を示す。擬似弾性表面波の伝搬速度が遅い横波の速度である3340m/sより遅くなった、短絡の場合のH1/λ=0.0330以上では、伝搬減衰が零となり、良好な共振特性が得られる。また、***振では、電極に発生する電荷が限りなく零である必要があり、H1/λ=0.0330以上、H1/λ=0.04125の範囲では、界面オープンでは、伝搬減衰が存在するが、***振状態での特性の劣化は少ない。しかし、H1/λ=0.04125以上では、擬似弾性表面波の伝搬速度が遅い横波の速度である3340m/s以下では、伝搬減が零となり、シャープな***振特性が得られる。また、このカット角では、大きなk2が得られる特徴がある。
図4は、回転20°カット、X伝搬のLiTaO3基板上に膜厚H1/λ=0.05のAuを付着させた後、膜厚H2/λのSiO2膜(H2;SiO2の膜厚、λ:弾性表面波の波長)を付着させた場合のTCFを示す。図の6は、すだれ状電極の共振状態に対応する界面ショートの場合のTCF、図の7は、すだれ状電極の***振状態に対応する界面オープンの場合のTCFを示す。図から、ショートの場合は、H2/λ=0.16付近で零TCFが得られることが判る。一方、界面オープンのTCFも−15ppm/°Cと良好な値が得られている。また、Auの膜厚、H1/λ=0.05の場合は、界面ショート、オープンいずれでも、伝搬減衰は零である。
図5は、回転20°カット、X伝搬のLiTaO3基板上に膜厚H1/λ=0.05のAuを付着させた後、膜厚H2/λのSiO2膜(H2;SiO2の膜厚、λ:弾性表面波の波長)を付着させた場合の擬似弾性表面波の速度を示す。図の8は、すだれ状電極の共振状態に対応する界面ショートの場合の速度、図の9は、すだれ状電極の***振状態に対応する界面オープンの場合のTCFを示す。図から、ショートの場合、及びオープンの場合の速度は、H2/λ=0.6以上では、膜厚に対する速度の変化が非常に小さく、弾性波のエネルギーの約90%以上が、基板中に集中し、薄膜表面のエネルギーは、約10%以下となり、擬似弾性境界波が伝搬している。従って、H2/λ=0.6以上では、この基板は、擬似弾性境界波基板である。
Claims (7)
- 電気機械結合係数の大きな圧電性或いは電歪性基板上にすだれ状電極を付着させた弾性表面波基板において、圧電性或いは電歪性基板として、回転Y板のカット角が−5度から60度の範囲のLiTaO3基板であり、かつ弾性表面波の伝搬方向がX軸或いはX軸からプラス・マイナス5度の範囲であり、その基板上に付着したすだれ状電極の質量付加効果を考慮した表面短絡の条件では遅い横波速度より遅い速度で伝搬する弾性表面波であり、かつ表面開放の条件では、遅い横波より早い速度で伝搬する擬似弾性表面波を用いた基板、或いは、表面開放の条件では、遅い横波より遅い速度で伝搬する弾性表面波を用いた基板構造の電極/回転Y−X伝搬のLiTaO3基板、及びこの基板を用いた電子装置。
- 電気機械結合係数の大きな圧電性或いは電歪性基板上にすだれ状電極を付着させた弾性表面波基板において、その上に周波数温度特性が圧電基板と逆の周波数温度特性をもつ誘電体膜を付着させた基板であって、圧電性或いは電歪性基板として、回転Y板のカット角が−5度から60度の範囲のLiTaO3基板であり、かつ弾性表面波の伝搬方向がX軸或いはX軸からプラス・マイナス5度の範囲であり、その上に付着したすだれ状電極と誘電体膜の質量付加効果を考慮した表面短絡の条件では遅い横波速度より遅い速度で伝搬する弾性表面波であり、かつ表面開放の条件では、遅い横波より早い速度で伝搬する擬似弾性表面波を用いた基板、或いは、表面開放の条件では、遅い横波より遅い速度で伝搬する弾性表面波基板構造の誘電体膜/電極/回転Y−X伝搬のLiTaO3基板或いは誘電体/誘電膜/電極/回転Y−X伝搬のLiTaO3基板、及びこれらの基板を用いた電子装置。
- 電気機械結合係数の大きな圧電性或いは電歪性基板上にすだれ状電極を付着させた弾性表面波基板において、その上に周波数温度特性が圧電基板と逆の周波数温度特性をもつ誘電体膜を付着させた基板であって、圧電性或いは電歪性基板として、回転Y板のカット角が−5度から60度の範囲のLiTaO3基板であり、かつ弾性表面波の伝搬方向がX軸或いはX軸からプラス・マイナス5度の範囲である、その基板上に付着したすだれ状電極と誘電体膜の質量付加効果を考慮した表面短絡の条件では遅い横波速度より遅い速度で伝搬する、そのエネルギーの90%以上を基板中に集中し、誘電体薄膜表面のエネルギーは、10%以下の擬似弾性境界波であり、かつ表面開放の条件では、遅い横波より早い速度で伝搬する擬似弾性境界波基板、或いは、表面開放の条件では、遅い横波より遅い速度で伝搬する擬似弾性境界波基板構造の誘電体膜/電極/回転Y−X伝搬のLiTaO3基板、及び誘電体膜上に更に誘電体膜を付着させた誘電体/誘電体膜/電極/回転Y−X伝搬のLiTaO3基板、この基板を用いた電子装置。
- 請求項1,2、3において、誘電体膜として、溶解石英、ガラス、TeO2、AlN、SiCなどであり、すだれ状電極として、Au,Al、Cu,Ag,Si,Cr,Ge,Niなど、またこれらの合金などであり、すだれ状電極の膜厚、H1/λ(H1:薄膜の膜厚、λ:波長)が、H1/λ=0.01からH1/λ=0.2の範囲にあり、誘電体膜の膜厚として、H2/λ(H2:薄膜の膜厚、λ:波長)が、H2/λ=0.01からH2/λ=2.0の範囲にある、電極/回転Y−X伝搬のLiTaO3基板、及び誘電体薄膜/電極/回転Y−X伝搬のLiTaO3基板及びこの基板、或いは誘電体/誘電体/電極/回転Y−X伝搬のLiTaO3基板、及びこの基板を用いた電子装置。
- 請求項1、2、3、4において、すだれ状電極材料を基板表面に埋め込んだ構造の弾性表面波基板、及びこの基板を用いた電子装置。
- 誘電体薄膜の構造として、すだれ状電極上の表面に誘電体膜を付着させた構造、或いはすだれ状電極間に誘電体膜を付着させた構造の弾性波基板とこの基板を用いた電子装置。
- LiTaO3単結晶、水晶、ランガサイト単結晶上にすだれ状電極を付着させた弾性表面波基板において、その基板上に付着したすだれ状電極膜の質量付加効果を考慮した表面短絡の条件では遅い横波速度より遅い速度で伝搬する基板であり、かつ表面開放の条件では、遅い横波より早い速度で伝搬する擬似弾性表面波基板、或いは、表面開放の条件では、遅い横波より遅い速度で伝搬する擬似弾性表面波基板を用いた電極/単結晶、或いはその上に誘電体薄膜を付着した、誘電体/電極/単結晶基板、或いは弾性擬似境界波を用いた基板、及びこの基板を用いた電子装置。
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CN106544635A (zh) * | 2016-11-02 | 2017-03-29 | 清华大学 | 一种用于温度补偿声表面波器件的材料及其制备方法 |
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2013
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