JP2014175573A - 荷電粒子ビーム描画装置、アパーチャユニット及び荷電粒子ビーム描画方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】荷電粒子ビーム描画装置は、荷電粒子ビームを出射するビーム出射部と、そのビーム出射部により出射された荷電粒子ビームが通過する開口部26aを有するアパーチャと、そのアパーチャの表面に設けられ、熱伝導性を有する熱伝導部材として機能するアパーチャビーム管33cと、そのアパーチャビーム管33cの表面に設けられ、アパーチャにアパーチャビーム管33cを介して熱を供給するヒータ33dとを備える。
【選択図】図4
Description
2 描画部
2a 描画室
2b 光学鏡筒
3 制御部
3a 描画データ記憶部
3b ショットデータ生成部
3c 描画制御部
11 ステージ
21 レーザ出射部
22 照明レンズ
23 第1のアパーチャ
23a 開口部
24 投影レンズ
25 成形偏向器
26 第2のアパーチャ
26a 開口部
27 対物レンズ
28 副偏向器
29 主偏向器
31 アパーチャユニット
32 ホルダ
32a ホルダベース
32b ホルダリング
33 ユニット本体
33a アパーチャベース
33b アパーチャ補強板
33c アパーチャビーム管
33d ヒータ
33e ヒータ抑えリング33e
33f 断熱球
33g ヒータ抑え部材
33h 固定部材
34 ユニット抑え部材
35 固定部材
41 開口部
42 溝
43 断熱球
51 開口部
52 穴部
53 開口部
54 開口部
55 電熱線
56 穴部
57 穴部
B 電子ビーム
O1 中央
W 試料
Claims (5)
- 荷電粒子ビームを出射するビーム出射部と、
前記ビーム出射部により出射された荷電粒子ビームが通過する開口部を有するアパーチャと、
前記アパーチャの表面に設けられ、熱伝導性を有する熱伝導部材と、
前記熱伝導部材の表面に設けられ、前記アパーチャに前記熱伝導部材を介して熱を供給するヒータと、
を備えることを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。 - 前記熱伝導部材が設けられた前記アパーチャの表面に対する反対面に設けられ、前記熱伝導部材と共に前記アパーチャを挟み込むアパーチャ補強板をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
- 前記ヒータは、発熱する電熱線を内蔵しており、
前記電熱線は、前記開口部の中央を通る直線を中心として左右対象の形状に配線されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の荷電粒子ビーム描画装置。 - 荷電粒子ビームが通過する開口部を有するアパーチャと、
前記アパーチャの表面に設けられ、熱伝導性を有する熱伝導部材と、
前記熱伝導部材の表面に設けられ、前記アパーチャに前記熱伝導部材を介して熱を供給するヒータと、
を備えることを特徴とするアパーチャユニット。 - 荷電粒子ビームが通過する開口部を有するアパーチャに対して、熱伝導性を有する熱伝導部材を介して熱を供給する工程と、
熱が供給されている前記アパーチャの開口部に向けて荷電粒子ビームを照射する工程と、
を有することを特徴とする荷電粒子ビーム描画方法。
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