JP2014160016A - 検査装置 - Google Patents
検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014160016A JP2014160016A JP2013030766A JP2013030766A JP2014160016A JP 2014160016 A JP2014160016 A JP 2014160016A JP 2013030766 A JP2013030766 A JP 2013030766A JP 2013030766 A JP2013030766 A JP 2013030766A JP 2014160016 A JP2014160016 A JP 2014160016A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- inspected
- inspection object
- conveyance path
- conveyance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 133
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 52
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 49
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 48
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 17
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 39
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 9
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
Abstract
【解決手段】この検査装置1は、被搬送物Wを搬送する搬送機構2と、検査位置Pにおいて、搬送機構2によって搬送される被検査物Wの被検査面Waを照明する第1の照明機構5と、被検査面Waを撮像する撮像カメラ4とを備える。第1の照明機構5は、被検査面Waを照明する複数の発光器12,20と、この発光器12,20を支持する支持体6,13とを備え、支持体13は、少なくとも、搬送路に最も近い発光器20を、他の一群の発光器12よりも検査位置Pから離隔した位置で支持する。離隔した発光器20と他の一群の発光器12との間に、検査位置Pとは反対側の背面から被検査面Waを観察できる空間18が形成され、撮像カメラ4は、この空間18を通して被検査面Waを撮像する。
【選択図】図2
Description
前記搬送方向に沿った搬送路を有し、該搬送路上の前記被検査物を前記搬送方向に搬送する搬送機構と、前記搬送路を境として前記被検査物と同じ側に配設され、前記搬送路上の予め設定された検査位置において、前記搬送機構によって搬送される前記被検査物の前記被検査面を照明する第1の照明機構と、同じく前記被検査物と同じ側に配設され、前記検査位置にある前記被検査物の前記被検査面を撮像する撮像カメラとを少なくとも備えた検査装置において、
前記第1の照明機構は、前記被検査物の被検査面を照明する複数の発光器と、該複数の発光器を支持する支持体とを備え、
前記支持体は、少なくとも、前記搬送路に最も近い発光器を、他の一群の発光器よりも前記検査位置から離隔した位置で支持するように構成されるとともに、前記離隔した発光器と他の一群の発光器との間に、前記検査位置とは反対側の背面から前記被検査物の被検査面を観察できる空間を備え、
前記撮像カメラは、前記支持体の前記背面側に配設され、前記支持体の空間を通して前記被検査物の被検査面を撮像するように構成され検査装置に係る。
前記搬送機構2は、透明又は半透明の硝子板から構成される円板状をした回転テーブル3と、この回転テーブル3を矢示A方向に水平回転させる駆動モータ(図示せず)とを備えており、前端面Waが搬送方向に向くように回転テーブル3上に供給された被検査物Wを前記回転テーブル3の回転によって前記搬送方向に搬送する。尚、当然のことながら、回転テーブル3によって搬送される被検査物Wの搬送路は円弧状の経路となる。
前記撮像カメラ4は、被検査物Wの前端面Waの2次元画像を撮像するカメラであり、前記検査位置Pにおいて、その撮像光軸が、前記搬送経路の接線を含む垂直面内に位置し、且つ回転テーブル3の上面、即ち搬送路となす角度が10°〜35°の範囲の角度となるように配設されている。
図2〜図4に示すように、前記第1の照明機構5は、第1の支持体6と、この第1の支持体6の前記搬送方向下流側の端面9に固設された第2の支持体13と、前記第1の支持体6に支持される複数のLED12と、前記第2の支持体13に支持される同じく複数のLED20とから構成され、前記検査位置Pより搬送方向下流側、且つ前記回転テーブル3の上方に配設される。
前記第2の照明機構25は、支持体26と、この支持体26に支持される複数のLED30、31とから構成され、前記回転テーブル3を挟み、前記第1の照明機構6の直下に配設される。
2 搬送機構
3 回転テーブル
4 撮像カメラ
5 第1の照明機構
6 第1の支持体
9 LED
12 第2の支持体
30 LED
25 第2の照明機構
26 支持体
30 LED
31 LED
Claims (4)
- 設定された搬送方向に被検査物を搬送し、該被検査物の少なくとも前記搬送方向前端面又は後端面を被検査面として検査する検査装置であって、
前記搬送方向に沿った搬送路を有し、該搬送路上の前記被検査物を前記搬送方向に搬送する搬送機構と、前記搬送路を境として前記被検査物と同じ側に配設され、前記搬送路上の予め設定された検査位置において、前記搬送機構によって搬送される前記被検査物の前記被検査面を照明する第1の照明機構と、同じく前記被検査物と同じ側に配設され、前記検査位置にある前記被検査物の前記被検査面を撮像する撮像カメラとを少なくとも備えた検査装置において、
前記第1の照明機構は、前記被検査物の被検査面を照明する複数の発光器と、該複数の発光器を支持する支持体とを備え、
前記支持体は、少なくとも、前記搬送路に最も近い発光器を、他の一群の発光器よりも前記検査位置から離隔した位置で支持するように構成されるとともに、前記離隔した発光器と他の一群の発光器との間に、前記検査位置とは反対側の背面から前記被検査物の被検査面を観察できる空間を備え、
前記撮像カメラは、前記支持体の前記背面側に配設され、前記支持体の空間を通して前記被検査物の被検査面を撮像するように構成されていることを特徴とする検査装置。 - 前記撮像カメラは、その撮像光軸が、前記搬送路と直交する面内にあり、且つ前記搬送路と10°〜35°の範囲の角度で交差するように配設されるとともに、
前記第1の照明機構の前記離隔した発光器は、その照明光軸が、前記搬送路と3°〜15°の範囲の角度で交差するように配設されていることを特徴とする請求項1記載の検査装置。 - 前記第1の照明機構は、前記離隔した発光器と、前記他の一群の発光器とを別々に調光可能に構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の検査装置。
- 前記搬送路を境として前記被検査物とは反対側に配設され、前記検査位置にある前記被検査物の被検査面を照明する第2の照明機構を更に備えていることを特徴とする請求項1乃至3記載のいずれかの検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013030766A JP6067407B2 (ja) | 2013-02-20 | 2013-02-20 | 検査装置 |
KR1020157023911A KR102148965B1 (ko) | 2013-02-20 | 2013-12-25 | 검사 장치 |
PCT/JP2013/084577 WO2014129082A1 (ja) | 2013-02-20 | 2013-12-25 | 検査装置 |
CN201380073441.8A CN105008852B (zh) | 2013-02-20 | 2013-12-25 | 检查装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013030766A JP6067407B2 (ja) | 2013-02-20 | 2013-02-20 | 検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014160016A true JP2014160016A (ja) | 2014-09-04 |
JP6067407B2 JP6067407B2 (ja) | 2017-01-25 |
Family
ID=51390893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013030766A Active JP6067407B2 (ja) | 2013-02-20 | 2013-02-20 | 検査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6067407B2 (ja) |
KR (1) | KR102148965B1 (ja) |
CN (1) | CN105008852B (ja) |
WO (1) | WO2014129082A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200090092A (ko) | 2019-01-18 | 2020-07-28 | 다이이치지쯔교 비스위루 가부시키가이샤 | 검사 장치 |
JP7504643B2 (ja) | 2020-03-30 | 2024-06-24 | 第一実業ビスウィル株式会社 | 検査装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102368707B1 (ko) * | 2021-09-07 | 2022-02-28 | 주식회사 하이브비젼 | 라인 스캔용 논-램버시안 표면 검사 시스템 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6334523A (ja) * | 1986-07-30 | 1988-02-15 | Maki Seisakusho:Kk | 果実・そ菜類の撮像用照明装置 |
JPH01166740A (ja) * | 1987-11-25 | 1989-06-30 | Taunton Technol Inc | 輪郭測定方法とその装置 |
JPH05231837A (ja) * | 1991-12-25 | 1993-09-07 | Toshiba Corp | 形状測定方法及び装置 |
JPH09210653A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-12 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 面方向検出装置 |
JP2008002848A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Tateyama Machine Kk | 棒状回転工具の欠陥検査装置と欠陥検査方法 |
JP2008241342A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Tdk Corp | 外観検査装置 |
JP2010249513A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Tdk Corp | 外観検査装置 |
JP2011100341A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Kanto Auto Works Ltd | エッジ検出方法及び画像処理装置 |
JP2011154038A (ja) * | 2006-02-23 | 2011-08-11 | Kobe Steel Ltd | 形状測定装置、形状測定方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05288527A (ja) | 1992-04-10 | 1993-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 実装基板外観検査方法およびその装置 |
JPH0921755A (ja) * | 1995-07-05 | 1997-01-21 | Suinku:Kk | 検査用搬送装置および検査装置 |
CN1296288A (zh) * | 1999-10-20 | 2001-05-23 | 奎比克视频株式会社 | 检查半导体器件的外观的***及其方法 |
AU2003278163A1 (en) * | 2002-06-21 | 2004-01-06 | Pressco Technology Inc. | Patterned illumination method and apparatus for machine vision systems |
JP4713279B2 (ja) * | 2005-08-31 | 2011-06-29 | 第一実業ビスウィル株式会社 | 照明装置及びこれを備えた外観検査装置 |
JP4740826B2 (ja) * | 2006-02-23 | 2011-08-03 | 株式会社神戸製鋼所 | 形状測定装置、形状測定方法 |
JP2008145300A (ja) * | 2006-12-11 | 2008-06-26 | Sharp Corp | 蛍光体層厚み判定方法および発光装置の製造方法 |
JP5060808B2 (ja) * | 2007-03-27 | 2012-10-31 | オリンパス株式会社 | 外観検査装置 |
JP4493048B2 (ja) | 2007-08-03 | 2010-06-30 | 第一実業ビスウィル株式会社 | 検査装置 |
-
2013
- 2013-02-20 JP JP2013030766A patent/JP6067407B2/ja active Active
- 2013-12-25 CN CN201380073441.8A patent/CN105008852B/zh active Active
- 2013-12-25 KR KR1020157023911A patent/KR102148965B1/ko active IP Right Grant
- 2013-12-25 WO PCT/JP2013/084577 patent/WO2014129082A1/ja active Application Filing
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6334523A (ja) * | 1986-07-30 | 1988-02-15 | Maki Seisakusho:Kk | 果実・そ菜類の撮像用照明装置 |
JPH01166740A (ja) * | 1987-11-25 | 1989-06-30 | Taunton Technol Inc | 輪郭測定方法とその装置 |
JPH05231837A (ja) * | 1991-12-25 | 1993-09-07 | Toshiba Corp | 形状測定方法及び装置 |
JPH09210653A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-12 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 面方向検出装置 |
JP2011154038A (ja) * | 2006-02-23 | 2011-08-11 | Kobe Steel Ltd | 形状測定装置、形状測定方法 |
JP2008002848A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Tateyama Machine Kk | 棒状回転工具の欠陥検査装置と欠陥検査方法 |
JP2008241342A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Tdk Corp | 外観検査装置 |
JP2010249513A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Tdk Corp | 外観検査装置 |
JP2011100341A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Kanto Auto Works Ltd | エッジ検出方法及び画像処理装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200090092A (ko) | 2019-01-18 | 2020-07-28 | 다이이치지쯔교 비스위루 가부시키가이샤 | 검사 장치 |
JP2020115110A (ja) * | 2019-01-18 | 2020-07-30 | 第一実業ビスウィル株式会社 | 検査装置 |
JP7246938B2 (ja) | 2019-01-18 | 2023-03-28 | 第一実業ビスウィル株式会社 | 検査装置 |
JP7504643B2 (ja) | 2020-03-30 | 2024-06-24 | 第一実業ビスウィル株式会社 | 検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105008852A (zh) | 2015-10-28 |
JP6067407B2 (ja) | 2017-01-25 |
WO2014129082A1 (ja) | 2014-08-28 |
KR20150119884A (ko) | 2015-10-26 |
CN105008852B (zh) | 2017-09-26 |
KR102148965B1 (ko) | 2020-08-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6287360B2 (ja) | 検査装置 | |
US8670031B2 (en) | High speed optical inspection system with camera array and compact, integrated illuminator | |
JP4713279B2 (ja) | 照明装置及びこれを備えた外観検査装置 | |
KR101295760B1 (ko) | 다중 격자 무늬를 이용한 비전검사장치 | |
US8681211B2 (en) | High speed optical inspection system with adaptive focusing | |
WO2011037903A1 (en) | High speed optical inspection system with camera array and compact, integrated illuminator | |
KR101969378B1 (ko) | 조명 유닛, 결함 검사 장치, 및 조명 방법 | |
JP7246938B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2016050864A (ja) | 半田付外観検査装置 | |
KR101363520B1 (ko) | 광조사 각도 조절가능한 조명부를 포함하는 비전검사장치 | |
JP6067407B2 (ja) | 検査装置 | |
CN210269638U (zh) | 检测模块及检测机台 | |
TWI747365B (zh) | 外觀檢查裝置 | |
KR101361537B1 (ko) | 적외선패턴조사부를 구비하는 비전검사장치 | |
JP6546079B2 (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
JP2005308623A (ja) | 光学部材検査装置 | |
JP2011222239A (ja) | 照明装置および検査装置 | |
JP4244696B2 (ja) | 部品実装機 | |
JP2018179789A (ja) | 検査装置、検査方法、および物品製造方法 | |
KR101442666B1 (ko) | 복수 행의 조명부재를 포함하는 비전검사장치 | |
JP7504643B2 (ja) | 検査装置 | |
KR20120086333A (ko) | 적응 초점을 갖는 고속 광학 검사 시스템 | |
US11575814B2 (en) | Image capturing device and appearance inspecting device including the same | |
KR20200119208A (ko) | 다이의 방향을 결정하기 위한 장치 | |
JP2020204470A (ja) | 照明装置及びこれを備えた外観検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161125 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161221 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6067407 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |