JP7504643B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
設定された搬送方向に被検査物を搬送し、該被検査物の少なくとも前記搬送方向前端面又は後端面を被検査面として検査する検査装置であって、
前記搬送方向に沿って移動する透明なシート状の搬送シートを有し、該搬送シート上に載置された前記被検査物を前記搬送シートの移動によって前記搬送方向に搬送する搬送機構と、
前記搬送シートによって形成される搬送路上の所定の検査位置において、前記搬送シートを境として前記被検査物と同じ側に配設されて、前記被検査物の前記被検査面を照明する第1照明機構、及び前記被検査物とは反対側に配設されて、前記被検査物の前記被検査面を照明する第2照明機構と、
前記被検査物と同じ側に配設され、前記検査位置にある前記被検査物の前記被検査面を撮像する撮像カメラとを備え、
前記第1照明機構は、前記被検査物の被検査面を照明する複数の第1発光器、及び該複数の第1発光器を支持する第1支持体を備え、
前記第1支持体は、少なくとも、前記搬送路に近い第1発光器を、他の一群の第1発光器よりも前記検査位置から離隔した位置で支持するように構成されるとともに、離隔した第1発光器と他の一群の第1発光器との間に、前記検査位置とは反対側の背面から前記被検査物の被検査面を観察できる空間を備え、
前記撮像カメラは、前記第1支持体の前記背面側に配設され、前記第1支持体の空間を通して前記被検査物の被検査面を撮像するように構成され、
更に、前記第2照明機構は、前記搬送シートを挟んで面対称となる位置に配設されるとともに、前記被検査物の被検査面を照明する複数の第2発光器、及び該複数の第2発光器を支持する第2支持体を備えてなり、
前記第1照明機構の前記搬送路に近い第1発光器、及び第2照明機構の前記搬送路に近い第2発光器は、その1/2ビーム角が30°~80°の範囲内の角度を有し、
前記第1照明機構の他の第1発光器、及び前記第2照明機構の他の第2発光器は、その1/2ビーム角が10°~25°の範囲内の角度を有する検査装置に係る。
前記搬送機構2は、透明な硝子板から構成される円板状且つシート状をした搬送シートとしての回転テーブル3と、この回転テーブル3を矢示A方向に水平回転させる駆動モータ(図示せず)とを備えており、前端面Waが搬送方向に向くように回転テーブル3上に供給された被検査物Wを前記回転テーブル3の回転によって前記搬送方向に搬送する。尚、当然のことながら、回転テーブル3によって搬送される被検査物Wの搬送路は円弧状の経路となる。
前記撮像カメラ4は、被検査物Wの前端面Waの2次元画像を撮像するカメラであり、前記検査位置Pにおいて、その撮像光軸が、前記搬送経路の接線を含む垂直面内に位置し、且つ回転テーブル3の上面、即ち搬送路となす角度が10°~35°の範囲の角度となるように配設されている。
図2~図4に示すように、前記第1照明機構5は、第1A支持体6と、この第1A支持体6の前記搬送方向下流側の端面9に固設された第1B支持体13と、前記第1A支持体6に支持された第1A発光器としての複数のLED12と、前記第1B支持体13に支持された第1B発光器としての同じく複数のLED16とから構成され、前記検査位置Pより搬送方向下流側、且つ前記回転テーブル3の上方に配設される。
前記第2照明機構25は、前記第1照明機構5と同じ構成を備えるもので、前記回転テーブル3の下方に、前記第1照明機構5とは面対称の位置関係となるように配設されている。以下、重複した説明にはなるが、この第2照明機構25の構成について説明する。
2 搬送機構
3 回転テーブル
4 撮像カメラ
5 第1照明機構
6 第1支持体
12 第1B発光器
16 第1A発光器
25 第2照明機構
26 第2支持体
32 第2B発光器
36 第2A発光器
W 被検査物
W1 基体部
W2 電極部
Wa 被検査面
Claims (2)
- 設定された搬送方向に被検査物を搬送し、該被検査物の少なくとも前記搬送方向前端面又は後端面を被検査面として検査する検査装置であって、
前記搬送方向に沿って移動する透明なシート状の搬送シートを有し、該搬送シート上に載置された前記被検査物を前記搬送シートの移動によって前記搬送方向に搬送する搬送機構と、
前記搬送シートによって形成される搬送路上の所定の検査位置において、前記搬送シートを境として前記被検査物と同じ側に配設されて、前記被検査物の前記被検査面を照明する第1照明機構、及び前記被検査物とは反対側に配設されて、前記被検査物の前記被検査面を照明する第2照明機構と、
前記被検査物と同じ側に配設され、前記検査位置にある前記被検査物の前記被検査面を撮像する撮像カメラとを備え、
前記第1照明機構は、前記被検査物の被検査面を照明する複数の第1発光器、及び該複数の第1発光器を支持する第1支持体を備え、
前記第1支持体は、少なくとも、前記搬送路に近い第1発光器を、他の一群の第1発光器よりも前記検査位置から離隔した位置で支持するように構成されるとともに、離隔した第1発光器と他の一群の第1発光器との間に、前記検査位置とは反対側の背面から前記被検査物の被検査面を観察できる空間を備え、
前記撮像カメラは、前記第1支持体の前記背面側に配設され、前記第1支持体の空間を通して前記被検査物の被検査面を撮像するように構成され、
更に、前記第2照明機構は、前記搬送シートを挟んで面対称となる位置に配設されるとともに、前記被検査物の被検査面を照明する複数の第2発光器、及び該複数の第2発光器を支持する第2支持体を備えてなり、
前記第1照明機構の前記搬送路に近い第1発光器、及び第2照明機構の前記搬送路に近い第2発光器は、その1/2ビーム角が30°~80°の範囲内の角度を有し、
前記第1照明機構の他の第1発光器、及び前記第2照明機構の他の第2発光器は、その1/2ビーム角が10°~25°の範囲内の角度を有し、
前記撮像カメラは、その撮像光軸が、前記搬送路と直交する面内にあり、且つ前記搬送路と10°~35°の範囲の角度で交差するように配設されるとともに、
前記第1照明機構の前記搬送路に近い第1発光器、及び第2照明機構の前記搬送路に近い第2発光器は、その照明光軸が、前記搬送路と3°~20°の範囲の角度で交差するように配設されていることを特徴とする検査装置。 - 前記第1照明機構の前記搬送路に近い第1発光器と、他の第1発光器と、第2照明機構の前記搬送路に近い第2発光器と、他の第2発光器とを別々に調光可能に構成されていることを特徴とする請求項1記載の検査装置。
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