JP2014135028A - 検査画像生成装置、検査画像生成方法および検査画像生成プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】３種類以上の基板要素を有する基板を容易に検査できる検査画像データを生成する技術の提供。
【解決手段】検査画像生成装置は、基板を撮影した入力画像を示す画像データであって、各画素に入力値が対応付けられた入力画像データを取得し、基板が有するＮ種類（Ｎは３以上の整数）の基板要素のそれぞれについて、当該基板要素に対応する入力値である基準入力値を取得し、入力画像データの各画素の入力値を変換関数によって出力値に変換することにより、各画素に出力値が対応付けられた検査画像データを生成し、Ｍ番目（ＭはＮ未満の自然数）に小さい基準入力値と（Ｍ＋１）番目に小さい基準入力値とによって区分された入力値の区間である入力区間ごとに変換関数の傾きを設定するとともに、第１の入力区間の幅が第２の入力区間の幅よりも小さい場合に、第２の入力区間における変換関数の傾きよりも第１の入力区間における変換関数の傾きを大きく設定する。
【選択図】図５

Description

本発明は、基板を撮影した画像に基づいて基板の検査に適した検査画像データを生成する検査画像生成装置、検査画像生成方法および検査画像生成プログラムに関する。

従来、基板上のリードを撮影した輝度値の画像を取得し、輝度値の画像に基づいてリードの形状を検査する手法が知られている（特許文献１、参照。）。特許文献１において、撮影した画像の輝度値の全階調範囲（０〜２５５）のうちリードを撮影した画素の輝度値が取り得る高輝度の階調範囲（１２８〜２５５）のみに注目してリードを検査している。具体的には、低輝度の階調範囲（０〜１２７）に属するすべての輝度値を一様に０と見なすとともに、高輝度の階調範囲に属する輝度値を、全階調範囲の階調値に変換した画像データを生成する。 また、特許文献２のように検査対象の基板要素ごとに照明の条件を変えて検査画像を撮影することにより、複数の基板要素について検査を行う技術が知られている（特許文献２、参照。）。

特許第２９４４９１４号公報 特開２０１０−１４５３０号公報

しかしながら、特許文献１の場合、リードの形状を検査することはできるが、他の基板要素の形状を検査することができないという問題があった。すなわち、特許文献１の場合、リードに対応する高輝度の階調範囲が全階調範囲に割り当てられてしまうため、リード以外の基板要素に対応する輝度値の情報が失われてしまうという問題があった。例えば、特許文献１において、低輝度の階調範囲にリード以外の基板要素に対応する輝度値が属する場合、リード以外の基板要素が撮影された画素を含めて低輝度の階調範囲の画素の輝度値が一様に０となってしまい、リード以外の基板要素の形状を検査することできなくなってしまう。一方、特許文献２においては、複数の基板要素について検査を行うことが可能であるが、基板要素のそれぞれについて検査画像を撮影しなければならず、検査の所要時間が長くなるという問題があった。

本発明は、前記の問題を解決せんとするもので、３種類以上の基板要素を有する基板を容易に検査できる検査画像データを生成する技術を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するため、本発明において、入力画像取得手段は、基板を撮影した入力画像を示す画像データであって、各画素に入力値が対応付けられた入力画像データを取得する。基準入力値取得手段は、基板が有するＮ種類（Ｎは３以上の整数）の基板要素のそれぞれについて、当該基板要素に対応する入力値である基準入力値を取得する。検査画像生成手段は、入力画像データの各画素の入力値を変換関数によって出力値に変換することにより、各画素に出力値が対応付けられた検査画像データを生成する。変換関数設定手段は、Ｍ番目（ＭはＮ未満の自然数）に小さい基準入力値と（Ｍ＋１）番目に小さい基準入力値とによって区分された入力値の区間である入力区間ごとに変換関数の傾きを設定する。変換関数設定手段は、第１の入力区間の幅が第２の入力区間の幅よりも小さい場合に、第２の入力区間における変換関数の傾きよりも第１の入力区間における変換関数の傾きを大きく設定する。

ここで、Ｍ番目に小さい基準入力値と（Ｍ＋１）番目に小さい基準入力値とによって区分された入力区間には、Ｍ番目に小さい基準入力値に対応する基板要素を撮影した画素の入力値の分布と、（Ｍ＋１）番目に小さい基準入力値に対応する基板要素を撮影した画素の入力値の分布とが混在する。従って、入力区間の幅が小さいほど、２種類の基板要素を撮影した画素の入力値の分布が接近することとなる。そのため、入力区間の幅が小さいほど、２種類の基板要素を撮影した画素を入力値に基づいて判別することが困難となる。

このような状況において、変換関数設定手段は、入力区間ごとに変換関数の傾きを設定する。具体的に、変換関数設定手段は、第１の入力区間の幅が第２の入力区間の幅よりも小さい場合に、第２の入力区間における変換関数の傾きよりも第１の入力区間における変換関数の傾きを大きく設定する。これにより、第１の入力区間の幅が小さくても、第１の入力区間に属する入力値を変換関数によって変換した出力値が分布する幅を大きくすることができる。すなわち、第１の入力区間の幅が小さくても、当該入力区間にて入力値が混在していた２種類の基板要素に対応する出力値のコントラストを検査画像にて大きくすることができる。従って、もともと幅の大きい第２の入力区間にて入力値の分布が接近していなかった２種類の基板要素を撮影した画素のみならず、幅の小さい第１の入力区間にて入力値の分布が接近していた２種類の基板要素を撮影した画素についても、出力値に基づいて容易に判別することが可能な検査画像データを生成できる。また、第１の入力区間と第２の入力区間とでそれぞれ２種類の基板要素を撮影した画素を判別できるため、少なくとも３種類以上の基板要素を有する基板を単一の検査画像データに基づいて容易に検査できる。すなわち、判別する基板要素の組み合わせごとに撮影条件等を変更して、複数回、入力画像データを撮影しなくても済む。

入力画像取得手段は、基板を撮影した入力画像を示す画像データであって、各画素に入力値が対応付けられた入力画像データを取得すればよく、入力画像データは基板の反射像を示してもよいし、透過像を示してもよい。また、入力画像データは、電磁波（放射線、マイクロ波、光等）の像を示してもよいし、音波の像を示してもよい。基板は、３種類以上の基板要素を有する基板であればよく、入力画像データが基板の反射像を示す場合、反射率が異なる３種類以上の基板要素を有していればよい。同様に、入力画像データが基板の透過像を示す場合、透過率が異なる３種類以上の基板要素を有していればよい。基板要素とは、撮影した場合に他の基板要素と異なる入力値が得られる基板上の領域である。基準入力値とは、基板要素に対応する入力値であり、ある基板要素が撮影された画素に対応付けられる典型的な入力値を意味する。例えば、ある基板要素が撮影された画素の入力値の分布における最頻値や平均値や中央値等を基準入力値として取得してもよい。入力画像取得手段は、入力画像データの各画素の入力値を統計処理することにより、最頻値等を基準入力値として取得してもよい。また、各基板要素を撮影した場合の典型的な入力値は各基板要素を撮影することにより得ることができるため、入力画像取得手段は、予め各基板要素を撮影することにより得られた基準入力値を取得してもよい。

検査画像生成手段は、入力画像データの各画素の入力値を変換関数によって出力値に変換することにより検査画像データを生成すればよく、必ずしも入力値を変換関数によって変換する計算を画素ごとに行わなくてもよい。例えば、検査画像生成手段は、変換関数によって変換した場合の入力値と出力値との対応関係を規定した変換テーブルを作成し、当該変換テーブルを参照することにより入力値を出力値に変換してもよい。検査画像生成手段は、検査画像データに基づいて基板の良否判定を行う検査装置に当該検査画像データを出力してもよい。また、検査画像データが示す検査画像を表示装置に出力してもよい。
これにより、検査画像データに基づいて表示装置に表示された画像を視認することにより目視検査を行うことができる。

変換関数設定手段は、第１の入力区間の幅が第２の入力区間の幅よりも小さい場合に、第２の入力区間における変換関数の傾きよりも第１の入力区間における変換関数の傾きが大きくなるように変換関数を設定すればよく、各入力区間において傾きが一定であってもよいし、傾きが変動してもよい。すなわち、変換関数は、入力区間ごとに設定された線形関数によって構成されてもよいし、入力区間ごとに設定された非線形関数によって構成されてもよい。変換関数が非線形関数で構成される場合、各入力区間内において傾きが変動することとなるが、例えば第２の入力区間における変換関数の傾きの平均値よりも第１の入力区間における変換関数の傾き（微分値）の平均値が大きくなるように変換関数を設定すればばよい。なお、第１の入力区間と第２の入力区間とは、少なくとも２個以上形成される入力区間のうち互いに異なる入力区間であればよく、第１の入力区間と第２の入力区間とにおける入力値の大小関係は特に限定されない。

また、変換関数設定手段は、入力区間ごとに傾きが設定された線形関数が基準入力値にて接続する関数を変換関数として設定してもよい。線形関数で変換関数が構成されるため、少ない処理負荷で変換関数を設定できるとともに、少ない処理負荷で入力値を出力値へと変換できる。ここで、ある入力区間に対応する線形関数の傾きをαとし、当該入力区間の幅をＷとすると、当該入力区間に属する入力値を変換関数で変換した出力値が取り得る区間の幅（出力区間幅Ｋ）はα×Ｗで表すことができる。従って、目標とする出力区間幅Ｋを設定すれば、変換関数の傾きαはＫ／Ｗによって求めることができる。そこで、変換関数設定手段は、出力区間幅Ｋが所定の閾値以上となるように変換関数の傾きαを設定してもよい。これにより、２種類の基板要素を撮影した画素の出力値の分布が存在する出力区間幅Ｋを閾値上とすることができ、２種類の基板要素を撮影した画素を出力値に基づいて容易に判別することできる。また、変換関数設定手段は、すべての入力区間に対応する出力区間幅Ｋが一定となるように変換関数を設定してもよい。これにより、２種類の基板要素のいずれの組についても、当該２種類の基板要素を撮影した画素を出力値に基づいて容易に判別することできる。なお、変換関数の傾きα＝Ｋ／Ｗは、入力区間の幅Ｗに反比例するため、出力区間幅Ｋを一定とした場合、幅Ｗが小さい入力区間ほど変換関数の傾きαが大きくなる。

基板がＮ種類の基板要素を有する場合、Ｎ個の基準入力値が存在し、Ｎ個の基準入力値で区分された（Ｎ−１）個の入力区間が形成されることとなる。従って、出力区間幅Ｋが出力値の全階調範囲においてできるだけ大きく確保されるように、出力区間幅Ｋは出力値の全階調範囲の幅を入力区間の数で等分した幅であってもよい。これにより、２種類の基板要素のいずれの組についても、当該２種類の基板要素を撮影した画素を出力値に基づいて容易に判別することできる。

ここで、基準入力値取得手段は、Ｎ種類の基板要素のそれぞれについて、当該基板要素に対応する基準入力値の指定を入力部にて受け付けてもよい。すなわち、基準入力値取得手段は、入力値を統計処理することにより分布の最頻値等を基準入力値として取得してもよいが、基準入力値の指定を使用者から受け付けてもよい。この場合、基準入力値の指針となる画像を使用者に向けて表示するのが望ましい。具体的に、基準入力値取得手段は、入力画像データの各画素の度数を入力値ごとに示す度数分布を表示部に表示させてもよい。これにより、使用者は、各基板要素に対応する画素の分布を視認し、当該分布のうち典型的な入力値を基準入力値として指定することができる。

また、変換関数設定手段は、基準入力値の指定を入力部にて受け付けるごとに、当該基準入力値に応じた変換関数を設定してもよい。そして、基準入力値取得手段は、入力画像データの各画素の入力値を変換関数によって出力値に変換することにより、各画素に出力値が対応付けられた確認画像データを生成し、確認画像データに基づいて確認画像を表示部に表示させてもよい。これにより、基板要素間でコントラストが大きくなったか否かを確認画像において確認でき、適正な基準入力値に基づいて変換関数が適正に設定されたか否かを使用者が判断できる。

さらに、基準入力値取得手段は、入力画像内または確認画像内における領域の指定を入力部にて受け付け、領域内の各画素に対応する入力値を度数分布にて表示させてもよい。これにより、使用者は、入力画像内または確認画像内において各基板要素が撮影された画素として典型的な画素が存在する領域を指定し、当該指定した領域内の各画素に対応する入力値を認識できる。すなわち、各基板要素が撮影された画素として典型的な画素の入力値が認識できるため、使用者は容易に基準入力値を指定できる。例えば、各基板要素の物理的な中央領域は、各基板要素が撮影された典型的な画素であるということができる。

さらに、入力値と出力値とは輝度を表してもよい。すなわち、入力画像データと検査画像データとは各画素に輝度値が対応付けられたモノクロ画像を示してもよい。これにより、入力画像データと検査画像データのデータ量を抑制するとともに、処理の効率化を図ることができる。また、入力画像データをモノクロカメラによって撮影でき、低コスト化を実現できる。この場合において、基準入力値取得手段は、確認画像として、当該確認画像データの各画素の出力値を有彩色に変換した画像を表示部に表示させてもよい。すなわち、輝度の画像をそのまま表示させるのではなく、確認画像データの各画素の出力値を有彩色に変換した上で確認画像を表示させることにより、基板要素間で輝度のコントラストが大きくなったか否かを、色彩の差によって認識できる。なお、色彩の差により輝度のコントラストをできるだけ認識しやすくするために、基準入力値取得手段は、出力値に応じて色相と彩度とを双方とも変化させてもよい。また、輝度の連続性が表現できるように、出力値の連続的な変化に対応して、色相と彩度との少なくとも一方が連続的に変化するようにしてもよい。

さらに、基準入力値取得手段は、入力値に対応する有彩色を特定し、度数分布において、入力値ごとの画素数を表す部分に当該入力値に対応する有彩色を付すようにしてもよい。これにより、確認画像が示す有彩色と度数分布との関係を容易に認識することができ、適正な基準入力値を指定しているか否かを度数分布と確認画像とを対比して判断できる。

本実施形態にかかる検査画像生成装置を含む基板検査装置を示す概略ブロック図である。 （２Ａ）は入力画像データを示す図、（２Ｂ）は入力値ごとの度数分布を示すグラフである。 検査画像生成装置のソフトウェア構成を示すブロック図である。 指定画像を示す図である。 （５Ａ）は変換関数を示すグラフ、（５Ｂ）は入力値と出力値の度数分布を比較するグラフである。 マスタ登録処理のフローチャートである。 製品検査処理を示すフローチャートである。 他の実施形態にかかる変換関数を示すグラフである。

ここでは、下記の順序に従って本発明の実施の形態について説明する。
（１）基板検査装置の構成：
（２）マスタ登録処理：
（３）製品検査処理：
（４）他の実施形態：

（１）基板検査装置の構成：
図１は、本実施形態にかかる検査画像生成装置を含む基板検査装置の概略構成を示している。同図において、基板検査装置１は、撮像部１０と、制御部２０と、表示装置３０と、入力装置４０と、を備えている。
撮像部１０は、カメラ１１と、照明装置１２と、基板５０（図示しない）を平面移動させるＸ−Ｙステージ１３と、を備えている。撮像部１０は、制御部２０により制御される。
Ｘ−Ｙステージ１３は、図示しないガイドレールを備え、当該ガイドレールにて基板５０が位置決めされた状態で保持される。Ｘ−Ｙステージ１３は、ガイドレールに固定された状態の基板５０を、当該基板５０に平行な方向（水平方向）に移動させる。
照明装置１２は、基板５０に照明光を照射する。本実施形態において、照明装置１２は基板５０に可視光（例えば白色光）を照射する。

カメラ１１は、その光軸が基板５０に垂直な方向に対して平行になるように配設されている。カメラ１１はモノクロカメラであり、基板５０上の各位置に対応する画素のそれぞれに、入力値が対応付けられた入力画像を示す入力画像データ２５ｄを生成する。カメラ１１は、基板５０に対して照明装置１２が照射した照明光の反射像を撮影する。すなわち、入力画像データ２５ｄの各画素に対応付けられた入力値は、照明光が基板５０にて反射した反射光の強度、すなわち輝度を表す。入力値は階調範囲（０〜Ｉ_max）において分布し、入力値が大きいほど画素に対応する基板５０の部位が明るいこと意味する。

本実施形態において、カメラ１１は、基板検査装置１に固定されている。従って、本実施形態では、Ｘ−Ｙステージ１３を水平方向に平面移動させることにより基板５０とカメラ１１との相対位置を変更するようにしている。これにより、カメラ１１は、基板５０上に存在する検査対象の複数の部位を撮影した入力画像データ２５ｄを生成できる。

制御部２０は、図１に示すように、カメラ制御部２１と、ステージ制御部２３と、ＣＰＵ２４と、メモリ２５と、出力インタフェース（Ｉ／Ｆ）部２６と、入力インタフェース（Ｉ／Ｆ）部２７と、を備えている。ＣＰＵ２４は、メモリ２５に記録された各種プログラムを実行可能であり、本実施形態においては、メモリ２５に検査画像生成プログラム２５ａと検査プログラム２５ｂとが記録されている。
検査画像生成プログラム２５ａは、基板５０をカメラ１１にて撮影した入力画像データ２５ｄに基づいて、基板５０上の検査箇所の検査に使用する検査画像データとしてのマスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとを生成する機能をＣＰＵ２４に実行させるためのプログラムである。

基板データ２５ｃは、基板５０上に予め設定された検査箇所の位置を示す情報である。基板データ２５ｃは、検査箇所ごとに、当該検査箇所に実装された電子部品の種類と実装方向と、当該検査箇所における撮影条件（カメラ１１、照明装置１２の条件）と、当該検査箇所に存在する基板要素の種類数Ｎとを示す情報である。基板要素とは、検査箇所に電子部品を実装することにより当該検査箇所に形成される可視光の反射率が異なる領域を意味する。ステージ制御部２３は、基板データ２５ｃに基づいて検査箇所の位置を取得し、当該検査箇所に実装された電子部品がカメラ１１の視野内の位置に移動するようにＸ−Ｙステージ１３を移動させる。そして、電子部品がカメラ１１の視野内の位置に移動した状態で、カメラ１１は電子部品を含む検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄを撮影する。

図２Ａは、電子部品としてのチップコンデンサＣが実装された検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄを示す。チップコンデンサＣは、黒色の本体部Ｃ１と、銀色の２個の端子部Ｃ２とを有している。本体部Ｃ１はコンデンサ素子を内蔵し、端子部Ｃ２は金属で形成されている。基板５０上において、端子部Ｃ２と半田Ｓとが接合することにより、端子部Ｃ２と半田Ｓとが一体の金属部分として接合部Ｐを形成している。ソルダーレジストＤは、絶縁性を有する樹脂によって形成されており、ソルダーレジストＤの可視光に対する反射率はチップコンデンサＣの本体部Ｃ１の可視光に対する反射率よりも大きい。金属で形成される接合部Ｐの可視光に対する反射率は、ソルダーレジストＤおよびチップコンデンサＣの本体部Ｃ１の可視光に対する反射率よりも大きい。

図２Ａに示すように入力画像データ２５ｄは、接合部Ｐと、チップコンデンサＣの本体部Ｃ１と、ソルダーレジストＤとを撮影した画像を示す。すなわち、入力画像データ２５ｄを構成する画素は、接合部Ｐからの反射光の強度を示す入力値が対応付けられた画素と、チップコンデンサＣの本体部Ｃ１からの反射光の強度を示す入力値が対応付けられた画素と、ソルダーレジストＤからの反射光の強度を示す入力値が対応付けられた画素とに分類される。接合部ＰとチップコンデンサＣの本体部Ｃ１とソルダーレジストＤとは、基板５０の基板要素を意味する。従って、図２Ａの場合、基板要素の種類数Ｎとして３が基板データ２５ｃに記録されている。

図２Ｂは、入力画像データ２５ｄを構成する各画素の度数を入力値Ｉごとに示す度数分布を示すグラフである。図２Ｂにおいて、横軸は入力値Ｉを示し、縦軸は度数（画素数）を示す。度数分布には、接合部Ｐを撮影した画素の分布Ｇ₃と、ソルダーレジストＤを撮影した画素の分布Ｇ₂と、チップコンデンサＣの本体部Ｃ１を撮影した画素の分布Ｇ₁とが含まれる。最も反射率が大きい接合部Ｐを撮影した画素の分布Ｇ₃は、ソルダーレジストＤおよびチップコンデンサＣの本体部Ｃ１を撮影した画素の分布Ｇ₁，Ｇ₂よりも入力値Ｉが大きい。反対に、最も反射率が小さいチップコンデンサＣの本体部Ｃ１を撮影した画素の分布Ｇ₁は、ソルダーレジストＤおよび接合部Ｐを撮影した画素の分布Ｇ₂，Ｇ₃よりも入力値Ｉが小さい。以上のように、入力値Ｉの度数分布において、基板要素ごとに分布Ｇ₁，Ｇ₂，Ｇ₃が表れることとなる。

出力Ｉ／Ｆ部２６は、ＣＰＵ２４の指令に基づいて表示部としての表示装置３０に映像信号を出力する回路である。表示装置３０は、映像を表示するディスプレイである。入力Ｉ／Ｆ部２７は、入力装置４０に対して行われた使用者の操作に応じた操作信号を生成し、当該操作信号をＣＰＵ２４に出力する回路である。入力装置４０は、マウスやキーボード等によって構成される。

確認画像データ２５ｅとマスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとは、いずれも入力画像データ２５ｄを変換関数によって変換した画像データである。このうち確認画像データ２５ｅは暫定的な変換関数によって変換された画像データである。一方、マスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとは確定的な変換関数によって変換された画像データであり、実際の検査に用いる検査画像データである。マスタ画像データ２５ｆは、正常であることが判明している基板５０上の検査箇所（マスタ検査箇所）を撮影することにより得られた入力画像データ２５ｄを確定的な変換関数によって変換した画像データである。製品画像データ２５ｇは、正常であることが不明な基板５０上の検査箇所（製品検査箇所）を撮影することにより得られた入力画像データ２５ｄを確定的な変換関数によって変換した画像データである。なお、変換前の入力画像データ２５ｄの各画素の輝度値を入力値と表記するのに対して、変換後の各画像データ２５ｅ〜２５ｇの各画素の輝度値を出力値と表記する。出力値は階調範囲（０〜Ｏ_max）において分布し、出力値が大きいほど画素に対応する基板５０の部位が明るいこと意味する。本実施形態において、入力値と出力値とはともに８ビット階調で表現され、Ｉ_max＝Ｏ_max＝２５５であることとする。変換関数の詳細については後述する。

検査プログラム２５ｂは、検査画像データとしてのマスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとに基づいて基板５０を検査する機能をＣＰＵ２４に実行させるためのプログラムである。検査プログラム２５ｂの機能によりＣＰＵ２４は、マスタ検査箇所の画像を示すマスタ画像データ２５ｆと製品検査箇所の画像を示す製品画像データ２５ｇとが類似する場合に、当該製品検査箇所においてチップコンデンサＣ等の電子部品が正常に実装されていると判定する。例えば、チップコンデンサＣが実装されていない場合や、半田Ｓの形状が異常である場合や、チップコンデンサＣの実装位置や実装方向がずれている場合に、マスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとが類似しない。

検査プログラム２５ｂの機能によりＣＰＵ２４は、マスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとのそれぞれにおいて、出力値に基づいて基板要素ごとに画素を判別し、基板要素ごとの画素の分布形状（例えばエッジ形状）が所定基準以上類似している場合に、マスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとが類似していると判定する。図２Ａの場合、接合部Ｐを撮影した画素と、チップコンデンサＣの本体部Ｃ１を撮影した画素と、ソルダーレジストＤを撮影した画素とが判別されることとなる。例えば、検査プログラム２５ｂの機能によりＣＰＵ２４は、マスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとのそれぞれにおいて各画素の出力値を閾値判定することにより、基板要素ごとに画素を判別する。

検査画像生成プログラム２５ａは、入力画像取得部２５ａ１と基準入力値取得部２５ａ２と検査画像生成部２５ａ３と変換関数設定部２５ａ４とを含む。ここで、各モジュール２５ａ１〜２５ａ４の詳細を説明する前に、各モジュール２５ａ１〜２５ａ４の役割を概略的に説明する。

図３は、各モジュール２５ａ１〜２５ａ４間におけるデータやパラメータの授受を説明するブロック図である。入力画像取得部２５ａ１の機能によりＣＰＵ２４は、マスタ検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄと、製品検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄとを取得する。基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、基準入力値ＩＳを取得する。このとき、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、マスタ検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄに基づいて生成した指定画像Ａを表示装置３０に表示させ、使用者が基準入力値ＩＳの暫定値を指定する操作を受け付ける。すると、変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、基準入力値ＩＳの暫定値に基づいて暫定的な変換関数Ｆを設定する。

そして、検査画像生成部２５ａ３の機能によりＣＰＵ２４は、暫定的な変換関数Ｆによってマスタ検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄを変換することにより、確認画像データ２５ｅを生成する。さらに、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、基準入力値ＩＳの暫定値が適切であったか否かを使用者が判断できるように、確認画像データ２５ｅが示す確認画像を指定画像Ａにて表示させる。基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、確認画像データ２５ｅを示す指定画像Ａを更新するとともに、当該指定画像Ａにて基準入力値ＩＳを確定するための操作を受け付ける。これにより、基準入力値ＩＳの暫定値が適切であったと判断した段階（確認画像が適切と判断した段階）で、使用者は、基準入力値ＩＳを確定することができる。基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、基準入力値ＩＳを確定するための操作を受け付けた場合に、現在指定されている基準入力値ＩＳを基準入力値ＩＳの確定値として取得する。

基準入力値ＩＳの確定値を取得すると、変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、基準入力値ＩＳの確定値に基づいて確定的な変換関数Ｆを設定する。そして、検査画像生成部２５ａ３の機能によりＣＰＵ２４は、確定的な変換関数Ｆによってマスタ検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄを変換することにより、マスタ画像データ２５ｆを生成する。さらに、検査画像生成部２５ａ３の機能によりＣＰＵ２４は、確定的な変換関数Ｆによって製品検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄを変換することにより、製品画像データ２５ｇを生成する。以上のようにしてマスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとが得られると、検査プログラム２５ｂの機能によりＣＰＵ２４は、マスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとを比較することにより、製品検査箇所においてチップコンデンサＣ等の電子部品が正常に実装されているか否かを判定する。

以下、各モジュール２５ａ１〜２５ａ４の詳細な構成を説明する。
入力画像取得部２５ａ１は、入力画像データ２５ｄを取得する機能をＣＰＵ２４に実行させるためのモジュールである。すなわち、入力画像取得部２５ａ１の機能によりＣＰＵ２４は、カメラ制御部２１を介して、カメラ１１に撮影を実行させるとともに、カメラ１１から入力画像データ２５ｄを取得する。

基準入力値取得部２５ａ２は、検査箇所が有するＮ種類（Ｎ＝３）の基板要素のそれぞれについて、当該基板要素に対応する入力値Ｉである基準入力値ＩＳを取得する機能をＣＰＵ２４に実行させるモジュールである。上述したように、本実施形態の検査箇所が有する基板要素は、接合部ＰとチップコンデンサＣの本体部Ｃ１とソルダーレジストＤであり、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、これらのそれぞれについて典型的な入力値Ｉである基準入力値ＩＳを取得する。

以下、基準入力値ＩＳを取得するための構成について詳細に説明する。基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、基板要素のそれぞれについて、当該基板要素に対応する基準入力値ＩＳの指定を入力部（入力装置４０，入力Ｉ／Ｆ部２７）にて受け付ける。すなわち、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、入力装置４０に対する操作に対応する操作信号を取得し、当該操作信号に基づいて基準入力値ＩＳを取得する。具体的に、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、入力画像データの各画素の度数を入力値Ｉごとに示す度数分布（図２Ｂ、参照）を表示装置３０に表示させる。

図４は、表示装置３０が表示する指定画像Ａを示す図である。指定画像Ａは、マスタ検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄを用いて、基準入力値ＩＳの指定を受け付けるための画像である。指定画像Ａは、マスタ検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄの各画素の度数を入力値Ｉごとに示す度数分布を示すグラフ部Ａ１を含む。基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、マスタ検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄを構成する画素の度数を入力値Ｉごとに計数し、当該計数した度数に応じた高さを縦軸方向に有する棒Ｂが、入力値Ｉの順に横軸方向に配列した棒グラフを示すグラフ部Ａ１を生成する。グラフ部Ａ１に示される度数分布は、図２Ｂの度数分布を棒グラフで表現したものである。

指定画像Ａは、スライダーバーＡ２ａ，Ａ２ｂ，Ａ２ｃを含む。スライダーバーＡ２ａ，Ａ２ｂ，Ａ２ｃは、グラフ部Ａ１の横軸を下方に平行移動した線分であり、当該線分上の各位置にグラフ部Ａ１の横軸と同様に入力値Ｉが対応付けられている。基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、検査箇所の基板要素の種類数Ｎ（Ｎ＝３）と等しい個数のスライダーバーＡ２ａ，Ａ２ｂ，Ａ２ｃを生成する。なお、検査箇所の基板要素の種類数Ｎは、基板データ２５ｃから取得できる。なお、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、図２Ｂに示す度数分布を解析することにより、当該度数分布における分布数（ピーク数等）を基板要素の種類数Ｎとして取得してもよい。

基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、スライダーバーＡ２ａ，Ａ２ｂ，Ａ２ｃの線分上に設けられたスライダーＡ２ａ１，Ａ２ｂ１，Ａ２ｃ１の位置を指定するための操作を受け付け、当該操作に応じてスライダーＡ２ａ１，Ａ２ｂ１，Ａ２ｃ１を移動させる。スライダーＡ２ａ１，Ａ２ｂ１，Ａ２ｃ１の位置を指定するための操作とは、スライダーＡ２ａ１，Ａ２ｂ１，Ａ２ｃ１をドラッグ・アンド・ドロップする操作である。以下、基準入力値ＩＳを対応する基板要素ごとに区別するために、基準入力値ＩＳの値が小さい順に付与された基板要素の番号を示す下付文字を基準入力値ＩＳ等の符号に付す場合がある。基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、スライダーバーＡ２ａ，Ａ２ｂ，Ａ２ｃの線分上におけるスライダーＡ２ａ１，Ａ２ｂ１，Ａ２ｃ１のそれぞれに対応する入力値Ｉを基準入力値ＩＳ₁，ＩＳ₂，ＩＳ₃として取得する。

スライダーバーＡ２ａ，Ａ２ｂ，Ａ２ｃのうち最も上方に位置するスライダーバーＡ２ａは、最も入力値Ｉが小さい画素の分布Ｇ₁について基準入力値ＩＳ₁を指定するために設けられている。最も入力値Ｉが小さい画素の分布Ｇ₁とは、反射率が最も小さいチップコンデンサＣの本体部Ｃ１を撮影した画素の分布Ｇ₁である。スライダーバーＡ２ａ，Ａ２ｂ，Ａ２ｃのうち上方から２番目に位置するスライダーバーＡ２ｂは、２番目に入力値Ｉが小さい画素の分布Ｇ₂について基準入力値ＩＳ₂を指定するために設けられている。２番目に入力値Ｉが小さい画素の分布Ｇ₂とは、反射率が２番目に小さいソルダーレジストＤを撮影した画素の分布Ｇ₂である。スライダーバーＡ２ａ，Ａ２ｂ，Ａ２ｃのうち最も下方に位置するスライダーバーＡ２ｃは、最も入力値Ｉが大きい画素の分布Ｇ₃について基準入力値ＩＳ₃を指定するために設けられている。最も入力値Ｉが大きい画素の分布Ｇ₃とは、反射率が最も大きい接合部Ｐを撮影した画素の分布Ｇ₃である。使用者は、グラフ部Ａ１を視認しながら、どの入力値Ｉが各分布Ｇ₁，Ｇ₂，Ｇ₃における典型的な入力値Ｉであるかを容易に認識し、当該典型的な入力値Ｉを基準入力値ＩＳとして指定できる。

例えば、使用者は、グラフ部Ａ１において分布Ｇ₁，Ｇ₂，Ｇ₃のピークを見つけ、当該ピークが表れている入力値Ｉを基準入力値ＩＳとして指定できる。また、分布Ｇ₁，Ｇ₂，Ｇ₃の形状がいびつな形状となっている場合でも、使用者は、当該分布Ｇ₁，Ｇ₂，Ｇ₃の形状に基づいて当該分布Ｇ₁，Ｇ₂，Ｇ₃における典型的な入力値Ｉを推定できる。例えば、単一の分布Ｇ₁，Ｇ₂，Ｇ₃に複数のピークが表れる場合に、複数のピークの平均値を基準入力値ＩＳとして指定すべきか、あるいは、複数のピークのうち最も度数が大きいものを基準入力値ＩＳとして指定すべきか等を、分布Ｇ₁，Ｇ₂，Ｇ₃の形状に基づいて臨機応変に判断できる。

なお、指定画像Ａには確定ボタンＡ３が設けられており、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、確定ボタンＡ３が押下する操作を受け付けた場合に、当該操作を受け付けた時点における各スライダーＡ２ａ１，Ａ２ｂ１，Ａ２ｃ１の位置に対応する基準入力値ＩＳ₁，ＩＳ₂，ＩＳ₃の確定値を取得する。また、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、確定ボタンＡ３が押下する操作を受け付けていない場合に、スライダーＡ２ａ１，Ａ２ｂ１，Ａ２ｃ１のいずれかが移動するごとに各スライダーＡ２ａ１，Ａ２ｂ１，Ａ２ｃ１の位置に対応する基準入力値ＩＳ₁，ＩＳ₂，ＩＳ₃の暫定値を取得する。なお、本実施形態では、３種類（Ｎ＝３）の基板要素を有する基板５０を検査する例を図示するが、任意のＮ種類の基板要素を有する基板５０を検査する場合、Ｎ個の基準入力値ＩＳ₁〜ＩＳ_Nが取得されることとなる。基準入力値ＩＳ₁は基準入力値ＩＳ₁〜ＩＳ_Nのうちの最小値であり、基準入力値ＩＳ_Nは基準入力値ＩＳ₁〜ＩＳ_Nのうちの最大値である。

検査画像生成部２５ａ３は、入力画像データ２５ｄの各画素の入力値Ｉを変換関数Ｆによって出力値に変換することにより、各画素に出力値が対応付けられた検査画像データを生成する機能をＣＰＵ２４に実行させるモジュールである。この変換関数Ｆは変換関数設定部２５ａ４の機能によって設定される。暫定的な変換関数Ｆは基準入力値ＩＳの暫定値に基づいて設定されるのに対して、確定的な変換関数は基準入力値ＩＳの確定値に基づいて設定される。検査画像生成部２５ａ３の機能によりＣＰＵ２４は、暫定的な変換関数Ｆによって入力画像データ２５ｄの各画素の入力値Ｉを出力値に変換することにより、確認画像データ２５ｅを生成する。また、検査画像生成部２５ａ３の機能によりＣＰＵ２４は、確定的な変換関数Ｆによって入力画像データ２５ｄの各画素の入力値Ｉを出力値に変換することにより、マスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとを生成する。上述したように、検査プログラム２５ｂの機能によりＣＰＵ２４は、マスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとが類似する場合に、製品検査箇所においてチップコンデンサＣ等の電子部品が正常に実装されていると判定する。

図５Ａは、変換関数Ｆを説明するグラフである。図５Ａにおいて、横軸は入力値Ｉを示し、縦軸は出力値Ｏを示す。図５Ａに示すように、折れ線状の変換関数Ｆによって入力値Ｉと出力値Ｏとの対応関係が一意に特定でき、各画素の入力値Ｉを変換関数Ｆに入力することにより、当該入力値Ｉを出力値Ｏに変換できる。ここで、Ｍ番目（ＭはＮ未満の自然数）に小さい基準入力値ＩＳ_Mと（Ｍ＋１）番目に小さい基準入力値ＩＳ_M+1とによって区分された入力値Ｉの区間を入力区間Ｒ_Mとする。Ｎ個の基板要素を有する基板５０を撮影した場合、（Ｎ−１個）の入力区間Ｒ_Mが形成されることとなる。

変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、基準入力値ＩＳに基づいて入力区間Ｒ_Mごとに変換関数Ｆの傾きを設定する。なお、変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、基準入力値ＩＳが暫定値であるか確定値であるかに拘わらず、同様の手法により変換関数Ｆを設定する。変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、下記の（１）式によって変換対象の入力値Ｉが属する入力区間Ｒ_M（ＩＳ_M≦Ｉ＜ＩＳ_M+1）ごとに変換関数Ｆの傾きα_Mを設定する。

前記の（１）式において、Ｗ_Mは入力区間Ｒ_Mの幅（ＩＳ_M+1−ＩＳ_M）を示し、Ｋは出力区間幅を示す。出力区間幅Ｋは、ある入力区間Ｒ_Mに属する入力値Ｉを変換関数Ｆで変換した出力値Ｏが取り得る出力値Ｏの区間の幅を意味する。本実施形態において、変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、出力値Ｏの全階調範囲（０〜Ｏ_max）の幅（Ｏ_max）を全入力区間Ｒ_Mの個数（Ｎ−１）で等分した値を出力区間幅Ｋとして設定する。前記の（１）式に示すように、変換関数Ｆの傾きα_Mは、出力区間幅Ｋを、変換対象の入力値Ｉが属する入力区間Ｒ_Mの幅Ｗ_Mで除算した値となる。従って、変換対象の入力値Ｉが属する区間の幅Ｗ_Mが大きいほど変換関数Ｆの傾きα_Mが小さくなる。そのため、図２Ｂ，図４，図５Ａの例において、第１の入力区間としての入力区間Ｒ₁の幅Ｗ₁（＝ＩＳ₂−ＩＳ₁）が第２の入力区間としての入力区間Ｒ₂の幅Ｗ₂（＝ＩＳ₃−ＩＳ₂）よりも小さく、第２の入力区間としての入力区間Ｒ₂における変換関数Ｆの傾きα₂よりも第１の入力区間としての入力区間Ｒ₁における変換関数Ｆの傾きα₁が大きくなっている。

変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、前記の（１）式の傾きα_Mを有する線形関数が基準入力値ＩＳにて接続する関数を変換関数Ｆとして設定する。具体的には、変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、下記の（２）式によって変換関数Ｆを設定する。

前記の（２）式が示すように、変換関数Ｆは、入力区間Ｒ_Mの最小値ＩＳ_Mに対する変換対象の入力値Ｉの変化量（Ｉ−ＩＳ_M）に、入力区間Ｒ_Mにおける傾きα_Mを乗算した第１項を含む。また、変換関数Ｆは、変換対象の入力値Ｉが属する入力区間Ｒ_Mよりも入力値Ｉが小さい入力区間Ｒ₁〜Ｒ_M-1の数（Ｍ−１）に、出力区間幅Ｋを乗算した第２項を含む。変換関数Ｆの第２項は、変換対象の入力値Ｉが属する入力区間Ｒ_Mよりも入力値Ｉが小さい入力区間Ｒ₁〜Ｒ_M-1における出力値Ｏの変化量の累積値を意味する。

ここで、基準入力値ＩＳ_Mを変換関数Ｆによって変換した出力値Ｏは、出力値Ｏの階調範囲において一定の出力区間幅Ｋごとに均等に分布する。以下、その理由について説明する。変換関数Ｆに、基準入力値ＩＳ_Mを代入すると、変換関数Ｆの第１項が０となるとともに、変換関数Ｆの第２項がＫ×（Ｍ−１）となり、結果として出力値ＯはＫ×（Ｍ−１）となる。すなわち、基準入力値ＩＳ_Mを変換関数Ｆによって変換した出力値Ｏは、出力区間幅Ｋの整数倍となり、出力値Ｏの階調範囲において一定の出力区間幅Ｋごとに均等に分布することとなる。

また、変換関数Ｆは、基準入力値ＩＳ_Mにて線形関数が接続する連続的な関数である。以下、その理由について説明する。まず、入力区間Ｒ_M-1に属する入力値Ｉが次の入力区間Ｒ_Mの最小値ＩＳ_Mに限りなく近づく場合を考える。この場合、入力区間Ｒ_M-1における最小値ＩＳ_M-1に対する変換対象の入力値Ｉの変化量が（ＩＳ_M−ＩＳ_M-1）＝Ｗ_M-1となり、変換関数Ｆの第１項がＫとなる。また、変換関数Ｆの第２項がＫ×（Ｍ−２）となり、結果として出力値ＯはＫ×（Ｍ−１）となる。次に、入力値Ｉが入力区間Ｒ_Mの最小値ＩＳ_Mとなる場合を考える。この場合、変換関数Ｆの第１項が０となるとともに、変換関数Ｆの第２項がＫ×（Ｍ−１）となり、結果として出力値ＯはＫ×（Ｍ−１）となる。以上のように、入力区間Ｒ_M-1に属する入力値Ｉが入力区間Ｒ_Mの最小値ＩＳ_Mに限りなく近づく場合と、入力値Ｉが入力区間Ｒ_Mの最小値ＩＳ_Mとなる場合とで、出力値Ｏ＝Ｋ×（Ｍ−１）は互いに一致し、変換関数Ｆは基準入力値ＩＳ_Mにて線形関数が接続する連続的な関数となる。

なお、変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、入力値Ｉが最小の基準入力値ＩＳ₁未満の場合、出力値Ｏを０とする。また、変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、入力値Ｉが最大の基準入力値ＩＳ_N以上の場合、出力値Ｏを当該出力値Ｏの階調範囲の上限値Ｏ_maxとする。従って、最小の基準入力値ＩＳ₁未満、および、最大の基準入力値ＩＳ_N以上の入力値Ｉについては階調情報を破棄し、最小の基準入力値ＩＳ₁以上、かつ、最大の基準入力値ＩＳ_N未満の入力値Ｉについて出力値Ｏの全階調範囲が割り当てられることとなる。

変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、基準入力値ＩＳ_Mの確定値に基づいて確定的な変換関数Ｆを設定する。そして、検査画像生成部２５ａ３の機能によりＣＰＵ２４は、確定的な変換関数によってマスタ検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄを変換することにより、マスタ画像データ２５ｆを生成する。同様に、検査画像生成部２５ａ３の機能によりＣＰＵ２４は、確定的な変換関数によって製品検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄを変換することにより、製品画像データ２５ｇを生成する。

入力区間Ｒ_Mに属する入力値Ｉの分布には、Ｍ番目に小さい基準入力値ＩＳ_Mに対応する基板要素を撮影した画素の入力値Ｉの分布Ｇ_Mと、（Ｍ＋１）番目に小さい基準入力値ＩＳ_M+1に対応する基板要素を撮影した画素の入力値Ｉの分布Ｇ_M+1とが混在する。図２Ｂ，図４，図５Ａの例において、入力区間Ｒ₁に属する入力値Ｉには、最も小さい基準入力値ＩＳ₁に対応する基板要素であるチップコンデンサＣの本体部Ｃ１を撮影した画素の入力値Ｉの分布Ｇ₁と、２番目に小さい基準入力値ＩＳ₂に対応する基板要素であるソルダーレジストＤを撮影した画素の入力値Ｉの分布Ｇ₂とが混在する。また、入力区間Ｒ₂に属する入力値Ｉには、２番目に小さい基準入力値ＩＳ₂に対応する基板要素であるソルダーレジストＤを撮影した画素の入力値Ｉの分布Ｇ₂と、最も大きい基準入力値ＩＳ₃に対応する基板要素である接合部Ｐを撮影した画素の入力値Ｉの分布Ｇ₃とが混在する。従って、入力区間Ｒ_Mの幅が小さいほど、２種類の基板要素を撮影した画素の入力値Ｉの分布Ｇ_M，Ｇ_M+1が接近することとなる。そのため、入力区間Ｒ_Mの幅が小さいほど、２種類の基板要素を撮影した画素を入力値Ｉに基づいて判別することが困難となる。

このような状況において、変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、第１の入力区間Ｒ₁の幅が第２の入力区間Ｒ₂の幅よりも小さい場合に、第２の入力区間Ｒ₂における変換関数Ｆの傾きα₂よりも第１の入力区間Ｒ₁における変換関数Ｆの傾きα₁を大きく設定する。これにより、図５Ｂに示すように、第１の入力区間Ｒ₁に属する入力値Ｉを変換関数Ｆによって変換した出力値Ｏが分布する範囲を広くすることができ、第１の入力区間Ｒ₁の幅が小さくても、当該第１の入力区間Ｒ₁に属する入力値Ｉを変換関数Ｆによって変換した出力値Ｏの分布Ｇ₁，Ｇ₂が接近することを防止できる。従って、もともと幅の大きい第２の入力区間Ｒ₂にて入力値Ｉの分布Ｇ₂，Ｇ₃が接近していなかった２種類の基板要素であるソルダーレジストＤと接合部Ｐとを撮影した画素のみならず、幅の小さい第１の入力区間Ｒ₁にて入力値Ｉの分布Ｇ₁，Ｇ₂が接近していた２種類の基板要素であるチップコンデンサＣの本体部Ｃ１とソルダーレジストＤとを撮影した画素についても、出力値Ｏに基づいて容易に判別することが可能なマスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとを生成できる。また、第１の入力区間Ｒ₁と第２の入力区間Ｒ₂とでそれぞれ２種類の基板要素を撮影した画素を判別できるため、３種類の基板要素を有する基板５０を一対のマスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇに基づいて容易に検査できる。すなわち、判別する基板要素の組み合わせごとに撮影条件を変更して、複数回、入力画像データ２５ｄを撮影しなくても済む。

また、上述したように、最小の基準入力値ＩＳ₁未満、および、最大の基準入力値ＩＳ_N以上の入力値Ｉについては階調情報を破棄し、最小の基準入力値ＩＳ₁以上、かつ、最大の基準入力値ＩＳ_N未満の入力値Ｉについて出力値Ｏの全階調範囲を割り当てている。すなわち、２種類の基板要素を撮影した画素の判別が必要となる入力値Ｉの範囲（基準入力値ＩＳ₁以上、かつ、基準入力値ＩＳ_N未満の範囲）を、出力値Ｏの全階調範囲を割り当てている。これにより、１個の入力区間Ｒ_Mに対して割り当てられる出力値Ｏの範囲の幅である出力区間幅Ｋを大きく確保できる。また、１個の入力区間Ｒ_Mに対して割り当てられる出力区間幅Ｋは、入力区間Ｒ_Mに拘わらず一定である。従って、いずれの基板要素の組み合わせについても、同様の精度で、当該組み合わせを構成する２種類の基板要素を撮影した画素を判別できる。

以上においては、基準入力値ＩＳの確定値に基づいて設定された確定的な変換関数Ｆによってマスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇを得ることにより、製品検査箇所においてチップコンデンサＣ等の電子部品が正常に実装されているか否かを精度よく検査できることを説明した。ここで、検査の精度を向上させるためには、基準入力値ＩＳが適切に指定されていることが必要となる。そのため、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、基準入力値ＩＳの確定値を適切に指定できるように、以下のように構成されている。

まず、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、基準入力値ＩＳの暫定値を取得すると、基準入力値ＩＳの暫定値に基づいて暫定的な変換関数Ｆを設定する。そして、ＣＰＵ２４は、暫定的な変換関数Ｆによってマスタ検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄを変換することにより、確認画像データ２５ｅを生成する。基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、指定画像Ａにおいて、確認画像データ２５ｅが示す画像を確認画像Ａ４として表示させる。確認画像データ２５ｅは、各画素に輝度値としての出力値Ｏが対応付けられているため、確認画像Ａ４はモノクロの画像となる。なお、基準入力値ＩＳの暫定値が受け付けられていない指定画像Ａの初期表示状態（スライダーＡ２ａ１，Ａ２ｂ１，Ａ２ｃ１が未操作の状態）において、マスタ検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄが示す画像をそのまま確認画像Ａ４として表示させる。

以上により、使用者は確認画像Ａ４を視認できる。従って、使用者は、適切な基準入力値ＩＳの暫定値に基づいて変換関数Ｆが設定されているか否かを判断できる。上述したように、適切な基準入力値ＩＳの暫定値に基づいて変換関数Ｆが設定されていれば、チップコンデンサＣの本体部Ｃ１を撮影した画素の入力値Ｉの分布Ｇ₁と、ソルダーレジストＤを撮影した画素の入力値Ｉの分布Ｇ₂と、接合部Ｐを撮影した画素の入力値Ｉの分布Ｇ₃とが接近しないように変換された確認画像データ２５ｅが得られているはずである。従って、確認画像Ａ４において、チップコンデンサＣの本体部Ｃ１を撮影した画素と、ソルダーレジストＤを撮影した画素と、接合部Ｐを撮影した画素とが、互いのコントラストの大きくなる輝度で表示されていることをもって、適切な基準入力値ＩＳが指定できていると判断できる。なお、確認画像Ａ４は良品であることが判明しているマスタ検査箇所の画像であるため、使用者は、各基板要素を撮影した画素が存在している領域を確認画像Ａ４において認識できる。

さらに、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、指定画像Ａにおいて表示モードを指定するためのラジオボタンＡ５を表示させる。ラジオボタンＡ５においてモノクロとカラーのいずれか一方にチェックを入れることが可能となっており、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、ラジオボタンＡ５にチェックを入れる操作を受け付ける。指定画像Ａの初期表示状態では、ラジオボタンＡ５のモノクロにチェックが入れられている。ラジオボタンＡ５のモノクロにチェックが入れられている場合、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、モノクロの確認画像Ａ４を表示する。また、ラジオボタンＡ５のモノクロにチェックが入れられている場合、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、指定画像Ａのグラフ部Ａ１を構成する各棒Ｂを単一色で表示する。

一方、ラジオボタンＡ５のカラーにチェックが入れられている場合、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、確認画像Ａ４として、確認画像データ２５ｅを構成する各画素の出力値Ｏを有彩色に変換した画像を表示する。すなわち、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、確認画像データ２５ｅを構成する各画素の出力値Ｏを有彩色に変換し、当該各画素が有彩色を示す確認画像Ａ４を表示する。例えば、ＣＰＵ２４は、出力値Ｏが０からＯ_maxに変化するのに応じて、確認画像Ａ４の各画素の色が一定の彩度を維持し、色相角が１８０度変化するように（例えば、緑→黄色→赤へと徐々に変化するように）、出力値Ｏを有彩色に変換する。なお、出力値Ｏと有彩色との対応関係を規定した色変換テーブルは、メモリ２５に記録されている。以上により、確認画像Ａ４において、チップコンデンサＣの本体部Ｃ１を撮影した画素と、ソルダーレジストＤを撮影した画素と、接合部Ｐを撮影した画素とが、互いのコントラストの大きくなる色相で表示されていることをもって、適切な基準入力値ＩＳが指定できていると判断できる。すなわち、擬似的な色相のコントラストによって、輝度のコントラストを把握できるため、適切な基準入力値ＩＳが指定できているか否かを明確に判断できる。

さらに、ラジオボタンＡ５のカラーにチェックが入れられている場合、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、入力値Ｉに対応する有彩色を特定し、度数分布を示すグラフ部Ａ１において、入力値Ｉごとの画素数を表す棒Ｂに当該入力値Ｉに対応する有彩色を付す。基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、グラフ部Ａ１の棒Ｂに対応する入力値Ｉを暫定的な変換関数Ｆによって出力値Ｏに変換し、さらに当該出力値Ｏを色変換テーブルによって変換することにより、グラフ部Ａ１の棒Ｂごとに有彩色を特定する。以上により、確認画像Ａ４が示す有彩色とグラフ部Ａ１が示す度数分布との関係を容易に認識することができ、適正な基準入力値ＩＳを指定しているか否かを度数分布と確認画像Ａ４とを対比して判断できる。

さらに、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、確認画像Ａ４における領域の指定を入力装置４０にて受け付け、領域内の各画素に対応する入力値Ｉをグラフ部Ａ１が示す度数分布にて表示させてもよい。具体的には、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、確認画像Ａ４上で行われたドラッグ・アンド・ドロップのドラッグ点とドロップ点とを対角線方向の頂点として有する矩形状の領域Ａ６を取得し、当該領域Ａ６内の画素に対応する出力値Ｏの平均値を取得する。そして、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、指定された領域Ａ６内の画素に対応する出力値Ｏの平均値を変換関数Ｆによって逆変換することにより、領域Ａ６内の画素の出力値Ｏの平均値に対応する入力値Ｉを特定する。さらに、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、領域Ａ６内の画素の出力値Ｏの平均値に対応する入力値Ｉの度数（画素数）を示す棒ＢにマーカＡ７を対応付けて表示する。これにより、使用者は、確認画像Ａ４内において各基板要素が撮影された画素として典型的な画素が存在する領域Ａ６を指定し、当該指定した領域Ａ６内の各画素に対応する入力値Ｉを認識できる。すなわち、使用者は、横方向においてスライダーＡ２ａ１，Ａ２ｂ１，Ａ２ｃ１の位置をマーカＡ７の位置に一致させることにより、各基板要素が撮影された画素として典型的な画素の入力値Ｉを容易に基準入力値ＩＳとして指定できる。例えば、チップコンデンサＣの本体部Ｃ１の幾何学的な中央位置を領域Ａ６として指定することにより、他の基板要素における散乱光等の影響度が小さく、チップコンデンサＣの本体部Ｃ１が撮影された画素として典型的な画素に対応する入力値Ｉを認識できる。

（２）マスタ登録処理：
図６は、マスタ登録処理のフローチャートである。まず、入力画像取得部２５ａ１の機能によりＣＰＵ２４は、正常にチップコンデンサＣ等の電子部品が実装されていることが判明しているマスタ検査箇所を撮影することにより、入力画像データ２５ｄを取得する（ステップＳ１００）。次に、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、指定画像Ａを表示装置３０に表示させる（ステップＳ１０５：図４）。なお、初期表示状態において、ラジオボタンＡ５のモノクロにチェックが入れられており、入力値Ｉをそのまま出力値Ｏとする暫定的な変換関数Ｆが初期の変換関数Ｆとして設定されていることとする。従って、初期表示状態において、マスタ検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄと確認画像データ２５ｅとは同一の画像データとなる。すなわち、初期表示状態において、各画素が入力画像データ２５ｄの入力値Ｉを示すモノクロの画像が確認画像Ａ４として表示される。

次に、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、指定画像Ａにおいて操作が受け付けられたか否かを判定する（ステップＳ１１０）。そして、指定画像Ａにおいて操作が受け付けられない場合には（ステップＳ１１０：Ｎ）、引き続き、指定画像Ａにおいて操作が受け付けられる。ラジオボタンＡ５のチェックを変更する操作が受け付けられた場合（ステップＳ１１０：Ｔ１）、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、ラジオボタンＡ５のカラーがチェックされているか否かを判定する（ステップＳ１１５）。

ラジオボタンＡ５のカラーがチェックされていると判定した場合（ステップＳ１１５：Ｙ）、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、カラーフラグをＯＮにする（ステップＳ１２０）。カラーフラグをＯＮにすると、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、確認画像Ａ４とグラフ部Ａ１とをモノクロからカラーへと切り替える（ステップＳ１２５）。すなわち、ＣＰＵ２４は、確認画像データ２５ｅの各画素の出力値Ｏを有彩色に変換し、各画素が有彩色を示す画像を確認画像Ａ４として表示する。また、ＣＰＵ２４は、度数分布を示すグラフ部Ａ１において、入力値Ｉごとの画素数を表す棒Ｂに当該入力値Ｉに対応する有彩色を付す。入力値Ｉに対応する有彩色とは、当該入力値Ｉを暫定的な変換関数Ｆで変換した出力値Ｏに対応する有彩色である。

一方、ラジオボタンＡ５のカラーがチェックされていると判定しなかった場合（ステップＳ１１５：Ｎ）、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、カラーフラグをＯＦＦにする（ステップＳ１３０）。カラーフラグをＯＦＦにすると、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、確認画像Ａ４とグラフ部Ａ１とをカラーからモノクロへと切り替える（ステップＳ１３５）。すなわち、ＣＰＵ２４は、確認画像データ２５ｅの各画素の出力値Ｏが意味する輝度を示す画像を確認画像Ａ４として表示する。また、ＣＰＵ２４は、度数分布を示すグラフ部Ａ１において、入力値Ｉごとの画素数を表すすべての棒Ｂに単一色を付す。

確認画像Ａ４において領域Ａ６を指定する操作が受け付けられた場合（ステップＳ１１０：Ｔ２）、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、グラフ部Ａ１の棒ＢにマーカＡ７を対応付けて表示する（ステップＳ１４０）。すなわち、ＣＰＵ２４は、指定された領域Ａ６内の画素に対応する出力値Ｏの平均値を暫定的な変換関数Ｆによって逆変換した入力値Ｉを特定し、当該入力値Ｉに対応する棒ＢにマーカＡ７を対応付けて表示する。

スライダーＡ２ａ１，Ａ２ｂ１，Ａ２ｃ１のいずれかを移動させる操作が受け付けられた場合（ステップＳ１１０：Ｔ３）、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、スライダーＡ２ａ１，Ａ２ｂ１，Ａ２ｃ１の位置に対応する基準入力値ＩＳの暫定値を取得する（ステップＳ１４５）。そして、変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、基準入力値ＩＳの暫定値に基づいて、暫定的な変換関数Ｆを更新設定する（ステップＳ１５０）。すなわち、ＣＰＵ２４は、前記の（２）式によって、暫定的な変換関数Ｆを更新設定する。次に、検査画像生成部２５ａ３の機能によりＣＰＵ２４は、暫定的な変換関数Ｆによってマスタ検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄを変換することにより確認画像データ２５ｅを更新する（ステップＳ１５５）。

そして、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、カラーフラグがＯＮであるか否かを判定する（ステップＳ１６０）。カラーフラグがＯＮであると判定した場合（ステップＳ１６０：Ｙ）、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、確認画像データ２５ｅの各画素の出力値Ｏを有彩色に変換する（ステップＳ１６５）。そして、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、確認画像Ａ４を更新表示する（ステップＳ１７０）。一方、カラーフラグがＯＮであると判定しなかった場合（ステップＳ１６０：Ｎ）、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、確認画像データ２５ｅの各画素の出力値Ｏを有彩色に変換することなく、確認画像データ２５ｅの各画素の出力値Ｏが意味する輝度を示す画像で確認画像Ａ４を更新表示する（ステップＳ１７０）。

確定ボタンＡ３を押下する操作が受け付けられた場合（ステップＳ１１０：Ｔ４）、基準入力値取得部２５ａ２の機能によりＣＰＵ２４は、基準入力値ＩＳの暫定値を、基準入力値ＩＳの確定値として取得する（ステップＳ１７５）。そして、変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、基準入力値ＩＳの確定値に基づいて、確定的な変換関数Ｆを設定する（ステップＳ１８０）。確定的な変換関数Ｆを設定すると、検査画像生成部２５ａ３の機能によりＣＰＵ２４は、確定的な変換関数Ｆによってマスタ検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄを変換することによりマスタ画像データ２５ｆを生成する（ステップＳ１８５）。以上の処理により、確定的な変換関数Ｆとマスタ画像データ２５ｆとをメモリ２５に登録できる。マスタ画像データ２５ｆには、マスタ検査箇所に実装されている電子部品の種類と実装方向とが対応付けられる。また、確定的な変換関数Ｆには、マスタ検査箇所に実装されている電子部品の種類が対応付けられる。

（３）製品検査処理：
図７は、製品検査処理のフローチャートである。まず、入力画像取得部２５ａ１の機能によりＣＰＵ２４は、チップコンデンサＣ等の電子部品が正常に実装されているか否かが不明な製品検査箇所を撮影することにより得られた入力画像データ２５ｄを取得する（ステップＳ２００）。次に、検査画像生成部２５ａ３の機能によりＣＰＵ２４は、確定的な変換関数Ｆによって製品検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄを変換することにより製品画像データ２５ｇを生成する（ステップＳ２１０）。検査画像生成部２５ａ３の機能によりＣＰＵ２４は、製品検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄを変換する確定的な変換関数Ｆとして、製品検査箇所と同一の電子部品（チップコンデンサＣ）が実装されたマスタ検査箇所を撮影した入力画像データ２５ｄに基づいて設定された確定的な変換関数Ｆを取得する。

次に、検査プログラム２５ｂの機能によりＣＰＵ２４は、マスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとを比較する（ステップＳ２２０）。検査プログラム２５ｂの機能によりＣＰＵ２４は、製品画像データ２５ｇと比較するマスタ画像データ２５ｆとして、製品検査箇所と同一の電子部品（チップコンデンサＣ）が実装されたマスタ検査箇所を撮影することにより得られたマスタ画像データ２５ｆを取得する。検査プログラム２５ｂの機能によりＣＰＵ２４は、マスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとのそれぞれにおいて接合部Ｐを撮影した画素と、チップコンデンサＣの本体部Ｃ１を撮影した画素と、ソルダーレジストＤを撮影した画素とを判別し、これらの画素の分布形状を比較する。

次に、検査プログラム２５ｂの機能によりＣＰＵ２４は、マスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとが類似しているか否かを判定する（ステップＳ２３０）。すなわち、ＣＰＵ２４は、接合部Ｐを撮影した画素と、チップコンデンサＣの本体部Ｃ１を撮影した画素と、ソルダーレジストＤを撮影した画素との分布形状がマスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとで所定基準以上類似しているか否かを判定する。マスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとが類似していると判定した場合（ステップＳ２３０：Ｙ）、検査プログラム２５ｂの機能によりＣＰＵ２４は、製品検査箇所においてチップコンデンサＣが正常に実装されていると判定する（ステップＳ２４０）。一方、マスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとが所定基準以上類似していると判定しなかった場合（ステップＳ２３０：Ｎ）、検査プログラム２５ｂの機能によりＣＰＵ２４は、製品検査箇所においてチップコンデンサＣが正常に実装されていないと判定する（ステップＳ２５０）。

（４）他の実施形態：
図８は、他の実施形態にかかる変換関数Ｆを示す。図８の変換関数Ｆは、４種類（Ｎ＝４）種類の基板要素を有する検査箇所を撮影した場合に設定される変換関数Ｆである。変換関数Ｆにおいて、４個の基準入力値ＩＳ₁〜ＩＳ₄が設定されており、３個の入力区間Ｒ₁〜Ｒ₃が形成されている。変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、各入力区間Ｒ₁〜Ｒ₃に対応する出力区間幅Ｋを、出力値Ｏの全階調範囲の幅を３（＝Ｎ−１）等分した幅に設定している。各入力区間Ｒ₁〜Ｒ₃における変換関数Ｆの傾きα₁〜α₃は、前記実施形態と同様に前記の（１）式によって設定されている。図８に示すように、検査箇所を構成する基板要素が４種類以上となった場合でも、変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、３個以上の入力区間Ｒ₁〜Ｒ₃ごとに変換関数Ｆの傾きを設定すればよい。これにより、４種類以上の基板要素が検査箇所において正常に存在しているか否かを単一の検査画像に基づいて判定できる。なお、図８において、第１の入力区間としての入力区間Ｒ₁の幅Ｗ₁（＝ＩＳ₂−ＩＳ₁）が第２の入力区間としての入力区間Ｒ₂の幅Ｗ₂（＝ＩＳ₃−ＩＳ₂）よりも小さく、第２の入力区間としての入力区間Ｒ₂における変換関数Ｆの傾きα₂よりも第１の入力区間としての入力区間Ｒ₁における変換関数Ｆの傾きα₁が大きくなっている。また、図８において、第１の入力区間としての入力区間Ｒ₃の幅Ｗ₃（＝ＩＳ₄−ＩＳ₃）が第２の入力区間としての入力区間Ｒ₂の幅Ｗ₂（＝ＩＳ₃−ＩＳ₂）よりも小さく、第２の入力区間としての入力区間Ｒ₂における変換関数Ｆの傾きα₂よりも第１の入力区間としての入力区間Ｒ₃における変換関数Ｆの傾きα₃が大きくなっている。さらに、図８において、第１の入力区間としての入力区間Ｒ₃の幅Ｗ₃（＝ＩＳ₄−ＩＳ₃）が第２の入力区間としての入力区間Ｒ₁の幅Ｗ₁（＝ＩＳ₂−ＩＳ₁）よりも小さく、第２の入力区間としての入力区間Ｒ₁における変換関数Ｆの傾きα₁よりも第１の入力区間としての入力区間Ｒ₃における変換関数Ｆの傾きα₃が大きくなっている。なお、変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、入力区間Ｒごとに非線形関数を設定し、当該非線形関数を基準入力値ＩＳにて接続することにより変換関数Ｆを設定してもよい。この場合、各入力区間Ｒ内において変換関数Ｆの傾きが変動することとなるが、変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、例えば幅Ｗが小さい入力区間Ｒほど変換関数Ｆの傾き（微分値）の平均値が大きくなるように変換関数Ｆを設定すればよい。

なお、前記実施形態では、電子部品としてチップコンデンサＣが正常に実装されているか否かを検査するための構成を例示したが、検査対象の電子部品はチップコンデンサＣに限らない。すなわち、可視光に対する反射率が異なる複数の基板要素が形成される電子部品が実装された検査箇所であれば、変換関数Ｆを設定できる。さらに、チップコンデンサＣ等の電子部品に極性マーク等のマークが印刷されている場合において、ＣＰＵ２４は、基板要素としてのマークの位置等を検査するための製品画像データ２５ｇを生成してもよい。さらに、カメラ１１はモノクロカメラでなくてもよく、カラー画像（ＲＧＢ画像、色差信号の画像等）を生成してもよい。そして、入力画像取得部２５ａ１の機能によりＣＰＵ２４は、カラー画像データを構成するＲＧＢチャネルのうち最も輝度に対する寄与度が大きいＧチャネルの階調値を入力値として有する入力画像データ２５ｄを取得してもよい。また、入力画像取得部２５ａ１の機能によりＣＰＵ２４は、ＲＧＢチャネルの各階調値を輝度に変換することにより、入力画像データ２５ｄを取得してもよい。さらに、照明装置１２の代わりに放射線発生装置を備え、放射線が基板５０を透過した透過像をカメラ１１が撮影してもよい。この場合、放射線の透過率が異なる複数の基板要素が形成される電子部品が実装された検査箇所であれば、変換関数Ｆを設定できる。

検査画像生成部２５ａ３の機能によりＣＰＵ２４は、予めすべての入力値Ｉを変換関数Ｆによって出力値Ｏに変換し、当該入力値Ｉと出力値Ｏとの対応関係を規定した変換テーブルを作成しておいてもよい。そして、検査画像生成部２５ａ３の機能によりＣＰＵ２４は、入力画像データ２５ｄを構成する各画素の入力値Ｉに対応する出力値Ｏを変換テーブルを参照することにより、入力値Ｉを出力値Ｏに変換してもよい。

さらに、検査画像生成部２５ａ３の機能によりＣＰＵ２４は、製品画像データ２５ｇを表示装置３０に表示させてもよい。これにより、使用者は、表示装置３０に表示された画像に基づいて製品検査箇所が正常であるか否かを判定できる。また、検査プログラム２５ｂの機能によりＣＰＵ２４は、必ずしもマスタ画像データ２５ｆと製品画像データ２５ｇとを比較することにより製品検査箇所の検査を行わなくてもよく、マスタ画像データ２５ｆを使用することなく、製品画像データ２５ｇが所定の良品条件を満足するか否かを判定してもよい。

前記の実施形態のように、幅Ｗが小さい入力区間Ｒほど変換関数Ｆの傾きαが大きくなるように変換関数Ｆを設定する構成において、変換関数設定部２５ａ４の機能によりＣＰＵ２４は、必ずしも変換関数Ｆの傾きαを幅Ｗに反比例する値に設定しなくてもよい。すなわち、ＣＰＵ２４は、変換関数Ｆの傾きαを幅Ｗの単調減少関数によって設定すればよく、前記の（１）式に基づいて変換関数Ｆの傾きαを設定しなくてもよい。さらに、ＣＰＵ２４は、幅Ｗが小さい入力区間Ｒほど変換関数Ｆの傾きαが大きくなるように変換関数Ｆを設定しなくてもよい。例えば、ＣＰＵ２４は、幅Ｗが閾値未満の入力区間Ｒ（第１の入力区間）については変換関数Ｆの傾きαを１よりも大きい値に設定し、幅Ｗが閾値以上の入力区間Ｒ（第２の入力区間）については変換関数Ｆの傾きαを１に設定してもよい。図５Ａにおいて、入力区間Ｒ₁の幅Ｗ₁が閾値未満であり、入力区間Ｒ₂の幅Ｗ₂が閾値以上である場合、入力区間Ｒ₁については変換関数Ｆの傾きα₁を１よりも大きい値に設定し、入力区間Ｒ₂については変換関数Ｆの傾きα₂を１に設定してもよい。ここで、変換関数Ｆの傾きα₂が１に設定される入力区間Ｒ₂については、変換後の出力値Ｏが取る区間の幅が入力区間Ｒ₂の幅Ｗ₂のまま維持される。従って、出力値Ｏの全階調範囲から傾きα₂を１に設定する入力区間Ｒ₂の幅Ｗ₂を除いた階調範囲（Ｏ_max−Ｗ₂）の全体が入力区間Ｒ₁に割り当てられるように、入力区間Ｒ₁について変換関数Ｆの傾きα₁（例えば、α₁＝（Ｏ_max−Ｗ₂）／Ｗ₁）を設定すればよい。さらに、ＣＰＵ２４は、幅Ｗが最も大きい入力区間Ｒ（第２の入力区間）については１よりも小さい変換関数Ｆの傾きαを設定し、幅Ｗが最も小さい入力区間Ｒ（第１の入力区間）については１よりも大きい変換関数Ｆの傾きαを設定し、それ以外の入力区間Ｒについては変換関数Ｆの傾きαを１に設定してもよい。

１…基板検査装置、１０…撮像部、１１…カメラ、１２…照明装置、１３…Ｘ−Ｙステージ、２０…制御部、２１…カメラ制御部、２３…ステージ制御部、２４…ＣＰＵ、２５…メモリ、２５ａ…検査画像生成プログラム、２５ａ１…入力画像取得部、２５ａ２…基準入力値取得部、２５ａ３…検査画像生成部、２５ａ４…変換関数設定部、２５ｂ…検査プログラム、２５ｃ…基板データ、２５ｄ…入力画像データ、２５ｅ…確認画像データ、２５ｆ…マスタ画像データ、２５ｇ…製品画像データ、２６…出力Ｉ／Ｆ部、２７…入力Ｉ／Ｆ部、３０…表示装置、４０…入力装置、５０…基板、Ａ…指定画像、Ｃ…チップコンデンサ、Ｃ１…本体部、Ｃ２…端子部、Ｄ…ソルダーレジスト、Ｆ…変換関数、Ｇ…分布、ＩＳ…基準入力値、Ｋ…出力区間幅、Ｎ…種類数、Ｏ…出力値、Ｐ…接合部、Ｒ…入力区間、Ｓ…半田。

Claims (9)

1. 基板を撮影した入力画像を示す画像データであって、各画素に入力値が対応付けられた入力画像データを取得する入力画像取得手段と、
   前記基板が有するＮ種類（Ｎは３以上の整数）の基板要素のそれぞれについて、当該基板要素に対応する前記入力値である基準入力値を取得する基準入力値取得手段と、
   前記入力画像データの各画素の前記入力値を変換関数によって出力値に変換することにより、各画素に前記出力値が対応付けられた検査画像データを生成する検査画像生成手段と、
   Ｍ番目（ＭはＮ未満の自然数）に小さい前記基準入力値と（Ｍ＋１）番目に小さい前記基準入力値とによって区分された前記入力値の区間である入力区間ごとに前記変換関数の傾きを設定するとともに、
   第１の前記入力区間の幅が第２の前記入力区間の幅よりも小さい場合に、第２の前記入力区間における前記変換関数の傾きよりも第１の前記入力区間における前記変換関数の傾きを大きく設定する変換関数設定手段と、
   を備える検査画像生成装置。
2. 前記変換関数設定手段は、前記入力区間ごとに傾きが設定された線形関数が前記基準入力値にて接続する関数を前記変換関数として設定する、
   請求項１に記載の検査画像生成装置。
3. 前記基準入力値取得手段は、
   前記入力画像データの各画素の度数を前記入力値ごとに示す度数分布を表示部に表示させ、
   Ｎ種類の基板要素のそれぞれについて、当該基板要素に対応する前記基準入力値の指定を入力部にて受け付ける、
   請求項１または請求項２のいずれかに記載の検査画像生成装置。
4. 前記変換関数設定手段は、
   前記基準入力値の指定を前記入力部にて受け付けるごとに、当該基準入力値に応じた前記変換関数を設定し、
   前記基準入力値取得手段は、
   前記入力画像データの各画素の前記入力値を前記変換関数によって前記出力値に変換することにより、各画素に前記出力値が対応付けられた確認画像データを生成し、
   前記確認画像データに基づいて確認画像を前記表示部に表示させる、
   請求項３に記載の検査画像生成装置。
5. 前記基準入力値取得手段は、
   前記入力画像内または前記確認画像内における領域の指定を前記入力部にて受け付け、
   前記領域内の各画素に対応する前記入力値を前記度数分布にて表示させる、
   請求項３または請求項４のいずれかに記載の検査画像生成装置。
6. 前記入力値と前記出力値とは輝度を表し、
   前記基準入力値取得手段は、
   前記確認画像として、当該確認画像データの各画素の出力値を有彩色に変換した画像を前記表示部に表示させる、
   請求項４に記載の検査画像生成装置。
7. 前記基準入力値取得手段は、
   前記入力値に対応する前記有彩色を特定し、
   前記度数分布において、前記入力値ごとの画素数を表す部分に当該入力値に対応する前記有彩色を付す、
   請求項５に記載の検査画像生成装置。
8. 基板を撮影した入力画像を示す画像データであって、各画素に入力値が対応付けられた入力画像データを取得する入力画像取得工程と、
   前記基板が有するＮ種類（Ｎは３以上の整数）の基板要素のそれぞれについて、当該基板要素に対応する前記入力値である基準入力値を取得する基準入力値取得工程と、
   前記入力画像データの各画素の前記入力値を変換関数によって出力値に変換することにより、各画素に前記出力値が対応付けられた検査画像データを生成する検査画像生成工程と、
   Ｍ番目（ＭはＮ未満の自然数）に小さい前記基準入力値と（Ｍ＋１）番目に小さい前記基準入力値とによって区分された前記入力値の区間である入力区間ごとに前記変換関数の傾きを設定するとともに、
   第１の前記入力区間の幅が第２の前記入力区間の幅よりも小さい場合に、第２の前記入力区間における前記変換関数の傾きよりも第１の前記入力区間における前記変換関数の傾きを大きく設定する変換関数設定工程と、
   を含む検査画像生成方法。
9. 基板を撮影した入力画像を示す画像データであって、各画素に入力値が対応付けられた入力画像データを取得する入力画像取得機能と、
   前記基板が有するＮ種類（Ｎは３以上の整数）の基板要素のそれぞれについて、当該基板要素に対応する前記入力値である基準入力値を取得する基準入力値取得機能と、
   前記入力画像データの各画素の前記入力値を変換関数によって出力値に変換することにより、各画素に前記出力値が対応付けられた検査画像データを生成する検査画像生成機能と、
   Ｍ番目（ＭはＮ未満の自然数）に小さい前記基準入力値と（Ｍ＋１）番目に小さい前記基準入力値とによって区分された前記入力値の区間である入力区間ごとに前記変換関数の傾きを設定するとともに、
   第１の前記入力区間の幅が第２の前記入力区間の幅よりも小さい場合に、第２の前記入力区間における前記変換関数の傾きよりも第１の前記入力区間における前記変換関数の傾きを大きく設定する変換関数設定機能と、
   をコンピュータに実行させる検査画像生成プログラム。

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