JP2014131830A - 微小電気機械部品を作製する方法および微小電気機械部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】微小電気機械部品は、カバー部24によって密封された微小電気機械チップ部46と、互いに好適に接合された電子回路部64とを備え、前記カバー部24には電気接続部を設けるための導電構造体が貫通している。微小電気機械チップ部46の幅の少なくとも一方向は電子回路部64の幅よりも大きく、電子回路部64はその表面上に形成された第1接合部材により微小電気機械チップ部46に接合され、さらに前記電子回路部64に近接する微小電気機械チップ部46の表面上に外部接続のための第2接合部材であるバンプ69が形成され、該バンプ高さが前記電子回路部64と第1接合部材を合わせた高さ以上である。
【選択図】図19
Description
第1部分が第1接合部材によって第2部分に接合され、
第2部分が第1部分より大きく第1部分に近接しており、微小電気機械部品を外部接続するために第2接合部材が第2部分の表面上に形成されるような
カバー部により密封された微小電気機械チップ部または
電子回路部
のうちの1つであり、第2部分は第1部分以外の上記の1つである。
第1部分が以下の
第1部分が第1接合部材によって第2部分に接続され、
第2部分が第1部分より大きく、微小電気機械部品の外部接続のために第2接合部材が第2部分の表面上で第1部分に近接して形成されるような
カバー部によって囲繞された微小電気機械チップ部または
電子回路部
のうちの1つであり、第2部分が第1部分以外の上記の1つであるような
カバー部を貫通する電気接続部を設けるためにリードイン構造体を備えたカバー部によって密封された微小電気機械チップ部と、
電子回路部と
を備える微小電気機械部品が提供される。
第1部分が以下の
第1部分が第1接合部材によって第2部分に接合され、
第2部分が第1部分より大きく、微小電気機械加速度センサの外部接続のために第2接合部材が第2部分の表面上で第1部分に近接して形成されるような
カバー部によって密封された微小電気機械チップ部または
電子回路部
のうちの1つであり、第2部分が第1部分以外の上記の1つであるような
カバー部を貫通する電気接続部を設けるためにリードイン構造体を備えたカバー部によって密封された微小電気機械チップ部と、
電子回路部と
を備える微小電気機械加速度センサが提供される。
第1部分が以下の
第1部分が第1接合部材によって第2部分に接合され、
第2部分が第1部分より大きく、微小電気機械角加速度センサの外部接続のために第2接合部材が第2部分の表面上で第1部分に近接して形成されるような
カバー部によって密封された微小電気機械チップ部または
電子回路部
のうちの1つであり、第2部分が第1部分以外の上記の1つであるような
カバー部を貫通する電気接続部を設けるためにリードイン構造体を備えたカバー部によって密封された微小電気機械チップ部と、
電子回路部と
を備える微小電気機械角加速度センサが提供される。
第1部分が以下の
第1部分が第1接合部材によって第2部分に接合され、
第2部分が第1部分より大きく、微小電気機械角速度センサの外部接続のために第2接合部材が第2部分の表面上で第1部分に近接して形成されるような
カバー部によって密封された微小電気機械チップ部または
電子回路部
のうちの1つであり、第2部分が第1部分以外の上記の1つであるような
カバー部を貫通する電気接続部を設けるためにリードイン構造体を備えたカバー部によって密封された微小電気機械チップ部と、
電子回路部と
を備える微小電気機械角速度センサが提供される。
第1部分が以下の
第1部分が第1接合部材によって第2部分に接合され、
第2部分が第1部分より大きく、微小電気機械圧力センサの外部接続のために第2接合部材が第2部分の表面上で第1部分に近接して形成されるような
カバー部によって密封された微小電気機械チップ部または
電子回路部
のうちの1つであり、第2部分が第1部分以外の上記の1つであるような
カバー部を貫通する電気接続部を設けるためにリードイン構造体を備えたカバー部によって密封された微小電気機械チップ部と、
電子回路部と
を備える微小電気機械圧力センサが提供される。
第1部分が以下の
第1部分が第1接合部材によって第2部分に接合され、
第2部分が第1部分より大きく、微小電気機械振動周波数安定装置の外部接続のために第2接合部材が第2部分の表面上で第1部分に近接して形成されるような
カバー部によって密封された微小電気機械チップ部または
電子回路部
のうちの1つであり、第2部分が第1部分以外の上記の1つであるような
カバー部を貫通する電気接続部を設けるためにリードイン構造体を備えたカバー部によって密封された微小電気機械チップ部と、
電子回路部と
を備える微小電気機械振動周波数安定装置が提供される。
第1部分が以下の
第1部分が第1接合部材によって第2部分に接合され、
第2部分が第1部分より大きく、微小電気機械電気信号フィルタの外部接続のために第2接合部材が第2部分の表面上で第1部分に近接して形成されるような
カバー部によって密封された微小電気機械チップ部または
電子回路部
のうちの1つであり、第2部分が第1部分以外の上記の1つであるような
カバー部を貫通する電気接続部を設けるためにリードイン構造体を備えたカバー部によって密封された微小電気機械チップ部と、
電子回路部と
を備える微小電気機械電気信号フィルタが提供される。
第1部分が以下の
第1部分が第1接合部材によって第2部分に接合され、
第2部分が第1部分より大きく、微小電気機械電気信号切替部品の外部接続のために第2接合部材が第2部分の表面上で第1部分に近接して形成されるような
カバー部によって密封された微小電気機械チップ部または
電子回路部
のうちの1つであり、第2部分が第1部分以外の上記の1つであるような
カバー部を貫通する電気接続部を設けるためにリードイン構造体を備えたカバー部によって密封された微小電気機械チップ部と、
電子回路部と
を備える微小電気機械電気信号切替部品が提供される。
第1部分が以下の
第1部分が第1接合部材によって第2部分に接合され、
第2部分が第1部分より大きく、微小電気機械電気インピーダンス整合デバイスの外部接続のために第2接合部材が第2部分の表面上で第1部分に近接して形成されるような
カバー部によって密封された微小電気機械チップ部または
電子回路部
のうちの1つであり、第2部分が第1部分以外の上記の1つであるような
カバー部を貫通する電気接続部を設けるためにリードイン構造体を備えたカバー部によって密封された微小電気機械チップ部と、
電子回路部と
を備える微小電気機械電気インピーダンス整合デバイスが提供される。
添付の図面を例示的に参照して、以下に本発明およびその好ましい実施形態を詳細に記載する。
Claims (80)
- 微小電気機械チップ部(46)と電子回路部(64,74)から構成される微小電気機械部品を作製するための方法であって、
微小電気機械チップ部(46)は、カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)によって密封され、前記カバー部には電気接続部を設けるための導電構造体が貫通しており、
第1部分を電子回路部(64,74)、第2部分を前記カバー部によって密封された前記微小電気機械チップ部(46)としたとき、
前記第2部分の幅は少なくとも一方向において前記第1部分の前記方向における幅よりも大きく、
前記第1部分は、前記第1部分の表面上に形成された第1接合部材(61−63)、(75−79)によって、前記第2部分の表面に接合されるとともに、電気的に前記第2部分に接続され、
前記第1部分に近接している前記第2部分の表面上に、前記微小電気機械部品を外部接続するための第2接合部材(69−70)、(84−85)が形成され、
前記第2部分の前記第2接合部材(69−70)、(84−85)にバンプが形成され、
前記バンプの高さが、前記第1部分と前記第1接合部材(61−63)、(75−79)を合わせた高さ以上であることを特徴とする方法。 - 前記カバー部(24)がガラス製であり、前記カバー部(24)内にガラスを貫通して延在する導電領域(25−27)がシリコンから作製されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記カバー部(28)がシリコン製であり、前記カバー部(28)内にガラス絶縁体(32)が形成されることによって、前記カバー部(28)内に前記ガラス絶縁体(32)を貫通して延在する導電領域(29−31)がシリコンから作製されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記カバー部(33)がシリコン製であり、前記カバー部(33)内にガラス絶縁体(37−40)が形成されることによって、前記カバー部(33)がストリップ状の導電領域(34−36)に分割されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記カバー部(41)がシリコン製であり、前記カバー部(41)内にガラス絶縁体(45)が形成されることによって、その結果前記カバー部(41)が島状の導電領域(42−44)に分割されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記ガラス絶縁体(32)、(37−40)、(45)の少なくとも一部が、ガラスの代わりにガラス以外の誘電材料から作製されることを特徴とする、請求項3から5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記カバー部(28)、(33)、(41)、前記導電領域(25−27)、(29−31)、(34−36)、(42−44)のうちの少なくとも一部が、シリコンの代わりにシリコン以外の導電材料から作製されることを特徴とする、請求項2から6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の前記導電構造体と、前記微小電気機械チップ部(46)との間の電気接続部の形成が、直接接合によって実施されることを特徴とする、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の前記導電構造体と前記微小電気機械チップ部(46)の間の電気接続部の形成が、前記カバー部の表面上に配置された金属層によって実施されることを特徴とする、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の前記導電構造体と微小電気機械チップ部(46)の間の電気接続部の形成が、はんだバンプによって実施されることを特徴とする、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)を前記微小電気機械チップ部(46)に設置する前に、前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の表面上に再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)が形成されることを特徴とする、請求項1から10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)を前記微小電気機械チップ部(46)に設置した後に、前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の表面上に再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)が形成されることを特徴とする、請求項1から10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)によって、前記カバー部の導電領域(25−27)、(29−31)、(34−36)、(42−44)と第1接合部材(61−63)、(75−79)の間に導電接続部が形成されることを特徴とする、請求項11または12に記載の方法。
- 前記カバー部によって密封された前記微小電気機械チップ部(46)が前記第2部分に相当する場合において、前記再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)によって、前記第1接合部材(61−63)と第2接合部材(69−70)の間に導電接続部が形成されることを特徴とする、請求項11または12に記載の方法。
- 前記再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)を形成する前に、前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の表面上に誘電層(54)、(56)、(58)が形成されることを特徴とする、請求項11から14のいずれか一項に記載の方法。
- 前記再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)の頂部上に保護層(60)が形成されることを特徴とする、請求項11から15のいずれか一項に記載の方法。
- 前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)の頂部上で、前記保護層(60)の開口内に前記第1接合部材(61−63)が形成されることを特徴とする、請求項16に記載の方法。
- 前記電子回路部(64)が、フリップチップ接合法により、前記微小電気機械チップ部(46)を保護する前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の表面に接合されることを特徴とする、請求項17に記載の方法。
- 前記電子回路部(64)の幅が前記微小電気機械チップ部(46)の幅より小さいことを特徴とする、請求項17または18に記載の方法。
- 前記電子回路部(64)と前記微小電気機械チップ部(46)の前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の間の狭い空隙が、アンダーフィル(65)により充填されることを特徴とする、請求項17から19のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2接合部材(69−70)のバンプが前記フリップチップ接合の前に形成されることを特徴とする、請求項18に記載の方法。
- 前記第2接合部材(69−70)のバンプが前記フリップチップ接合部の形成と交互に配置または設置されることを特徴とする、請求項18に記載の方法。
- 前記微小電気機械部品が、前記第2接合部材(69−70)が回路基板(71)の接続領域(72)、(73)と整列するように、フリップチップ接合法によって前記回路基板(71)の表面に装着されることを特徴とする、請求項1,21,22のいずれか一項に記載の方法。
- 前記微小電気機械部品の前記第2接合部材(69−70)が、直接はんだ接合によって実装されることを特徴とする、請求項17から20のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2接合部材(69−70)が、導電コーティングを備えた、前記微小電気機械部品のカプセル構造体への導電接続部を形成することを特徴とする、請求項24に記載の方法。
- 前記微小電気機械部品の前記カプセル構造体が、前記微小電気機械部品に適合するように設計されることを特徴とする、請求項25に記載の方法。
- 前記第1接合部材(75−79)が、前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)上で保護層(60)の開口内に形成されることを特徴とする、請求項1から16のいずれか一項に記載の方法。
- 前記微小電気機械チップ部(46)が、フリップチップ接合法によって前記電子回路部(74)の表面に接合され、前記カバー部(24)が前記電子回路部(74)の表面に面することを特徴とする、請求項27に記載の方法。
- 前記微小電気機械チップ部(46)の幅が前記電子回路部(74)の幅より小さいことを特徴とする、請求項27または28に記載の方法。
- 前記電子回路部(74)と前記微小電気機械チップ部(46)の前記カバー部(24)の間の狭い空隙がアンダーフィル(80)により充填されることを特徴とする、請求項27から29のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2接合部材(84−85)のバンプがフリップチップ接合の前に形成されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記第2接合部材(84−85)のバンプがフリップチップ接合部の形成と交互に配置または設置されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記微小電気機械部品が、前記第2接合部材(84−85)が回路基板の接続領域と整列するように、フリップチップ接合法によって前記回路基板の表面に装着されることを特徴とする、請求項1,31,32のいずれか一項に記載の方法。
- 前記微小電気機械部品の前記第2接合部材(84−85)が、直接はんだ接合によって実装されることを特徴とする、請求項27から30のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2接合部材(86−87)が、導電コーティング(89−90)を備える、前記微小電気機械部品のカプセル構造体(88)への導電接続部を形成することを特徴とする、請求項34に記載の方法。
- 前記微小電気機械部品の前記カプセル構造体(88)が、前記微小電気機械部品に適合するように設計されることを特徴とする、請求項35に記載の方法。
- 前記微小電気機械部品の前記電子回路部(64)、(74)が電気信号処理能力を有することを特徴とする、請求項1から36のいずれか一項に記載の方法。
- 板状の基板が、前記第1部分を設置するためのベースとして機能する1セットの第2部分を備える、請求項1から37のいずれか一項に記載の方法。
- 前記1セットの第2部分を備える前記板状の基板の表面上に、1セットの第1部分が個々に設置されることを特徴とする、請求項38に記載の方法。
- テストに合格した第1部分のみが、テストに合格した第2部分の表面上にのみ設置されることを特徴とする、請求項39に記載の方法。
- 第2部分を備える前記板状の基板が、前記第1部分の設置段階終了後にダイシングされることを特徴とする、請求項38から40のいずれか一項に記載の方法。
- 第2部分を備える前記板状基板が、最終テスト終了後にダイシングされることを特徴とする、請求項38から41のいずれか一項に記載の方法。
- カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)によって密封される微小電気機械チップ部(46)であって、前記カバー部には前記カバー部を貫通する電気接続部を設けるための導電構造体が含まれる微小電気機械チップ部(46)と、
電子回路部(64)、(74)と、
を備える微小電気機械部品であって、
第1部分を電子回路部(64,74)、第2部分を前記カバー部によって密封された前記微小電気機械チップ部(46)としたとき、
前記第2部分の幅は少なくとも一方向において前記第1部分の前記方向における幅よりも大きく、
前記第1部分は、前記第1部分の表面上に形成された第1接合部材(61−63)、(75−79)によって、前記第2部分の表面に接合されるとともに、電気的に前記第2部分に接続され、
前記第1部分に近接している前記第2部分の表面上に前記微小電気機械部品を外部接続するための第2接合部材(69−70)、(84−85)が形成され、
前記第2部分の前記第2接合部材(69−70)、(84−85)にバンプが形成され、
前記バンプの高さが、前記第1部分と前記第1接合部材(61−63)、(75−79)を合わせた高さ以上であることを特徴とする微小電気機械部品。 - 前記カバー部(24)がガラス製であり、前記カバー部(24)内にガラスを貫通して延在する導電領域がシリコンから作製されることを特徴とする、請求項43に記載の微小電気機械部品。
- 前記カバー部(28)がシリコン製であり、前記カバー部(28)内にガラス絶縁体(32)が形成されることによって、前記カバー部(28)内に前記ガラス絶縁体(32)を貫通して延在する導電領域(29−31)がシリコンから作製されることを特徴とする、請求項43に記載の微小電気機械部品。
- 前記カバー部(33)がシリコン製であり、前記カバー部(33)内にガラス絶縁体(37−40)が形成されることによって、前記カバー部(33)がストリップ状の導電領域(34−36)内に分割されることを特徴とする、請求項43に記載の微小電気機械部品。
- 前記カバー部(41)がシリコン製であり、前記カバー部(41)内にガラス絶縁体(45)が形成されることによって、前記カバー部(41)が島状の導電領域(42−44)内に分割されることを特徴とする、請求項43に記載の微小電気機械部品。
- 前記ガラス絶縁体(32)、(37−40)、(45)のうちの少なくとも一部が、ガラスの代わりにガラス以外の誘電材料から作製されることを特徴とする、前記請求項45から47のいずれか一項に記載の微小電気機械部品。
- 前記カバー部(28)、(33)、(41)および前記導電領域(25−27)、(29−31)、(34−36)、(42−44)のうちの少なくとも一部が、シリコンの代わりにシリコン以外の導電材料から形成されることを特徴とする、請求項44から48のいずれか一項に記載の微小電気機械部品。
- 前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の前記導電構造体と、前記微小電気機械チップ部(46)との間の電気接続部の形成が、直接接合によって実施されることを特徴とする、請求項43から49のいずれか一項に記載の微小電気機械部品。
- 前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の前記導電構造体と前記微小電気機械チップ部(46)との間の電気接続部の形成が、前記カバー部の表面上に配置される金属層によって実施されることを特徴とする、請求項43から49のいずれか一項に記載の微小電気機械部品。
- 前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の前記導電構造体と、前記微小電気機械チップ部(46)との間の電気接続部の形成が、はんだバンプによって実施されることを特徴とする、請求項43から49のいずれか一項に記載の微小電気機械部品。
- 前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の表面上に再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)が形成されることを特徴とする、請求項43から52のいずれか一項に記載の微小電気機械部品。
- 前記再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)によって、前記カバー部の前記導電領域(25−27)、(29−31)、(34−36)、(42−44)と前記第1接合部材(61−63)、(75−79)の間に導電接続部が形成されることを特徴とする、請求項53に記載の方法。
- 前記カバー部によって密封された前記微小電気機械チップ部(46)が前記第2部分に相当する場合において、前記再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)によって、前記第1接合部材(61−63)と前記第2接合部材(66−67)の間に導電接続部が形成されることを特徴とする、請求項53に記載の微小電気機械部品。
- 前記再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)を形成する前に、前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の表面上に誘電層(54)、(56)、(58)が形成されることを特徴とする、請求項53から55のいずれか一項に記載の微小電気機械部品。
- 前記再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)の頂部上に保護層(60)が形成されることを特徴とする、請求項53から56のいずれか一項に記載の微小電気機械部品。
- 前記第1接合部材(61−63)が、前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)の頂部上で、前記保護層(60)の開口内に形成されることを特徴とする、請求項57に記載の微小電気機械部品。
- 前記電子回路部(64)が、前記微小電気機械チップ部(46)を保護する前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の表面上に接合されることを特徴とする、請求項58に記載の微小電気機械部品。
- 前記電子回路部(64)の幅が前記微小電気機械チップ部(46)の幅より小さいことを特徴とする、請求項58または59に記載の微小電気機械部品。
- 前記電子回路部(64)と前記微小電気機械チップ部(46)の前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)との間の狭い空隙がアンダーフィル(65)により充填されることを特徴とする、請求項58から60のいずれか一項に記載の微小電気機械部品。
- 前記微小電気機械部品が、前記第2接合部材(69−70)が回路基板(71)の接続領域(72)、(73)と整列するように、前記回路基板(71)の表面に装着されることを特徴とする、請求項43に記載の微小電気機械部品。
- 前記微小電気機械部品の前記第2接合部材(69−70)が、直接はんだ接合によって実装されることを特徴とする、請求項58から61のいずれか一項に記載の微小電気機械部品。
- 前記第2接合部材(69−70)が、導電コーティングを備える、前記微小電気機械部品のカプセル構造体への導電接続部を形成することを特徴とする、請求項63に記載の微小電気機械部品。
- 前記微小電気機械部品の前記カプセル構造体が、前記微小電気機械部品に適合するように設計されることを特徴とする、請求項64に記載の微小電気機械部品。
- 前記第1接合部材(75−79)が、前記カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)の再配線層(49−52)、(53)、(55)、(57)、(59)上で保護層(60)の開口内に形成されることを特徴とする、請求項43から57のいずれか一項に記載の微小電気機械部品。
- 前記微小電気機械チップ部(46)が、前記電子回路部(74)の表面に接合され、前記カバー部(24)が前記電子回路部(74)の表面に面することを特徴とする、請求項66に記載の微小電気機械部品。
- 前記微小電気機械チップ部(46)の幅が前記電子回路部(74)の幅より小さいことを特徴とする、請求項66または67に記載の微小電気機械部品。
- 前記電子回路部(74)と前記微小電気機械チップ部(46)の前記カバー部(24)の間の狭い空隙がアンダーフィル(80)により充填されることを特徴とする、請求項66から68のいずれか一項に記載の微小電気機械部品。
- 前記微小電気機械部品が、前記第2接合部材が回路基板の接続領域と整列するように、前記回路基板の表面に装着されることを特徴とする、請求項43に記載の微小電気機械部品。
- 前記微小電気機械部品の前記第2接合部材(86−87)が、直接はんだ接合によって実装されることを特徴とする、前記請求項66から69のいずれか一項に記載の微小電気機械部品。
- 前記第2接合部材(86−87)が、導電コーティング(89−90)を備える、前記微小電気機械部品のカプセル構造体(88)への導電接続部を形成することを特徴とする、請求項71に記載の微小電気機械部品。
- 前記微小電気機械部品の前記カプセル構造体(88)が、前記微小電気機械部品に適合するように設計されることを特徴とする、請求項72に記載の微小電気機械部品。
- 前記微小電気機械部品の前記電子回路部(64)、(74)が電気信号処理能力を有することを特徴とする、請求項43から73のいずれか一項に記載の微小電気機械部品。
- カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)によって密封される微小電気機械チップ部(46)であって、前記カバー部には前記カバー部を貫通する電気接続部を設けるための導電構造体が含まれる微小電気機械チップ部(46)と、
電子回路部(64)、(74)と、
を備える微小電気機械加速度センサであって、
第1部分を電子回路部(64,74)、第2部分を前記カバー部によって密封された前記微小電気機械チップ部(46)としたとき、
前記第2部分の幅は少なくとも一方向において前記第1部分の前記方向における幅よりも大きく、
前記第1部分は、前記第1部分の表面上に形成された第1接合部材(61−63)、(75−79)によって、前記第2部分の表面に接合されるとともに、電気的に前記第2部分に接続され、
前記第1部分に近接している前記第2部分の表面上に前記微小電気機械部品を外部接続するための第2接合部材(69−70)、(84−85)が形成され、
前記第2部分の前記第2接合部材(69−70)、(84−85)にバンプが形成され、
前記バンプの高さが、前記第1部分と前記第1接合部材(61−63)、(75−79)を合わせた高さ以上であることを特徴とする微小電気機械加速度センサ。 - カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)によって密封される微小電気機械チップ部(46)であって、前記カバー部には前記カバー部を貫通する電気接続部を設けるための導電構造体が含まれる微小電気機械チップ部(46)と、
電子回路部(64)、(74)と、
を備える微小電気機械角加速度センサであって、
第1部分を電子回路部(64,74)、第2部分を前記カバー部によって密封された前記微小電気機械チップ部(46)としたとき、
前記第2部分の幅は少なくとも一方向において前記第1部分の前記方向における幅よりも大きく、
前記第1部分は、前記第1部分の表面上に形成された第1接合部材(61−63)、(75−79)によって、前記第2部分の表面に接合されるとともに、電気的に前記第2部分に接続され、
前記第1部分に近接している前記第2部分の表面上に前記微小電気機械部品を外部接続するための第2接合部材(69−70)、(84−85)が形成され、
前記第2部分の前記第2接合部材(69−70)、(84−85)にバンプが形成され、
前記バンプの高さが、前記第1部分と前記第1接合部材(61−63)、(75−79)を合わせた高さ以上であることを特徴とする微小電気機械角加速度センサ。 - カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)によって密封される微小電気機械チップ部(46)であって、前記カバー部には前記カバー部を貫通する電気接続部を設けるための導電構造体が含まれる微小電気機械チップ部(46)と、
電子回路部(64)、(74)と、
を備える微小電気機械角速度センサであって、
第1部分を電子回路部(64,74)、第2部分を前記カバー部によって密封された前記微小電気機械チップ部(46)としたとき、
前記第2部分の幅は少なくとも一方向において前記第1部分の前記方向における幅よりも大きく、
前記第1部分は、前記第1部分の表面上に形成された第1接合部材(61−63)、(75−79)によって、前記第2部分の表面に接合されるとともに、電気的に前記第2部分に接続され、
前記第1部分に近接している前記第2部分の表面上に前記微小電気機械部品を外部接続するための第2接合部材(69−70)、(84−85)が形成され、
前記第2部分の前記第2接合部材(69−70)、(84−85)にバンプが形成され、
前記バンプの高さが、前記第1部分と前記第1接合部材(61−63)、(75−79)を合わせた高さ以上であることを特徴とする微小電気機械角速度センサ。 - カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)によって密封される微小電気機械チップ部(46)であって、前記カバー部には前記カバー部を貫通する電気接続部を設けるための導電構造体が含まれる微小電気機械チップ部(46)と、
電子回路部(64)、(74)と、
を備える微小電気機械圧力センサであって、
第1部分を電子回路部(64,74)、第2部分を前記カバー部によって密封された前記微小電気機械チップ部(46)としたとき、
前記第2部分の幅は少なくとも一方向において前記第1部分の前記方向における幅よりも大きく、
前記第1部分は、前記第1部分の表面上に形成された第1接合部材(61−63)、(75−79)によって、前記第2部分の表面に接合されるとともに、電気的に前記第2部分に接続され、
前記第1部分に近接している前記第2部分の表面上に前記微小電気機械部品を外部接続するための第2接合部材(69−70)、(84−85)が形成され、
前記第2部分の前記第2接合部材(69−70)、(84−85)にバンプが形成され、
前記バンプの高さが、前記第1部分と前記第1接合部材(61−63)、(75−79)を合わせた高さ以上であることを特徴とする微小電気機械圧力センサ。 - カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)によって密封される微小電気機械チップ部(46)であって、前記カバー部には前記カバー部を貫通する電気接続部を設けるための導電構造体が含まれる微小電気機械チップ部(46)と、
電子回路部(64)、(74)と、
を備える微小電気機械電気信号フィルタであって、
第1部分を電子回路部(64,74)、第2部分を前記カバー部によって密封された前記微小電気機械チップ部(46)としたとき、
前記第2部分の幅は少なくとも一方向において前記第1部分の前記方向における幅よりも大きく、
前記第1部分は、前記第1部分の表面上に形成された第1接合部材(61−63)、(75−79)によって、前記第2部分の表面に接合されるとともに、電気的に前記第2部分に接続され、
前記第1部分に近接している前記第2部分の表面上に前記微小電気機械部品を外部接続するための第2接合部材(69−70)、(84−85)が形成され、
前記第2部分の前記第2接合部材(69−70)、(84−85)にバンプが形成され、
前記バンプの高さが、前記第1部分と前記第1接合部材(61−63)、(75−79)を合わせた高さ以上であることを特徴とする微小電気機械電気信号フィルタ。 - カバー部(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)によって密封される微小電気機械チップ部(46)であって、前記カバー部には前記カバー部を貫通する電気接続部を設けるための導電構造体が含まれる微小電気機械チップ部(46)と、
電子回路部(64)、(74)と、
を備える微小電気機械電気信号切替部品であって、
第1部分を電子回路部(64,74)、第2部分を前記カバー部によって密封された前記微小電気機械チップ部(46)としたとき、
前記第2部分の幅は少なくとも一方向において前記第1部分の前記方向における幅よりも大きく、
前記第1部分は、前記第1部分の表面上に形成された第1接合部材(61−63)、(75−79)によって、前記第2部分の表面に接合されるとともに、電気的に前記第2部分に接続され、
前記第1部分に近接している前記第2部分の表面上に前記微小電気機械部品を外部接続するための第2接合部材(69−70)、(84−85)が形成され、
前記第2部分の前記第2接合部材(69−70)、(84−85)にバンプが形成され、
前記バンプの高さが、前記第1部分と前記第1接合部材(61−63)、(75−79)を合わせた高さ以上であることを特徴とする微小電気機械電気信号切替部品。
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