JP2014113669A

JP2014113669A - 切削装置

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Publication number: JP2014113669A
Application number: JP2012270660A
Authority: JP
Inventors: Vincent Atendido Paul; ヴィンセントアテンディドポール
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-12-11
Filing date: 2012-12-11
Publication date: 2014-06-26
Anticipated expiration: 2032-12-11
Also published as: JP6013166B2

Abstract

【課題】開閉扉にロックがかかっているということをオペレータ等の作業員に認識させることができる切削装置を提供すること。
【解決手段】切削装置１は開閉扉８１，８２を有するカバー手段８０に覆われ、スピンドル５２ａ，５２ｂと切削手段５０ａ，５０ｂとタッチパネル７０と開閉扉ロック手段９０と回転停止検出手段１００と制御手段１１０とを備える。開閉扉ロック手段９０は、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止している場合に開閉扉８１，８２のロックを解除する。タッチパネル７０に開閉扉８１，８２のロック解除指示情報を入力すると、制御手段１１０によりスピンドル５２ａ，５２ｂの回転を停止させるとともに当該スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでに必要とする所要時間をタッチパネル７０にリアルタイムで表示し、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止した後に開閉扉ロック手段９０のロックが解除される。
【選択図】図１

Description

本発明は、被加工物に対して切削加工を施す切削装置に関する。

高速回転するスピンドルに切削ブレードを装着した切削装置は、スピンドルの回転が停止するまで開閉扉にロックをかけるロック機構を有しており、スピンドルの回転中に開閉扉をあける指示がオペレータ等の作業員により入力操作されると、スピンドルの回転を停止させる動作を行い、このスピンドルの回転が停止した後に開閉扉のロックを解除する（例えば、特許文献１参照）。このため、特許文献１に示される切削装置は、スピンドルが停止した状態で開閉扉の開閉が可能になる。また、高速回転するスピンドルを停止させる際、切削ブレードやフランジ等を固定するナットがスピンドルから緩まないように当該スピンドルの回転数を減速させることから、スピンドルが停止するまでにある程度の時間がかかる。

特開２００５−４６９７９号公報

スピンドルの高速回転中に作業員が開閉扉をあける指示を入力操作後、スピンドルの回転が停止するまでにかかる時間を作業員が把握できていない場合や、スピンドルの回転が停止するまでには時間がかかること、スピンドルの回転中は開閉扉がロックされていることを作業員が把握できていない場合、スピンドルの回転中に作業員が開閉扉をあけようとする虞があった。また、スピンドルおよび切削ブレードが開閉扉の内側に配設されていることから、その回転の停止を作業員が認識できていない場合も、スピンドルの回転中に作業員が開閉扉をあけようとする虞があった。つまり、開閉扉にロックがかかっているということを作業員が認識できていない場合、ロックのかかった開閉扉を作業員が無理にあけようとして、開閉扉やロック機構に予定しない負荷がかかる虞があった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、開閉扉にロックがかかっているということを作業員に認識させることができる切削装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、高速回転するスピンドルの先端に切削ブレードを装着しチャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、を備え、開閉扉を有するカバー手段に覆われた切削装置であって、スピンドルの回転停止を検出する回転停止検出手段と、カバー手段の開閉扉を閉じた状態でロックする開閉扉ロック手段と、切削手段を含む切削装置の構成要素を制御する制御手段と、制御手段に対する指示情報を入力するとともに切削装置の運転状況を表示するタッチパネルと、をさらに備え、開閉扉ロック手段は、スピンドルの回転が停止している場合に開閉扉のロックを解除し、タッチパネルに開閉扉のロック解除指示情報を入力すると、制御手段によりスピンドルの回転を停止させるとともに、スピンドルの回転が停止するまでに必要とする所要時間をタッチパネルにリアルタイムで表示し、スピンドルの回転が停止した後に開閉扉ロック手段のロックが解除されることを特徴とする。

本発明の切削装置によれば、タッチパネルに開閉扉のロック解除指示情報を入力すると、制御手段によりスピンドルの回転を停止させるとともに、スピンドルの回転が停止するまでに必要とする所要時間をタッチパネルにリアルタイムで表示するので、スピンドルが停止するまでには待ち時間があるということ、スピンドルが停止するまでにはどれだけ待つのかということをオペレータ等の作業員に認識させることができ、スピンドルの回転中は開閉扉にロックがかかっているということを作業員に認識させることができるという効果を奏する。

図１は、実施形態に係る切削装置の概略構成例を示す図である。図２は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す図である。図３は、実施形態に係るタッチパネルの表示の一例を示す図である。図４は、実施形態に係る切削装置のスピンドルの回転停止をオペレータ等の作業員に認識させる動作を示す概略フローである。図５は、図３に示すタッチパネルの表示の変形例１を示す図である。図６は、図３に示すタッチパネルの表示の変形例２を示す図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。

〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る切削装置の概略構成例を示す図である。図２は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す図である。図３は、実施形態に係るタッチパネルの表示の一例を示す図である。本実施形態において、Ｘ軸方向は、後述する切削ブレード５１ａ，５１ｂの回転軸の方向および鉛直方向の双方と直交する方向であり、Ｙ軸方向は、鉛直方向と直交する切削ブレード５１ａ，５１ｂの回転軸の方向であり、Ｚ軸方向は、鉛直方向である。

図１および図２に示す実施形態に係る切削装置１は、カセットエレベータ１０と、仮置き手段２０と、チャックテーブル３０と、撮像手段４０と、二つの切削手段５０ａ，５０ｂと、洗浄・乾燥手段６０と、タッチパネル７０と、カバー手段８０と、開閉扉ロック手段９０と、回転停止検出手段１００と、制御手段１１０と、を含んで構成されている。切削装置１は、本実施形態において、二つの切削手段５０ａ，５０ｂをＹ軸方向に対向配置させたフェイシングデュアルタイプの加工装置である。切削装置１は、図示しない被加工物を保持するチャックテーブル３０と、二つの切削手段５０ａ，５０ｂとを相対移動させることで、被加工物に切削加工を施す。また、切削装置１は、被加工物を保持するチャックテーブル３０と、一方の切削手段５０ａあるいは他方の切削手段５０ｂとを相対移動させることで、被加工物に切削加工を施すこともできる。

ここで、被加工物は、切削加工される加工対象であり、特に限定されないが、例えば、シリコン、ヒ化ガリウム（ＧａＡｓ）等を母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ、セラミック、ガラス、サファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）系の円板状の無機材料基板、金属や樹脂等の円板状の延性材料等、各種加工材料である。

カセットエレベータ１０は、装置本体２に対してＺ軸方向において昇降自在であり、被加工物を一枚ずつ収納する。仮置き手段２０は、切削加工前後の被加工物を一対のレール２１，２２に一時的に仮置きする。チャックテーブル３０は、表面３１（保持面に相当）に載置された被加工物を図示しない吸引源により吸引保持し、図示しないＸ軸移動手段（加工送り手段に相当）によりＸ軸方向に相対移動する。撮像手段４０は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサを用いたカメラ等であり、被加工物に対する二つの切削手段５０ａ，５０ｂのアライメント調整を行うための画像データを生成する。

二つの切削手段５０ａ，５０ｂは、切削ブレード５１ａ，５１ｂと、スピンドル５２ａ，５２ｂと、スピンドルハウジング５３ａ，５３ｂと、ノズル５４ａ，５４ｂと、ブレードカバー５５ａ，５５ｂと、を含んで構成されている。二つの切削手段５０ａ，５０ｂは、Ｙ軸移動手段５６ａ，５６ｂ（割り出し送り手段に相当）およびＺ軸移動手段５７ａ，５７ｂ（切り込み送り手段に相当）によりＹ軸方向とＺ軸方向とにそれぞれ相対移動可能であり、撮像手段４０により撮像された被加工物の画像データに基づいて、チャックテーブル３０に保持された被加工物に切削水を供給しながら加工すべき領域に切削加工を施す。切削ブレード５１ａ，５１ｂは、高速回転することでチャックテーブル３０に保持された被加工物を切削する極薄のリング形状に形成された切削砥石であり、図示しない固定ナットによりスピンドル５２ａ，５２ｂに交換可能に固定されている。スピンドルハウジング５３ａ，５３ｂは、筒状に形成されており、内挿されたスピンドル５２ａ，５２ｂをエアベアリングにより回転自在に支持する。ノズル５４ａ，５４ｂは、切削ブレード５１ａ，５１ｂの加工点に切削液を噴出させて供給する。ブレードカバー５５ａ，５５ｂは、ノズル５４ａ，５４ｂを着脱可能に保持する。

洗浄・乾燥手段６０は、スピンナテーブル６１を図示しない回転駆動源により回転させつつ洗浄液噴射装置から切削加工後の被加工物に噴射して当該被加工物を洗浄し、洗浄後の被加工物に気体噴射装置から気体を噴射して当該被加工物を乾燥させる。

タッチパネル７０は、切削装置１の筐体において、オペレータ等の作業員が見やすく操作しやすい箇所に配置されている。タッチパネル７０は、制御手段１１０による制御の下に、撮像手段４０が撮像した画像の他、加工処理等に伴う必要な各種情報や切削装置１の運転状況等を表示面７１に表示する表示パネルであるとともに、加工処理等の条件設定等に必要な指示情報を入力操作するための画面やボタン、キー等を表示面７１に表示するタッチパネル構成でもある。タッチパネル７０は、例えば、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転中に開閉扉８１，８２をあける指示情報（ロック解除指示情報）が作業員により入力操作されると、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでに必要とする所要時間をリアルタイムで表示する。タッチパネル７０は、上記所要時間として、例えば、図３に示すように、所要時間表示画面７１ａを表示する。所要時間表示画面７１ａは、停止動作表示部７２と、所要時間表示部７３と、ボタン画像７５と、を有している。

停止動作表示部７２は、スピンドル５２ａ，５２ｂが停止動作中であることを文字情報として表示する。所要時間表示部７３は、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでに必要とする所要時間を図形化して表示する。所要時間表示部７３は、経過時間部７３ａと、標示部７３ｂと、残り時間部７３ｃと、を有している。経過時間部７３ａは、上記ロック解除指示情報の入力操作からの経過時間に対応している。経過時間部７３ａは、ラベル部７４ａ側からラベル部７４ｂ側に向かって上記経過時間に対応してリアルタイムで伸長する。標示部７３ｂは、上記所要時間に対する上記経過時間の進捗位置を表している。標示部７３ｂは、経過時間部７３ａと併せて、上記所要時間に対する上記経過時間の割合を表している。つまり、標示部７３ｂは、スピンドル５２ａ，５２ｂが停止するまでには待ち時間があるということを示す。また、標示部７３ｂは、例えば、経過時間部７３ａおよび残り時間部７３ｃの双方と異なる色彩や模様等で表示され、作業員が容易に視認できることが好ましい。残り時間部７３ｃは、上記所要時間の残り時間を表している。残り時間部７３ｃは、標示部７３ｂがラベル部７４ｂに向かってリアルタイムで伸長することにより、ラベル部７４ｂに向かってリアルタイムで縮小する。つまり、残り時間部７３ｃは、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでにはどれだけ待つのかということを示す。ラベル部７４ａ，７４ｂは、所要時間表示部７３の開始位置と終了位置とを説明するための見出しである。ラベル部７４ａは、上記ロック解除指示情報の入力操作が行われた開始位置を示している。ラベル部７４ｂは、上記所要時間に達する終了位置を示している。ボタン画像７５は、作業員による押下操作可能に表示されている。ボタン画像７５は、作業員により押下操作されることで、例えば、上記ロック解除指示情報の入力操作が行われる操作画面に戻る。

カバー手段８０は、切削装置１を覆うカバーであり、開閉扉８１，８２を有している。開閉扉８１，８２には、作業員が開閉操作するための取っ手８１ａ，８１ｂが設けられている。開閉扉８１は、切削手段５０ａ，５０ｂからの切削水の飛沫を防ぐカバーである。開閉扉８２は、カセットエレベータ１０を保護するカバーでもある。

開閉扉ロック手段９０は、例えば、開閉扉８１，８２を閉じた状態で当該開閉扉８１，８２と係合し、この開閉扉８１，８２が開くことを規制する図示しないカバーロックシリンダと、開閉扉８１，８２の開閉状態を検出する図示しない開閉検出センサと、を有している。カバーロックシリンダは、制御手段１１０により制御される。開閉検出センサは、開閉扉８１，８２の開閉状態を検出した開閉信号を制御手段１１０に出力する。

回転停止検出手段１００は、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転停止を検出するセンサである。回転停止検出手段１００は、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転数も検出する。回転停止検出手段１００は、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転数に対応する回転信号を制御手段１１０に出力する。

制御手段１１０は、コンピュータ等を有する電子制御装置である。制御手段１１０は、切削手段５０ａ，５０ｂと、タッチパネル７０と、開閉扉ロック手段９０と、回転停止検出手段１００と、切削装置１のその他の構成要素と、にそれぞれ接続されている。制御手段１１０は、各部５０ａ，５０ｂ，７０，９０，１００およびその他の構成要素をそれぞれ制御する。制御手段１１０は、種々の回転数に対応する種々の所要時間のデータベースを図示しない記憶手段に記憶しており、このデータベースは、例えば、予め実機において各種加工条件ごとに種々の回転数で回転させたスピンドル５２ａ，５２ｂが停止するまでに必要とする種々の所要時間を実験により取得して作成される。制御手段１１０は、作業員がタッチパネル７０に上記ロック解除指示情報が入力操作された時のスピンドル５２ａ，５２ｂの回転数を取得し、上記データベースを参照し、上記所要時間を算出する。

ここで、図４を参照して、実施形態に係る切削装置１において、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転中に開閉扉８１，８２をあける操作が行われた際の動作について説明する。図４は、実施形態に係る切削装置のスピンドルの回転停止をオペレータ等の作業員に認識させる動作を示す概略フローである。

まず、切削装置１の制御手段１１０は、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転を停止するか否かを判断する（ステップＳＴ１）。ここで、制御手段１１０は、上記ロック解除指示情報がタッチパネル７０に入力されることにより、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転を停止すると判断する。また、制御手段１１０は、タッチパネル７０上のスピンドル５２ａ，５２ｂの回転を停止させる画像ボタンが押下されること、緊急停止スイッチ４（図１参照）が操作されることでも、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転を停止すると判断する。

次に、制御手段１１０は、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転を停止すると判断する（ステップＳＴ１肯定）と、スピンドル５２ａ，５２ｂをフリーランさせる（ステップＳＴ２）。ここで、制御手段１１０は、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転を停止させるため、スピンドル５２ａ，５２ｂに回転駆動力を付与する図示しないモータへの電力の供給を止め、スピンドルハウジング５３ａ，５３ｂにスピンドル５２ａ，５２ｂを回転自在にエアベアリングで支持し、スピンドル５２ａ，５２ｂが回転抵抗により停止するまでフリーランさせる。

次に、制御手段１１０は、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転数を取得する（ステップＳＴ３）。ここで、制御手段１１０は、回転停止検出手段１００からスピンドル５２ａ，５２ｂの回転数を取得する。

次に、制御手段１１０は、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでに必要とする所要時間を算出する（ステップＳＴ４）。ここで、制御手段１１０は、図示しない記憶手段に記憶させた上記データベースを参照し、ステップＳＴ３において取得した回転数に対応する上記所要時間を算出する。

次に、制御手段１１０は、所要時間を表示する（ステップＳＴ５）。ここで、制御手段１１０は、図３に示すように、ステップＳＴ４において算出した所要時間を図形化し、この所要時間を図形化した所要時間表示部７３を有する所要時間表示画面７１ａをタッチパネル７０に表示する。

次に、制御手段１１０は、所要時間をリアルタイムで表示する（ステップＳＴ６）。ここで、制御手段１１０は、所要時間表示画面７１ａ上に表示する経過時間部７３ａと標示部７３ｂと残り時間部７３ｃとにおいて、ステップＳＴ４において算出した所要時間に対する経過時間に対応させて経過時間部７３ａおよび標示部７３ｂをリアルタイムで伸長させる。

次に、制御手段１１０は、スピンドル５２ａ，５２ｂが停止したか否かを判断する（ステップＳＴ７）。ここで、制御手段１１０は、回転停止検出手段１００からの回転数信号に基づいて、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止したか否かを判断する。

次に、制御手段１１０は、スピンドル５２ａ，５２ｂが停止したと判断する（ステップＳＴ７肯定）と、スピンドル５２ａ，５２ｂが停止したことをタッチパネル７０に表示する（ステップＳＴ８）。ここで、制御手段１１０は、タッチパネル７０の所要時間表示画面７１ａにおいて、所要時間表示部７３の全体を経過時間部７３ａにすることで、スピンドル５２ａ，５２ｂが停止したことを表示する。

次に、制御手段１１０は、開閉扉８１，８２のロックを解除する（ステップＳＴ９）。ここで、制御手段１１０は、開閉扉ロック手段９０によるロックを解除する。これにより、作業員は、開閉扉８１，８２および開閉扉ロック手段９０に予定しない負荷をかけずに、開閉扉８１，８２を開閉することができる。

以上のように、実施形態に係る切削装置１によれば、タッチパネル７０に開閉扉８１，８２のロック解除指示情報を入力すると、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでに必要とする所要時間がタッチパネル７０にリアルタイムで表示されるので、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでには待ち時間があるということ、さらにはスピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでにはどれだけ待つのかということを作業員に認識させることができる。また、開閉扉８１，８２のロック解除指示情報をタッチパネル７０に入力操作した作業員は、タッチパネル７０に表示された所要時間を見ることにより、この所要時間が開閉扉８１，８２のロックが解除されるまでにかかる時間であると認識することができる。これにより、タッチパネル７０に所要時間が表示されているあいだは、ロックのかかった開閉扉８１，８２を無理にあけようとして、開閉扉８１，８２や開閉扉ロック手段９０に予定しない負荷がかかる虞を軽減することができる。

また、切削装置１は、所要時間を図形化してタッチパネル７０に表示したり、所要時間を秒数でタッチパネル７０に表示したりするので、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでの待ち時間、および、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでどれだけ待つのかを、作業員に直感的に認識させることができる。

〔実施形態の変形例１〕
ここで、上記実施形態に係る切削装置１におけるタッチパネル７０の所要時間表示画面７１ａについて、その変形例１を説明する。図５は、図３に示すタッチパネルの表示の変形例１を示す図である。この変形例１は、上記実施形態に係る切削装置１におけるタッチパネル７０の所要時間表示画面７１ａの表示形態を変えたものであり、他の構成は上記実施形態と同様である。本変形例１においては、上記実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

図５に示すように、本変形例１に係るタッチパネル７０の所要時間表示画面７１ｂは、停止動作表示部７２と、所要時間表示部７６と、ボタン画像７５と、を有している。所要時間表示部７６は、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでに必要とする所要時間を図形化して表示する。所要時間表示部７６は、本変形例１において、時計を模した円グラフ形式の図形になっている。所要時間表示部７６は、経過時間部７６ａと、残り時間部７６ｂと、を有している。経過時間部７６ａは、ステップＳＴ１において上記ロック解除指示情報の入力操作からの経過時間に対応しており、上記所要時間に対する上記経過時間の割合を表している。経過時間部７６ａは、矢印ａ方向にリアルタイムで移動する。つまり、経過時間部７６ａは、スピンドル５２ａ，５２ｂが停止するまでには待ち時間があるということを示す。残り時間部７６ｂは、上記所要時間の残り時間を表している。残り時間部７６ｂは、経過時間部７６ａが矢印ａ方向にリアルタイムで移動することにより、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでにはどれだけ待つのかということを示す。なお、経過時間部７６ａと残り時間部７６ｂとは、互いに相違する色彩や模様等で表示され、作業員が容易に視認できることが好ましい。

このように、本変形例１に係るタッチパネル７０の所要時間表示画面７１ｂは、時計を模した図形の所要時間表示部７６により所要時間を表示するので、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでには待ち時間があるということ、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでにはどれだけ待つのかということ、を作業員に認識させることができる。これにより、タッチパネル７０に表示される所要時間が０（ゼロ）、すなわち、所要時間表示部７６の全体が経過時間部７６ａになるまでは、開閉扉８１，８２を作業員が無理にあけようとすることを抑制することができる。したがって、開閉扉８１，８２を無理にあけようとして当該開閉扉８１，８２や開閉扉ロック手段９０に予定しない負荷がかかる虞を軽減することができる。

〔実施形態の変形例２〕
ここで、上記実施形態に係る切削装置１におけるタッチパネル７０の所要時間表示画面７１ａについて、その変形例２を説明する。図６は、図３に示すタッチパネルの表示の変形例２を示す図である。この変形例２は、上記実施形態に係る切削装置１におけるタッチパネル７０の所要時間表示画面７１ａの表示形態を変えたものであり、他の構成は上記実施形態と同様である。本変形例２においては、上記実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

図６に示すように、本変形例２に係るタッチパネル７０の所要時間表示画面７１ｃは、ラベル部７７と、所要時間表示部７８と、ボタン画像７５と、を有している。ラベル部７７は、タッチパネル７０に所要時間表示画面７１ｃが表示されていることを示す。所要時間表示部７８は、スピンドル５２ａ，５２ｂが停止するまでに必要とする所要時間、すなわち、開閉扉ロック手段９０による開閉扉８１，８２のロックが解除されるまでに必要とする時間を表示する。所要時間表示部７８は、本変形例２において、所要時間としての秒数をアラビア数字で表示する。また、所要時間表示部７８は、所要時間としての秒数をリアルタイムのカウントダウン形式で表示する。

このように、本変形例２に係るタッチパネル７０の所要時間表示画面７１ｃは、所要時間としての秒数が所要時間表示部７８に表示されるので、開閉扉８１，８２のロックが解除されるまでには待ち時間があるということ、開閉扉８１，８２のロックが解除されるまでにはどれだけ待つのかということ、を作業員に認識させることができる。これにより、開閉扉８１，８２を無理にあけようとして当該開閉扉８１，８２や開閉扉ロック手段９０に予定しない負荷がかかる虞を軽減することができる。

なお、上記実施形態においては、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでに必要とする所要時間をリアルタイムでタッチパネル７０に表示するものを説明したが、上記所要時間をリアルタイムでタッチパネル７０に表示しつつ、開閉扉８１，８２がロックされていること、および、開閉扉８１，８２のロックが解除されていること、をタッチパネル７０に表示してもよい。これにより、切削装置１は、開閉扉８１，８２にロックがかかっていることを作業員に容易に認識させることができ、開閉扉８１，８２のロックが解除されたことを作業員に容易に認識させることができる。すなわち、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転中は開閉扉８１，８２にロックがかかっているということを作業員に容易かつ直感的に認識させることができる。したがって、開閉扉８１，８２を作業員が無理にあけようとすることをより抑制することができ、開閉扉８１，８２や開閉扉ロック手段９０に予定しない負荷がかかる虞をより軽減することができる。

また、制御手段１１０は、回転停止検出手段１００から出力されるスピンドル５２ａ，５２ｂの回転数をリアルタイムで取得し、ステップＳＴ６においてリアルタイムで表示する所要時間を補正してもよい。これにより、タッチパネル７０に表示される所要時間が０（ゼロ）になるタイミングと、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するタイミングとを同期させることができる。したがって、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止する前に、タッチパネル７０に表示される所要時間が０（ゼロ）になることを防止することができる。

また、タッチパネル７０に所要時間を示す所要時間表示部７３，７６，７８として、棒グラフ形式、円グラフ形式、カウントダウン形式について説明したが、これらに限定されず、例えば、歩行者信号機のように残り時間が視覚的に表示される形式、ソフトウェアのインストール時などに表示される進行状況を示すプログレスバー形式、カウントダウン形式のタイマーなどでもよい。すなわち、タッチパネル７０に表示される所要時間は、作業員が直感的に認識することができるものであればよい。

また、撮像手段４０等により撮像した切削ブレード５１ａ，５１ｂの画像をリアルタイムでタッチパネル７０に表示してもよい。これにより、切削ブレード５１ａ，５１ｂ、すなわちスピンドル５２ａ，５２ｂが回転中であるか否かを直感的に作業員が認識することができる。

また、タッチパネル７０は、所要時間表示画面７１ａ，７１ｂ，７１ｃにおいて、その最上部の一部で画面表示や作業員による指示情報の入力操作に支障のない領域に、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転数をリアルタイムで表示してもよい。これにより、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転数を作業員が認識することができる。

また、ステップＳＴ２においてスピンドル５２ａ，５２ｂをフリーランさせているが、切削ブレード５１ａ，５１ｂ等をスピンドル５２ａ，５２ｂに固定する固定ナットが緩まない程度の制動をかけてもよい。これにより、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでに必要とする所要時間を短縮することができる。

また、制御手段１１０は、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでに必要とする所要時間のデータベースに代えて、フリーラン時におけるスピンドル５２ａ，５２ｂの回転抵抗値に基づいて所要時間を算出してもよく、また、フリーラン時や制動時におけるスピンドル５２ａ，５２ｂの減速度に基づいて所要時間を算出してもよい。これにより、データベースにはない加工条件や回転数であっても、スピンドル５２ａ，５２ｂの回転が停止するまでに必要とする所要時間を算出することができる。

また、本実施形態においては、二つの切削手段５０ａ，５０ｂを対向配置させたフェイシングデュアルタイプの切削装置１について説明したが、二つの切削手段を平行に並べたパラレルデュアルタイプの切削装置、一つの切削手段を有する切削装置、あるいは、ロック可能な開閉扉が一枚のタイプの切削装置などであってもよい。すなわち、ロック可能な開閉扉とタッチパネル７０とを有する切削装置であればよい。これらの切削装置において、タッチパネル７０に所要時間を表示することにより、ロックのかかった開閉扉を作業員が無理にあけようとする虞を抑制することができる。

１切削装置
５０ａ，５０ｂ切削手段
５１ａ，５１ｂ切削ブレード
５２ａ，５２ｂスピンドル
７０タッチパネル
８０カバー手段
８１，８２開閉扉
９０開閉扉ロック手段
１００回転停止検出手段
１１０制御手段

Claims

被加工物を保持するチャックテーブルと、高速回転するスピンドルの先端に切削ブレードを装着し前記チャックテーブルに保持された前記被加工物を切削する切削手段と、を備え、開閉扉を有するカバー手段に覆われた切削装置であって、
前記スピンドルの回転停止を検出する回転停止検出手段と、
前記カバー手段の前記開閉扉を閉じた状態でロックする開閉扉ロック手段と、
前記切削手段を含む前記切削装置の構成要素を制御する制御手段と、
前記制御手段に対する指示情報を入力するとともに前記切削装置の運転状況を表示するタッチパネルと、をさらに備え、
前記開閉扉ロック手段は、前記スピンドルの回転が停止している場合に前記開閉扉のロックを解除し、
前記タッチパネルに前記開閉扉のロック解除指示情報を入力すると、前記制御手段により前記スピンドルの回転を停止させるとともに、前記スピンドルの回転が停止するまでに必要とする所要時間を前記タッチパネルにリアルタイムで表示し、前記スピンドルの回転が停止した後に前記開閉扉ロック手段のロックが解除されることを特徴とする切削装置。