JP6194254B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
10 チャックテーブル
11a 第一の保持面(保持面)
12a 第二の保持面(保持面)
13 吸引孔
15 逃げ溝
20 切削手段
22 切削ブレード
90 制御手段
91 タイマー
100 入力手段
102 吸引開始キー
D デバイス
L 分割予定ライン
W 被加工物
Claims (3)
- 板状の被加工物を保持面で吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードで切削する切削手段と、各構成要素を制御する制御手段と、該制御手段に接続されオペレータがキー操作する入力手段と、を備えた切削装置であって、
該入力手段は、
該チャックテーブルの該保持面に吸引作用を発生させる吸引開始キーを有し、
該制御手段は、
オペレータが該吸引開始キーを操作後、該チャックテーブルの該保持面に吸引作用を発生させるまでの時間を設定するタイマーを備え、
該保持面の該吸引作用が発生する前に、該吸引開始キーを操作したオペレータが被加工物を保持面に押圧する吸引補助作業を実施できる切削装置。 - 前記被加工物は、複数の分割予定ラインで区画される各領域にデバイスが配設された反りを有するパッケージ基板であり、
前記チャックテーブルは、パッケージ基板を保持する前記保持面に該分割予定ラインに対応した前記切削ブレードの逃げ溝が形成され、該逃げ溝で区画された領域に吸引孔が配設されている請求項1記載の切削装置。 - 前記チャックテーブルは、複数の被加工物を保持する請求項1または2記載の切削装置。
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- 2014-11-27 TW TW103141226A patent/TWI627707B/zh active
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