JP2014102354A - 光偏向器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光偏向器1は、光を反射する反射面2aと、単結晶シリコンで形成されたトーションバー3と、トーションバー3をその長手方向の軸X周りに捩ることで、反射面2aを軸X周りに揺動させるアクチュエータ5とを有する。トーションバー3は、軸X方向が、当該トーションバー3の結晶方位の<100>と平行になるように形成されている。
【選択図】 図1
Description
図1を参照して、本発明の第1実施形態の光偏向器について説明する。本実施形態の光偏向器1は、円形の反射面2aを有するミラー部2と、2つのトーションバー3と、枠体4と、4つのアクチュエータ5とを備える。
図4を参照して、本発明の第2実施形態の光偏向器について説明する。本実施形態の光偏向器201は、第1実施形態の光偏向器(以下、本実施形態においては「内側偏向部」という)1に加えて、該内側偏向部1を第2軸Y周りに揺動させる一対の外側アクチュエータ205と、外枠204とを備える。
Claims (2)
- 光を反射する反射面と、単結晶シリコンで形成されたトーションバーと、前記トーションバーをその長手方向の軸周りに捩ることで、前記反射面を所定の軸周りに揺動させるアクチュエータとを有する光偏向器において、
前記トーションバーは、前記軸方向が、当該トーションバーの結晶方位の<100>方位と平行になるように形成されていることを特徴とする光偏向器。 - 請求項1に記載の光偏向器において、
前記アクチュエータは、駆動電圧が印加される圧電体と、該圧電体を支持し該圧電体と共に屈曲変形する支持体とを備え、
前記支持体は、単結晶シリコンで形成されると共に、長方形板状に形成され、その長手方向が、当該支持体の結晶方位の<100>方位と平行になるように形成されていることを特徴とする光偏向器。
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