JP4976063B2 - マイクロ揺動デバイス及び光学素子 - Google Patents
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Description
2 可動板
2a ミラー膜
2b,3b (垂直静電コムを構成する)電極
3 フレーム部
3c,4d (水平静電コムを構成する)電極
4a 梁片
5 垂直静電コム
6 水平静電コム
40 捻り梁
Claims (3)
- 可動板と、この可動板の両側部に形成され、前記可動板を揺動自在に保持して該可動板の回転軸となる2つの捻り梁と、前記捻り梁を支持するフレーム部と、前記可動板の自由端及びそれに対向する前記フレーム部に互いに噛み合うように形成された櫛歯形状の電極を有し、それらの電極間に電圧が印加されることにより、前記可動板に対し垂直方向の力を発生させる垂直静電コムと、を備えたマイクロ揺動デバイスにおいて、
前記捻り梁は、少なくとも2本の梁片を有しており、
これらの梁片のうち少なくとも2本の梁片の各々の端部近傍とそれに対向する前記フレーム部とに互いに噛み合うように形成された櫛歯形状の電極を有し、それらの電極間に電圧が印加されることにより、それぞれの梁片に、その長手方向に対して直交する方向の力を発生させる水平静電コムを備え、
前記水平静電コムにより前記梁片に発生される力により、前記捻り梁の端部において、前記少なくとも2本の梁片の端部同士の間隔を広げ又は前記少なくとも2本の梁片の端部を互いに近づけ、それによって前記捻り梁の捻り剛性を増加又は減少させることを特徴とするマイクロ揺動デバイス。 - 前記捻り梁及び前記可動板により構成される振動系の共振周波数の整数倍となる周波数の電圧を、前記水平静電コムの電極間に印加するように構成したことを特徴とする請求項1に記載のマイクロ揺動デバイス。
- 請求項1又は請求項2に記載のマイクロ揺動デバイスを備え、
前記可動板には、ミラー膜が設けられており、
前記可動板が揺動することにより、前記ミラー膜に入射した光ビームをスキャン動作させることを特徴とする光学素子。
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JP2006175430A JP4976063B2 (ja) | 2006-06-26 | 2006-06-26 | マイクロ揺動デバイス及び光学素子 |
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