JP2014089427A - 反射型表示装置 - Google Patents

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多 浩 之 本
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Abstract

【課題】表示品質に優れた透明電極越しに表示素子を観察するタイプの反射型表示装置、及び、その製造方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも一方が透明である対向する2枚の基板間に少なくとも1種以上の電気応答性材料を含む表示媒体が封入されていて、前記2枚の基板間に所定の電界が与えられる際に前記表示媒体が所望の表示をする、反射型表示装置であって、一方の基板が透明であり、当該一方の基板上の少なくとも表示領域の全面に透明共通電極が配置されており、他方の基板上に前記透明共通電極に対向するように画素電極が配置されると共に所定のパターンで隔壁が配置されており、前記隔壁上に平面視で当該隔壁に対応するパターンで補助電極が配置されており、前記隔壁及び前記補助電極で区画された各領域をセルとして、各セルの中に前記表示媒体が配置されている。
【選択図】図1

Description

本発明は、電子ペーパー等に応用されている反射型表示装置に関する。
反射型表示装置として、最近、表示媒体に含まれる電気応答性材料として電気泳動体を用いた電気泳動表示装置が広く用いられている。電気泳動表示装置とは、空気中または溶媒中の電気泳動体(通常は電気泳動する粒子)の電気的な泳動、すなわち粒子移動を利用して情報を表示する装置である。通常、2枚の基板間に電界を与えることで電気的な泳動の状態が制御され、それによって所望の表示が実現されるように構成される。電気泳動体としては、荷電粒子の他、荷電粉体をも利用され得る。その場合、当該荷電粉体は気体中を電気的に泳動する。
電気泳動表示装置は、近年では特に、電子ペーパーとしての応用が注目されている。電子ペーパーとして応用する場合には、印刷物レベルの視認性(目にやさしい)、情報書き換えの容易性、低消費電力、軽量といった利点を享受できる。
電気泳動表示装置では、しかし、粒子や粉体の沈降や偏在に起因して、表示の不良、特にコントラストの低下が生じることがある。この現象を防止するべく、上下の電極基板間に隔壁を形成して、電気泳動する粒子や粉体の泳動空間、すなわち移動空間を微小な空間に分割することが採用されている。この微小な空間は、セルあるいは画素と呼ばれている。各セルの中に、電気泳動体を含むインキやガス(表示媒体)が封入されている。
また、透明電極越しに表示素子を観察する反射型表示装置において、補助電極を併用して十分な低抵抗値を実現することが提案されている。例えば特許文献1(特許4902956号公報)では、隔壁の上方(奥方)に補助電極を配置することが提案されている。補助電極は金属製であって非透明であるため、補助電極の更に上方(奥方)に遮光層を配置することによって隠蔽されるのが通常である。遮光層の配置に関しては、例えば特許文献2乃至5に種々の開示がなされている。
特許4902956号公報 特開2008−033335号公報 特開2008−107749号公報 特開2010−145528号公報 特開2010−256726号公報
本件発明者は、透明電極越しに表示素子を観察する反射型表示装置について鋭意研究を重ねるうち、以下のような知見を得るに至った。
透明電極越しに表示素子を観察する反射型表示装置においては、観察側から見ると、表示素子領域、隔壁領域、補助電極領域、遮光領域が、当該順序で存在する。これらの各領域は、パターニングにより形成される。従って、各パターニングのアライメント精度が重要で、アライメントがずれると、各パターンの境界にモアレが生じて、表示品質を大きく損ねてしまう。特に高精細かつ大画面の反射型表示装置を製造する際には、より一層アライメント精度が重要である。
アライメントのずれを回避するためには、一つには、各パターンの線幅等のサイズに余裕を持たせることが考えられる。しかしながら、その場合、表示画素の開口率が低減されてしまうというデメリットがある。
本発明は、このような事情に基づいて行われたものであり、その目的は、表示品質に優れた透明電極越しに表示素子を観察するタイプの反射型表示装置を提供することにある。
本発明は、少なくとも一方が透明である対向する2枚の基板間に少なくとも1種以上の電気応答性材料を含む表示媒体が封入されていて、前記2枚の基板間に所定の電界が与えられる際に前記表示媒体が所望の表示をする、反射型表示装置であって、一方の基板が透明であり、前記一方の基板と他方の基板との間に、少なくとも表示領域を覆う透明共通電極と、補助電極と、所定のパターンの隔壁とが、前記一方の基板の側から前記他方の基板の側に向かう方向に見て当該順序で設けられており、前記補助電極は、前記隔壁上に平面視で当該隔壁に対応するパターンで設けられており、前記隔壁及び前記補助電極で区画された各領域をセルとして、各セルの中に前記表示媒体が配置されていることを特徴とする反射型表示装置である。
本発明によれば、隔壁上に平面視で当該隔壁に対応するパターンで補助電極が設けられているため、すなわち、隔壁と補助電極とが高いアライメント精度で積層されているため、モアレの発生が抑制され、優れた表示品質を提供することができる。
補助電極は、一般には、低抵抗値を実現する材料からなるため、非透明電極である。すなわち、補助電極は、透明共通電極の体積抵抗値よりも低い体積抵抗値を有していることが好ましい。
また、「白」を重視する反射型表示装置においては、補助電極の反射率は当該反射型表示装置の表示画素の明表示反射率以上であることが好ましい。
逆に、「黒」を重視する反射型表示装置においては、補助電極の反射率は当該反射型表示装置の表示画素の暗表示反射率以下であることが好ましい。
また、補助電極上には、光拡散層が設けられていることが好ましい。この場合、補助電極が強く視認されることが抑制され、結果的に表示品質を向上させる。また、光拡散層は補助電極の画素電極と反対側の面に積層されてもよい。配置される位置は補助電極に接する位置でも、離れた位置でも良い。
また、補助電極が接着層を介して透明共通電極に接着されている場合には、接着層は、低抵抗であることが好ましい。具体的には、接着層は、1×10Ωcm以下の体積抵抗値を有していることが好ましい。接着層の体積抵抗値が1×10Ωcmを超える場合には、画素電極に印加した電圧の一部しか表示媒体に印加されず、コントラストなどの表示品質の低下又は駆動電圧の増大という不都合がある。
また、接着層は、光拡散機能を有してもよい。接着層が有する光拡散機能とは、当該接着層内を透過しようとする光を拡散させる機能であり、これにより接着層が強く視認されることが抑制される。
また、本発明は、少なくとも一方が透明である対向する2枚の基板間に少なくとも1種以上の電気応答性材料を含む表示媒体が封入されていて、前記2枚の基板間に所定の電界が与えられる際に前記表示媒体が所望の表示をする、反射型表示装置、を製造する方法であって、少なくとも表示領域の全面に透明共通電極が形成された透明な一方の基板上に、補助電極用の材料からなる補助電極層を形成する補助電極層形成工程と、前記補助電極層上に所定のパターンで隔壁を形成する隔壁形成工程と、前記隔壁をマスクとして利用して前記補助電極層をエッチングすることによって、前記隔壁の下に平面視で当該隔壁と同一のパターンで補助電極を残存させると共に、前記隔壁が形成されていない領域の補助電極層を除去して前記透明共通電極を露出させる補助電極形成工程と、を備えたことを特徴とする反射型表示装置の製造方法である。
本発明によれば、隔壁の下に平面視で当該隔壁と同一のパターンで補助電極が形成されるため、すなわち、隔壁と補助電極とが高いアライメント精度で積層されるため、モアレの発生が抑制され、優れた表示品質を提供することができる。
あるいは、本発明は、少なくとも一方が透明である対向する2枚の基板間に少なくとも1種以上の電気応答性材料を含む表示媒体が封入されていて、前記2枚の基板間に所定の電界が与えられる際に前記表示媒体が所望の表示をする、反射型表示装置、を製造する方法であって、透明な一方の基板の少なくとも表示領域の全面に形成される透明共通電極に対向するように、他方の基板上に画素電極層を形成する画素電極層形成工程と、前記他方の基板上に所定のパターンで隔壁を形成する隔壁形成工程と、前記隔壁上に補助電極用の材料からなる補助電極層を成膜する補助電極層形成工程と、前記補助電極層をエッチングすることによって、前記隔壁上に平面視で当該隔壁と同一のパターンとなるように補助電極を整形して形成する補助電極形成工程と、を備えたことを特徴とする反射型表示装置の製造方法である。
本発明によれば、隔壁上に平面視で当該隔壁と同一のパターンで補助電極が整形されるため、すなわち、隔壁と補助電極とが高いアライメント精度で積層されるため、モアレの発生が抑制され、優れた表示品質を提供することができる。
あるいは、本発明は、少なくとも一方が透明である対向する2枚の基板間に少なくとも1種以上の電気応答性材料を含む表示媒体が封入されていて、前記2枚の基板間に所定の電界が与えられる際に前記表示媒体が所望の表示をする、反射型表示装置、を製造する方法であって、透明な一方の基板の少なくとも表示領域の全面に形成される透明共通電極に対向するように、他方の基板上に画素電極を形成する画素電極形成工程と、前記他方の基板上に所定のパターンで逆テーパ形状の隔壁を形成する隔壁形成工程と、前記隔壁上に補助電極を成膜する補助電極形成工程と、を備えたことを特徴とする反射型表示装置の製造方法である。
本発明によれば、隔壁上に平面視で当該隔壁と同一のパターンで補助電極が整形されるため、すなわち、隔壁と補助電極とが高いアライメント精度で積層されるため、モアレの発生が抑制され、優れた表示品質を提供することができる。
本発明の反射型表示装置によれば、隔壁と補助電極とが高いアライメント精度で積層されているため、モアレの発生が抑制され、優れた表示品質を提供することができる。
また、本発明の反射型表示装置の製造方法によれば、隔壁と補助電極とが高いアライメント精度で積層されるため、モアレの発生が抑制され、優れた表示品質を提供することができる。
図1は、本発明の第1の実施の形態による反射型表示装置の製造方法を概略的に示すフロー図である。 図2は、図1の隔壁形成工程の一例を概略的に示す図である。 図3は、隔壁の頂面の幅の定義について説明する図である。 図4は、図1の接着層形成工程の一例を概略的に示す図である。 図5は、図1の表示媒体配置工程の一例を概略的に示す図である。 図6は、図1の対向基板接着工程において、一方の基板上に他方の基板が接着される様子を示す断面図である。 図7は、本発明の第2の実施の形態による反射型表示装置の製造方法を概略的に示すフロー図である。 図8は、図7の隔壁形成工程の一例を概略的に示す図である。 図9は、図7の対向基板接着工程において、他方の基板上に一方の基板が接着される様子を示す断面図である。
図1乃至図9において、一方の基板11と他方の基板16の各面上には、それぞれ電極が設けられている。本実施の形態においては、一方の基板11が視認側に配置され、他方の基板16が非視認側に配置される。
一方の基板11としては、ポリエチレン(PE)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンテレフタレート(PES)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等の透明フィルムや透明ガラスに、酸化インジウムスズ(ITO)、酸化亜鉛(ZnO)等の透明電極を付したものが、典型的に用いられ得る。透明電極は、塗工法や蒸着法等によって形成され得る。本実施の形態の透明電極は、アクティブマトリクス駆動の共通透明電極11eとして形成されている。
一方の基板11の厚みは、10μm〜1mmが好適である。10μmよりも薄いと、パネルとしての強度を得ることができず、破損に至る危険度が増す一方、1mmよりも厚いと、パネル重量が重くなり過ぎて取り扱いが不便になるし、コストも高くなるからである。破損しにくく取り扱いが容易である好適な厚みの範囲は、50μm〜300μm程度である。
一方の基板11の表面には、メッキ処理による酸化防止処理が施されてもよい。また、一方の基板11の裏面(外側)には、バリア層が設けられてもよい。バリア層の機能は、インキが水分を吸着することによる表示劣化を防止することである。バリア層は、本実施形態では視認側に配置される一方の基板に設けられる場合には、透明である必要があり、無機膜を蒸着することで得られる。あるいは、予めバリア層が形成されたフィルムが貼り合わせられてもよい。
一方の基板11は、ロール状でもシート状でもどちらでも適用可能である。
他方の基板16としては、樹脂フィルム、樹脂板、ガラス、エポキシガラス(ガラエポ)等の表面に金属等の導電性材料によって画素電極16eが形成されたものが用いられ得る。画素電極16eとしては、本実施の形態では、アクティブマトリクス駆動用のTFT(Thin Film Transistor)層に対応する画素電極16eが用いられている。例えば、アルミニウムからなる画素電極16eが、メタルマスクを用いたスパッタリング法によって、アルゴンガス雰囲気0.5Paという条件下で成膜され得る。
他方の基板16は、光透過性の基材が用いられてもよく、さらに光透過性で不透明な基材であってもよく、電極面とは異なるもう一方の面を粗面化した不透明なガラス基材、樹脂フィルム、樹脂板、ガラス、エポキシガラス(ガラエポ)等が用いられ得る。本実施の形態では、他方の基板16は、視認側と反対側の位置に配置されるため、透明である必要性はない。しかし、熱膨張特性など一方の基板11と同じ物性が必要とされる場合は、一方の基板11と同様の透明部材が使用され得る。
他方の基板16の厚みも、一方の基板11の厚みと同様に、10μm〜1mmが好適である。10μmよりも薄いと、パネルとしての強度を得ることができず、破損に至る危険度が増す一方、1mmよりも厚いと、パネル重量が重くなり過ぎて取り扱いが不便になるし、コストも高くなるからである。破損しにくく取り扱いが容易である好適な厚みの範囲は、50μm〜300μm程度である。
他方の基板16には、更なる機能層が付加され得る。例えば、他方の基板16の表面に、バリアフィルムが貼付され得る。予め透明無機膜のバリア層が蒸着等で形成された透明フィルムが他方の基板16として採用されても、これと同様の機能を発揮できる。あるいは、他方の基板16の表面に、紫外線カットフィルムが貼付され得る。他方の基板16の表面に他の紫外線カット処理が施されても、これと同様の機能を発揮できる。その他の表面コート層として、AG層(防眩層)、HC層(傷防止層)、AR層(反射防止層)などが付加され得る。
他方の基板16も、ロール状でもシート状でもどちらでも適用可能である。
<反射型表示装置の製造方法1>
図1は、本発明の第1の実施の形態による反射型表示装置の製造方法を概略的に示すフロー図である。
まず、図1に示すように、透明な一方の基板11の共通透明電極11e上に、補助電極用の材料からなる補助電極層31が積層される(補助電極層形成工程)。補助電極層31は、共通透明電極11eの抵抗値を下げることに限界があることを考慮して、低抵抗値の補助電極32を形成するために設けられる層である。補助電極32が駆動電極としての機能を支援することによって、共通透明電極11eとして、抵抗値に拘わらず、より透明度の高い材料を採用することができる。表示領域60の外部に配線されるコンタクト配線も、補助電極32に直結するように設計されることが好ましい。
本実施の形態の補助電極層31は、遮光層を兼ねている。すなわち、本実施の形態の補助電極層31は、非透明電極である。補助電極層31の具体的な材料としては、抵抗が低くて割れにくい、すなわち延性がある材料が採用される。例えば、アルカリエッチング可能なアルミニウムや、チタン、金、銀、銅等が採用される。当該材料の体積抵抗値は、1×10−4Ωcm未満であることが好ましい。当該材料の体積抵抗値が1×10−4Ωcmを超えると、共通透明電極11eの内で電圧差が生じて、表示領域内で表示媒体に印加される電圧に差が生じて、表示ムラが生じるという不都合がある。一般に、体積抵抗値の測定方法としては、4端子4探針法(MCP−T610型、三菱化学アナリテック社製)が知られている。例えば、透明共通電極11eの体積抵抗値は、1×10−4Ω・cmであり、補助電極層31の体積抵抗値は、3×10−6Ω・cmである。
また、反射型表示装置が白黒表示であって白表示を優先するならば、銀などの無色で反射率の高い金属配線が用いられ得る。この場合、例えば、表示画素の明表示反射率は、40%であり、補助電極32の反射率は、60%である。各反射率の測定方法としては、SCI方式やSCE方式が知られている。
逆に、反射型表示装置が白黒表示であって黒表示を優先するならば、クロムなどの暗色で反射率の低い金属配線が用いられ得る。補助電極層31としては、共通透明電極11eとの密着度や反射率の調整等のために,金属膜の積層体によって構成されてもよい。この場合、例えば、表示画素の暗表示反射率は、10%であり、補助電極32の反射率は、5%である。
次に、補助電極層31上に所定のパターンで隔壁12が形成される(隔壁形成工程)。図2は、隔壁形成工程の一例を概略的に示す図である。図2に示すように、まず、一般には水平方向に載置される一方の基板11の補助電極層31の上面に、例えばフォトリソグラフィ法(紫外線(UV)照射による露光→現像→焼成)によって、所定のパターンの隔壁12が形成される。隔壁12は、少なくとも表示領域60において、後述する複数のセルを規定する部材である。表示領域60の外部は、外周領域70と称される。
隔壁12は、紫外線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、常温硬化性樹脂等によって構成可能であり、隔壁12の形成方法は、フォトリソグラフィ法の他、エンボス加工などの型転写方法も採用され得る。さらに、所望のパターンの構造物を隔壁として製造しておいて、それを一方の基板11に貼り付けるという方法も採用され得る。
隔壁12の頂面の幅は、9μm〜50μm、好ましくは9μm〜20μmである。9μmというのは、隔壁12が倒れることなくパターニングできる線幅の下限である。隔壁12の頂面の幅が9μm未満である場合、隔壁12の長さが60μm以上に亘るようなパターンでは、少なくとも隔壁12の一部が倒れたり、剥がれたり、剥がれた隔壁12が基板上を移動したりする。そうなった場合には、隔壁12による粒子の移動を防ぐという機能が失われ、表示品質が劣化してしまう。一方、好適な範囲の上限である50μmというのは、目視したときに隔壁12が目立ち過ぎない上限である。
ここで、隔壁12の頂面の幅の定義を、図3に示す。頂面の角が丸まっていなければ、図3(a)や図3(b)に示すように、頂面の幅はそのまま定義される。一方、頂面の角が丸まっている場合には、図3(c)や図3(d)に示すように、頂面の延長面と壁面の延長面との交線間の幅として理解される。評価のための測定方法としては、隔壁12が形成された一方の基板11を硬化性樹脂にて包埋し、ミクロートーム(大和光機工業株式会社製:FX−801)により隔壁12の断面を切り出し、走査電子顕微鏡(SEM)によって撮影した画像に基づいて各幅を測定することができる。
隔壁12のパターン形状は、円、格子、ハニカム状(六角形)、その他の多角形など、基本的に任意である。開口率は、70%以上が好ましく、特に90%以上が好ましい。高開口率であるほど、表示可能領域が広くなるため、高コントラストを得ることができる。
隔壁12の厚みは、5μm〜50μm、好ましくは10μm〜50μmである。5μm以下では、充填するインキ量が少なく、十分な表示特性、特にコントラストが得られない一方、50μm以上では、パネルの厚みが厚すぎて、駆動電圧が上昇し過ぎてしまう。低駆動電圧で良好な表示特性が得られるという観点から、10μm〜50μmの範囲の厚みが好適である。
セルのサイズ(ピッチL)は、表示パネルの大きさにもよるが、0.05〜1mmピッチ、好ましくは0.1〜0.5mmピッチである。ここで、ピッチとは、隣接するセルの中心点間の距離、すなわち、隣接するセルを重ねるべく移動させるのに必要な距離を意味している。
次に、図1に示すように、隔壁12をマスクとして利用して、補助電極層31がエッチングされる(エッチング工程)。これにより、隔壁12の下に平面視で当該隔壁12と同一のパターンでのみ補助電極層31が残存されて補助電極32となり、同時に、隔壁12が形成されていない領域の補助電極層31は除去されて、透明共通電極層11eが露出される。このエッチング工程によって、隔壁12と補助電極32との極めて高精度なアライメントが実現される。このエッチング工程は、酸によるエッチングも、アルカリによるエッチングも採用され得る。もっとも、隔壁に対応するパターンとしては、平面視で隔壁と同一のパターンの他、駆動性能に影響しない程度に一部の隔壁上を除いたパターンであってもよい。
また、このエッチング工程により、隔壁12形成時の有機物残渣も完全に除去される。これにより、後述する表示媒体としてのインキ13が有機物残渣によって経年劣化することが回避される。
製造方法1の場合、他方の基板16(対向基板)と隔壁12との接着は必ずしも必要ではないが、接着することで表示パネルの機械的強度が増すため、接着されても良い。その場合、隔壁12上に接着層22が形成される(接着層形成工程)。この接着層形成工程では、例えば転写法や印刷法により、ポリエステル系熱可塑性接着剤のようなヒートシール剤が、1μm〜100μmの厚みで形成される。好ましくは、1μm〜50μmの厚みで形成され、特に好ましくは、1μm〜20μmの厚みで形成される。
転写法として典型的な熱転写法の一例について具体的な説明を補足すれば、図4に示すように、例えばPETフィルム上に20μmの厚みでポリエステル系熱可塑性接着剤のようなヒートシール剤を形成した転写シートを用意し、この転写シートのヒートシール剤の面を隔壁上に常温で1kPaの圧力でラミネートする。これをヒートシール剤の軟化温度以上の温度である例えば120℃に保たれたホットプレート上において1分間加熱し、その後転写シートを剥離する。これにより、隔壁12上に例えば6μm程度の接着層22が形成される。
なお、接着層(ヒートシール剤)22としては、熱可塑性材料を用いたものが好ましく、加熱により軟化して、冷却すると固化する性質を有し、冷却と加熱を繰り返した場合に、塑性が可逆的に保たれる材料である。
熱可塑性材料からなるヒートシール剤22を接着層として用いた場合には、転写フィルム基材上の固化しているヒートシール剤22をその軟化温度を超える温度にまで加熱することにより軟化させて、隔壁頂面のみに確実にヒートシール剤22を熱転写することもできる。また、熱転写後のヒートシール剤22は常温まで冷却して再び固化することにより、タック、すなわちねばつきが無くなるため、取り扱いの便宜が極めて良い。また、タック、すなわちねばつきが無いことによって、セル内に充填された表示媒体としてのインキ13がヒートシール剤22と接着してしまうことがない。そして、再び隔壁上面のヒートシール剤22をその軟化温度を超える温度にまで加熱して軟化させることにより、タック、すわなちねばつきを有するようになるため、他方の基板に確実に接着される。他方の基板との接着後のヒートシール剤は、再び常温においてはタック、すなわちねばつきが無いため、やはり表示媒体としてのインキ13がヒートシール剤22と接着してしまうことがなく、表示品質の低下のおそれもない。
具体的には、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリエステル、ポリアミド、ポリオレフィン、ポリウレタンなどの熱可塑性ベースポリマーや、天然ゴム、スチレン−ブタジエンブロック共重合体、スチレン−イソプレンブロック共重合体、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−エチレン−プロピレン−スチレン共重合体などの熱可塑性エラストマーを主成分とし、粘着性付与樹脂や可塑剤を配合した樹脂が主に使用される。なお、製造方法1においては、接着層に導電性があると画素電極間が短絡し表示動作不具合が生じるため、接着層としては電気抵抗値が高い材料が用いられることが好ましい。具体的には、体積抵抗値で1×10Ωcm以上であることが好ましい。
接着材の体積抵抗値の測定方法としては、半導体パラメーター(4156Cプレシジョン半導体パラメータ・アナライザ、アジレント社製)を用いて、面積A=4[cm]の電極で厚さd=20[μm]の接着材をはさんだキャパシタ素子の両端の電極間に電圧V [V]を印加してそのときの電流I[A]を測ることで、接着材の電気抵抗をR [Ω]を求めることができる。体積抵抗率ρ[Ω・cm]を求める式は以下のとおりである。
R=V/I、R=ρ×d÷A、ρ=R×A÷d
隔壁12とヒートシール剤22との密着性を上げるために、隔壁12に紫外線照射やプラズマ処理などにより表面処理が施されてもよいし、プライマーが形成されてもよい。あるいは、ヒートシール剤22の方にシランカップリング剤が添加されてもよい。
次に、表示領域60を囲むように表示領域外周シール61が配置される(表示領域外周シール配置工程)。表示領域外周シール61の配置方法の一例について具体的な説明を補足すれば、当該表示領域外周シール61は、例えば紫外線硬化性樹脂のような接着剤を、ディスペンサを用いて線幅0.5mm、高さ50μmで線状に塗布することによって配置される。
表示領域外周シール61は、紫外線硬化性樹脂の他に、熱硬化性樹脂、常温硬化性樹脂、ヒートシール樹脂等によっても構成可能である。また、表示領域外周シール61は、ディスペンサの他に、各種の印刷法によって、あるいは、熱圧着によっても配置可能であり、他方の基板16上に配置されてもよい。
次に、一方の基板11上に表示媒体としてのインキ13が配置される(表示媒体配置工程)。図5は、表示媒体配置工程の一例を概略的に示す図である。ここでは、(1)ディスペンサ41あるいはインクジェット、ダイコートからインキ13が滴下され(インキ滴下工程)、(2)アプリケータ42あるいはドクターブレード、ドクターナイフ、中央スキージによって面内均一となるようにインキ13が塗工される(インキ塗布工程)。なお、インキ13は、他方の基板16上に配置されてもよい。
表示媒体としては、少なくとも1種以上の電気応答性材料を含む表示媒体が用いられ得る。電気応答性材料としては、電荷粒子材料、液晶材料があり、電荷粒子材料には白や黒、カラーなどの色づけされた粒子が電場に応答して移動するいわゆる電気泳動材料、または、粒子が二色に色分けされ電場により回転するツイストボールに代表される材料、または、電場により移動するナノ粒子材料等がある。一方、液晶材料は、PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)で知られる透過と散乱を電気的に制御する材料や、液晶に色素を混合した材料、コレステリック液晶材料などがある。これらの電気応答性を有し光学特性を変化させる材料は、種類を問わずセルに隔離する必要があり、本発明の適用対象である。
その後、隔壁12上の接着層22と、一方の基板11に対して対向する他方の基板16とが接着される(対向基板接着工程)。これにより、表示媒体(インキ13)が各セル内に封止される。
対向基板接着工程は、図6に示すように、接着層として塗工されたヒートシール剤22及び表示領域外周シール61を加熱させて接着力を得るようになっている。具体的には、ラミネータ91によって所定の熱圧着圧力(ラミネート圧力)を付与しながら、ヒートシール剤22及び表示領域外周シール61を周辺からその軟化温度を超える温度にまで加熱して軟化させることによって、隔壁12と他方の基板16とを接着する。もっとも、他の熱圧着の態様が採用されてもよい。
対向基板接着工程では、一方の基板11と他方の基板16との間でセル内に気泡が残らないように、他方の基板16をカールさせて、一方の側(図6の場合、左側)から対向する他方の側(図6の場合、右側)に向けて、ラミネータ91によって一方の基板11と他方の基板16とが互いに押圧される部位を移動させ、一方の基板11上の余剰のインキを、表示領域外周シール61で囲まれた領域から押し出しながら貼り合わせる。その後、表示領域外周シール61を硬化させることによって表示領域の外周が封止され、マザーパネル基板81が製造される。
その後、図1に示すように、マザーパネル基板81は、ギロチン、上刃スライド装置、レーザカット装置、レーザーカッター等の断裁装置51によって所定のサイズに断裁され、所望の反射型表示装置の製造が完了する。
以上のように、本実施の形態によれば、エッチング工程において、隔壁12の下に平面視で当該隔壁12と同一のパターンでのみ補助電極層31が残存されて補助電極32となるため、隔壁12と補助電極32との極めて高精度なアライメントが実現される。これにより、いわゆるモアレの発生が抑制され、優れた表示品質を提供することができる。
また、接着層のヒートシール剤22は、熱可塑性材料からなる場合においては、常温においてはタック、すなわちねばつきが無いため、取り扱いの便宜が極めて良い。また、タック、すなわちねばつきが無いことによって、その後の表示媒体配置工程が容易である。具体的には、スキージあるいはドクターブレード、ドクターナイフ等を用いて表示媒体を配置しても、表示媒体(インキ13)がヒートシール剤22と接着してしまうことがない。
なお、一方の基板11の電極(不図示)と他方の基板16の電極(不図示)との間に所定の電界(電圧)が与えられる際、表示媒体であるインキ13中の電気応答性材料が駆動され、文字パターン等の所定の情報が表示される。その後、電界が与えられなくなっても、新たな電界が両基板間に与えられるまで、当該情報表示状態が維持される。
また、光拡散層が、補助電極の画素電極と反対側の面に直接形成されても良く、基材を挟んで視認側の位置に配置されても良い。この場合、補助電極が強く視認されることが抑制され、結果的に表示品質を向上させる。光拡散層は、一般的なAG(アンチグレア)層でも良く、屈折率の異なる材料の複合体や、空気界面側に凹凸を有する層でも良い。また、接着層22が、光拡散機能を有してもよい。接着層が有する光拡散機能とは、当該接着層内を透過しようとする光を拡散させる機能であり、これにより接着層が強く視認されることが抑制される。
<反射型表示装置の製造方法2>
図7は、本発明の第2の実施の形態による反射型表示装置の製造方法を概略的に示すフロー図である。
まず、図7に示すように、透明であっても透明でなくてもよい他方の基板16上に、所望の画素電極16eが形成される(画素電極形成工程)。
次に、例えば画素電極16eのパターンと重ならないように、所定のパターンで隔壁12が形成される(隔壁形成工程)。
図8は、隔壁形成工程の一例を概略的に示す図である。図8に示すように、まず、一般には水平方向に載置される他方の基板16の例えばTFT層の上面に、例えばフォトリソグラフィ法(紫外線(UV)照射による露光→現像→焼成)によって、所定のパターンの隔壁12が形成される。隔壁12は、少なくとも表示領域60において、後述する複数のセルを規定する部材である。表示領域60の外部は、外周領域70と称される。
その他の隔壁12の詳細については、反射型表示装置の製造方法1において述べたことが適用可能である。
そして、表示領域60における隔壁12のパターンに対応したメタルマスクを用いて、表示領域60における隔壁12上に、補助電極用の材料からなる補助電極層31が成膜される(補助電極層形成工程)。ここで、メタルマスクを用いても、隔壁12の側面及び画素電極16e上に、僅かに補助電極層31が成膜されてしまう。補助電極層31の詳細については、反射型表示装置の製造方法1において述べたことが適用可能である。
次に、図7に示すように、補助電極層31がエッチングされる(エッチング工程)。これにより、隔壁12の側面に薄く成膜されてしまっていた補助電極層31が除去されて、隔壁12上に平面視で当該隔壁12と同一のパターンとなるように補助電極32が形成される。もっとも、このエッチング工程は、隔壁12を逆テーパ形状に形成してその側面に補助電極層31が成膜されないようにしておけば、省略することも可能である。ここで、逆テーパ形状とは、本実施の形態では他方の基板16側の隔壁12の頂面の幅が一方の基板11側の隔壁12の頂面の幅よりも小さくなるような形状であり、他方の基板16側に行くに従って断面積が小さくなるような形状を意味する。
また、このエッチング工程により、隔壁12が形成されていない領域に成膜されてしまっていた補助電極層31が除去されて、画素電極16eが所望に露出される。
ここで、画素電極形成工程と補助電極層形成工程とを同時に行うことが可能であることに言及しておく。この場合、画素電極形成工程は、隔壁形成工程の後に実施されることになり、画素電極と補助電極層とは、主成分が同一である材料から形成されることになる。
ここで、画素電極と補助電極層の性能に影響しない限りにおいては、僅かに不純物が含まれていてもよい。また、この場合、エッチング工程によって、画素電極16eの厚みが所望に調整されることになる。
以上のエッチング工程によって、隔壁12と補助電極32との極めて高精度なアライメントが実現される。エッチング工程は、酸によるエッチングでも、アルカリによるエッチングでもよい。
また、このエッチング工程により、隔壁12の形成時の有機物残渣も完全に除去される。これにより、後述する表示媒体としてのインキ13が有機物残渣によって経年劣化することが回避される。
次に、補助電極32上に接着層22が形成される(接着層形成工程)。この接着層形成工程では、例えば転写法や印刷法により、カーボンブラックを添加したポリエステル系熱可塑性接着剤のようなヒートシール剤が、1μm〜100μmの厚みで形成される。好ましくは、1μm〜50μmの厚みで形成され、特に好ましくは、1μm〜20μmの厚みで形成される。本実施の形態の接着層22は、導電性を有することが必要である。導電性を付与するにはその接着材料自体の電気抵抗が低い場合もあるが、一般的には接着材料は高電気抵抗であり、導電性材料を添加することで導電性を付与する。導電性材料に特に制限はないが、接着材料に容易に混合することができる粉末状のものが好ましく、カーボンブラック粉末やアンチモンなどからなる導電性酸化金属を含有する粉末が使用することができる。
さらに、本実施の形態の接着層22は、光拡散層としても機能させることもできる。上述の導電性酸化金属を含有する粉末が混入すると接着層内で散乱が発生し、光拡散として機能できるし、中空粒子など接着材料と屈折率の異なる材料を添加することでも光拡散が可能である。接着層が有する光拡散機能とは、当該接着層内を透過しようとする光を拡散させる機能であり、これにより接着層が強く視認されることが抑制される。
次に、表示領域60を囲むように表示領域外周シール61が配置される(表示領域外周シール配置工程)。表示領域外周シール61の詳細についても、反射型表示装置の製造方法1において述べたことが適用可能である。
次に、他方の基板16上に表示媒体としてのインキ13が配置される(表示媒体配置工程)。もっとも、インキ13は、一方の基板11上に配置されてもよい。インキ13の詳細についても、反射型表示装置の製造方法1において述べたことが適用可能である。
その後、補助電極32上の接着層22と、他方の基板16に対して対向する一方の基板11とが接着される(対向基板接着工程)。これにより、表示媒体(インキ13)が各セル内に封止される。
その後、図7に示すように、マザーパネル基板82は、ギロチン、上刃スライド装置、レーザカット装置、レーザーカッター等の断裁装置51によって所定のサイズに断裁され、所望の反射型表示装置の製造が完了する。
以上のように、本実施の形態によれば、エッチング工程において、隔壁12の上に平面視で当該隔壁12と同一のパターンでのみ補助電極層31が残存されて補助電極32となるため、隔壁12と補助電極32との極めて高精度なアライメントが実現される。これにより、いわゆるモアレの発生が抑制され、優れた表示品質を提供することができる。
また、接着層のヒートシール剤22は、熱可塑性材料からなる場合においては、常温においてはタック、すなわちねばつきが無いため、取り扱いの便宜が極めて良い。また、タック、すなわちねばつきが無いことによって、その後の表示媒体配置工程が容易である。具体的には、スキージあるいはドクターブレード、ドクターナイフ等を用いて表示媒体を配置しても、表示媒体(インキ13)がヒートシール剤22と接着してしまうことがない。
なお、一方の基板11の電極(不図示)と他方の基板16の電極(不図示)との間に所定の電界(電圧)が与えられる際、表示媒体であるインキ13中の電気応答性材料が駆動され、文字パターン等の所定の情報が表示される。その後、電界が与えられなくなっても、新たな電界が両基板間に与えられるまで、当該情報表示状態が維持される。
<反射型表示装置の実施例>
次に、実際に行われた実施例について説明する。
<実施例1>
まず、本発明の第1の実施の形態による反射型表示装置の製造方法の具体的な実施例について説明する。
一方の基板11として、400mm×500mm×厚さ0.1mmのPETフィルム(東洋紡製A4100)の一方の面に共通透明電極11eとして酸化インジウムスズ(ITO)蒸着膜(厚さ0.05μm)が設けられた基板が用意された。共通透明電極11eは、スパッタリング、真空蒸着法、CVD法などの一般的な成膜方法によって形成され、酸化インジウムスズ(ITO)の他に、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スズ(SnO)等によっても形成され得る。
次に、当該一方の基板11上に、補助電極層31が金属成膜法によって50nmの厚さで形成された。補助電極層31の材料としては、抵抗が低くて割れにくい、すなわち延性がある材料が採用される。本例では、アルカリエッチング可能なアルミニウムが採用されたが、チタン、金、銀、銅等でもよい。また、当該材料の体積抵抗値は、1×10−4Ωcm未満であることが好ましい。
次に、当該補助電極層31の上に、ネガ型感光性樹脂材料(デュポンMRCドライフィルムレジスト(株)製のドライフィルムレジスト)を20μmの厚さにラミネートして100℃、1分間の条件で加熱し、次いで露光マスクを使用して露光(露光量500mJ/cm)し、その後、1%KOH水溶液を用いた現像を30秒行い、120℃、60分間の条件で焼成することで、線幅20μmでセルピッチ175μmの格子状パターンの隔壁12が、表示領域60に対応する領域に形成された。すなわち、本実施例は、いわゆる多面付けタイプでなく、表示領域60は単一であった。なお、外周領域70に対応する領域には、隔壁12は形成されなかった。
そして、隔壁12をマスクとして利用して、混酸アルミ液(和光純薬工業株式会社製)を用いて、補助電極層31がエッチングされた。これにより、隔壁12の下に平面視で当該隔壁12と同一のパターンでのみ補助電極層31が残存されて補助電極32となり、同時に、隔壁12が形成されていない領域の補助電極層31は除去されて、透明共通電極層11eが露出された。このエッチング工程によって、隔壁12と補助電極32との極めて高精度なアライメントが実現された。
続いて、一方の基板11の表示領域60の各々の外周を囲むように、ディスペンサを用いて紫外線硬化性樹脂(イーエッチシー社製:LCB−610)が切れ目なく塗工されて、表示領域外周シール61が形成された。
次いで、表示媒体として、以下の成分を有するインキ13が用いられ、ディスペンサ41から滴下されて、アプリケータ42(テスター産業製)にて、一方の基板11の表面より50μmのギャップにてインキ13が塗工された。
<インキ成分>
・電気泳動粒子(二酸化チタン)・・・60重量部
・分散液 ・・・40重量部
続いて、他方の基板16として、420mm×300mm×厚さ0.7mmの無アルカリガラス(日本電気硝子製OA−10G)に、Cu電極等の画素電極16eを含む各種電極がパターン状に形成されたものが用いられた。各種電極のパターン形成は、一般的なエッチング法によって形成された。
そして、大気中にて、一方の基板11の隔壁12上に他方の基板16を重ね合わせて、ラミネータ91で一定の圧力をさらに付与しつつ、一方の基板11と他方の基板16とが密着された(図6参照)。このとき、両基板の間に気泡が残らないように、他方の基板16はカールされた状態で、図6に示すように、一方の基板11及び他方の基板16の左側から対向する右側に向けて、表示領域外周シール61で囲まれた空間の容積を超える余剰のインキを押し出しながら、貼り合わされた。この結果、セル内には規定量のインクのみが充填された。(知財コメント→他の関連案件と同様に、図6について他方の基板16をカールさせた図面に変更願います。)
その後、紫外線を露光(露光量700mJ/cm)して表示領域外周シール61を硬化させた(外周封止処理)。
以上により作製されたマザーパネル基板81は、必要に応じて断裁装置51によって所定のサイズに断裁され、また、一方の基板11の視認側表面にAGフィルムが貼合されて、表示パネルが作製された。
以上のようにして得られた表示パネルに対して表示品質を評価したが、極めて良好であった。特に、表示画素以外の領域が高反射領域となっていて、白表示時の表示品質が極めて良好であった。また、隔壁部分が視認されることがなく、高開口率がパネル全面にわたって確認された。
<比較例1−1>
前記実施例1に対して、補助電極32の形成について、エッチング法を用いる代わりに、隔壁12の形成と同様のフォトリソ法を用いた。その他は前記実施例1と同じ工程で、表示パネルを作製した。
結果として、補助電極32のパターンと隔壁12のパターンとのアライメントにずれが生じてしまった。ずれの程度は、最大で20μmにも達していた。この結果、モアレが視認されてしまうことになり、表示パネルとしての表示品質は良くなかった。
<比較例1−2>
前記比較例1−1に対して、補助電極32のパターンに必ず隔壁12のパターンが収まるように、補助電極32のパターンの線幅を60μmとした。その他は前記比較例1−1と同じ工程で、表示パネルを作製した。
結果として、補助電極32のパターンに隔壁12のパターンが収まって、モアレが視認されることは無かった。しかしながら、補助電極32のパターンの占有面積が増大してしまったため、開口率が低下して、像表示コントラストが低下してしまった。
<実施例2>
次に、本発明の第2の実施の形態による反射型表示装置の製造方法の具体的な実施例について説明する。
他方の基板16として、400mm×500mm×厚さ0.7mmの無アルカリガラス(日本電気硝子製OA−10G)に、TFT層が形成されたものが用いられた。TFT層の最上部の層間絶縁層には、20μmのコンタクトホールが175μmピッチで形成され、当該コンタクトホールは、スイッチングトランジスタのドレイン電極上に配置された。
そして、当該コンタクトホールを塞がないような所定のパターンで、当該他方の基板16の上に、ネガ型感光性樹脂材料(デュポンMRCドライフィルムレジスト(株)製のドライフィルムレジスト)を20μmの厚さにラミネートして100℃、1分間の条件で加熱し、次いで露光マスクを使用して露光(露光量500mJ/cm)し、その後、1%KOH水溶液を用いた現像を30秒行い、120℃、60分間の条件で焼成することで、線幅20μmでセルピッチ175μmの格子状パターンの隔壁12が、表示領域60に対応する領域に形成された。すなわち、本実施例は、いわゆる多面付けタイプでなく、表示領域60は単一であった。もっとも、図5に示すような4面付けタイプの4つの表示領域60の各領域に形成されてもよい。なお、外周領域70に対応する領域には、隔壁12は形成されなかった。
次に、本実施例では、画素電極形成工程と補助電極層形成工程とが同時に行われた。すなわち、それら電極の材料としてのアルミニウムが、スパッタリング法によってアルゴンガス雰囲気0.5Paという成膜条件下で100nmの厚みで成膜された。この成膜工程の際、表示領域以外の部分は、メタルマスクで覆われた。この成膜工程の結果、隔壁12の側面にも20nm程度の厚みでアルミニウムが成膜してしまった。
次に、補助電極層31が50nm程度エッチングされた。これにより、隔壁12の側面に薄く成膜されてしまっていた補助電極層31が完全に除去されて、隔壁12上に平面視で当該隔壁12と同一のパターンとなるように50nmの厚みの補助電極32が残存されて形成された。また、このエッチング工程により、画素電極16eも50nmの厚みで形成された。
一方、転写フィルム基材21として厚さ50μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(帝人・デュポン社製)が用いられ、これにカーボンブラックを添加したヒートシール剤22(東洋紡製バイロン630)が厚さ20μmでダイコーダにて塗布され、乾燥された。これにより、20μmの接着層22を有するロール状の転写フィルム20が作製された。なお、ヒートシール剤22の軟化温度は約110℃であった。
そして、補助電極32の上面に転写フィルム20が載せられた状態で、1kPa程度の押圧力をさらに付与しつつ、ヒートシール剤22の周辺がその軟化温度を超える温度、例えば120℃程度にまで加熱され、その結果、ヒートシール剤22が補助電極32の頂面の全面に熱転写された。補助電極32の頂面からヒートシール剤22の頭頂部までの高さは、約10μmであった。
続いて、他方の基板16の表示領域60の各々の外周を囲むように、ディスペンサを用いて紫外線硬化性樹脂(イーエッチシー社製:LCB−610)が切れ目なく塗工されて、表示領域外周シール61が形成された。
次いで、表示媒体として、以下の成分を有するインキ13が用いられ、ディスペンサ41から滴下されて、アプリケータ42(テスター産業製)にて、他方の基板16の表面より50μmのギャップにてインキ13が塗工された。
<インキ成分>
・電気泳動粒子(二酸化チタン)・・・60重量部
・分散液 ・・・40重量部
続いて、一方の基板11として、400mm×500mm×厚さ0.1mmのPETフィルム(東洋紡製A4100)の一方の面に共通透明電極11eとして酸化インジウムスズ(ITO)蒸着膜(厚さ0.05μm)が設けられた基板が用意された。共通透明電極11eは、スパッタリング、真空蒸着法、CVD法などの一般的な成膜方法によって形成され、酸化インジウムスズ(ITO)の他に、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スズ(SnO)等によっても形成され得る。
そして、大気中にて、他方の基板16の補助電極32上の接着層22の上に一方の基板11を重ね合わせて、ラミネータ91で一定の熱圧着圧力をさらに付与しつつ、他方の基板16の補助電極32と一方の基板11とが密着された(図9参照)。このとき、両基板の間に気泡が残らないように、一方の基板11はカールされた状態で、一方の基板11及び他方の基板16の左側から右側に向けて、表示領域外周シール61で囲まれた空間の容積を超える余剰のインキを押し出しながら、貼り合わされた。この結果、セル内には規定量のインクのみが充填された。
熱圧着時の温度は、接着層22及び表示領域外周シール61の軟化温度又は溶融温度より高い、111℃〜150℃、好ましくは110℃〜120℃であり、本実施例では110℃であった。また、熱圧着圧力は、0.01MPa〜0.7MPaが好ましく、特には0.1MPa〜0.4MPaが好ましく、本実施例では0.4MPaであった。
その後、紫外線を露光(露光量700mJ/cm)して表示領域外周シール61を硬化させた(外周封止処理)。
以上により作製されたマザーパネル基板82は、断裁装置51によって所定のサイズに断裁され、また、一方の基板11の視認側表面にAGフィルムが貼合されて、表示パネルが作製された。
以上のようにして得られた表示パネルに対して表示品質を評価したが、極めて良好であった。特に、表示画素以外の領域が高反射領域となっていて、白表示時の表示品質が極めて良好であった。また、隔壁部分が視認されることがなく、高開口率がパネル全面にわたって確認された。
<実施例3>
前記実施例2に対して、隔壁12を逆テーパ形状(具体的には、高さ20μm、頂部直径20μm、底部直径15μm)に形成して、エッチング工程を省略した、その他は前記実施例2と同じ工程で、表示パネルを作製した。
以上のようにして得られた表示パネルに対して表示品質を評価したが、極めて良好であった。特に、表示画素以外の領域が高反射領域となっていて、白表示時の表示品質が極めて良好であった。また、隔壁部分が視認されることがなく、高開口率がパネル全面にわたって確認された。
11 一方の基板
11e 共通透明電極
12 隔壁
13 インキ(表示媒体)
16 他方の基板
16e 画素電極
22 ヒートシール剤
31 補助電極層
32 補助電極
41 ディスペンサ
42 アプリケータ
51 断裁装置
60 表示領域
61 表示領域外周シール
70 外周領域
81、82 マザーパネル基板
91 ラミネータ

Claims (12)

  1. 少なくとも一方が透明である対向する2枚の基板間に少なくとも1種以上の電気応答性材料を含む表示媒体が封入されていて、前記2枚の基板間に所定の電界が与えられる際に前記表示媒体が所望の表示をする、反射型表示装置であって、
    一方の基板が透明であり、
    前記一方の基板と他方の基板との間に、少なくとも表示領域を覆う透明共通電極と、補助電極と、所定のパターンの隔壁とが、前記一方の基板の側から前記他方の基板の側に向かう方向に見て当該順序で設けられており、
    前記補助電極は、前記隔壁上に平面視で当該隔壁に対応するパターンで設けられており、
    前記隔壁及び前記補助電極で区画された各領域をセルとして、各セルの中に前記表示媒体が配置されている
    ことを特徴とする反射型表示装置。
  2. 前記補助電極は、前記透明共通電極の体積抵抗値よりも低い体積抵抗値を有している
    ことを特徴とする請求項1に記載の反射型表示装置。
  3. 前記補助電極は、非透明電極である
    ことを特徴とする請求項2に記載の反射型表示装置。
  4. 前記補助電極の反射率は、当該反射型表示装置の表示画素の明表示反射率以上である
    ことを特徴とする請求項3に記載の反射型表示装置。
  5. 前記補助電極の反射率は、当該反射型表示装置の表示画素の暗表示反射率以下である
    ことを特徴とする請求項3に記載の反射型表示装置。
  6. 前記補助電極上に、光拡散層が設けられている
    ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の反射型表示装置。
  7. 前記補助電極または前記光拡散層は、接着層を介して前記透明共通電極に接着されている
    ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の反射型表示装置。
  8. 前記接着層は、光拡散機能を有している
    ことを特徴とする請求項7に記載の反射型表示装置。
  9. 前記画素電極と前記補助電極とが、主成分が同一である材料から形成されている
    ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の反射型表示装置。
  10. 少なくとも一方が透明である対向する2枚の基板間に少なくとも1種以上の電気応答性材料を含む表示媒体が封入されていて、前記2枚の基板間に所定の電界が与えられる際に前記表示媒体が所定の表示をする、反射型表示装置、を製造する方法であって、
    少なくとも表示領域の全面に透明共通電極が形成された透明な一方の基板上に、補助電極用の材料からなる補助電極層を形成する補助電極層形成工程と、
    前記補助電極層上に所定のパターンで隔壁を形成する隔壁形成工程と、
    前記隔壁をマスクとして利用して前記補助電極層をエッチングすることによって、前記隔壁の下に平面視で当該隔壁に対応するパターンで補助電極を残存させると共に、前記隔壁が形成されていない領域の補助電極層を除去して前記透明共通電極層を露出させる補助電極形成工程と、
    を備えたことを特徴とする反射型表示装置の製造方法。
  11. 少なくとも一方が透明である対向する2枚の基板間に少なくとも1種以上の電気応答性材料を含む表示媒体が封入されていて、前記2枚の基板間に所定の電界が与えられる際に前記表示媒体が所定の表示をする、反射型表示装置、を製造する方法であって、
    透明な一方の基板の少なくとも表示領域の全面に形成される透明共通電極に対向するように、他方の基板上に画素電極を形成する画素電極形成工程と、
    前記他方の基板上に所定のパターンで隔壁を形成する隔壁形成工程と、
    前記隔壁上に補助電極用の材料からなる補助電極層を成膜する補助電極層形成工程と、
    前記補助電極層をエッチングすることによって、前記隔壁上に平面視で当該隔壁に対応するパターンとなるように補助電極を形成する補助電極形成工程と、
    を備えたことを特徴とする反射型表示装置の製造方法。
  12. 少なくとも一方が透明である対向する2枚の基板間に少なくとも1種以上の電気応答性材料を含む表示媒体が封入されていて、前記2枚の基板間に所定の電界が与えられる際に前記表示媒体が所定の表示をする、反射型表示装置、を製造する方法であって、
    透明な一方の基板の少なくとも表示領域の全面に形成される透明共通電極に対向するように、他方の基板上に画素電極を形成する画素電極形成工程と、
    前記他方の基板上に所定のパターンで逆テーパ形状の隔壁を形成する隔壁形成工程と、
    前記隔壁上に補助電極を成膜する補助電極形成工程と、
    を備えたことを特徴とする反射型表示装置の製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2018527613A (ja) * 2015-09-08 2018-09-20 エルジー・ケム・リミテッド 光学素子の製造方法

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