JP2014066986A - 露光描画装置、移動制御方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ACハンド24A、24Bは、搬送経路上を移動して被露光基板Cのステージ10への供給およびステージ10からの排出を行う。ACハンド24Aおよび24Bは、その搬送経路上の移動に伴って生じる振動がステージ10に伝搬し得る状態で設けられている。システム制御部40は、露光部16が露光描画処理を行っていない間、ACハンド24A、24Bが搬送経路上を移動する際の加速時および減速時の加速度を標準加速度に設定し、露光部16が露光描画処理を行っている間、ACハンド24A、24Bが搬送経路上を移動する際の加速時および減速時の加速度を前記第1の加速度よりも小さい低加速度に設定する。
【選択図】図6
Description
以下、本発明の実施形態に係る露光描画装置について添付図面を用いて詳細に説明する。なお、各図面において同一または等価な構成要素および部分には同一の参照符号を付与している。また、本実施形態では、表面にレジスト膜等の感材が形成されたフィルム、プリント配線基板及びフラットパネルディスプレイ用ガラス基板等の平板基板を被露光基板Cとして、被露光基板Cに対して露光描画を行う露光描画装置を例として説明する。
以下に、本発明の第2の実施形態に係る露光描画装置について説明する。上記した第1の実施形態に係る露光描画装置1は、ACハンド24Aおよび24Bが移動する際の加速度を、計測処理中または露光描画処理中であるか否かに応じて標準加速度および低加速度のいずれかに設定するものであった。これに対して本実施形態に係る露光描画装置は、ACハンド24Aおよび24Bが移動する際の加速度を、露光描画しようとする描画パターンが高解像度である場合にのみ計測処理中または露光描画処理中であるか否かに応じて標準加速度および低加速度のいずれかに設定し、露光描画しようとする描画パターンが低解像度である場合には計測処理中または露光描画処理中であるか否かにかかわらず、標準加速度に設定するものである。例えば、ACハンド24Aおよび24Bを標準加速度A1およびB1で駆動した場合に生じる振動によってステージ10が1.5μm変位するものとする。この場合において、露光描画する描画パターンの1画素のサイズが例えば2.5μm×2.5μmである場合には、ACハンド24Aおよび24Bが移動する際の加速度として標準加速度A1およびB1を設定したとしても、ステージ10の変位量は、1画素サイズよりも小さいので、振動による画像品質への影響は小さいものと考えられる。この場合、本実施形態に係る露光描画装置では、計測処理中または露光描画処理中であるか否かにかかわらず、ACハンド24Aおよび24Bが移動する際の加速度は、サイクルタイムが最小となる標準加速度A1およびB1に設定される。一方、露光描画する描画パターンの1画素のサイズが例えば1μm×1μmである場合には、ACハンド24Aおよび24Bを標準加速度A1およびB1で駆動した場合のステージ10の変位量は1画素サイズよりも大きくなるので、振動による画像品質への影響が大きいものと考えられる。この場合、本実施形態に係る露光描画装置では上記した第1の実施形態に係る露光描画装置1と同様、計測処理中または露光描画処理中であるか否かに応じてACハンド24Aおよび24Bが移動する際の加速度を標準加速度または低加速度に設定する。
[第3の実施形態]
以下に、本発明の第3の実施形態に係る露光描画装置について説明する。上記した第1の実施形態に係る露光描画装置は、ACハンド24Aおよび24Bが移動する際の加速度を、計測処理中または露光描画処理中であるか否かに応じて標準加速度および低加速度のいずれかに設定するものであった。これに対して本実施形態に係る露光描画装置は、ACハンド24Aおよび24Bを移動させるタイミングにおいて計測処理中または露光描画処理中が実行されている場合には、これらの処理が完了するまで待機し、これらの処理が完了した後にACハンド24Aおよび24Bを標準加速度A1およびB1で駆動させるものである。
Claims (11)
- 処理対象物を搭載するためのステージと、
前記ステージに搭載された処理対象物に対して露光描画処理を行う露光部と、
移動することによって処理対象物の前記ステージへの供給および前記ステージからの排出を行い且つ移動の際の加速および減速に伴って生じる振動が前記ステージに伝搬し得る状態で設けられた搬送部と、
前記露光部が前記露光描画処理を行っているか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段により前記露光部が前記露光描画処理を行っていると判定された場合における前記搬送部が移動する際の加速度の大きさを、前記判定手段により前記露光部が前記露光描画処理を行っていないと判定された場合における前記搬送部が移動する際の加速度の大きさよりも小さくする移動制御を行う制御手段と、
を含む露光描画装置。 - 処理対象物を搭載するためのステージと、
前記ステージに搭載された処理対象物に対して露光描画処理を行う露光部と、
移動することによって処理対象物の前記ステージへの供給および前記ステージからの排出を行い且つ移動の際の加速および減速に伴って生じる振動が前記ステージに伝搬し得る状態で設けられた搬送部と、
前記露光部が前記露光描画処理を行っているか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段により前記露光部が前記露光描画処理を行っていないと判定された場合には前記搬送部が移動する際の加速度の大きさを所定値に設定し、前記判定手段により前記露光部が前記露光描画処理を行っていると判定された場合には前記搬送部を静止させる移動制御を行う制御手段と、
を含む露光描画装置。 - 前記判定手段は、少なくとも前記搬送部が静止しているとき及び定速移動しているときに前記露光部が前記露光描画処理を行っているか否かを判定する請求項1に記載の露光描画装置。
- 前記制御手段は、前記判定手段により前記露光部が前記露光描画処理を行っていないと判定された場合に前記搬送部を第1の速度まで加速させ、前記判定手段により前記露光部が前記露光描画処理を行っていると判定された場合に前記搬送部を前記第1の速度よりも小さい第2の速度まで加速させる請求項1または3に記載の露光描画装置。
- 前記搬送部は、複数の方向に移動可能であり、
前記制御手段は、前記搬送部の前記複数の方向の各々の移動について前記移動制御を行う請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光描画装置。 - 前記搬送部は、移動することによって処理対象物を前記ステージに供給する第1の搬送部と、移動することによって処理対象物を前記ステージから排出する第2の搬送部とを含み、
前記制御手段は、前記第1の搬送部および前記第2の搬送部の各々に対して前記移動制御を行う請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光描画装置。 - 前記露光部が前記露光描画処理において処理対象物に形成する描画パターンの解像度を示す解像度情報を取得する取得手段を更に含み、
前記制御手段は、前記取得手段によって取得された解像度情報によって示される解像度が所定の閾値よりも高い場合には前記搬送制御を行う請求項1乃至6のいずれか1項に記載の露光描画装置。 - 前記制御手段は、前記取得手段によって取得された解像度情報によって示される解像度が所定の閾値よりも低い場合には、前記搬送部が移動する際の加速度の大きさを所定値に設定する請求項7に記載の露光描画装置。
- コンピュータを、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の露光描画装置おける判定手段および制御手段として機能させるためのプログラム。
- 処理対象物を搭載するためのステージと、前記ステージに搭載された処理対象物に対して露光描画処理を行う露光部と、移動することによって処理対象物の前記ステージへの供給および前記ステージからの排出を行い且つ移動の際の加速および減速に伴って生じる振動が前記ステージに伝搬し得る状態で設けられた搬送部と、を含む露光描画装置における前記搬送部の移動制御方法であって、
前記露光部が前記露光描画処理を行っているか否かを判定するステップと、
前記判定ステップにおいて前記露光部が前記露光描画処理を行っていると判定された場合には前記搬送部が移動する際の加速度の大きさを第1の値に設定し、前記判定ステップにおいて前記露光部が前記露光描画処理を行っていないと判定された場合には前記搬送部が移動する際の加速度の大きさを前記第1の値よりも小さい第2の値に設定するステップと、
を含む移動制御方法。 - 処理対象物を搭載するためのステージと、前記ステージに搭載された処理対象物に対して露光描画処理を行う露光部と、移動することによって処理対象物の前記ステージへの供給および前記ステージからの排出を行い且つ移動の際の加速および減速に伴って生じる振動が前記ステージに伝搬し得る状態で設けられた搬送部と、を含む露光描画装置における前記搬送部の移動制御方法であって、
前記露光部が前記露光描画処理を行っているか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップにおいて前記露光部が前記露光描画処理を行っていないと判定された場合には前記搬送部が移動する際の加速度の大きさを所定値に設定し、前記判定ステップにおいて前記露光部が前記露光描画処理を行っていると判定された場合には前記搬送部を静止させるステップと、
を含む移動制御方法。
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