JP2015097367A5 - - Google Patents

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本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動素子は、基部と、
平面視で、前記基部から第１方向に沿って延出し、錘部及び前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部を含み、前記第１方向と直交する第２方向に沿って並んで配置されている１対の振動腕と、
を含み、
前記振動腕の厚さをＴ、
前記錘部同士の前記第２方向に沿った離間距離をＷ４としたとき、
０．０３３×Ｔ＜Ｗ４＜０．３３０×Ｔ ［μｍ］
を満足していることを特徴とする。
これにより、小型が実現された振動素子とすることができる。
［適用例２］
本発明の振動素子では、前記腕部の前記第２方向に沿った幅をＷ１、
前記錘部の前記第２方向に沿った幅をＷ２としたとき、
１．６≦Ｗ２／Ｗ１≦７．０
を満足していることが好ましい。
［適用例３］
本発明の振動素子では、前記Ｔは、５０μｍ≦Ｔ≦１４０μｍであることが好ましい。
これにより、小型でかつ、Ｑ値の高い水晶振動片を得ることができる。
［適用例４］
本発明の振動素子では、前記Ｔは、１１０μｍ≦Ｔ≦１４０μｍであることが好ましい。
これにより、小型でかつ、ＣＩ値の低い水晶振動片を得ることができる。
［適用例５］
本発明の振動素子では、前記振動腕の前記第１方向に沿った長さをＬ、
前記錘部の前記第１方向に沿った長さをＨとしたとき、
０．１８３＜Ｈ／Ｌ＜０．５９７
を満足していることが好ましい。
これにより、小型化とＱ値の向上とを両立させた振動素子を得ることができる。
［適用例６］
本発明の振動素子では、前記振動腕の前記第１方向に沿った長さをＬ、
前記錘部の前記第１方向に沿った長さをＨとしたとき、
０．０１２＜Ｈ／Ｌ＜０．３０
を満足していることが好ましい。
これにより、振動素子のＣＩ値が低く抑えられるため、振動損失が少なく、優れた振動特性を有する振動素子が得られる。
［適用例７］
本発明の振動素子では、前記振動腕は、互いに表裏の関係にある第１の主面及び第２の主面を備え、前記第１の主面側に設けられた第１溝及び前記第２の主面側に設けられた第２溝を有し、
前記第１溝の深さと前記第２溝の深さとの合計をｔａ、
ｔａ／Ｔをη、
平面視で、前記振動腕の前記第１方向に沿った外縁の一方と前記第１溝との間の前記第１の主面の前記第２方向に沿った幅、または、前記外縁の一方と前記第２溝との間の前記第２の主面の前記第２方向に沿った幅をＷ３としたとき、
４．２３６×１０×η２−８．４７３×１０×η＋４．４１４×１０［μｍ］≦Ｗ３≦−３．３６７×１０×η２＋７．１１２×１０×η−２．３５２×１０［μｍ］
を満足することが好ましい。
これにより、優れた振動特性を発揮する振動素子を得ることができる。
［適用例８］
本発明の振動子は、本発明の振動素子と、
前記振動素子が収納されているパッケージと、を含むことを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する振動子が得られる。
［適用例９］
本発明の発振器は、本発明の振動素子と、
前記振動素子と電気的に接続されている発振回路と、を備えていることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する発振器が得られる。
［適用例１０］
本発明の電子機器は、本発明の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する電子機器が得られる。
［適用例１１］
本発明の移動体は、本発明の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する移動体が得られる。

Claims (11)

  1. 基部と、
    平面視で、前記基部から第１方向に沿って延出し、錘部及び前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部を含み、前記第１方向と直交する第２方向に沿って並んで配置されている１対の振動腕と、
    を含み、
    前記振動腕の厚さをＴ、
    前記錘部同士の前記第２方向に沿った離間距離をＷ４としたとき、
    ０．０３３×Ｔ＜Ｗ４＜０．３３０×Ｔ ［μｍ］
    を満足していることを特徴とする振動素子。
  2. 請求項１において、
    前記腕部の前記第２方向に沿った幅をＷ１、
    前記錘部の前記第２方向に沿った幅をＷ２としたとき、
    １．６≦Ｗ２／Ｗ１≦７．０
    を満足していることを特徴とする振動素子。
  3. 請求項１または２において、
    前記Ｔは、５０μｍ≦Ｔ≦１４０μｍであることを特徴とする振動素子。
  4. 請求項１ないし３のいずれか１項において、
    前記Ｔは、１１０μｍ≦Ｔ≦１４０μｍであることを特徴とする振動素子。
  5. 請求項１ないし４のいずれか１項において、
    前記振動腕の前記第１方向に沿った長さをＬ、
    前記錘部の前記第１方向に沿った長さをＨとしたとき、
    ０．１８３＜Ｈ／Ｌ＜０．５９７
    を満足していることを特徴とする振動素子。
  6. 請求項１ないし５のいずれか１項において、
    前記振動腕の前記第１方向に沿った長さをＬ、
    前記錘部の前記第１方向に沿った長さをＨとしたとき、
    ０．０１２＜Ｈ／Ｌ＜０．３０
    を満足していることを特徴とする振動素子。
  7. 請求項１ないし６のいずれか１項において、
    前記振動腕は、互いに表裏の関係にある第１の主面及び第２の主面を備え、前記第１の主面側に設けられた第１溝及び前記第２の主面側に設けられた第２溝を有し、
    前記第１溝の深さと前記第２溝の深さとの合計をｔａ、
    ｔａ／Ｔをη、
    平面視で、前記振動腕の前記第１方向に沿った外縁の一方と前記第１溝との間の前記第１の主面の前記第２方向に沿った幅、または、前記外縁の一方と前記第２溝との間の前記第２の主面の前記第２方向に沿った幅をＷ３としたとき、
    ４．２３６×１０×η２−８．４７３×１０×η＋４．４１４×１０［μｍ］≦Ｗ３≦−３．３６７×１０×η２＋７．１１２×１０×η−２．３５２×１０［μｍ］
    を満足することを特徴とする振動素子。
  8. 請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動素子と、
    前記振動素子が収納されているパッケージと、
    を含むことを特徴とする振動子。
  9. 請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動素子と、
    前記振動素子と電気的に接続されている発振回路と、
    を備えていることを特徴とする発振器。
  10. 請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする電子機器。
  11. 請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする移動体。
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