JP2014013735A - 圧力スイッチ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力スイッチであって、圧力変動を検出する圧力センサと、前期圧力センサからの出力が所定の条件を満たした場合に、スイッチをオンする制御部と、を備え、前記圧力センサは圧力基準室と前記圧力基準室の内部と外部の圧力を平衡状態にするための開口部と前記開口部に前記圧力基準室内部と外部の圧力差に応じて変形する片持ち梁とを備え、前記片持ち梁上に圧電体が形成されていることを特徴とするセンサを有する圧力スイッチを提供する。
【選択図】図1
Description
この圧力スイッチによれば、ダイヤフラムに圧力が印加されるとダイヤフラムがたわみ、印加圧力が一定値に達すると、圧力基準室内の2つの電極が接触する。この2つの電極の導通を検出することによって、一定圧力に対するスイッチの機能を得ることが可能となる。
本発明に係る圧力スイッチは、圧力変動を検出する圧力センサと、前記圧力センサからの出力により所定圧力を判定する制御部と、を備え、前記圧力センサは、圧力基準室と、前記圧力基準室の内部と外部の圧力を平衡状態にするための開口部と、前記開口部に形成され前記圧力基準室内部と外部の圧力差に応じて変形するように前記圧力基準室の筐体に支持される片持ち梁とを備え、前記片持ち梁には圧電体が形成されていることを特徴とする。
(第1の実施形態)
図1は本発明の第1の実施形態に係る圧力スイッチの構成を示す概略ブロック図である。
本実施形態に係る圧力スイッチ1000は、圧力センサ100と、制御回路101と、電源102とを備えている。
以下、本発明に係る第2の実施形態の圧力スイッチについて説明する。第1の実施形態と同一箇所については、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
以下、本発明に係る第2の実施形態の圧力スイッチについて説明する。第1の実施形態と同一箇所については、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
11…シリコン支持層
12…シリコン酸化膜
13…シリコン活性層
15…片持ち梁
15a…支持部
10…キャビティ
20…開口部
30…圧電体
50…キャビティ
60…圧力基準室
70…絶縁層
80…下部電極
90…上部電極
100…圧力センサ
101…制御回路
102…電源
1000…圧力スイッチ
Claims (5)
- 圧力変動を検出する圧力センサと、前記圧力センサからの出力により所定圧力を判定する制御部と、を備え、
前記圧力センサは、圧力基準室と、前記圧力基準室の内部と外部の圧力を平衡状態にするための開口部と、前記開口部に形成され前記圧力基準室内部と外部の圧力差に応じて変形するように前記圧力基準室の筐体に支持される片持ち梁とを備え、
前記片持ち梁には圧電体が形成されていることを特徴とする圧力スイッチ。 - 請求項1に記載の圧力スイッチにおいて、
前記片持ち梁の略全面に圧電体が形成されていることを特徴とする圧力スイッチ。 - 請求項1に記載の圧力スイッチにおいて、
前記圧力センサは、前記片持ち梁の前記圧力基準室の筐体に支持される支持部から前記片持ち梁の全長の半分以下にのみ圧電体が形成されていることを特徴とする圧力スイッチ。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の圧力スイッチにおいて、
前記片持ち梁の前記支持部付近が前記片持ち梁の他端に比べ細くなっていることを特徴とする圧力スイッチ。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の圧力スイッチにおいて、
前記圧力基準室は、開口部以外が熱絶縁されていることを特徴とする圧力スイッチ。
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2012
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