JP6184006B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
この圧力センサによれば、通気孔を介して収納容器内に伝わる圧力変動に反応して圧電素子が振動するので、この圧電素子の電圧変化に基づいて圧力変動を検出することが可能とされる。
(1)本発明の一態様に係る圧力センサは、圧力変動を検出する圧力センサであって、キャビティと、該キャビティの内部と外部とを連通する連通開口と、が形成されたセンサ本体と、先端部が自由端とされると共に、基端部が前記センサ本体に片持ち状に支持された状態で前記連通開口を塞ぐように配設され、前記キャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形する複数のレバー片と、複数の前記レバー片のうち、少なくともいずれか1つのレバー片の変位を測定する変位測定部と、を備え、複数の前記レバー片は、それぞれの前記先端部同士が所定のギャップをあけて向かい合うように配設されている。
従って、ギャップを通じた圧力伝達媒体の流動量(出入り量)を小さくすることができ、キャビティ内部の圧力上昇をできるだけ抑えて、レバー片を十分に変形させることができる。従って、センサ感度を向上でき、圧力変動の検出を精度良く行うことができる。
以上のことから、特に低周波帯域の圧力変動の検出を感度良く行うことができる高性能な圧力センサを得ることができる。
また、各レバー片が容易に撓み変形し易いので、上記圧力差が生じた際に、複数のレバー片をより同期させた状態で同時且つ同方向に撓み変形することが可能になる。従って、変形の違いに起因するギャップ変化を防止でき、センサ感度のより一層の向上を期待できる。
(圧力センサの構成)
図1及び図2に示すように、本実施形態の圧力センサ1は、圧力変動を検出するセンサであって、例えばシリコン支持層2a、シリコン酸化膜等の酸化層2b、及びシリコン活性層2cを熱的に張り合わせたSOI基板2を利用して形成され、センサ本体3と、2つのレバー片4A、4B(カンチレバー)と、変位測定部5と、を備えている。
なお、図示の例では、センサ本体3は平面視長方形状に形成されているが、この形状に限定されるものではない。
より具体的には、レバー片4A、4Bは、例えばSOI基板2におけるシリコン活性層2cにより、それぞれ平面視長方形状に形成され、基端部4aを介してセンサ本体3における周壁部3aの開口端の内側(連通開口11の内周端)に一体的に固定されることで、片持ち支持されている。
つまり、2つのレバー片4A、4Bは、上記した微小なギャップ12、13を僅かにあけた状態で、連通開口11を略閉塞している。これにより、2つのレバー片4A、4Bは、基端部4aを中心としてキャビティ10の内部と外部との圧力差に応じて撓み変形可能とされている。
なお、上記貫通孔15は、連通開口11の内側に位置しており、レバー片4A、4Bを撓み易くしている。
そのため、検出回路22は、レバー片4A、4Bの変位(撓み変形)に応じて変化するピエゾ抵抗20の抵抗値変化を電気的な出力信号として取り出すことが可能とされている。従って、この出力信号(センサ出力)に基づいて各レバー片4A、4Bの変位を測定でき、圧力変動を検出することが可能となる。
また、上記したピエゾ抵抗20、配線部21及び検出回路22は、レバー片4A、4Bの変位を測定する変位測定部5として機能する。
キャビティ10の外部と内部との間に圧力差が生じ、2つのレバー片4A、4Bが撓み変形すると、第1ピエゾ抵抗35及び第2ピエゾ抵抗38の抵抗値は共に変化する。この時の変化分(抵抗増加量)を△R1、△R4とすると、第1ピエゾ抵抗35に関しては電源側である基準電圧発生回路31側に接続されているので、△R1が増加した分、中点電圧E1が低下する。これに対して、第2ピエゾ抵抗38に関してはグランド側に接続されているので、△R4が増加した分、中点電圧E2が増加する。
このように中点電圧E1が低下し、中点電圧E2が増加するので、その差は両方の変化電圧の和となる。そして、作動増幅回路32により、この差を任意の倍率で増幅することで、2つのレバー片4A、4Bの変位に基づいた出力信号を得ることができる。特に、この検出回路22によれば、ブリッジ回路30に2つのレバー片4A、4Bのピエゾ抵抗20を組み込んでいるので、レバー片を1つだけ組み込む場合よりも2倍の出力信号を得ることが可能である。
次に、上述した圧力センサ1を利用して、圧力変動を検出する場合について説明する。
はじめに、図4(A)に示す期間Aのように、キャビティ10の外部の圧力(以下、外気圧Poutと称する)と、キャビティ10の内部の圧力(以下、内気圧Pinと称する)との圧力差がゼロである場合には、図5(A)に示すように、各レバー片4A、4Bは撓み変形することがない。
すると、各レバー片4A、4Bの撓み変形に応じてピエゾ抵抗20に歪が生じ、それにより抵抗値が変化するので、図4(B)に示すように出力信号が増大する。
これにより、内気圧Pinが外気圧Poutに徐々に近づくので、キャビティ10の外部と内部との圧力が均衡状態になりはじめ、各レバー片4A、4Bの撓みが徐々に小さくなり、図4(B)に示すように上記出力信号が徐々に低下する。
比較例として、図6(A)に示すように、センサ本体3に基端部41aが片持ち支持されたレバー片41が1つだけ配設された圧力センサ40を例に挙げる。この圧力センサ40においては、レバー片41の先端部41bと連通開口11の内周端との間にギャップ12が形成される。
ここで、図6(A)に示す比較例における圧力センサ40のギャップ12と、図6(B)に示す本実施形態の圧力センサ1のギャップ12と、が共に同じギャップ幅G0である場合において、キャビティ10の内部と外部との間に圧力差が生じて各レバー片4A、4B、41が変形した状態を図7(A)、(B)に示す。
これに対して、図7(B)に示すように、本実施形態の圧力センサ1においては、2つのレバー片4A、4Bが同時且つ同方向に変形するので、ギャップ幅G0がほとんど変化せず、上記ギャップ幅GAよりも遥かに小さいギャップ幅GBとなる。しかも、2つのレバー片4A、4Bは、圧力差に対して同一の変位特性を有しているので同期して撓み変形する。よって、ギャップ12の開きを極力抑えることができ、上記したようにギャップ幅GBとすることができる。
図9は、ギャップ幅G0を共に1μmに設定した場合において、上記と同様の試験を行った結果である。
従って、このギャップ12を通じた圧力伝達媒体の流動量(出入り量)を小さくすることができ、キャビティ10内部の圧力上昇をできるだけ抑えてレバー片4A、4Bを十分に変形させることができる。そのため、図4(B)に示すように、大きなセンサ出力を得ることができる。従って、本実施形態の圧力センサ1によれば、センサ感度を向上でき、圧力変動の検出を精度良く行うことができる。
なお、図4(B)で示す点線は、上記した比較例における圧力センサ40のように、レバー片を1つだけ具備する場合のセンサの出力信号を示している。
なお、図10で示す点線は、上記した比較例における圧力センサ40のように、レバー片を1つだけ具備する場合のセンサの出力信号を示している。
例えば、自動車用ナビゲーション装置に適用することが可能である。この場合、例えば圧力センサ1を利用して高低差に基づく気圧差を検出できるので、高架道路と高架下道路とを正確に判別してナビゲーション結果に反映させることができる。
また、携帯用ナビゲーション装置に適用することも可能である。この場合、例えば圧力センサ1を利用して高低差に基づく気圧差を検出できるので、ユーザが建物内の何階に位置しているのかを正確に判別してナビゲーション結果に反映させることができる。
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
但し、2つのレバー片4A、4Bを、同一の変位特性を有するように形成することで、各レバー片4A、4Bの先端部4b同士の間に形成されているギャップ12の開き具合をより小さくできるので好ましい。
また、上記実施形態では、2つのレバー片4A、4Bの先端部4b同士の間に形成されているギャップ12の幅と、レバー片4A、4Bと連通開口11の内周端との間のギャップ13の幅とを同じギャップ幅Gで形成したが、図11に示すように、上記ギャップ12のギャップ幅Gよりも、上記ギャップ13のギャップ幅G1を小さくしても良い。
このようにすることで、ギャップ13を通じた圧力伝達媒体の流動量を小さくできるので、上述した作用効果をより効果的に奏効することができる。
また、上記実施形態では、2つのレバー片4A、4Bを具備する構成としたが、3つ以上のレバー片を具備する構成としても構わない。
例えば、図12に示すように、3つのレバー片4A、4B、4Cを具備し、各レバー片4A、4B、4Cの先端部4b同士がギャップ12をあけて向かい合うように配設された圧力センサ50としても構わない。なお、図示の例では、平面視六角形状のセンサ本体3としている。
この場合であっても、同様の作用効果を奏効することができる。それに加え、各レバー片4A、4B、4Cと連通開口11の内周端との間のギャップ13の形成領域を上記実施形態の圧力センサ1よりも小さくし易いので、このギャップ12を通じた圧力伝達媒体の流動量を小さくでき好ましい。
また、図13に示すように、4つのレバー片4A、4B、4C、4Dを具備し、各レバー片4A、4B、4C、4Dの先端部4b同士がギャップ12をあけて向かい合うように配設された圧力センサ60としても構わない。なお、図示の例では、平面視正方形状のセンサ本体3としている。
更には、図14に示すように、5つのレバー片4A、4B、4C、4D、4Eを具備し、各レバー片4A、4B、4C、4D、4Eの先端部4b同士がギャップ12をあけて向かい合うように配設された圧力センサ70としても構わない。なお、図示の例では、平面視五角形形状のセンサ本体3としている。
なお、本実施形態においてレバー片の数は6つ以上としても良いし、形状も片持ち支持されるのであれば自由に設計して構わない。また、センサ本体3の形状としては、レバー片の数や形状等に適宜変更して構わない。
但し、上記実施形態のように、ピエゾ抵抗20を利用することで自己変位検出型のレバー片とすることができるので、外光等の影響を受けることなく、圧力変動の検出を高精度に行い易い。
例えば、図3に示す検出回路22において、2つのレバー片4A、4Bのうちの、どちらか一方のピエゾ抵抗20だけをブリッジ回路30に組み込んでも構わない。この場合であっても、同様に検出信号を得ることができる。但し、上述したように、同一の変位特性を有する2つのレバー片4A、4Bのピエゾ抵抗20をブリッジ回路30に組み込むことで、レバー片を1つだけ組み込む時よりも2倍の出力信号を得ることができるので、より好ましい。
なお、上記実施形態では、図15および図16に示すように、ピエゾ抵抗20の代わりに圧電センサを用いてレバー片の変位を測定してもよい。つまり、上記実施形態では、ピエゾ抵抗20の抵抗値変化に基づいてレバー片4A、4Bの変位を測定する構成としたが、レバー片4A、4Bの変位に応じて撓む圧電素子より生ずる起電力を検出することで、レバー片4A、4Bの変位を測定する構成とすることも可能である。この第5変形例の圧力センサ80は、図1および図2に示す圧力センサ1においてピエゾ抵抗20の代わりに圧電センサ81を備えたものである。
圧電センサ81は、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)またはAlN(窒化アルミニウム)などの薄膜圧電体82と、薄膜圧電体82を厚さ方向の両側から挟み込むPt/Ti電極(チタン基材の表面にプラチナがめっきされた電極)などの第1および第2電極83,84と、第1および第2電極83,84の各々と検出回路22とを接続するAu(金)などからなる第1および第2取り出し電極85,86と、を備えている。圧電センサ81は、2つのレバー片4A、4Bの各々の基端部4aに第2電極84が装着されることによって実装されている。
なお、上述した第6変形例においては、図19および図20に示すように、上述した第2〜第4変形例と同様に3つ以上のレバー片を備えてもよく、3つ以上のレバー片の各々に圧電センサ81を備えてもよい。この場合の検出回路22は、図21に示す電荷電圧変換型の検出回路22Aまたは図22に示す電圧増幅型の検出回路22Bのように、3つ以上のレバー片に装着された3つ以上の圧電センサ81,…,81を直列に接続して、出力電圧Voutを出力する。
なお、第5変形例および第6変形例において、圧電センサ81の厚さに起因する感度低下が生じる場合には、各レバー片を長くしたり、各レバー片の先端部を基端部に比べて幅広に形成することによって、感度上昇に対するレバー片の寄与を増大させてもよい。
Claims (6)
- 圧力変動を検出する圧力センサであって、
キャビティと、該キャビティの内部と外部とを連通する連通開口と、が形成されたセンサ本体と、
先端部が自由端とされると共に、基端部が前記センサ本体に片持ち状に支持された状態で前記連通開口を塞ぐように配設され、前記キャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形する複数のレバー片と、
複数の前記レバー片のうち、少なくともいずれか1つのレバー片の変位を測定する変位測定部と、を備え、
複数の前記レバー片は、それぞれの前記先端部同士が所定のギャップをあけて向かい合うように配設されていることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1に記載の圧力センサにおいて、
複数の前記レバー片は、前記圧力差に対して同一の変位特性を有していることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1又は2に記載の圧力センサにおいて、
複数の前記レバー片は、該レバー片の外周縁と前記連通開口における内周縁との間に隙間が形成されることを防止するように配設されていることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の圧力センサにおいて、
前記変位測定部は、前記レバー片の基端部に形成されたピエゾ抵抗を備えることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の圧力センサにおいて、
前記変位測定部は、前記レバー片の基端部に圧電センサを備えることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の圧力センサにおいて、
前記レバー片の基端部には、該レバー片を貫通する貫通孔が形成されていることを特徴とする圧力センサ。
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