JP2014008574A - ワークキャリア - Google Patents
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Abstract
【課題】研磨されるワーク厚さを均一化し、かつワークの角部の損傷や摩耗を抑制するようなワークキャリアを提供する。
【解決手段】遊星歯車方式平行平面加工盤のワーク1を保持するワークキャリア10において、矩形状のワーク1を装着保持するワーク孔13が円状であってその側面が波状であるようなワークキャリア10とした。ワーク孔13の波面に沿ってワーク1の角部が二カ所当接しつつ自転するため円滑かつ連続的に回転し、また二カ所の角部へ力を分散させるため角部が破損する事態も防止する。
【選択図】図1
【解決手段】遊星歯車方式平行平面加工盤のワーク1を保持するワークキャリア10において、矩形状のワーク1を装着保持するワーク孔13が円状であってその側面が波状であるようなワークキャリア10とした。ワーク孔13の波面に沿ってワーク1の角部が二カ所当接しつつ自転するため円滑かつ連続的に回転し、また二カ所の角部へ力を分散させるため角部が破損する事態も防止する。
【選択図】図1
Description
本発明は、ワークの表面を両面同時にラッピング・ポリシング等の平行平面加工を行う遊星歯車方式平行平面加工盤で用いられ、このワークを装着保持するワークキャリアに関する。
まず、遊星歯車方式平行平面加工盤の概略について図を参照しつつ説明する。遊星歯車方式平行平面加工盤100は、図3で示すように、複数枚のワークキャリア200をサンギア101とインターナルギア102とに噛み合わせた状態としつつ、板状の下定盤103上に載置する。そして、このワークキャリア200のワーク孔201にワーク300を順次装着してから上定盤104を設置する。上定盤104側に設けられた、図示しない砥粒供給系から砥粒を供給しつつ、下定盤103、インターナルギア102のそれぞれの図示しない回転駆動軸やサンギア101の回転駆動軸105に所定の回転を与えることにより、下定盤103と上定盤104に挟持されたワーク300は、ワークキャリア200の公転と自転、いわゆる遊星運動に伴って相対移動し、ワーク300の両面が加工される。
図中のワーク300は円板状であり、ワークキャリア200のワーク孔201内にワーク300が保持されることとなる。ワークキャリア200は、ワーク300の目標仕上がり厚さよりも僅かに薄く形成されている。このワーク300を装着保持するために、従来ではワーク300の外径よりも僅かに大きめのワーク孔201が穿設されていた。
さて、このようなワークキャリア200では、ワークキャリア200の自公転に伴ってワーク孔201内のワーク300の内周側の速度と外周側の速度との差からワーク300が適宜自転することとなる。この自転によりワーク300全体が均一に研磨される。仮にワーク300が適宜自転しないとワークキャリア200の中心に対して半径方向の外側と内側で研磨量の大小が生じて全体で均一な厚みのワークを得ることができない。
しかしながら、特許文献1(特開平07−237121号公報、発明の名称「半導体基板のラッピング用キャリア」)にも記載のように、ワーク孔が丸孔であるときに円形ワークは自由に回転しない点が知見されている。このような場合、ワーク孔のある一点と円形ワークの外周の任意の一点とが連続または断続的に不規則に接しつつ加工が進行するため円形ワークの端面にカケが生じてしまい、端面の一部だけが変形・摩耗し、最悪の場合にはワークキャリア共ども破損するおそれもある。このような問題を解決するため、円形ワークではワーク孔の形状が丸孔であるよりは多角形である方が回転しやすくなりワーク端面へ作用する負荷も分散して軽減する点が見いだされ、端面の問題の低減が実現された。
具体的には、特許文献1に記載の発明では、円形のワーク(半導体基板)を収納するラップキャリアの各ホールの形状を多角形とし、ホール内のワークがラッピング加工時に自転可能としている。特に五角形以上だとワークは自由に回転する点が知見されている。これにより、ワーク(半導体基板)端面の変形・摩耗を低減し、後工程での欠け発生の低減を図っている。
そして、このようなワーク孔を多角形状にしたワークキャリアは各種開発されており、例えば、特許文献2(特開平06−278015号公報、発明の名称「水晶用研磨機のキャリア」)に記載の発明が知られている。特許文献2に記載の発明では、従来の丸孔では厚みバラツキが大きいという問題を解消するため、水晶用研磨機のキャリアのワークを入れる孔の形状を、多角形、特に八角形が好適であることを実験的検証により知見したものである。なお、ワークの形状についての記載はない。
また、他のワークキャリアとして、例えば、特許文献3(特開平07−328917号公報、発明の名称「水晶用研磨機のキャリア」)に記載の発明が知られている。特許文献3に記載の発明では、ワークを入れる複数個の孔が、同心円の多重環状に配列されている水晶用研磨機に使用するキャリアにおいて、同心円の各環を形成している孔の形状が隣接する環の相互間で、外側の環を形成している孔の形状の角数よりも、内側の環を形成している孔の形状の角数が多い水晶用研磨機のキャリアとしている。
ワーク孔の角数が多い方が中のワークの自転数が多くなる点を考慮し、ワークが多重環状配置の場合には、内側の孔の角数を外側の角数より大きくして、厚みを内外で均一にしている。例えば、二重環の場合には内側が十角形、外側が八角形である。他の例として、三重環の場合には内側が十二角形、中間が十角形、外側が八角形である。このような場合には厚みを内外で均一にすることができる。なお、ワークの形状についての記載はない。
以上説明したワークは主に円板状のワークが想定されているが、矩形状のワークも存在する。従来では矩形ワークに対して同形でわずかに大きな形状の矩形孔にワークを嵌合させ、ワークキャリアの自転・公転の動きと一緒にワークを動かしていた。ワーク厚さが大きく十分な強度を有するワークに対しては実施することは可能であるが、この場合でも、ワークの上下面に作用する摩擦力に関係なくワークを強制的に水平方向へ動かす力がワーク孔の接触部に作用することになり、状況によっては非常に大きな負荷が作用してワーク端部あるいはワーク孔端部が損傷したり、摩耗が著しく進行したりすることになる。そして、水晶ワークのような薄板矩形上のワークでは特に問題がある。
しかるに、キャリアから作用する負荷が大きい場合には、ワーク自身がワーク孔内で自由に移動(自転運動など)しながら負荷を和らげるか、負荷をすべり等で逃がすことが必要となる。作用する負荷をすべりで逃がすことを主体にするとワークは自転しにくくなったり、作用する摩擦状態によって不規則な自転運動をしたりすることになる。よって、前述のように、「ワーク自身がワーク孔内で自由に移動(自転運動など)しながら負荷を和らげる(一部逃がす)」ように運動することが必要となる。
本出願人もこのような薄型矩形状のワークに適したワークキャリアの開発を行っている。そのようなワークキャリアについて図を参照しつつ説明する。図4は、従来技術のワークキャリアの説明図である。ワークキャリア200のキャリア本体201には貫通孔202、ワーク孔203、キャリア歯部204が形成されている。このワーク孔203は12角形孔となっている。また、ワーク1は矩形状となっている。
このようなワークキャリア200では、ワーク1内のワークの内周側の速度と外周側の速度との差からワーク1が図4(b)に示すように回転する。この際に、ワーク1の角部の頂点がワーク孔103の各辺に当接して移動することになる。ワーク1の動きとしては、ワーク孔103の辺の区間で滑る動きが起こりやすく、ワーク孔103の頂点部では一時停止して引っ掛かりが解除されたときに隣の辺へ動き出す。
続いて、他のワークキャリアについて図を参照しつつ説明する。図5は、従来技術のワークキャリアの説明図である。ワークキャリア200’のワーク孔205は20角形孔となっており、円状に近づきつつある。また、ワーク1は矩形状である。ワーク孔205の角数が多い方が中のワーク1の自転数が多くなっており、このようなワークキャリア200’では、ワーク孔205内におけるワーク1の内周側の速度と外周側の速度との差からワーク1がより多く回転する。この際に、ワーク1の角部の頂点がワーク孔205の各辺に当接して移動することになる。図4のワークキャリアと比較すると、滑らかに動きやすいという利点がある。
しかしながら、上記した従来技術でも問題点を有するものであった。上記のワーク孔は多角形孔形状でありワークに自転運動を起こさせる効果はあるが、ワーク角部が多角形の辺に当接するとき(すべりやすい状態)と頂点部に当接するとき(負荷が作用しやすい状態)の挙動の違いにより、ワークが間欠的な自転運動を繰り返すことになるため、ワーク厚さの均一性は必ずしも十分ではなかった。
また、ワークの角部に作用する負荷も断続的かつやや衝撃的なものとなり、ワークの角部の損傷や摩耗の進行が懸念されていた。
また、ワークの角部に作用する負荷も断続的かつやや衝撃的なものとなり、ワークの角部の損傷や摩耗の進行が懸念されていた。
仮に特許文献1,2,3のワークキャリアを用いて水晶用の矩形ワークを加工することを想定した場合でも、矩形ワークの角部が多角形面に引っ掛かりつつ不規則で間欠的な自転運動をすることから、ワーク厚さの均一性は十分にはならないという問題があった。
そこで、本発明は上記した問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、研磨されるワーク厚さを均一化し、かつワークの角部の損傷や摩耗を抑制するようなワークキャリアを提供することにある。
本発明の請求項1に係る発明は、
遊星歯車方式平行平面加工盤のワークを保持するワークキャリアにおいて、矩形状のワークを装着保持するワーク孔が円状であってその側面が波状であることを特徴とするワークキャリアとした。
遊星歯車方式平行平面加工盤のワークを保持するワークキャリアにおいて、矩形状のワークを装着保持するワーク孔が円状であってその側面が波状であることを特徴とするワークキャリアとした。
このような本発明によれば、研磨されるワーク厚さを均一化し、かつワークの角部の損傷や摩耗を抑制するようなワークキャリアを提供することができる。
続いて、本発明を実施するための形態について、図1を参照しつつ説明する。ワークキャリア10は、キャリア本体11、貫通孔12、ワーク孔13,キャリア歯部14を備えている。このワークキャリア10は、矩形状のワーク1の研磨時に使用されるものであり、矩形状のワーク1の目標仕上がり厚さよりも僅かに薄く形成されている。キャリア本体11には貫通孔12が設けられて空気を通し、定盤等に貼り付くような事態を防止する。
ワーク孔13はキャリア本体11に穿設されており、ワーク1を装着するための孔である。ワーク孔13の基本形状は円形であり、ワーク1の2カ所の角部がワーク孔13に当接するときにワーク1の残る角部は当接しない程度に、ワーク1の形状外径よりもワーク孔13が大きいように構成されている。さらにワーク孔13の側面は半径方向に凹凸するような波状である波状側面部13aを備える。この波状側面部13aは円周上で20の波(20波)が存在するように形成されている。したがって、波状側面部13aのある山から隣接する山までは、図1(b)で示すように、18°(=360°/20)となる。このワーク孔13に矩形状のワーク1が配置されることになる。
キャリア歯部14は、キャリア本体11の外周部に形成されるものであり、図3で示したような遊星歯車方式平行平面加工盤のサンギアやインターナルギアと噛み合うものである。ワークキャリア10は、サンギアやインターナルギアの回転により自転・公転する。なお、遊星歯車方式平行平面加工盤は、3WAY方式・4WAY方式等各種形式があるが何れの形式でも適用することができる。
続いて本発明のワークキャリア10に装着されて研磨されるワーク1の挙動について図1(b)を参照しつつ説明する。ワーク1の2カ所の角部が20波の波状側面部13aと当接している。なお、本図では便宜的に「ワークキャリアが固定された状態」としてワークのみが回転する図としている。
ワークキャリア10の自転公転運動に伴ってワーク1は移動し、波状側面部13aと接触した状態になる。そして、ワークキャリア10が自公転すると薄物矩形のワーク1の2カ所の角部に自転するような負荷(モーメント負荷)が発生し、ワーク1は波状側面部13aとの接触部で滑りながらワーク孔13内で徐々に自転運動することになる。
この際、仮に角部を物理的に引っ掛けて大きな負荷を作用させると角部が損傷等を起こしたり摩耗が進行したりする懸念がある。そこで、本発明では側面を波状としており、若干のすべりを生じさせるように(負荷を一部逃がすように)角部にモーメントを作用させている。
そして、ワーク1が薄物の矩形ワークである場合、ワーク1の角部は強度的に弱いので面取りを行っている。この面取りについて特に決まった寸法はないが、面取りしたワーク1の角部が波形状部の振幅中心より奥(谷川)側へ入る余地がないと回転負荷をワークに伝達しにくくなるため、面取りした角部が波形状部の振幅中心より奥(谷川)側へ入るようになされている。
このようにワーク孔13として波状側面部13aを採用しているため、ワーク1を装着保持して自転させるときに、波状側面部13aとワーク1とが周期的に1接点と2接点とを繰り返すことになり、接点部分に加わる力が分散する。これにより、ワークキャリア10やワークの破損を軽減できる。
すなわち「ワーク自身がワーク孔内で自由に移動(自転運動など)しながら負荷を和らげる(一部逃がす)」というような運動を実現している。
すなわち「ワーク自身がワーク孔内で自由に移動(自転運動など)しながら負荷を和らげる(一部逃がす)」というような運動を実現している。
なお、従来技術のようにワーク孔が多角形の場合ではやや挙動が異なり、ワークの角部が多角形部の辺にあるときと頂点付近にあるときでは作用する負荷状態が変わり、ワーク角部が辺にあるときはすべり状態に近くワーク角部が頂点部にあるときはやや大きな負荷が作用する状態となる。したがって、ワークの挙動が間欠的な不規則な自転運動となる。
しかしながら、本発明ではワークキャリア10の遊星運動により矩形状のワーク2を相対移動させるときに同じ波形が周期的に繰り返し配置された波状側面部13aにワーク1の2カ所の角部が接するため連続的かつ均一的な動作に近くなってワーク厚みの均一性の向上に寄与し、また、ワーク1の角部に生ずる摺動抵抗や研磨抵抗等の力が局部的に長時間にわたり集中しないで2カ所に分散されるため角部が保護される。
例えば、ワーク1が硬くて脆い材質で形成されたものである場合、例えば水晶、ガラス、セラミック、半導体集積回路用基板に用いられる単結晶シリコンウェーハ等であるシリコンウェーハ、タンタル酸リチュウムウエーハ、ガラスディスク基板等である場合でも、ワーク1の角部におけるカケの発生を防ぐことが可能となり、ワークキャリアやワークが共ども破損するおそれがなくなった。
以上、本発明によれば、特にワーク孔の形状を基本円の外周に波形形状を加えた形状とすることにより、
(1)従来ではワーク1が非連続で間欠的に自転しており、ワーク厚さの均一性が低下していたが、本発明では矩形状のワークを保持するワークキャリアが遊星歯車運動に伴って相対移動するとき、ワークキャリアのワーク孔の内側面の任意の二点と、矩形状のワークの二点の角部と、が接触しつつ波形状の曲線上を滑りながら動くので、ワーク1がほぼ連続的で円滑な動きで自転できるようになってワーク厚さの均一性を大きく改善することができた。
(2)ワークキャリアのワーク孔の内側面の任意の二点と、矩形状のワークの二点の角部とが、接触しつつ波形状の曲線上を滑りながら動くので、角部に作用する負荷が分散され、また、衝撃的な負荷が作用しにくくなったので、ワーク1の角部の損傷や摩耗の進行等が生じにくくなった。
このように従来技術の多角形のワーク孔が有する問題を大きく改善することができた。
(1)従来ではワーク1が非連続で間欠的に自転しており、ワーク厚さの均一性が低下していたが、本発明では矩形状のワークを保持するワークキャリアが遊星歯車運動に伴って相対移動するとき、ワークキャリアのワーク孔の内側面の任意の二点と、矩形状のワークの二点の角部と、が接触しつつ波形状の曲線上を滑りながら動くので、ワーク1がほぼ連続的で円滑な動きで自転できるようになってワーク厚さの均一性を大きく改善することができた。
(2)ワークキャリアのワーク孔の内側面の任意の二点と、矩形状のワークの二点の角部とが、接触しつつ波形状の曲線上を滑りながら動くので、角部に作用する負荷が分散され、また、衝撃的な負荷が作用しにくくなったので、ワーク1の角部の損傷や摩耗の進行等が生じにくくなった。
このように従来技術の多角形のワーク孔が有する問題を大きく改善することができた。
続いて、本発明を実施するための他の形態について、図2を参照しつつ説明する。ワークキャリア10’は、キャリア本体11、貫通孔12、ワーク孔15,キャリア歯部14を備えている。このワークキャリア10’は、先に図1を用いて説明したワークキャリア10と比較すると、20波のワーク孔13に代えて36波のワーク孔15とする点が相違する。残るキャリア本体11、貫通孔12、キャリア歯部14については先の説明と同様であり、重複する説明を省略する。以下、相違点を重点的に説明する。
ワーク孔15はキャリア本体11に穿設されており、ワークを装着するための孔である。ワーク孔15の形状は円形であり、ワーク1の2カ所の角部がワーク孔15の側面に当接するときにワーク1の角部の残る点は当接しない程度に、ワーク1の形状外径よりもワーク孔15が僅かに大きいように構成されている。ワーク孔15の側面は半径方向に凹凸するような波状である波状側面部15aを備える。この波状側面部15aは36の波(36波)により形成されている。波状側面部15aのある山から隣接する山までは、図2(b)で示すように、10°(=360°/36)であり、先の18°よりも角度が細かくなっている。そして、面取りしたワーク1の角部が波形状部の振幅中心より奥(谷川)側へ入る余地がないと回転負荷をワークに伝達しにくくなるため、面取りした角部が波形状部の振幅中心より奥(谷川)側へ入るようになされている。このワーク孔15に矩形状のワーク1が配置され、上記と同様の原理にて自転することになる。
以上、本発明によれば、特にワーク孔の形状を波形形状とし、移動角度をより小さくすることにより、
(1)本発明では矩形状のワークを保持するワークキャリアが遊星歯車運動に伴って相対移動するとき、ワークキャリアのワーク孔の内側面の任意の二点と、矩形状のワークの二点の角部とが、接触しつつ波形状の曲線上を滑りながら動くので、ワーク1がほぼ連続的で円滑な動きで自転できるのでワーク厚さの均一性を大きく改善することができた。そして、特に、波間の距離を10°という連続的でより円滑な動きを実現できたのでワーク厚さの均一性をさらに大きく改善することができた。
(2)ワークキャリアのワーク孔の内側面の任意の二点と、矩形状のワークの二点の角部とが、接触しつつ10°という細かい波形状の曲線上を滑りながら動くので、角部に作用する負荷がさらに分散され、また、衝撃的な負荷が作用しにくくなったので、ワーク1の角部の損傷や摩耗の進行等が生じにくくなった。
このように従来技術の多角形のワーク孔が有する問題を大きく改善することができた。
(1)本発明では矩形状のワークを保持するワークキャリアが遊星歯車運動に伴って相対移動するとき、ワークキャリアのワーク孔の内側面の任意の二点と、矩形状のワークの二点の角部とが、接触しつつ波形状の曲線上を滑りながら動くので、ワーク1がほぼ連続的で円滑な動きで自転できるのでワーク厚さの均一性を大きく改善することができた。そして、特に、波間の距離を10°という連続的でより円滑な動きを実現できたのでワーク厚さの均一性をさらに大きく改善することができた。
(2)ワークキャリアのワーク孔の内側面の任意の二点と、矩形状のワークの二点の角部とが、接触しつつ10°という細かい波形状の曲線上を滑りながら動くので、角部に作用する負荷がさらに分散され、また、衝撃的な負荷が作用しにくくなったので、ワーク1の角部の損傷や摩耗の進行等が生じにくくなった。
このように従来技術の多角形のワーク孔が有する問題を大きく改善することができた。
以上のような本発明のワークキャリアは、シリコンウェーハ、タンタル酸リチュウムウエーハ、ガラスディスク基板等、硬くて脆いワークの外周部にカケの発生を防ぐことが可能となり、長期的に視たときにランニングコストの大幅低減を実現できようになり、産業上利用価値を高めている。
10,10’:ワークキャリア
11:キャリア本体
12:貫通孔
13:ワーク孔
13a:波状側面部(20波)
14:キャリア歯部
15:ワーク孔
15a:波状側面部(36波)
11:キャリア本体
12:貫通孔
13:ワーク孔
13a:波状側面部(20波)
14:キャリア歯部
15:ワーク孔
15a:波状側面部(36波)
Claims (1)
- 遊星歯車方式平行平面加工盤のワークを保持するワークキャリアにおいて、矩形状のワークを装着保持するワーク孔が円状であってその側面が波状であることを特徴とするワークキャリア。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2012147033A JP2014008574A (ja) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | ワークキャリア |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012147033A JP2014008574A (ja) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | ワークキャリア |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2014008574A true JP2014008574A (ja) | 2014-01-20 |
Family
ID=50105696
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012147033A Pending JP2014008574A (ja) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | ワークキャリア |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106078492A (zh) * | 2016-06-15 | 2016-11-09 | 江苏吉星新材料有限公司 | 一种蓝宝石矩形件双面研磨方法 |
KR20200129838A (ko) * | 2019-05-10 | 2020-11-18 | 한국산업기술대학교산학협력단 | 형광체 플레이트 제조방법 |
-
2012
- 2012-06-29 JP JP2012147033A patent/JP2014008574A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN106078492A (zh) * | 2016-06-15 | 2016-11-09 | 江苏吉星新材料有限公司 | 一种蓝宝石矩形件双面研磨方法 |
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KR102219874B1 (ko) | 2019-05-10 | 2021-02-24 | 한국산업기술대학교 산학협력단 | 형광체 플레이트 제조방법 |
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