JP6923374B2 - 板状キャリア、研磨装置および研磨体の製造方法 - Google Patents
板状キャリア、研磨装置および研磨体の製造方法 Download PDFInfo
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Description
成であると、被研磨体1がいずれの支持壁面13に接触したときでも同様な効果が得られるのでよい。従って、研磨の途中で、キャリア7の回転方向が変わったり、キャリア7と定盤5との相対的移動方向が変わった場合でも被研磨体1の外周3にキズが発生することを抑制できる。
2(A−A’):中心軸
3 :外周面
5 :定盤
5b:下定盤
7 :キャリア
9 :収納部
13:支持壁面
15:支持部
17:凹部
19:サンギア
21:インターナルギア
Claims (14)
- 被研磨体の外周面を研磨するための板状キャリアであって、
上面および下面を有する板状であり、
中心軸に沿って等距離の外周面を有する円柱状または円筒状の被研磨体を前記中心軸が前記下面と平行となるように配置することによって、前記被研磨体を前記中心軸を中心に回転可能に収納する、前記上面から前記下面に貫通する収納部を有し、
前記収納部は、前記中心軸を挟んで両側からそれぞれ前記外周面と対面する第1側面および第2側面と、前記被研磨体の両端面にそれぞれ対面する第3側面および第4側面とを有し、
前記第1側面は、上面視において前記外周面を少なくとも2つの支持部で支持する支持壁面と、前記支持部の間に配置された、前記上面から前記下面にかけて前記外周面と接触しない第1凹部とを有する、板状キャリア。 - 前記支持部は、前記被研磨体と点接触する、請求項1に記載の板状キャリア。
- 前記支持壁面は、被研磨体の軸方向における端部で前記外周面を支持する、請求項1または請求項2に記載の板状キャリア。
- 前記収納部の前記第1側面は、前記中心軸の中央部に対向する位置に前記第1凹部を有する、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の板状キャリア。
- 前記収納部の前記第1側面は、複数の前記第1凹部を有する、請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の板状キャリア。
- 前記収納部は、前記第2側面に、前記中心軸を挟んで前記第1凹部に対向する第2凹部を有する請求項5に記載の板状キャリア。
- 2つの前記支持部を結んだ直線と、前記第1凹部の最深部との距離のうち最も短い距離が0.15mm以上である請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の板状キャリア。
- 前記収納部と連通する溝部を有する、請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の板状キャリア。
- 前記溝部は、前記第1凹部と連通する、請求項8に記載の板状キャリア。
- 請求項1乃至9のいずれかに記載の板状キャリアと、
中心軸に沿って等距離の外周面を有する円柱状または円筒状の被研磨体を研磨する定盤と、を備え、
前記定盤と、前記定盤の上に配置された前記板状キャリアとが相対的に移動することによって、前記被研磨体の前記外周面を研磨する、研磨装置。 - 前記板状キャリアは、前記定盤と対向する主面に溝部を有する、請求項10に記載の研磨装置。
- 請求項10または請求項11に記載の研磨装置の前記収納部に前記被研磨体を収納する工程と、
前記定盤と前記キャリアとを相対的に移動させ、前記定盤で前記被研磨体の前記外周面を研磨する工程とを、有する研磨体の製造方法。 - 前記研磨体が、単結晶体である、請求項12に記載の研磨体の製造方法。
- 前記研磨体が、サファイアである、請求項13に記載の研磨体の製造方法。
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JP2017127495A JP6923374B2 (ja) | 2017-06-29 | 2017-06-29 | 板状キャリア、研磨装置および研磨体の製造方法 |
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