JP2019136784A - 両面研削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
<両面研削装置:オフセット配置>
実施形態1に係る両面研削装置1を説明する。本実施形態の両面研削装置1は、砥石面の形状を維持管理するために、上下砥石の回転軸をオフセット配置させている。まず、両面研削装置1の構成を説明する。図1は、実施形態1に係る両面研削装置1の主要部を例示した斜視図である。図2は、実施形態1に係る両面研削装置1の加工時の状態を例示した斜視図である。
|R2−R1|+W<Of<R1+R2−W (2)
次に、研削物50の両面の面粗度を向上させるキャリアギア回転駆動機構を説明する。まず、実施形態1に係る両面研削装置1のキャリアギア回転駆動機構を説明する。図8は、実施形態1に係る両面研削装置1において、キャリアギア55の回転駆動機構を例示した断面斜視図である。図9は、実施形態1に係る両面研削装置1において、キャリアギア55の回転駆動機構を例示した断面図である。図10は、実施形態1に係る両面研削装置1において、キャリアギア55の回転駆動機構を例示した説明図である。
本実施形態の両面研削装置1は、下砥石10の回転軸と上砥石20の回転軸とを間隔を空けて配置させたオフセット配置としている。よって、下砥石10及び上砥石20の半径以下の領域を研削加工領域とすることができる。これにより、研削加工領域以外の領域に、下ドレス18及び上ドレス28を配置させることができる。したがって、研削加工時においても第1砥石面11及び第2砥石面21の目立てを行うことができるので、下砥石10及び上砥石20の摩耗具合にばらつきが生じることを抑制する。よって、研削物50の両面の平坦性及び平行性を向上させることができる。
<ツルーイング手法>
次に、実施形態2を説明する。実施形態2は、上下砥石オフセット駆動型の両面研削装置におけるツーリング手法である。ツルーイング手法とは、砥石の砥石面を研ぎ直す方法である。ウェハ等の研削物50に対して、両面研磨等の研削加工を行う場合に、研削物50の両面の平坦性及び平行性を確保するためには、砥石面の崩れた形状を研ぎ直すツルーイングが必要である。ツルーイングは、下砥石10及び上砥石20の交換時、または、摩耗が進んだ時に行われる。まず、比較例1に係るツルーイング手法を説明する。その後、比較例1と対比させて、本実施形態のツルーイング手法を説明する。さらに、比較例2〜4についても説明する。
本実施形態の両面研削装置2のツルーイング手法は、ツルーイング砥石165を使用せず、下砥石10の第1砥石面11及び上砥石20の第2砥石面21にかかる面合わせ力を同等にすることができるので、第1砥石面11及び第2砥石面21の平坦性及び平行性を向上させることができる。
10 下砥石
11 第1砥石面
12 下主軸
13 下主軸駆動プーリー
14 下主軸駆動モータ
15 下主軸駆動モータプーリー
16 下主軸駆動ベルト
17 下本体部
18 下ドレス
18a、18b 面
19 下測定器
20 上砥石
21 第2砥石面
26 内孔
27 上本体部
28 上ドレス
28a、28b 面
29 上測定器
30 サンギア
32 サンギア軸
33 サンギア駆動ギア
40 カウンタギア
42 キャリア駆動軸
43 キャリア駆動ギア
44 キャリア駆動モータ
45 アイドルギア
50 研削物
51 第1面
52 第2面
53 加工目
55 キャリアギア
91 下主軸ベアリング
93 サンギア軸ベアリング
94 キャリア軸ベアリング
155 キャリア
160 リングギア
165 ツルーイング砥石
171 片面研削装置
172 ターンテーブル
173 ウェハ
174 砥石チップ
175 研削ホイール
191 両面ラップ装置
192 上定盤
193 下定盤
194 ウェハ
195 キャリア
196 サンギア
197 内歯ギア
201 両面研削装置
210 下砥石
220 上砥石
230 キャリア
240 ウェハ
C1 第1中心軸
C2 第2中心軸
R1 第1半径
R2 第2半径
UL 研削加工領域長
W 外径
Claims (2)
- 第1中心軸を回転軸として回転し、前記第1中心軸から第1半径の外周を有する第1砥石面が上方に面するように設けられた下砥石と、
前記第1中心軸に平行な第2中心軸を回転軸として回転し、前記第2中心軸から第2半径の外周を有する第2砥石面が下方に面するように設けられた上砥石と、
を備え、
前記第1砥石面と前記第2砥石面とが対向する領域である研削加工領域に研削物が配置され、
前記第1中心軸及び前記第2中心軸に直交し、前記第1中心軸と前記第2中心軸とを結ぶ方向をピッチ方向とした場合に、
前記研削加工領域の前記ピッチ方向の長さは、前記第1半径以下、且つ、前記第2半径以下である、
両面研削装置。 - 前記研削物を保持するキャリアギアを前記第1砥石面に平行な面内で回転させるサンギア及びカウンタギアをさらに備え、
前記サンギアは、上方から見て、前記上砥石よりも外側に配置され、
前記カウンタギアは、前記上砥石に設けられた前記第2中心軸と同軸の内孔内に配置された、
請求項1に記載の両面研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018019361A JP7067094B2 (ja) | 2018-02-06 | 2018-02-06 | 両面研削装置及び両面研削装置のツルーイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2019136784A true JP2019136784A (ja) | 2019-08-22 |
JP7067094B2 JP7067094B2 (ja) | 2022-05-16 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7067094B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114211398A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-03-22 | 新乡日升数控轴承装备股份有限公司 | 一种双面研磨机上研磨盘和下研磨盘的同步修整方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02292167A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-12-03 | Fujikoshi Kikai Kogyo Kk | 両面ラップ盤 |
US5733175A (en) * | 1994-04-25 | 1998-03-31 | Leach; Michael A. | Polishing a workpiece using equal velocity at all points overlapping a polisher |
JPH11291164A (ja) * | 1998-04-07 | 1999-10-26 | Nachi Fujikoshi Corp | 両面同時研摩装置 |
JP2010064206A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Fujikoshi Mach Corp | 両面研磨装置 |
-
2018
- 2018-02-06 JP JP2018019361A patent/JP7067094B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02292167A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-12-03 | Fujikoshi Kikai Kogyo Kk | 両面ラップ盤 |
US5733175A (en) * | 1994-04-25 | 1998-03-31 | Leach; Michael A. | Polishing a workpiece using equal velocity at all points overlapping a polisher |
JPH11291164A (ja) * | 1998-04-07 | 1999-10-26 | Nachi Fujikoshi Corp | 両面同時研摩装置 |
JP2010064206A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Fujikoshi Mach Corp | 両面研磨装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114211398A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-03-22 | 新乡日升数控轴承装备股份有限公司 | 一种双面研磨机上研磨盘和下研磨盘的同步修整方法 |
Also Published As
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---|---|
JP7067094B2 (ja) | 2022-05-16 |
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