JP2013545093A - 接触式プローブ及び関連する検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 工作機械または測定装置内の部材(13)の位置または寸法を検査するための接触式プローブ(1;1';1'';1''')であって、
当該接触式プローブは、
−支持フレーム(2)と、
−可動アームセット(5)と、
−推進装置(15)と、
−圧迫及び位置決め装置(17)と、
−検出装置(23)と、
−処理手段(30)と、
を備え、
前記支持フレーム(2)は、
−保護用ケーシング(3)と、
−支持及び設置領域(7)と、
を有しており、
前記可動アームセット(5)は、前記保護用ケーシング(3)内に部分的に収容されており、且つ、検査されるべき部材(13)に接触するように適合された感触器(11)を保持するアーム(9)を有しており、
前記推進装置(15)は、前記可動アームセット(5)を前記支持及び設置領域(7)に押し付けるために前記支持フレーム(2)と前記可動アームセット(5)との間に設けられており、
前記圧迫及び位置決め装置(17)は、前記支持及び位置決め領域(7)において前記可動アームセット(5)と前記支持フレーム(2)との間にあり、
前記検出装置(23)は、前記支持フレーム(2)に接続され、且つ、前記感触器(11)に加えられた力の結果として力信号(M)を提供するように適合された薄板状圧電変換器(25)を有しており、
前記処理手段(30)は、前記検出装置(23)に接続されており、且つ、前記力信号(M)を処理し、後者を閾値(S)と比較し、前記感触器(11)と前記検査されるべき部材(13)との間に生じた接触を示す接触信号(T)を提供するよう適合されており、
前記処理手段(30)は、前記力信号(M)の複数の検出された値の平均を提供し、結果として動的に前記閾値(S)を変化させるよう適合されている
ことを特徴とする接触式プローブ(1;1';1'';1''')。 - 前記処理システム(55)の処理ユニット(50、51、52)は、前記力信号(M)の複数の検出された値の前記平均値を、FIFOタイプの順序によって、検出された前記力信号(M)の直近の値の平均値として、提供するよう適合されている
ことを特徴とする請求項1に記載の接触式プローブ(1;1';1'';1''')。 - 工作機械または測定装置内の部材(13)の位置または寸法を検査するための接触式プローブ(1;1';1'';1''')であって、
当該接触式プローブは、
−支持フレーム(2)と、
−可動アームセット(5)と、
−推進装置(15)と、
−圧迫及び位置決め装置(17)と、
−検出装置(23)と、
−処理手段(30)と、
を備え、
前記支持フレーム(2)は、
−保護用ケーシング(3)と、
−支持及び設置領域(7)と、
を有しており、
前記可動アームセット(5)は、前記保護用ケーシング(3)内に部分的に収容されており、且つ、検査されるべき部材(13)に接触するよう適合された感触器(11)を保持するアーム(9)を有しており、
前記推進装置(15)は、前記可動アームセット(5)を前記支持及び設置領域(7)に押し付けるために前記支持フレーム(2)と前記可動アームセット(5)との間に設けられており、
前記圧迫及び位置決め装置(17)は、前記支持及び位置決め領域(7)において前記可動アームセット(5)と前記支持フレーム(2)との間にあり、
前記検出装置(23)は、前記支持フレーム(2)に接続され、且つ、前記感触器(11)に加えられた力の結果として力信号(M)を提供するよう適合された薄板状圧電変換器(25)を有しており、
前記処理手段(30)は、前記検出装置(23)に接続されており、少なくとも1つの電荷増幅器(33)を有しており、
前記少なくとも1つの電荷増幅器は、差分電荷増幅器(33)を含んでいる
ことを特徴とする接触式プローブ(1;1';1'';1''')。 - 前記検出装置(23)は、前記薄板状圧電変換器(25)をしっかりと保持する2つの回路板(24、26)を有しており、
両回路板(24、26)は、前記少なくとも1つの電荷増幅器(33)に電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項3に記載の接触式プローブ(1;1';1'';1''')。 - 前記検出装置(23)は、3つの感知区分(23'、23''、23''')を有しており、
各感知区分(23'、23''、23''')は、前記2つの回路板(24、26)に端子の対(24N、26N)を有しており、
前記処理手段(30)は、3つの電荷増幅器(33)を有しており、
各電荷増幅器(33)は、前記3つの感知区分(23'、23''、23''')の1つの前記端子の対(24N、26N)に接続されている
ことを特徴とする請求項4に記載の接触式プローブ(1;1';1'';1''')。 - 前記支持フレーム(2)に接続され前記処理手段を含む信号調節電気回路(30)
を備えたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の接触式プローブ(1;1';1'';1''')。 - 保護用ケーシング(3)を有する支持フレーム(2)と、
前記保護用ケーシング(3)に部分的に収容され、前記検査されるべき部材(13)に接触するよう適合された感触器(11)を保持するアーム(9)を有する可動アームセット(5)と、
前記支持フレーム(2)と前記可動アームセット(5)との間に設けられた推進装置(15)と、
前記支持フレーム(2)に接続され且つ前記感触器(11)に加えられた力の結果として力信号(M)を提供するよう適合された薄板状圧電変換器(25)を有する検出装置(23)と、
を備えた接触式プローブ(1;1';1'';1''')を用いて工作機械または測定装置内の部材(13)の位置または寸法を検査する方法であって、
当該方法は、
前記力信号(M)と閾値(S)との比較を実行する工程と、
前記感触器(11)と前記検査されるべき部材(13)との間に生じた接触を示す接触信号(T)を提供する工程と、
を備え、
前記閾値(S)は、前記力信号(M)の複数の検出された値の平均値に基づいて動的に変化させる
ことを特徴とする方法。 - 前記力信号(M)の前記複数の検出された値は、FIFOタイプの順序の検出された前記力信号(M)の直近の値を含んでいる
ことを特徴とする請求項7に記載の方法。
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