JP2013537967A - ピエゾ抵抗センサ・チップ素子を有する圧力センサ - Google Patents

Abstract

本発明は、圧力センサに関し、圧力センサは、素子２の周りを流れる圧力媒体１４の圧力を測定するために閉じたチップ・キャビティ２７を有し、且つ素子下面５を有する、ピエゾ抵抗センサ・チップ素子２と、基板上面７を有する基板６であって、基板上面７にセンサ・チップ素子２がその下面５により固定される、基板６とを含み、下面５が、接着領域８及び外縁部１０を有し、下面５が接着領域８で基板上面７に接着される。下面５は、非接着領域９を有し、下面５は、非接着領域９では基板上面７に接着しない。さらに、非接着領域９は、下面５の中央に配置構成された少なくとも円形領域１５上に延在し、円形領域は、素子下面５の全面積の３分の１を構成し、下面５の円形領域１５から縁部１０までの少なくとも１つの接続領域１６を含む。基板６は、センサ・チップ素子２の下の中央に位置付けられた凹部２０を有する。

Description

本発明は、閉じたチップ・キャビティを有する圧力センサに関し、圧力センサは、チップの周りを流れる圧力媒体の圧力を測定するための、素子下面を備えたピエゾ抵抗センサ・チップ素子と、このセンサ・チップ素子がその下面で固定される基板上面を備えた基板とを含み、前記下面が、接着領域を含み且つ外縁部を有し、この下面が、その接着領域で基板上面に接着される。

ピエゾ抵抗圧力センサは、非常に長い時間にわたり確実に圧力を測定できる点が、他のそのようなセンサ、特に圧電型圧力センサとは異なる。圧電型圧力センサは、時間と共にその電荷を失い「ドリフト」するので、再び測定し始める準備をするために、「リセット」する必要がある。

絶対圧力センサの例は、ピエゾ抵抗センサ、特に油入ピエゾ抵抗圧力センサである。これらのセンサは、基板上又は貫通路上に配置されたセンサ・チップ素子を含む。通例、この素子は接着剤で取り付けられる。最終的に、油は、膜の下でセンサ・チップ素子の周りを通過する。圧力が膜の外側に加えられると、膜の下の油も圧力を受ける。圧力下のセンサ・チップは、対応する信号を発生させ、最終的には、接続線を備えたさらに２つの接点を介して評価ユニットに転送される。そのようなセンサが膜なしで構成される可能性も高い。その場合、センサ・チップは、外圧媒体に直接曝される。

時間と共に、信号ドリフトはここに記述されるセンサでも生じることが発見された。これは、示される圧力が、同じ負荷でも時間と共に僅かに変化することを意味する。このドリフトは、異なる物理的原因を有するため、圧電型圧力センサで生じるものよりもはるかに程度の小さいものである。圧電素子は、時間と共にその電荷を失い、ピエゾ抵抗素子は失わない。ピエゾ抵抗圧力センサでのドリフトは、約０．１％程度である。

圧力は、センサ・チップ素子が中央に位置決めされている基板の表面又は貫通路上に、均等に加えられる。特に５．０×１０^６Ｎ／ｍ^２（５０バール）よりも高い圧力下では、貫通路がいくらか撓み、したがって小さな凹部が、センサ・チップ素子の中央の下に生成されるようになる。ある期間を経た後、貫通路とセンサ・チップ素子との間の接着剤は、内側に向かってクリープ状態になり、この凹部を満たすことが発見された。さらに接着剤は、センサ・チップ素子及び基板の縁部領域の圧力によって座屈状態になり、センサ・チップ素子を変形させる可能性もある。暫らくすると、接着剤のクリープ状態がこの座屈状態を補う。この結果、センサ・チップ素子の下からの逆圧の状態が時間と共に変わるので、信号ドリフトが生じる。

この問題を解消するために、場合によって、接着剤を省いた。次いでセンサ・チップ素子を、接点でのみ取り付けた。しかし、これらの接点は振動によって破壊されることがあり、センサは、いかなる測定値も送信することができなかった。

１滴の接着剤で、下側のそれぞれ４つの隅で基板に固定された長方形のセンサ・チップ素子は、米国特許第６５４３２９２号により公知である。これは、基板とチップとの間の熱張力を防止しようとするものである。しかし、センサ・チップ素子の下面と基板の上面との隙間における毛管作用によって、接着剤は、付着されるときに又はその後の使用中に、この隙間に分散されることが発見された。これは、接着剤を、隙間の広い面積全体にわたって、場合によっては隙間の全面積にわたって拡げる可能性がある。接着剤の液滴で覆われた面のサイズは、チェックすることができない。したがって前述の信号ドリフトの問題は解消されず、センサ・チップ素子は、この出願でも同様に座屈する可能性がある。

組立ては、毛管作用をほとんど示さない非常に粘度の高い接着剤を使用する場合であっても、難しい。センサ・チップ素子２が接着剤上に位置決めされる圧力は、完全に制御できるわけではない。したがって接着剤は、制御されない手法で素子２の下に絞り出され、接着剤の領域がどれくらいで素子５の中央に向かって到達するのか決定することができない。

本発明が関係する絶対圧力センサとは別に、差圧センサも公知である。絶対圧力センサとは異なり、差圧センサのチップ・キャビティは閉じておらず、第２の圧力媒体に圧力により接続されている。素子は、周囲圧力とキャビティ圧力との差圧を計算するので、基板そのものは負荷に曝されない。そのような例は、特開昭６１−２２６６２７に記載されている。素子は、端子を用いて取り付けられ、スプリング力により所定の場所に保持される。接着剤を使用しないので、素子も座屈状態にならない。

米国特許第６５４３２９２号 特開昭６１−２２６６２７

したがって本発明の目的は、信号ドリフトを引き起こさず且つ振動が生じた場合に接点にいかなる追加の負荷も与えない、前述のタイプのピエゾ抵抗圧力センサにセンサ・チップ素子を固定するための新規な手段について記述することである。

この目的は、独立請求項の特徴によって解決される。従属請求項は、本発明の特に有利な実施形態について記述する。

したがって本発明は、素子下面が非接着領域を有し、この下面が、非接着領域にある基板上面には接着しない、概要にて記述されたタイプの圧力センサに関する。非接着領域は、下面の中央に配置構成された少なくとも円形領域上に拡がり、前記円形領域は、素子下面の全面積の３分の１を構成するものである。非接着領域は、この中央表面から下面の縁部まで、少なくとも１つの接続領域も含む。このように圧力媒体中の圧力は、連通領域を経て、素子下面の非接着領域の下の空間内に及ぶことができる。

本発明によれば、圧力センサの基板は、センサ・チップ素子の下の中央に配置構成された凹部を有する。そのような凹部は、ドリルホールの形で容易に設けることができる。このため接着領域は、最大でも、この凹部に対向して位置付けられていない基板上面の領域を占有することが確実になる。これに相応して、非接着領域は、少なくとも素子下面に対向して位置付けられた凹部の領域を占有する。したがって少なくとも、凹部と素子下面との共通面が形成される。

接着剤は、毛管引力によりセンサ・チップ素子の下面の中央領域に拡がることができないが、それは凹部領域がある結果、接着剤が拡がるには基板上面からの距離が大きすぎるからである。

凹部は、少なくとも、下面の中央に位置付けられた円形領域上に及ぶべきであり、この円形領域は、素子下面の全表面積の３分の１を占有するものである。さらに凹部は、少なくとも、円形領域から下面の縁部を超えて連通領域も含み、その結果、圧力媒体中の圧力が、連通領域を経て素子下面の非接着領域の下の空間内に及ぶことができるようにすべきである。

凹部は、少なくとも１つの場所で、下面の縁部を超えて延在するので、圧力媒体が素子下面の中央領域に常に到達することのできる、ある種類のトンネルが生成される。

この配置構成によれば、圧力を、下からも含めた全ての方向から均等に、センサ・チップ素子に作用させることが可能である。しかし極めて重要な特徴は、接着領域が、センサ・チップ素子の中央領域に位置付けられていないことである。基板とセンサ・チップ素子との間の中央接続部は、高圧が加えられた影響下で基板そのものが撓む場合、センサ・チップ素子の変形を引き起こす可能性があることが発見された。そのような変形は、圧力センサが較正される場合には有効でもあるので、それ自体は問題でない。

しかし、常に高圧下で長時間を経た後に、中央接続部は、概して接着が徐々に衰えるためにその張力を失い始める。その結果、センサ・チップ素子はその形状をゆっくりと失ってその当初の形状に戻り、これは、測定素子から出力されたデータに、圧力の変化として誤って反映される。

基板への、センサ・チップ素子の本発明による取り付けでは、センサ・チップ素子は確実に、その当初の形状を永久に保持し、基板そのものの上面の変形によって変形することがない。センサ・チップ素子の下面全体の３分の２未満、好ましくは３分の１未満を占有する接着領域は、前記素子の縁部上に位置付けられる。これは、基板の撓みによる影響が最も少なく、したがってセンサ・チップ素子のいかなる追加の撓みも引き起こさない。センサ・チップ素子の非接着領域と基板との間の空間は、連通領域を介して圧力チャンバと圧力交換関係にあり、それによって、センサ・チップ素子の下面に作用する力が一定に保持されることが確実になる。その縁部での取り付けにより、センサ・チップ素子は、振動に対して高い抵抗力を有するような手法で位置決めされる。

従来の振動における約０．１％の信号ドリフトは、本発明による接着配置構成によって約１０分の１に低減されることが発見された。

下記において、本発明を、図面を参照しながらさらに詳細に説明する。図は、以下の内容を図解によって示す。

関連技術による油入ピエゾ抵抗圧力センサの断面図である。 関連技術による接着配置構成を備えた基板上のセンサ・チップ素子を示す図である。 圧力負荷の下にある図３のセンサ・チップ素子を示す図である。 ある期間を経た後の、圧力負荷の下にある図３のセンサ・チップ素子を示す図である。 センサ・チップ素子の下面にある、本発明によるセンサ・チップ接着配置構成を示す図である。 センサ・チップ素子の下面にある、本発明による代替のセンサ・チップ接着配置構成を示す図である。 センサ・チップ素子の下面にある、本発明による別の代替のセンサ・チップ接着配置構成を示す図である。 圧力負荷の下にある、本発明によるセンサ・チップ接着配置構成を備えた基板上のセンサ・チップ素子を示す図である。 本発明によるセンサ・チップ接着配置構成が示されている基板の斜視図である。 本発明による圧力センサを示す図である。

全ての参照符号は、図の全てにおいて同じ意味を持つ。

図１は、関連技術による圧力センサ１の、図式による表示である。ピエゾ抵抗センサ・チップ素子２は、ハウジング１２の中に位置付けられており、その素子下面５により基板６に取り付けられている。このバリエーションでは、センサ・チップ素子２は、ブロック形状のチップ・ベース４上にピエゾ抵抗チップ３を含む。チップ・キャビティ２７が、前記チップ３とベース４との間に含まれている。チップ３は、チップ・キャビティ２７の中の参照圧力とチップ３に作用する外圧との間のそれぞれの圧力差を測定する。圧力媒体１４は、センサ・チップ素子２の周りを、その下側５を除く全ての面上で流れ、圧力が加えられることにより測定信号を発生させ、この信号が接点２５により転送される。前記接点は、基板６を通過し、この場合、基板６は貫通路として設計される。絶縁部材１１は、圧力媒体１４で満たされた圧力チャンバの封止を行う。最後に、測定信号を、ここには図示されていない評価ユニットで処理する。

この実施形態では、ハウジング１が、膜１３によって圧力チャンバ２６から閉鎖された状態になる。このように、接点２５及びセンサ・チップ素子２は、圧力チャンバ２６からの機械的及び化学的な影響に対して保護される。これらのバリエーションでは、センサ・チップ素子２の周りの空間が、通常は油圧媒体１４で満たされ、軟質の膜１３に起因して常に圧力チャンバ２６と同じ圧力下にある。一方、同等のバリエーションでは膜１３がない。その結果、センサ・チップ素子２は、圧力チャンバ２６の圧力媒体１４と直接接触している。

センサ・チップ素子２は、チップ・ベース４上のチップ３とは反対側に位置付けられた素子下面５を有する。この素子下面５は、圧力チャンバ２６に面している基板６の面７上に位置決めされる。関連技術によるこの実施形態では、接着領域８によってセンサ・チップ素子２が基板６に固定されており、接着領域８が、素子下面５の全表面積を占有する。接着剤の塊２４は、通常、接着を確実にするために使用される。

図２は、基板６上にある、図１による公知のセンサ・チップ素子２の断面を表す。接着剤物質２４は、素子下面と基板上面との間に均等に付着される。この図２は、圧力負荷のない配置構成を表す。

図３ａ及び図３ｂは、圧力が加えられたときの圧力負荷の下の（図３ａ）、また、長時間経た後の（図３ｂ）、図２と同じセンサ・チップ素子２を示す。本発明は、「リセット」を必要とすることなく何カ月も又は何年にもわたり信頼性ある測定を行うことができる長時間圧力センサに関するので、そのような２つの図の間の時間差は、相応に長くしてもよい。

センサ・チップ素子２の周りの矢印は、素子に作用する圧力媒体１４からの圧力負荷を示す。図３ａ及び図３ｂの両方において、基板６は、加えられた圧力下で撓み、その結果、基板上面７が湾曲する。

図３ａでは、圧力が最初に加えられた場合、素子下面５に対する圧力負荷は、中央でより低くなる。何故なら、接着剤物質２４がこの領域を基板上面７に向けて引っ張るからである。したがって、センサ・チップ素子は僅かに変形し、その結果、チップ３により計算された測定値が僅かに増加する。チップ上の破線は、この撓みを誇張して表示したものである。

圧力は、接着剤物質２４に対して横方向にも作用する。素子下面５よりも下の中央で生成された負圧と組み合わせると、時間と共に接着剤物質２４は、図３ｂに示されるように中央に向かってゆっくりとクリープ状態になる。これは、素子下面５に対する圧力を変化させ、そして、圧力が変化しない場合であってもクリープ状態と共に測定信号も変化させる。センサ・チップ素子２に対する圧力は低下し、この素子は、図３のように圧力が加えられる前に持っていた形状に向かう傾向がある。センサ・チップ素子の断面に沿った等しい長さの矢印は、相応にこの傾向を示す。

しかし、圧力チャンバ内の圧力が周囲圧力になり且つ基板がその元の形状に回復するとすぐに、その間に中央に蓄積された接着剤が、高い圧力をセンサ・チップ素子に加え、それによって擬似信号が発生し、その結果、圧力チャンバ内で圧力が増大したといった誤った結論が導かれる。

本発明による圧力センサのバリエーションでは、素子下面５はその面全体が基板６に取り付けられているのではなく、中央領域以外の領域のみが取り付けられている。図４ａは、外縁部１０を有する素子下面５を示す。縁部１０の内側のこの素子下面５は、斜線でマークされた接着領域８と、マークされていない非接着領域９とに分割される。素子下面５は、非接着領域９のいかなる点においても少しも基板６に接着してはならないが、接着領域の全ての点で基板６に接着する必要もない。接着は、接着領域８内で確実になされなければならないが、全領域を占有する必要はない。

本発明によれば、凹部２０が基板６の中央に設けられる。これは非接着領域９が、組み立て中に毛管引力により接着剤で満たされない状態を、確実にする。付着された可能性のある過剰な接着剤は、非接着領域９で接着を引き起こすことなく、凹部２０内に流出することができる。

本発明によれば、非接着領域９は、素子下面５の少なくとも３分の１、好ましくは少なくとも半分を占有し、それは、中央に位置付けられた円形領域１５を画定する。非接着領域９は、素子下面５の、この円形の面１５と縁部１０との間に少なくとも１つの連通領域１６も含む。これは、圧力媒体１４の圧力が、非接着領域９の連通領域１６を通して、特に素子下面５の中央に位置決めされた円形の面１５の近くの空間にまで伝わることができることを確実にする。

このバリエーションにおける接着領域８からの、センサ・チップ素子２に依然として作用することができる力を、図５に示す。図５は、圧力負荷の下にある、本発明によるセンサ・チップ素子２の断面を示す。基板６の湾曲は、明瞭にするためにかなり強調されている。接着領域８は、縁部１０の近くに位置付けられているだけであり中央領域がないので、また内側からの圧力、即ち中央からの圧力は接着領域８の接続にも作用するので、センサ・チップ素子２に作用する力はほとんどなく、これは素子がほとんど変形しないことを意味する。したがって、これらの無視できる力は、圧力が最初に加えられた時とはほとんど異ならず、長時間過ぎた後であってもほとんど異ならず、したがって測定信号も、長時間過ぎた後であっても変化しない。

本質的な特徴は、非接着領域９が、素子下面５の中央に位置付けられた円形領域１５上に延在することであり、この円形領域は、素子下面５の全表面積の少なくとも３分の１を占有するものである。これは、基板上面７が撓む場合、接着領域８を介してセンサ・チップ素子２に伝達される追加の力が最小限に抑えられることを確実にする。

圧力媒体１４は、連通領域１６を介して、中央に位置付けられた円形領域１５へアクセスする少なくとも１つのチャネルを有し、圧力を全ての面から加えることができるようになっていることも重要である。

図４ｂは、接着領域８の、本発明による他の配置構成を示す。本発明によれば、接着剤物質２４は、本質的に、センサ軸１７と同軸上にある円形ライン１８に沿って、付着されるべきである。そのような円形ライン１８に沿った変形は、全ての点で均等であるので、接着剤物質２４に作用する力もこれらの領域では同じである。接着領域８がさらに外側に向かって位置付けられるにつれ、力はさらに低下する。接着領域８は、非接着領域９との少なくとも１つの接続がいつでも確保されるように、個々に離れた点又は個々に離れたセグメントからなることが好ましい。

センサ・チップ素子２は、通常、長方形の形をしているので、図４ｂ及び図４ｃに示されるように、接着領域８を素子下面５のコーナー・ポイント１９に適用することが有利である。接着領域８は、合計して素子下面５の２０％未満、好ましくは５％未満を有利に占有すべきである。これは、基板６とセンサ・チップ素子２との間の適切な接着を確保するのに、完全に十分であることが発見された。

当初、本発明による圧力センサ１は、非常に高い圧力、特に５．０×１０^６Ｎ／ｍ^２（５０バール）よりも高い圧力を伴う適用例に合わせて設計された。典型的な適用分野には、海洋学、油及びガスの抽出、並びにガスの送出が含まれる。しかし、１×１０^５〜５×１０^５Ｎ／ｍ^２（１〜５バール）の範囲の圧力センサは、圧力センサ１が本発明による設計のものである場合に著しい改善を示すことが、示された。

本発明による圧力センサ１は、図６の斜視図に示されるように、凹部２０の形が円形であり且つ通常は長方形のセンサ・チップ素子の下の中央に位置付けられた場合、特に有利である。そのような凹部２０は、ドリルホールの形に容易に作製することができる。本発明によれば、この場合、凹部２０の直径２１は、縁部の長さ２２よりも大きく且つ長方形の素子下面５の対角線２３よりも短い。このため図４ｃ及び図５に示されるように、確実に、連通領域１６が常に存在し、非接着領域９との圧力による連通をもたらす。

当然の結果として、非接着領域９は、丸い凹部２０と長方形の素子下面５との共通の面領域となる。これを図４ｃに示す。接着領域は、ドリルホール２０の外側にある、長方形の素子下面５の隅１９上に延在する。適切な接着剤２４は、センサ・チップ素子２が基板６に搭載される前に、全面に又は局所的に素子下面５に又は基板に付着させてもよい。本質的な非接着領域と、圧力媒体１４によるセンサ・チップ素子下面５へのアクセスは、共に、凹部２０の存在によって確保される。

センサ・チップ素子２は、好ましくは、接着剤物質２４によって基板６に接着される。接着剤物質２４は、両方の面に対する接着を確実にする媒体である。軟質、弾性の接着剤２４は、硬質の接着剤よりも良好な結果をもたらすことが見出された。特に、少なくとも１００％、好ましくは２００％の線形拡張を維持することができる接着剤物質２４は、より低い力を伝達し、したがって他の剛質な接着剤物質２４に好ましい。これは接着剤物質が、通常は非常に薄い層で付着されることによる。したがって接線方向のシフトが、非常に薄い層の場合であっても可能である。

最後に図７は、図４ｃに示されるように、たとえばセンサ・チップ素子２の対角線２３に沿って凹部２０を備えた本発明による圧力センサ１を示す。このセンサは、図示されるように膜１３がない状態で、又は図１に表されるように膜１３を備えた状態で構成されてもよい。

１ 圧力センサ、センサ
２ センサ・チップ素子、素子
３ チップ
４ チップ・ベース
５ 素子下面、下面
６ 基板、貫通路
７ 基板上面
８ 接着領域
９ 非接着領域
１０ 下面の外縁部
１１ 絶縁部材
１２ ハウジング
１３ 膜
１４ 圧力媒体、圧力チャンバ
１５ 中央に位置付けられた円形領域
１６ 連通領域
１７ センサ軸
１８ 円形ライン、センサ軸と同軸
１９ 下面のコーナー・ポイント
２０ 凹部、ドリルホール
２１ 凹部又はドリルホールの直径
２２ 素子下面の縁部の長さ
２３ 素子下面の対角線
２４ 接着剤物質
２５ 接点
２６ 圧力チャンバ
２７ 閉じたチップ・キャビティ

Claims (12)

1. 圧力センサであって、前記圧力センサは、
   ピエゾ抵抗センサ・チップ素子２であって、前記ピエゾ抵抗センサ・チップ素子２は、素子２の周りを流れる圧力媒体１４の圧力を測定するために、閉じたチップ・キャビティ２７を有し、前記素子２は、素子下面５を有する、ピエゾ抵抗センサ・チップ素子２と、
   基板上面７を有する基板６であって、前記基板上面７に前記センサ・チップ素子２がその下面５で固定される、基板６とを含み、
   前記下面５は、接着領域８を含み且つ外縁部１０を有し、前記下面５は、前記接着領域８で前記基板上面７に接着され、下面５は、下面５が前記基板上面７に接着しない非接着領域９を有し、前記非接着領域９は、前記下面５の中央に位置付けられた、少なくとも円形領域１５上に延在し、前記円形領域１５は、前記素子下面５の全表面積の３分の１を占めており、前記非接着領域９は、前記円形領域１５から前記下面５の縁部１０までの少なくとも１つの連通領域１６を含み、前記圧力媒体１４の圧力が前記連通領域１６を通して前記素子下面５の前記非接着領域９の下の空間内に及ぶことができるようになっている、圧力センサにおいて、
   前記基板６は、前記センサ・チップ素子２の下の中央に位置付けられた凹部２０を有する、ことを特徴とする圧力センサ。
2. 前記凹部２０がドリルホールであることを特徴とする、請求項１に記載の圧力センサ。
3. 前記素子下面５が長方形であり、前記凹部２０の直径が、縁部の長さ２２よりも大きく前記素子下面５の対角線２３よりも小さいことを特徴とする、請求項１又は２に記載の圧力センサ。
4. 前記非接着領域９が、前記素子下面５に対向して位置付けられた少なくとも前記凹部２０の領域を占有することを特徴とする、請求項１から３までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
5. 前記凹部２０が、前記下面５の中央に位置付けられた、少なくとも円形領域１５上に延在し、前記円形領域１５は、前記素子下面５の全表面積の３分の１を占有しており、前記凹部２０が、前記円形領域１５から前記下面５の縁部１０までの少なくとも１つの連通領域１６を含み、前記圧力媒体１４の圧力が前記連通領域１６を通して前記素子下面５の前記非接着領域９の下の空間内に及ぶことができるようになっていることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
6. 前記接着領域８が、センサ軸１７と同軸の、実質的に円形のライン１８に適用されることを特徴とする、請求項１から５までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
7. 前記接着領域８が、個々に離れた点又は個々に離れたセグメントからなることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
8. 前記接着領域８が、前記下面５のコーナー・ポイント１９に取り付けられることを特徴とする、請求項１から７までのいずれかに記載の圧力センサ。
9. 前記接着領域８が、合計で前記素子下面５の２０％未満、好ましくは５％未満を占有することを特徴とする、請求項１から８までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
10. 前記センサが、５．０×１０^６Ｎ／ｍ^２（５０バール）よりも高い圧力を測定するのに適切な高圧センサであることを特徴とする、請求項１から９までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
11. 前記センサ・チップ素子２が、接着剤物質２４を介して前記基板６に接着されることを特徴とする、請求項１から１０までのいずれか一項に記載の圧力センサ。
12. 前記接着剤物質２４が、少なくとも１００％、好ましくは２００％の線形拡張を維持することができることを特徴とする、請求項１１に記載の圧力センサ。

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