JP5918025B2 - 保護部材および保護テープ貼着方法 - Google Patents
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Description
(例えば、特許文献2参照。)
該保護テープより大きい面積を有し該保護テープの環状の粘着層よりも粘着力の弱い粘着層が表面に敷設されるとともに該保護テープの中心を示すマークが形成された透明または半透明なシートを備え、
該シートの表面に該保護テープの裏面が中心を該マークに位置付けて貼着されている、
ことを特徴とする保護部材が提供される。
該ウエーハ保持手段の保持面にウエーハの表面を上側にして保持するウエーハ保持工程と、
該中心マーク投影手段によって該ウエーハ保持手段に保持されたウエーハの表面に中心マークを投影する中心マーク投影工程と、
該ウエーハ保持手段に保持されたウエーハの表面に請求項1記載の該保護部材に貼着された該保護テープを対面させるとともに、該帯状のシートに形成された該保護テープの中心を示すマークと該中心マーク投影手段によって投影された中心マークとを合致させる中心位置合わせ工程と、
該押圧手段を作動して該シートの裏面側から該シートを介して該保護テープの表面をウエーハの表面に押圧し、該保護テープの表面に敷設された該環状の粘着層をウエーハの外周部に貼着する保護テープ貼着工程と、
該シートをウエーハの外周部に貼着された保護テープから剥離する帯状シート剥離工程と、を含む、
ことを特徴とする保護テープ貼着方法が提供される。
図4乃至図9には、上述した保護部材3を構成する帯状のシート32の表面32aに貼着された保護テープ31を上記ウエーハ2の表面に貼着するための保護テープ貼着装置が示されている。図4乃至図9に示す保護テープ貼着装置4は、上記保護部材3を支持する保護部材支持手段41と、該保護部材支持手段41に支持された保護部材3を構成する帯状のシート32を巻き取るシート巻き取り手段42と、保護部材支持手段41とシート巻き取り手段42との間に所定の間隔をおいて配設され帯状のシート32を水平に案内する一対の案内ローラ43、44と、該一対の案内ローラ43、44間において一対の案内ローラ43、44によって案内される帯状のシート32の下側に配設され上記ウエーハ2を保持するウエーハ保持手段45と、該ウエーハ保持手段45の上方に配設された押圧手段46と、ウエーハ保持手段45に保持されたウエーハの中心に中心マークを投影する中心マーク投影手段47とを具備している。
21:ストリート
22:デバイス
23:デバイス領域
24:外周余剰領域
3:保護部材
31:保護テープ
311:環状の粘着層
32:帯状のシート
321:粘着層
4:保護テープ貼着装置
41:保護部材支持手段
42:シート巻き取り手段
43,44:一対の案内ローラ
45:ウエーハ保持手段
46:押圧手段
47:中心マーク投影手段
470:中心マーク
Claims (2)
- ウエーハの直径に対応した直径を有しウエーハの外周部に対応する外周部にのみ環状の粘着層を表面に備えた保護テープをウエーハに貼着するための保護部材であって、
該保護テープより大きい面積を有し該保護テープの環状の粘着層よりも粘着力の弱い粘着層が表面に敷設されるとともに該保護テープの中心を示すマークが形成された透明または半透明なシートを備え、
該シートの表面に該保護テープの裏面が中心を該マークに位置付けて貼着されている、
ことを特徴とする保護部材。 - ウエーハを保持する保持面を備えたウエーハ保持手段と、該ウエーハ保持手段の上側に配設され該保持面に保持されたウエーハの中心に中心マークを投影する中心マーク投影手段と、該ウエーハ保持手段に保持されたウエーハに保護テープを押圧する押圧手段とを具備する保護テープ貼着装置を用い、
該ウエーハ保持手段の保持面にウエーハの表面を上側にして保持するウエーハ保持工程と、
該中心マーク投影手段によって該ウエーハ保持手段に保持されたウエーハの表面に中心マークを投影する中心マーク投影工程と、
該ウエーハ保持手段に保持されたウエーハの表面に請求項1記載の該保護部材に貼着された該保護テープを対面させるとともに、該帯状のシートに形成された該保護テープの中心を示すマークと該中心マーク投影手段によって投影された中心マークとを合致させる中心位置合わせ工程と、
該押圧手段を作動して該シートの裏面側から該シートを介して該保護テープの表面をウエーハの表面に押圧し、該保護テープの表面に敷設された該環状の粘着層をウエーハの外周部に貼着する保護テープ貼着工程と、
該シートをウエーハの外周部に貼着された保護テープから剥離する帯状シート剥離工程と、を含む、
ことを特徴とする保護テープ貼着方法。
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