JP2013254924A - ナノコンポジット熱電変換材料の製造方法 - Google Patents

ナノコンポジット熱電変換材料の製造方法 Download PDF

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    • B82Y30/00Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites

Abstract

【課題】熱伝導率を低減させてZTの向上を改善し得るナノコンポジット熱電変換材料の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも3種類の元素のうち1種類の元素が酸化物としてナノ粒子となるように少なくとも3種類の元素の組合せを選択し、前記ナノ粒子を構成する元素の量が目的とする最終生成物における母相の組成に対して過剰となるように溶液中に溶解し、前記溶液に還元剤を加えて、反応の開始から終了まで複数の異なるpHで還元反応が行われ、水熱処理して合金化による前記母相の形成および前記酸化物からなるナノ粒子の形成を行わせる製造方法。
【選択図】図6

Description

本発明は、ナノコンポジット熱電変換材料の製造方法に関し、さらに詳しくは熱伝導率を低減させて高いZTを示し得るナノコンポジット熱電変換材料の製造方法に関する。
近年、地球温暖化問題から二酸化炭素排出量を削減するために、化石燃料から得られるエネルギーの割合を低減する技術への関心が益々増大しており、その1つとして未利用廃熱エネルギーを電気エネルギーに直接変換し得る熱電変換材料が挙げられる。
熱電変換材料とは、火力発電のように熱を一旦運動エネルギーに変換しそれから電気エネルギーに変換する2段階の工程を必要とせず、熱から直接に電気エネルギーに変換することを可能とする機能を有する材料である。また、このような熱電変換材料は、ある部位から熱を吸って他の部位に熱を吐き出す熱を伝達する機能をも有し得る材料である。
そして、熱から電気エネルギーへの変換は、通常熱電変換材料から成形したバルク体の両端の温度差を利用して行われる。この温度差によって電圧が生じる現象はゼーペックにより発見されたのでゼーペック効果と呼ばれている。
この熱電変換材料の性能は、次式で求められる性能指数Zで表わされる。
Z=ασ/κ(=Pf/κ)
ここで、αは熱電変換材料のゼーベック係数、σは熱電変換材料の導電率、κは熱電変換材料の熱伝導率である。ασの項をまとめて出力因子Pfという。そして、Zは温度の逆数の次元を有し、この性能指数Zに絶対温度Tを乗じて得られるZTは無次元の値となる。そしてこのZTを無次元性能指数と呼び、熱電変換材料の性能を表す指標として用いられている。
熱電変換材料が幅広く使用されるためにはその性能をさらに向上させることが求められている。そして、熱電変換材料の性能向上には前記の式から明らかなように、より高いゼーベック係数α、より高い導電率σ、より低い熱伝導率κが求められる。
しかし、これらすべての項目を同時に改良することは困難であり、熱電変換材料の前記項目のいずれかを改良する目的で多くの試みがなされている。
また、熱伝導率を低減するためには熱伝導の担い手の1つであるフォノンを散乱させることが有効であることが知られている。
このため、熱電変換材料として適していると考えられる物質について、前記の特性のうちの少なくとも1つを向上させるために、様々な観点から詳細な検討がなされている。
例えば、特許文献1には、液相法、例えばホットソープ法によって加熱された分散剤および有機溶媒に予め用意したコア部粒子と加熱反応によりシェル部粒子を与え得るシェル部前駆体を加え、加熱下にシェル部を生成させると共にシェル部でコア部微粒子を被覆する工程を含む、熱電変換性能が高く量産性に適した熱電変換材料の製造方法が記載されている。そして、前記のコア部微粒子としてSiO、Al、ZnO等の無機酸化物が示されコア部微粒子は互いに独立していることが必要であって、均一に分散していることおよび平均粒径の偏差値が10%以下であることが好ましいことが記載されている。
また、特許文献2には、熱電材料中にナノ粒子を分散させる際に、粒径D<5nm、粒度分布SD<粒径Dの範囲とすることで、熱伝導率が低減し、ZTが向上することをシミュレーションで導く方法が記載されている。
特開2005−294478号公報 米国特許第773442832号明細書
しかし、上記従来公知の技術を適用したのでは、得られるナノコンポジット熱電変換材料は熱伝導率の低減が十分ではなく、ZTの向上が不十分である。
従って、本発明の目的は、熱伝導率を低減させてZTの向上を改善し得るナノコンポジット熱電変換材料の製造方法を提供することである。
本発明者らは、前記目的を達成するために鋭意検討を行った結果、前記の従来公知の技術を適用したのでは、特定の波長を有するフォノンにのみ散乱効果が現れるため、ナノコンポジット熱電変換材料であっても熱伝導率の低減が十分ではなくZTの向上が不十分であることを見出し、さらに検討を行った結果、本発明を完成した。
本発明は、少なくとも3種類の金属元素によって構成される合金である母相とナノ粒子とからなるナノコンポジット熱電変換材料の製造方法であって、
前記少なくとも3種類の元素のうち1種類の元素が酸化物としてナノ粒子となるように少なくとも3種類の元素の組合せを選択する工程、
前記少なくとも3種類の元素の各々1つを含有する少なくとも3種類の化合物を用意する工程、
前記少なくとも3種類の化合物を、元素の量に基づいて、前記ナノ粒子を構成する元素の量が目的とする最終生成物における合金である母相の組成に対して過剰となるように溶液中に溶解する工程、
前記溶液に還元剤を加えて、反応の開始から終了まで複数の異なるpHで還元反応が行われる工程、
還元反応により生成した微粒子集合体を分離取得する工程、次いで
水熱処理して合金化による前記母相の形成および前記酸化物からなるナノ粒子の形成を行わせる工程、
を含む、前記方法に関する。
本発明によれば、熱伝導率を低減させてZTを向上させ得るナノコンポジット熱電変換材料を容易に得ることができる。
図1は、本発明の実施態様の製造方法によるSPS焼結後のナノコンポジット熱電変換材料のTEM像の模式図である。 図2は、本発明の範囲外の製造方法によるSPS焼結後のナノコンポジット熱電変換材料のTEM像の模式図である。 図3は、本発明の実施態様の製造方法によるナノコンポジット熱電変換材料についてナノ粒子の粒度分布(SD)のフォノンへの影響を模式的に示すグラフである。 図4は、ナノ粒子を均一に分散させたナノコンポジット熱電変換材料についてナノ粒子の粒度分布(SD)のフォノンへの影響を模式的に示すグラフである。 図5は、低波長フォノン域に効果がある公知のナノコンポジット熱電変換材料についてナノ粒子の粒度分布(SD)のフォノンへの影響を模式的に示すグラフである。 図6は、本発明の実施態様の製造方法における還元反応の工程を説明するための模式図である。 図7は、本発明の実施態様の製造方法における水熱処理の工程を説明するための模式図である。 図8は、本発明の実施例で得られたSPS焼結後のナノコンポジット熱電変換材料のTEM像の写しである。 図9は、本発明の実施例で得られたSPS焼結後のナノコンポジット熱電変換材料の異なる視野のTEM像の写しである。 図10は、本発明の実施例で得られたSPS焼結後のナノコンポジット熱電変換材料の異なる視野のTEM像の写しである。 図11は、本発明の実施例及び比較例で得られたSPS焼結後のナノコンポジット熱電変換材料の熱伝導率を比較して示すグラフである。 図12は、本発明の実施例及び比較例で得られたSPS焼結後のナノコンポジット熱電変換材料のZTを比較して示すグラフである。 図13は、本発明の実施例及び比較例で得られたSPS焼結後のナノコンポジット熱電変換材料の格子熱伝導率について界面密度を横軸としてまとめたグラフである。 図14は、本発明の実施例及び比較例で得られたSPS焼結後のナノコンポジット熱電変換材料の格子熱伝導率について粒度分布(SD)を横軸としてまとめたグラフである。
特に、本発明において、以下の実施態様を挙げることができる。
1)前記還元反応が、還元反応を通して溶液のpHが酸性で行われる前記製造方法。
2)前記ナノ粒子を構成する前記元素の量が、ナノコンポジット熱電変換材料中の分散材の割合が1〜50vol%となる量である前記製造方法。
3)前記少なくとも3種類の元素がTe、SbおよびBiであり、母相である合金の組成に対して過剰となるように含有させる元素がSbである前記製造方法。
4)ナノコンポジット熱電変換材料におけるナノ粒子の粒度分布(SD、標準偏差)がナノ粒子の平均粒径(D)より大きい前記製造方法。
5)さらに圧縮成型工程を含む前記製造方法。
6)前記圧縮成型工程が、SPS焼結工程である前記製造方法。
本明細書でナノ粒子の粒度分布(SD、標準偏差)およびナノ粒子の平均粒径(D)とは、後述の実施例の欄で詳述する測定法によって求められるSPS焼結されたナノコンポジット熱電変換材料ナノ粒子の粒度分布およびナノ粒子の平均粒径を示す。
本発明は、少なくとも3種類の元素によって構成される合金である母相とナノ粒子とからなるナノコンポジットナノコンポジット熱電変換材料を得るために、前記少なくとも3種類の元素のうち1種類の元素が酸化物としてナノ粒子となるように少なくとも3種類の元素の組合せを選択する工程、
前記少なくとも3種類の元素の各々1つを含有する少なくとも3種類の化合物を用意する工程、
前記少なくとも3種類の化合物を、元素の量に基づいて、前記ナノ粒子を構成する元素の量が目的とする最終生成物における合金である母相の組成に対して過剰となるように溶液中に溶解する工程、
前記溶液に還元剤を加えて、反応の開始から終了まで複数の異なるpHで還元反応が行われる工程、
還元反応により生成した微粒子集合体を分離取得する工程、次いで
水熱処理して合金化による前記母相の形成および前記酸化物からなるナノ粒子の形成を行わせる工程、
を含むことによって、熱伝導率を低減させてZTを向上させ得るナノコンポジット熱電変換材料を得ることが可能である。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳説する。
本発明の実施態様の製造方法によって得られるナノコンポジット熱電変換材料は、図1に示すように、ナノ粒子が広い粒径範囲を有しており、例えば分散材であるナノ粒子の粒子径は1nm〜母相の平均結晶粒径の範囲であり得る。このため、長波長域では母相の結晶粒界で散乱され得るが、フォノンの広い波長域で効果があり得る。また、ナノ粒子の粒度分布(SD、標準偏差)>分散材であるナノ粒子の平均粒径(D)である。
これに対して均一な粒径を有するナノ粒子と母相とからなる従来のナノコンポジット熱電変換材料では、図2に示すように、ナノ粒子の粒径は小さければ小さいほどよいとされ、ナノ粒子が均一に分散していて、粒度分布(SD、標準偏差)は小さい。
本発明の実施態様の製造方法によって得られるナノコンポジット熱電変換材料は、図3に示すように、全波長でフォノンが散乱し得ることにより、熱伝導率が大幅に低減され得る。
これに対し、従来のナノコンポジット熱電変換材料によれば、図4および図5に示すように、短波長フォノン域あるいは長波長フォノン域でのみ効果があるため、他の波長フォノンが散乱されにくく、熱伝導率の低減が少ない。
本発明の実施態様の製造方法においては、先ず合金である母相を構成する少なくとも3種類の元素のうち1種類の元素が酸化物としてナノ粒子となるように少なくとも3種類の元素の組合せを選択する。
そして、例えば前記の3種類のうちから1種類の元素が酸化物としてナノ粒子となるように3種類の元素の組合せを選択する際に、前記1種類の元素として、好適には酸化還元電位(単に、還元電位と略称する場合もある。)の大きい順に並べて中間にある元素を選択し得る。前記酸化還元電位が同じである場合は、原子量の小さい元素を比較上位として3種類の元素の順位付けが可能であり、並べた3つの元素の内から中間の元素を選択し得る。
そして、前記少なくとも3種類の元素の各々1つを含有する少なくとも3種類の化合物を用意し、
前記少なくとも3種類の化合物、例えばBi、SbおよびTeを各々含有する3種類の化合物を、元素の量に基づいて、前記ナノ粒子を構成する元素、例えばSbの量が最終生成物における母相、例えば(Bi、Sb)Teの組成に対して過剰となるように溶液中に、例えばエタノール溶液中に溶解し、
次いで、前記溶液に還元剤を加えて、反応の開始から終了まで複数の異なるpHで還元反応が行われる。
前記の反応の開始から終了まで複数の異なるpHであ還元反応が行われるとは、還元反応中に溶液のpHが複数の値であることを意味する。
本発明の実施態様における前記の還元反応において、図6に示すように、還元反応初期において溶液中で母相主成分が生成される。
本発明の実施態様においては、還元反応途中において母相主成分と、母相サブ成分とナノ粒子主成分が生成され、さらに複数のpHで還元反応が行われると、様々な大きさの微粒子の凝集集合体(集合粒子)が生成されると考えられる。
次いで、本発明の実施態様の製造方法においては、還元反応により生成した微粒子集合体を分離取得する工程、次いで
水熱処理して合金化による前記母相の形成および前記酸化物からなるナノ粒子の形成を行わせる工程、を有する。
本発明における前記の水熱処理においては、図7に示すように、前述の還元反応工程を経ることによって、凝集集合体(集合粒子)の大きさによって中に生成するナノ粒子の大きさが制御されると考えられる。
本発明においては、複数の異なるpHでの還元反応と水熱処理とを組み合わせることによって、得られる圧縮成型されたナノコンポジット熱電変換材料におけるナノ粒子の粒度分布を大きくすることが可能となり、熱伝導率を低減させZTを向上させることが可能となる。
本発明における合金である母相を構成する少なくとも3種類の元素としては、BiとSbとTeからなる元素の組合せ、BiとSbとSeからなる元素の組合せ、CoとNiとSbからなる元素の組合せが挙げられる。
本発明における母相としては、(Bi、Sb)Te、(Bi、Sb)、(Co、Ni)Sbなど、好適には、(Bi、Sb)Teが挙げられる。
本発明における酸化物としてナノ粒子となる元素としては、特に制限はなく、例えばSbが挙げられる。
また、本発明におけるナノ粒子としては、Sbが挙げられる。
前記少なくとも3種類の元素の各々1つを含有する少なくとも3種類の化合物としては、前記元素のハロゲン化物、例えば塩化物、水酸化物、硝酸塩、硫酸塩、酢酸塩などが挙げられる。
前記元素の1つを含有する少なくとも3種類の化合物として、好適には塩化ビスマス、塩化アンチモン、塩化テルルが挙げられる。
本発明における前記溶液を与える溶媒としては、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、メタノールなどのアルコール、アセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどのアミド、アセトン、MEK(メチルエチルケトン)などのケトンなど、好適にはエタノール、イソプロパノール、ブタノール、メタノールなどのアルコール、特にエタノールが挙げられる。
本発明において、前記少なくとも3種類の化合物は前記溶液100mL当たり、各々0.2〜10g程度、特に0.2〜5g程度含有することが好適である。また、前記少なくとも3種類の化合物の合計量が前記溶液100mL当たり0.5〜15g、特に1〜15g程度含有されることが好適である。
本発明においては、例えば前記溶液中に、前記少なくとも3種類の化合物を、元素に基づいて、前記ナノ粒子を構成する元素の量が最終生成物における母相の組成に対して過剰となるように、溶解することが必要である。
前記ナノ粒子を構成する元素の量は、本発明のナノコンポジット熱電変換材料中の分散材の割合が1〜50vol%、特に2〜25vol%となる量であることが好適である。
本発明においては、前記溶液に還元剤を加えて、反応の開始から終了までが複数の異なるpHで還元反応が行われることが必要である。
複数の異なるpHで還元反応が行われることによって、様々な大きさの微粒子の凝集集合体(集合粒子)が生成され、分離取得された還元反応により生成した微粒子集合体を水熱処理して合金化による前記母相の形成および前記酸化物からなるナノ粒子の形成を行わせる工程において、凝集集合体(集合粒子)の大きさによって中に生成するナノ粒子の大きさが制御され得る。
前記の複数の異なるpHは、pH<7の範囲内で段階的にpH小からpH大に変化させてもよく、連続的にpH小からpH大に変化させることによって達成され得る。
前記還元反応に用いられる還元剤としては、特に制限はなく例えば、ヒドラジン(N)、リチウムアルミニウムハイドライド(LiAlH)、ナトリウムボロンハイドライド(NaBH)、ジイソブチルアルミニウムヒドリド([(CHCHCH]AlH:DIBAH)、水素化ホウ素リチウム(LiBH)、水素化ホウ素カリウム(KBH)、テトラブチルアンモニウムボロヒドリド、フェニルヒドラジン(PhHNNH)、アンモニアボラン (NH−BH)、トリメチルアミン−ボラン ((CH)N−BH)、ナトリウム次亜リン酸塩(NaHPO) ギ酸、テトラブチルアンモニウムボロヒドリド等の水素化物、好適にはNaBHが挙げられる。前記還元剤は、通常還元剤溶液として供給され得る。
本発明においては、前記還元反応を、還元反応工程中を通して溶液が酸性であるpH、すなわちpH7未満で行うこと、すなわち還元反応を通して酸性で行うことが好ましい。このため、強酸性を示す塩化物と強アルカリ性を示す還元剤溶液との量の比率に関して、通常還元剤溶液の量を当モル量よりも少し少なくして溶液のpHが7未満となるように調整することが望ましい。この場合、還元反応初期には強酸性で反応後期には弱酸性となるようになる。
本発明においては、還元反応が複数の異なるpHで行われ、特に還元反応を通して酸性、すなわちpH<7で還元反応が行われることによって、生成する微粒子集合体の粒径に広い分布を発生させることが可能となる。
本発明の実施態様においては、前記還元反応終了後、生成したナノ粒子を含む溶媒スラリー、例えばエタノールスラリーをろ過し、水と溶媒、例えば水とエタノールとの混合溶媒で洗浄して微粒子集合体を分離取得する。
次いで、微粒子集合体を密閉の高圧容器、例えばオートクレーブに入れ、100℃以上500℃未満の温度、好適には200℃以上400℃未満の温度で水熱処理して、合金化による母相の形成とともに、最終生成物である母相の組成に対して元素の量で多く量で加えた元素、例えばSbの酸化物であるSbからなるナノ粒子が形成される。
通常は、その後、Nガスフロー雰囲気で乾燥させて、ナノコンポジット熱電変換材料の粉末が回収される。
ナノコンポジット熱電変換材料の粉末は、最後に圧縮成型機、例えばSPS焼結機により、例えば350〜600℃の温度でSPS焼結することによって、ナノコンポジット熱電変換材料バルク体に成型される。
以下、本発明の実施例を示す。
以下の各例において、焼結されたナノコンポジット熱電変換材料についての測定は以下に示す方法によって行った。なお、以下の測定法は例示であって同等の測定法を用いて同様に測定し得る。
熱電変換材料のSEM(Scanning Electron Microscope:走査型電子顕微鏡)観察
装置:Carl Zeiss社(ドイツ)製、 Ultra55
熱電変換材料のTEM(Transmission Electron Microscope:透過型電子顕微鏡)観察
装置:JEOL社製、JEM−2010
熱電変換材料のXRD(X-ray Diffraction:X線回折)による母相の結晶粒子径
装置:リガク社 RIGAKU RINT−RAPID II
方法:XRDによるシェラー法による
熱電変換材料の熱伝導率測定
装置:株式会社ピコサーム製、Pico−TR
サーモリフレクタンス法による。
熱電変換材料のナノ粒子の平均粒径、粒度分布、熱電変換材料の界面密度の算出
STEMによりナノ粒子の粒径を測定し、平均粒径、粒度分布を求め、平均化したものから界面密度を算出した。
熱電変換材料の格子熱伝導率の算出
計算により求めた。
溶媒溶液のpHの確認
pH計にて測定
実施例1〜4
エタノール100mLに、母相用の塩化ビスマス0.42g(BiCl)、母相用の塩化テルル2.56g(TeCl)および母相+ナノ粒子用の塩化アンチモン(SbCl)を、最終生成物における母相の組成に対してSbが過剰になるように1.16g(実施例1:3.2vol%Sb)、1.22g(実施例2:5.7vol%Sb)、1.40g(実施例3:12.9vol%Sb)あるいは1.53g(実施例4:20vol%Sb)を入れたエタノール溶液に、常に浴中が酸性状態となるように等モル量よりも若干少なく還元剤の量を調整して、還元剤2.2g(NaBH)とエタノール100mLとの還元剤溶液を、微粒子の集合体の大きさを制御するためpH制御しながら液下して、還元反応を行った。還元反応中、反応初期においては強酸性で、反応後期においては弱酸性(いずれもpH<7)であった。そのため、生成する微粒子集合体の粒径に分布が発生した。
生成したナノ粒子を含んだエタノールスラリーを、水500mL+エタノール300mLの溶液でろ過洗浄し、その後エタノール300mLでろ過洗浄した。
次いで、粉末を密閉のオートクレーブに入れ、240℃、48時間の水熱処理を行って合金化させた。この際に、同時に過剰に仕込んだSbが酸化され、Sb(ナノ粒子)として析出した。
その後、Nガスフロー雰囲気で乾燥し、約2.2gの粉末を回収した。
この粉末を350℃でSPS焼結して、圧縮成型されたナノコンポジット熱電変換材料バルク体を得た。
このSPS焼結されたナノコンポジット熱電変換材料バルク体について測定および評価した結果を表1、および図7〜14に示す。
比較例1〜2
エタノール100mLに、母相用の塩化ビスマス(BiCl)、母相用の塩化テルル(TeCl)および母相+ナノ粒子用の塩化アンチモン(SbCl)を、Sbが3.2vol%過剰になるように1.16gおよび平均粒径5nmのSiOを0.67g(比較例1:10vol%)または1.50g(比較例2:20vol%)を含むスラリーを入れたエタノール溶液に、還元剤(NaBH)2.4gとエタノール100mLとの還元剤溶液を液下して、還元反応を行った。
生成したナノ粒子を含んだエタノールスラリーを、水500mLでろ過洗浄し、その後エタノール300mLでろ過洗浄した。
次いで、粉末を密閉のオートクレーブに入れ、240℃、48時間の水熱処理を行って合金化させた。
その後、Nガスフロー雰囲気で乾燥し、約2.0gの粉末を回収した。
この粉末を350℃でSPS焼結して、圧縮成型されたナノコンポジット熱電変換材料バルク体を得た。
このSPS焼結されたナノコンポジット熱電変換材料バルク体について測定および評価した結果を表1および図10〜14に示す。
比較例3〜4
エタノール100mLに、母相用の塩化ビスマス(BiCl)、母相用の塩化テルル(TeCl)および母相+ナノ粒子用の塩化アンチモン(SbCl)を、Sbが3.2vol%過剰になるように1.16gおよび平均粒径10nmのSiOを0.36g(比較例3:5.7vol%)、1.40g(比較例4:12.9vol%)または1.50g(比較4:20vol%)を含むスラリーを仕込んだエタノール溶液に、還元剤(NaBH)2.4gとエタノール100mLとの還元剤溶液を液下した他は比較例1と同様にして、SPS焼結されたナノコンポジット熱電変換材料バルク体を得た。
このSPS焼結されたナノコンポジット熱電変換材料バルク体について測定および評価した結果を表1および図10〜14に示す。
図9および図10から、各実施例で得られたSPS焼結されたナノコンポジット熱電変換材料バルク体は、ナノ粒子が広い粒径分布を有することが理解される。
また、図12から、各実施例で得られたSPS焼結されたナノコンポジット熱電変換材料バルク体は、各比較例で得られたSPS焼結されたナノコンポジット熱電変換材料バルク体に比べて、ナノ粒子ナノ粒子の粒度分布SDが大きい(界面密度が小さい)ことにより熱伝導率が低減し、ZTが大幅に向上していることが理解される。
また、図13から、各実施例で得られたSPS焼結されたナノコンポジット熱電変換材料バルク体は、各比較例で得られたSPS焼結されたナノコンポジット熱電変換材料バルク体に比べて、ナノ粒子ナノ粒子の界面密度が小さい(つまり、粒度分布SDが大きい)ことによりフォノン散乱で熱伝導率が大幅に低減していることが理解される。
また、図14から、実施例で得られたSPS焼結されたナノコンポジット熱電変換材料バルク体は、比較例で得られたSPS焼結されたナノコンポジット熱電変換材料バルク体に比べて、ナノ粒子ナノ粒子の粒度分布SDが大きいことによりフォノン散乱で熱伝導率が大幅に低減していることが理解される。
本発明によれば、熱伝導率を低減させてZTを向上させ得るナノコンポジット熱電変換材料を得ることができる。

Claims (7)

  1. 少なくとも3種類の金属元素によって構成される合金である母相とナノ粒子とからなるナノコンポジット熱電変換材料の製造方法であって、
    前記少なくとも3種類の元素のうち1種類の元素が酸化物としてナノ粒子となるように少なくとも3種類の元素の組合せを選択する工程、
    前記少なくとも3種類の元素の各々1つを含有する少なくとも3種類の化合物を用意する工程、
    前記少なくとも3種類の化合物を、元素の量に基づいて、前記ナノ粒子を構成する元素の量が目的とする最終生成物における合金である母相の組成に対して過剰となるように溶液中に溶解する工程、
    前記溶液に還元剤を加えて、反応の開始から終了まで複数の異なるpHで還元反応が行われる工程、
    還元反応により生成した微粒子集合体を分離取得する工程、次いで
    水熱処理して合金化による前記母相の形成および前記酸化物からなるナノ粒子の形成を行わせる工程、
    を含む、前記方法。
  2. 前記還元反応が、還元反応を通して溶液のpHが酸性で行われる請求項1に記載の製造方法。
  3. 前記ナノ粒子を構成する前記元素の量が、母相の組成に対して1〜50vol%となる量である請求項1に記載の製造方法。
  4. 前記少なくとも3種類の元素がTe、SbおよびBiであり、過剰となるように含有させる元素がSbである請求項1に記載の製造方法。
  5. ナノコンポジット熱電変換材料におけるナノ粒子の粒度分布(SD、標準偏差)がナノ粒子の平均粒径(D)より大きい請求項1に記載の製造方法。
  6. さらに、圧縮成型工程を含む請求項1に記載の製造方法。
  7. 前記圧縮成型工程が、SPS焼結工程である請求項6に記載の製造方法。
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