JP2013247251A - 炭化珪素半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭化珪素単結晶のインゴットをスライスして炭化珪素基板11を形成した後、炭化珪素基板11の表面を化学機械研磨加工により、炭化珪素基板11に存在する中空欠陥12の位置を顕在化させる所定の条件により研磨する。化学機械研磨加工は、炭化珪素基板11の表面上における中空欠陥12の箇所を所定の大きさに開口する研磨を行いピット状の開口部12aを形成する。
【選択図】図2
Description
12 SiC基板内に存在する中空欠陥
12a 中空欠陥の開口部
Claims (4)
- 炭化珪素単結晶のインゴットをスライスして炭化珪素基板を形成した後、
前記炭化珪素基板の表面を化学機械研磨加工により、前記炭化珪素基板に存在する結晶欠陥の位置を顕在化させるための所定の条件により研磨することを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記化学機械研磨加工は、前記所定の条件として通常圧力による研磨に続き、通常圧力より低圧力の仕上げ研磨を所定時間行うことにより、前記炭化珪素基板の表面上に位置する前記結晶欠陥の箇所を所定の大きさに開口させることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記化学機械研磨加工により前記結晶欠陥の位置を顕在化させた後、
前記結晶欠陥の位置を顕在化させた前記炭化珪素基板に対して半導体素子を形成することを特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記化学機械研磨加工は、前記炭化珪素基板の表面上における前記結晶欠陥の開口部の大きさを1〜5000μmにすることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
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- 2012-05-25 JP JP2012120259A patent/JP2013247251A/ja active Pending
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