JP2013238522A - 多焦点撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 互いに厚さの異なる平行平面透明体を円周上にならべた回転円板による高速焦点移動機構により焦点を高速変化させ、対物レンズ系の光路をミラーあるいは直角プリズムにより90度折り曲げ、対物レンズ系をXY移動テーブル移動軸に対し45度の角度をなすように配置し、2次元光電変換器を45度傾けた状態で取り付ける。
【選択図】 図4
Description
少なくとも一軸の移動軸を有する移動テーブルと、
その移動テーブルに搭載または被測定物用移動テーブルの移動に伴って被測定物に対する相対位置を変えて計測が可能な計測機構部より構成され、
計測機構部は、光学像を光電変換し2次元の画像信号として出力可能な2次元光電変換器と、
その2次元光電変換器からの出力画像信号を受信し画像として保存あるいは各種データ処理を施す画像処理装置と、
被測定物の光学像を前記2次元光電変換器の光電変換面に結像させ、少なくとも1回光路が90度折れ曲がる構造を有する対物レンズ系と、
前記対物レンズ系の物体空間での光軸(以下単に光軸と称する)に直交する回転面を有しモータにより定速度で回転する回転板で、その回転板上の前記光軸と交差する円周上に互いに厚さの異なる複数の平行平面透明体が並べて配列され、その平行平面透明体が前記光軸を通過する毎に前記2次元光電変換器により撮像することで焦点位置の異なる複数の画像を得ることができる焦点移動機構とからなり、
前記移動テーブルの移動軸の内の少なくとも一軸は前記焦点移動機構の回転板回転面に平行であるように多焦点撮像装置を構成する。
さらに、前記焦点移動機構の回転板の回転中心軸と前記光軸とにより構成される平面(以下中心平面と称する)は、前記移動テーブルの移動軸のうちの回転板回転面と平行な軸と平行または直交するように配置し、
対物レンズ系は、前記光軸に対し光路が途中で90度折り曲げられ回転板の回転平面に平行かつ前記中心平面と45度の角度をなすように配置し、
2次元光電変換器は、その2次元の座標軸が前記回転板の回転平面に対し45度傾いた状態で取り付けるようにする。
102 計測機構部
103 被測定物
201 ピンホールアレイ
202 照明光学系
204 対物レンズ系
205 1/4波長板
206 偏光ビームスプリッタ
207 2次元光電変換器
208 第2対物レンズ系
209 画像処理装置
210 焦点面
301 計測視野
302 XY移動テーブル移動軸
501 回転円板
502 モータ
503 平行平面透明体
Claims (2)
- 光を利用した計測装置において、
少なくとも一軸の移動軸を有する移動テーブルと、
その移動テーブルに搭載または被測定物用移動テーブルの移動に伴って被測定物に対する相対位置を変えて計測が可能な計測機構部より構成され、
計測機構部は、光学像を光電変換し2次元の画像信号として出力可能な2次元光電変換器と、
その2次元光電変換器からの出力画像信号を受信し画像として保存あるいは各種データ処理を施す画像処理装置と、
被測定物の光学像を前記2次元光電変換器の光電変換面に結像させ、少なくとも1回光路が90度折れ曲がる構造を有する対物レンズ系と、
前記対物レンズ系の物体空間での光軸(以下単に光軸と称する)に直交する回転面を有しモータにより定速度で回転する回転板で、その回転板上の前記光軸と交差する円周上に互いに厚さの異なる複数の平行平面透明体が並べて配列され、その平行平面透明体が前記光軸を通過する毎に前記2次元光電変換器により撮像することで焦点位置の異なる複数の画像を得ることができる焦点移動機構とからなり、
前記移動テーブルの移動軸の内の少なくとも一軸は前記焦点移動機構の回転板回転面に平行であるように配置されることを特徴とする多焦点撮像装置。 - 前記焦点移動機構の回転板の回転中心軸と前記光軸とにより構成される平面(以下中心平面と称する)は、前記移動テーブルの移動軸のうちの回転板回転面と平行な軸と平行または直交するように配置され、
対物レンズ系は、前記光軸に対し光路が途中で90度折り曲げられ回転板の回転平面に平行かつ前記中心平面と45度の角度をなすように配置され、
2次元光電変換器は、その2次元の座標軸が前記回転板の回転平面に対し45度傾いた状態で取り付けられることを特徴とする請求項1記載の多焦点撮像装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE102021117116A1 (de) | 2021-07-02 | 2023-01-05 | Stiftung für Lasertechnologien in der Medizin und Meßtechnik an der Universität Ulm ILM, Körperschaft des öffentlichen Rechts | Messvorrichtung zur optischen Vermessung eines Objekts |
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2012
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DE102021117116B4 (de) | 2021-07-02 | 2023-10-26 | Stiftung für Lasertechnologien in der Medizin und Meßtechnik an der Universität Ulm ILM, Körperschaft des öffentlichen Rechts | Messvorrichtung, Verfahren und medizintechnisches Messgerät zur optischen Vermessung eines Objekts |
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