JP2006112872A - 小型角度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 点光源100から出射した拡散光を、偏光ビームスプリッタ120、1/4波長板130を通した後、コリメートレンズと対物レンズを兼ねるレンズ170で平行光束に直して試料面に照射し、反射光をレンズ170で収束し、1/4波長板130を通り、偏光ビームスプリッタ120で反射した光を焦点位置に置かれた光スポット位置検出素子160で検出する事を特徴とする光学式角度センサ。少ない部品点数で構成出来、高い感度を得る事ができるので、小型、高感度の光学式角度センサを構成することができる。
【選択図】 図7
Description
図2に2次元半導***置検出素子(PSD)の原理を示す。PSDは非分割型の素子で,直線性に優れ,XY方向のスポットの重心位置をの2次元の位置を一つの素子で連続して検出することができる。また,光の強度分布に影響されない特徴もある。2次元PSDの受光面の幅をXY方向共にとLPし,それによって検出される光スポットの2次元位置をdX,dYとすると,dX,dYはPSDの光電流出力IX1, IX2, IY1, IY2によって計算される。2次元PSDのX,Y出力xout_PSD,yout_PSDから次のように求めることができる。
光スポット位置を検出する4分割PDの原理を図3に示す。4分割PDは各受光素子にビームが入射するとビームの郷土に比例してそれぞれの素子から電流を測定する事でビームスポット位置を検出可能である。
まず,これまでの2次元角度センサの光学系のレイアウト例を図6に示す。レーザダイオード(LD)などの点光源から出た直線P偏光の光ビームはコリメートレンズで平行光にされ,偏光ビームスプリッタ(PBS),四分の一波長板(1/4λ)を通り円偏光となって,測定試料に照射される。試料面の角度情報を持った反射光は再び四分の一波長板を通り,偏光状態がS偏光と変わる。その光は偏光ビームスプリッタで反射された後,対物レンズとその焦点面位置に置かれる光スポット位置検出素子からなるオートコリメーションユニットに入る。光スポット位置検出素子で光スポットの変位を測定することによって,試料面の角度を求めることができる。ここでいう光スポット位置検出素子はPSD、分割型PD、CCD素子、CMOS素子などが利用される。
f≧L+T1+T2/2
でなければならない。T1>0、T2>0であるから、
f>L
でなければならない。また、レンズによりコリメートされた光束の直径をD、LDから出た光の拡がり角をφとすると、
D=2・f・tanφ
となる。LDから出た光がPBSの側面に漏れないためには
L≧D
でなければならない。 よって、f、L、φを設計パラメータにすると、
f>L≧2・f・tanφ
の関係を満たす必要がある。
101 レーザーダイオード
102 LDケース
110 コリメートレンズ
120 PBS(偏光ビームスプリッタ)
130 1/4波長板
140 試料面
150 対物レンズ
160 光スポット位置検出素子
170 コリメート/対物レンズ
180 スペーサー
200 光ビーム
300 シリコン基板
Claims (2)
- 点光源1から出射した拡散光を、偏光ビームスプリッタ、1/4波長板を通した後、コリメートレンズと対物レンズを兼ねるレンズで平行光束に直して試料面に照射し、反射光をコリメートレンズと対物レンズを兼ねるレンズで収束し、1/4波長板を通り、偏光ビームスプリッタで反射した光を焦点位置に置かれた光スポット位置検出素子で検出する事を特徴とする光学式角度センサ。
- 請求項1の光学式角度センサにおいて、拡散光の拡がり角をφ、偏光ビームスプリッタの1辺の長さをL、コリメートレンズと対物レンズを兼ねるレンズの焦点距離をfとするとき、f>L≧2・f・tanφの関係を満たす光学式角度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004299194A JP2006112872A (ja) | 2004-10-13 | 2004-10-13 | 小型角度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004299194A JP2006112872A (ja) | 2004-10-13 | 2004-10-13 | 小型角度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006112872A true JP2006112872A (ja) | 2006-04-27 |
Family
ID=36381509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004299194A Pending JP2006112872A (ja) | 2004-10-13 | 2004-10-13 | 小型角度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006112872A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100451557C (zh) * | 2006-07-07 | 2009-01-14 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种半圈绝对式偏振角度传感器 |
JP2010534824A (ja) * | 2007-07-19 | 2010-11-11 | ウォーター リソーシズ エンジニアリング コーポレーション | 地下埋設管の3次元地理情報の獲得装置 |
CN114252028A (zh) * | 2022-01-12 | 2022-03-29 | 内蒙古工业大学 | 一种结合激光三角法的紧凑型四光斑二维转角检测装置 |
-
2004
- 2004-10-13 JP JP2004299194A patent/JP2006112872A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100451557C (zh) * | 2006-07-07 | 2009-01-14 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种半圈绝对式偏振角度传感器 |
JP2010534824A (ja) * | 2007-07-19 | 2010-11-11 | ウォーター リソーシズ エンジニアリング コーポレーション | 地下埋設管の3次元地理情報の獲得装置 |
CN114252028A (zh) * | 2022-01-12 | 2022-03-29 | 内蒙古工业大学 | 一种结合激光三角法的紧凑型四光斑二维转角检测装置 |
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A521 | Written amendment |
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