JP2013235246A - 液浸顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【課題】開口数が大きい顕微鏡対物レンズでは、球面収差や色収差を十分に補正することが難しい。
【解決手段】物体側から順に、第1レンズ群と、第2レンズ群と、第3レンズ群と、を備え、第1レンズ群は、第1接合レンズと、少なくとも1つの正の単レンズと、からなり、第2レンズ群は、第2接合レンズを含み、発散光束を収斂光束に変え、第3レンズ群は、物体側から順に、第1レンズ成分と、第2レンズ成分と、を含み、第1接合レンズは、正レンズとメニスカスレンズが接合され、第1レンズ成分は、最も像側の面が像側に向けた凹面であり、第2レンズ成分は、最も物体側の面が物体側に向けた凹面であり、第1レンズ成分と第2レンズ成分は、各々の凹面が向かい合うように配置され、以下の条件式(1)を満足することを特徴とする。
0.5<(n0/n1o)/NAob<0.65 (1)
【選択図】図1
【解決手段】物体側から順に、第1レンズ群と、第2レンズ群と、第3レンズ群と、を備え、第1レンズ群は、第1接合レンズと、少なくとも1つの正の単レンズと、からなり、第2レンズ群は、第2接合レンズを含み、発散光束を収斂光束に変え、第3レンズ群は、物体側から順に、第1レンズ成分と、第2レンズ成分と、を含み、第1接合レンズは、正レンズとメニスカスレンズが接合され、第1レンズ成分は、最も像側の面が像側に向けた凹面であり、第2レンズ成分は、最も物体側の面が物体側に向けた凹面であり、第1レンズ成分と第2レンズ成分は、各々の凹面が向かい合うように配置され、以下の条件式(1)を満足することを特徴とする。
0.5<(n0/n1o)/NAob<0.65 (1)
【選択図】図1
Description
本発明は、液浸顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた顕微鏡に関するものである。
生物学の研究分野では、生細胞への侵襲性をできるだけ低く抑えることや、標本の極めて微細な構造(以下、微細構造とする)を観察できることが、常に求められている。近年、標本の微細構造を観察するために、微弱な光を用いて標本を観察するアプリケーションが増えている。微細構造から回折される光は、回折角が大きい光である。この回折角が大きな回折光を使って像を形成できれば、微細構造を観察することができる。
微弱な光を用いて標本を観察するアプリケーションの1つに、全反射蛍光観察がある。全反射蛍光観察では、エバネッセント光を用いている。エバネッセント光は、屈折率の異なる境界面に、ある角度以上の入射角で照明光を入射させ、その照明光を全反射させることによって発生する。このエバネッセント光は、境界面に対して照明光とは反対側で、波長より小さい領域に局在し、自由空間を伝播しない特性をもつ。
全反射蛍光観察では、カバーガラスと標本との境界面で全反射が生じるように、カバーガラスに光を入射させる。すると、境界面から標本側に、エバネッセント光が染み出す。エバネッセント光が染み出す領域は、光の波長程度の領域である。このように、励起光による照明領域は、エバネッセント光が染み出す領域、すなわち、光の波長程度の領域に限られることになる。全反射蛍光観察では、この限られた照明領域だけでしか蛍光が発生しない。そのため、全反射蛍光観察では、バックグランドノイズの少ない蛍光観察が可能になる。
更に、エバネッセント光には、境界面へ入射する光の角度(入射角)に応じて、染み出す領域の深さが変化する特性がある。光の入射角が大きいほど、エバネッセント光の染み出す領域が狭くなる。光の入射角を大きくすると、バックグランドノイズを減らすことができるので、高解像でより明るい観察ができる。このような特徴を持つ全反射蛍光観察は、生体細胞内の様々な物質の運動や活性の観察などに使われている。
全反射蛍光観察には、開口数の大きな顕微鏡対物レンズが用いられる。例えば、標本が細胞の場合、細胞の屈折率は1.33から1.4程度である。そのため、カバーガラスと試料との境界面で全反射が生じるようにするためには、顕微鏡対物レンズの開口数は、少なくとも1.4以上が必要である。また、エバネッセント光の染み出す領域を狭くするためには、境界面へ入射する光の入射角を大きくする必要がある。このようなことからも、顕微鏡対物レンズの開口数は大きい方が望ましい。
また、全反射蛍光観察以外の観察でも、回折角が大きな回折光を取り込むことが出来れば、微細構造を観察することができる。このようなことからも、顕微鏡対物レンズの開口数は大きい方が望ましい。
開口数が大きい顕微鏡対物レンズとしては、特許文献1〜3に開示された液浸顕微鏡対物レンズがある。
開口数を大きくすると、軸上マージナル光線の光線高は必然的に高くなる。そのため、球面収差や色収差が発生しやすくなる。また、光線高を急激に下げようとして光線を急激に曲げると、高次収差が発生しやすくなる。いずれにしろ、収差が良好に補正され、なお且つ、開口数が大きい顕微鏡対物レンズを得ることは困難である。
特許文献1〜3に開示された液浸顕微鏡対物レンズは、いずれも、収差が十分に補正されているとはいえない。また、カバーガラスの厚みにバラツキがあったり、顕微鏡対物レンズを使用する環境で温度変化が生じたりすると、収差変動が大きくなる。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、開口数が大きく、球面収差や色収差が十分に補正された液浸顕微鏡対物レンズ、及びそれを用いた顕微鏡を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の液浸顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、第1レンズ群と、第2レンズ群と、第3レンズ群と、を備え、第1レンズ群は、第1接合レンズと、少なくとも1つの正の単レンズと、からなり、第2レンズ群は、第2接合レンズを含み、発散光束を収斂光束に変え、第3レンズ群は、物体側から順に、第1レンズ成分と、第2レンズ成分と、を含み、第1接合レンズは、正レンズとメニスカスレンズが接合され、第1レンズ成分は、最も像側の面が像側に向けた凹面であり、第2レンズ成分は、最も物体側の面が物体側に向けた凹面であり、第1レンズ成分と第2レンズ成分は、各々の凹面が向かい合うように配置され、以下の条件式(1)を満足することを特徴とする。
0.5<(n0/n1o)/NAob<0.65 (1)
ここで、
NAobは、顕微鏡対物レンズの物体側開口数、
n0は、正レンズよりも物体側の媒質のd線における屈折率、
n1oは、正レンズのd線における屈折率、
である。
0.5<(n0/n1o)/NAob<0.65 (1)
ここで、
NAobは、顕微鏡対物レンズの物体側開口数、
n0は、正レンズよりも物体側の媒質のd線における屈折率、
n1oは、正レンズのd線における屈折率、
である。
また、本発明の顕微鏡は、光源と、照明光学系と、本体部と、観察光学系と、顕微鏡対物レンズを備える顕微鏡であって、顕微鏡対物レンズに上記の液浸顕微鏡対物レンズが用いられることを特徴とする。
本発明によれば、開口数が大きく、球面収差や色収差が十分に補正された液浸顕微鏡対物レンズ、及びそれを用いた顕微鏡を提供できる。
第1実施形態の液浸顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、第1レンズ群と、第2レンズ群と、第3レンズ群と、を備え、第1レンズ群は、第1接合レンズと、少なくとも1つの正の単レンズと、からなり、第2レンズ群は、第2接合レンズを含み、発散光束を収斂光束に変え、第3レンズ群は、物体側から順に、第1レンズ成分と、第2レンズ成分と、を含み、第1接合レンズは、正レンズとメニスカスレンズが接合され、第1レンズ成分は、最も像側の面が像側に向けた凹面であり、第2レンズ成分は、最も物体側の面が物体側に向けた凹面であり、第1レンズ成分と第2レンズ成分は、各々の凹面が向かい合うように配置され、以下の条件式(1)を満足することを特徴とする。
0.5<(n0/n1o)/NAob<0.65 (1)
ここで、
NAobは、顕微鏡対物レンズの物体側開口数、
n0は、正レンズよりも物体側の媒質のd線における屈折率、
n1oは、正レンズのd線における屈折率、
である。
0.5<(n0/n1o)/NAob<0.65 (1)
ここで、
NAobは、顕微鏡対物レンズの物体側開口数、
n0は、正レンズよりも物体側の媒質のd線における屈折率、
n1oは、正レンズのd線における屈折率、
である。
本実施形態の液浸顕微鏡対物レンズ(以下、適宜、「対物レンズ」という)は、物体側から順に、第1レンズ群と、第2レンズ群と、第3レンズ群と、を備えている。そして、第1レンズ群は、第1接合レンズと、少なくとも1つの正の単レンズと、からなる。また、第1接合レンズは、正レンズとメニスカスレンズが接合されている。なお、物体側とは標本側を意味する。
対物レンズの物体側開口数(以下、単に「開口数」という)を大きくすると、より大きな発散角(回折角)の光を、標本から対物レンズに入射させることができる。その結果、標本の微細構造を、より細かく観察することができる。また、全反射蛍光観察では、バックグランドノイズの少ない蛍光観察が可能になる。しかしながら、発散角が大きい光は、第1レンズ群における光線高が高い。このような光線を第1レンズ群で急激に曲げると、第1レンズ群において高次収差が発生しやすくなる。
そこで、本実施形態の対物レンズでは、第1レンズ群を、第1接合レンズと、少なくとも1つの正の単レンズとで構成することで、発散角が大きい光線を、これらのレンズで徐々に曲げるようにしている。このようにすることで、高次収差が大きく発生することを抑えている。
そして、第2レンズ群が、第2接合レンズを含むようにしている。上記のように、第1レンズ群では、発散角が大きい光線を徐々に曲げるようにしている。そのため、第1レンズ群から出射する光束は、収斂光束になっていない。そこで、第2レンズ群で、発散光束を収斂光束に変えている。ここで、第2レンズ群は第2接合レンズを含んでいるので、この接合レンズで、発散光束を収斂光束に変えることと色収差の補正を行うことができる。なお、第2レンズ群での作用の1つは、発散光束を収斂光束に変えることである。よって、このような作用を生じるレンズが第2接合レンズ以外にもある場合、これらのレンズも第2レンズ群に含まれる。
また、第3レンズ群は、物体側から順に、第1レンズ成分と、第2レンズ成分と、を含み、第1レンズ成分は、最も像側の面が像側に向けた凹面であり、第2レンズ成分は、最も物体側の面が物体側に向けた凹面であり、第1レンズ成分と第2レンズ成分は、各々の凹面が向かい合うように配置されている。
第1レンズ成分と第2レンズ成分を、各々の凹面が向かい合うように配置することで、第3レンズ群のレンズ構成をガウスタイプに近づけることができる。ここで、第2レンズ群で発散光束が収斂光束に変えられているので、第1レンズ成分と第2レンズ成分の位置では、光線の高さが低くなっている。よって、第1レンズ成分の凹面と第2レンズ成分の凹面によって、ペッツバール和を小さくすることができる。
そして、本実施形態の対物レンズは、以下の条件式(1)を満足する。
0.5<(n0/n1o)/NAob<0.65 (1)
ここで、
NAobは、顕微鏡対物レンズの物体側開口数、
n0は、正レンズよりも物体側の媒質のd線における屈折率、
n1oは、正レンズのd線における屈折率、
である。
0.5<(n0/n1o)/NAob<0.65 (1)
ここで、
NAobは、顕微鏡対物レンズの物体側開口数、
n0は、正レンズよりも物体側の媒質のd線における屈折率、
n1oは、正レンズのd線における屈折率、
である。
条件式(1)を満足することで、正レンズの屈折率を十分に高くすることができる。ここで、正レンズは、最も物体側に位置する。例えば、正レンズよりも物体側を浸液で満たすと、正レンズよりも物体側の媒質の屈折率は、浸液の屈折率になる。この場合、正レンズの屈折率を十分に高くしておけば、浸液と正レンズとの間で屈折率の差が大きくならないようにすることができる。その結果、開口数を大きくした場合であっても、正レンズと媒質(浸液)との境界面で発生する収差を、小さく抑えることができる。
条件式(1)の上限値を上回ると、正レンズの屈折率と媒質(浸液)の屈折率の差が大きくなりすぎるので、境界面で発生する収差を小さく抑えることができない。そのため、開口数を大きくすることができない。
条件式(1)の下限値を下回ると、開口数を十分に大きくすることができない。そのため、高い解像力を得ることが難しい。また、全反射蛍光観察では、エバネッセント光が染み出す領域を狭くすることができない。その結果、バックグランドノイズの少ない観察を行なうことが難しい。
なお、条件式(1)に代えて、以下の条件式(1’)を満足するのが好ましい。
0.5<(n0/n1o)/NAob<0.595 (1’)
0.5<(n0/n1o)/NAob<0.595 (1’)
このように、本実施形態の対物レンズでは、良好な結像性能を維持したまま開口数を大きくできる。よって、標本の微細構造を観察することができる。また、全反射蛍光観察では、エバネッセント光が染み出す領域を狭くできるので、バックグランドノイズの少ない観察を行なうことが可能になる。
また、本実施形態の対物レンズは、第1レンズ群は正の単レンズを複数有し、以下の条件式(2)を満足することが好ましい。
1<r1c/r1i<2 (2)
ここで、
r1cは、第1接合レンズの接合面の曲率半径、
r1iは、第1接合レンズの像側面の曲率半径、
である。
1<r1c/r1i<2 (2)
ここで、
r1cは、第1接合レンズの接合面の曲率半径、
r1iは、第1接合レンズの像側面の曲率半径、
である。
条件式(2)は、第1接合レンズについて、ペッツバール和の発生を抑えつつ、適切な屈折力を確保するための条件式である。第1接合レンズの接合面は負の屈折力を有する。この負の屈折力によって、第1接合レンズでのペッツバール和を小さくすることが好ましい。しかしながら、開口数が大きい場合、負の屈折力を大きくしすぎると、光線高が高くなるため、第1レンズ群中の接合レンズ以降のレンズで強い正の屈折力が必要になり、高次収差の発生を抑えられなくなる。また、第1レンズ群以降のレンズ群において球面収差や色収差の発生を抑えられなくなる。
そこで、条件式(2)を満足することで、接合面における負の屈折力が大きくなりすぎることを防ぐことができる。その結果、第1レンズ群中の第1接合レンズ以降のレンズにおける高次収差の発生や、第1レンズ群以降のレンズ群における球面収差や色収差の発生が抑えられる高さまで、光線高を下げることができる。
条件式(2)の上限値を上回ると、接合面の曲率半径が大きく(負の屈折力が小さく)なりすぎる。そのため、ペッツバール和を小さくすることができなくなる。その結果、第1レンズ群中の第1接合レンズ以降のレンズ、または、第2レンズ群以降のレンズ群で、ペッツバール和の補正を行うこと(ペッツバール和を小さくすること)が難しくなる。
条件式(2)の下限値を下回ると、接合面の曲率半径が小さく(負の屈折力が大きく)なりすぎる。そのため、第1レンズ群中の第1接合レンズ以降のレンズにおける高次収差の発生や、第1レンズ群以降のレンズ群における球面収差や色収差の発生が抑えられる高さまで、光線高を下げることができなくなる。
なお、本実施形態の対物レンズでは、第1レンズ群と第3レンズ群とで、ペッツバール和を小さくするようにしている。そのため、第1レンズ群では、ペッツバール和の補正不足を許容している。
また、条件式(2)に代えて、以下の条件式(2’)を満足するのが好ましい。
1.25<r1c/r1i<1.5 (2’)
1.25<r1c/r1i<1.5 (2’)
また、本実施形態の顕微鏡対物レンズは、以下の条件式(3)を満足することが好ましい。
0.2<(d1o×n1o)/(d1i×n1i)<1 (3)
ただし、
d1oは、正レンズの光軸上での厚み、
n1oは、正レンズのd線における屈折率、
d1iは、メニスカスレンズの光軸上での厚み、
n1iは、メニスカスレンズのd線における屈折力、
である。
0.2<(d1o×n1o)/(d1i×n1i)<1 (3)
ただし、
d1oは、正レンズの光軸上での厚み、
n1oは、正レンズのd線における屈折率、
d1iは、メニスカスレンズの光軸上での厚み、
n1iは、メニスカスレンズのd線における屈折力、
である。
条件式(3)は、開口数を大きくした場合でも、適切な光線高を得るための条件式である。正レンズに適切な厚みを持たせることで、発散角の大きな光線を対物レンズに入射させることができる。一方、メニスカスレンズの厚みを適切に抑えることで、光線高が高くならないところで光線を曲げることができる。そのため、第1接合レンズよりも像側の光学系で、光線を急激に曲げることなく光線高を下げることができる。その結果、球面収差や色収差の発生が抑えられる。
条件式(3)の上限値を上回ると、メニスカスレンズの厚みが薄くなりすぎる。この場合、メニスカスレンズの像側レンズ面で、発散角の大きな光線を急激に曲げて、光線高を下げる必要がある。そのため、第1接合レンズにおいて、高次収差の発生を抑えられなくなる。
条件式(3)の下限値を下回ると、正レンズの厚みが薄くなりすぎる。そのため、発散角の大きな光線を、正レンズに入射させることができない。あるいは、メニスカスレンズの厚みが大きくなりすぎる。この場合、メニスカスレンズから出射する光線の光線高を下げることができない。その結果、第1接合レンズよりも像側の光学系で、球面収差や色収差の発生が抑えることが難しくなる。
また、条件式(3)に代えて、以下の条件式(3’)を満足するのが好ましい。
0.25<(d1o×n1o)/(d1i×n1i)<0.4 (3’)
0.25<(d1o×n1o)/(d1i×n1i)<0.4 (3’)
また、本実施形態の顕微鏡対物レンズは、以下の条件式(4)を満足することが好ましい。
0.2<f1/d1<0.45 (4)
ただし、
f1は、第1レンズ群の焦点距離、
d1は、第1レンズ群の全長、
である。
0.2<f1/d1<0.45 (4)
ただし、
f1は、第1レンズ群の焦点距離、
d1は、第1レンズ群の全長、
である。
条件式(4)は、開口数を大きくした場合でも、適切な光線高を得るための条件式である。開口数が大きい対物レンズでは、第1レンズ群や第2レンズ群を通過する光線の光線高が非常に高くなる。そのため、球面収差や色収差の発生を抑えることが困難になりやすい。また、光線高を下げるために光線を急激に曲げると、第1レンズ群で高次収差が発生する。条件式(4)を満足することで、適切な焦点距離と全長を、第1レンズ群に持たせることができる。その結果、光線を急激に曲げることなく、球面収差や色収差の発生が抑えられる高さまで、光線高を下げることが出来る。
条件式(4)の上限値を上回ると、第1レンズ群の焦点距離が大きくなりすぎる。この場合、緩やかに光線を曲げることと、光線高を下げることが両立できなくなる。そのため、高次収差、球面収差及び色収差の発生を、同時に抑えることが難しくなる。
条件式(4)の下限値を下回ると、第1レンズ群の全長が長くなりすぎる。そのため、第2レンズ群以降の光学系で、色収差や湾曲収差を補正することが難しくなる。
また、条件式(4)に代えて、以下の条件式(4’)を満足するのが好ましい。
0.33<f1/d1<0.4 (4’)
0.33<f1/d1<0.4 (4’)
また、本実施形態の顕微鏡対物レンズは、以下の条件式(5)を満足することが好ましい。
0.2<n1H−n1L<0.6 (5)
ただし、
n1Hは、正の単レンズのd線における屈折率のうち、最も大きい屈折率、
n1Lは、正の単レンズのd線における屈折率のうち、最も小さい屈折率、
である。
0.2<n1H−n1L<0.6 (5)
ただし、
n1Hは、正の単レンズのd線における屈折率のうち、最も大きい屈折率、
n1Lは、正の単レンズのd線における屈折率のうち、最も小さい屈折率、
である。
条件式(5)は、高次収差と色収差の発生を同時に抑えるのに好ましい条件式である。第1レンズ群に用いる正の単レンズでは、硝材の屈折率が高い方が高次収差の発生をより抑えやすい。しかし、高屈折率の硝材にはアッベ数が大きいものが少ないため、高屈折率の硝材だけでは色収差の発生を抑えることが難しい。そこで複数の単レンズ配置し、高屈折率の硝材と低屈折率の硝材を組み合わせることにより、高次収差と色収差の発生を同時に抑えることが可能になる。
条件式(5)の上限値を上回ると、第1レンズ群に用いられる多くの硝材が、高屈折率の硝材になる。この場合、第1レンズ群に用いられる硝材はアッベ数の非常に小さい硝材だけになるので、色収差の発生を抑えることが難しくなる。
条件式(5)の下限値を下回ると、第1レンズ群に用いられる多くの硝材が、低屈折率の硝材になる。この場合、第1レンズ群を構成するレンズの曲率半径を小さくしなくてはならないので、高次収差と色収差の発生を同時に抑えることが難しくなる。
また、本実施形態の顕微鏡対物レンズは、第2レンズ成分は、物体側レンズと第3接合レンズを含み、軸上マージナル光線の高さは、第2レンズ成分の第3接合レンズで最も高く、第2レンズ成分の最も物体側の面で最も低く、
以下の条件式(6)を満足することが好ましい。
0<f32o/f32<0.45 (6)
ただし、
f32oは、物体側レンズの焦点距離、
f32は、第2レンズ成分の焦点距離、
である。
以下の条件式(6)を満足することが好ましい。
0<f32o/f32<0.45 (6)
ただし、
f32oは、物体側レンズの焦点距離、
f32は、第2レンズ成分の焦点距離、
である。
本実施形態の対物レンズでは、第3レンズ群は、第1レンズ成分と第2レンズ成分を有し、第1レンズ成分と第2レンズ成分を、各々の凹面が向かい合うように配置されている。そして、第2レンズ成分は、物体側レンズと第3接合レンズを含む。
前述のように、第1レンズ群の第1接合レンズの接合面は、負の屈折力を持っている。この負の屈折力によって、ペッツバール和を補正する(ペッツバール和を小さくする)ことが好ましい。しかしながら、本実施形態の対物レンズは、レンズは開口数が大きいため、第1レンズ群だけでペッツバール和を補正することが難しい。
そこで、第3レンズ群で、ペッツバール和を補正することが必要になる。この補正のために、第2レンズ群で光線高を高くし、第3レンズ群で光線高を低くしておく。そして、第3レンズ群中に、向かい合わせの凹面を設ける。このようにして、ペッツバール和を補正することが好ましい。
ここで、凹面を向かい合わせる光学系としては、ガウスタイプの光学系がある。ガウスタイプの光学系では、メニスカス形状の接合レンズ2つを、その凹面が互いに向合せとなるように配置している。このような構成にすることで、球面収差や像面湾曲を良好の補正することができる。また、凹面で光線高が低いことを利用して、ペッツバール和の補正を行なっている。ただし、ガウスタイプの光学系では、凹面の屈折力が大きくなるので高次収差が発生しやすい。
そこで、本実施形態の対物レンズでは、物体側に凹面を向けたレンズ成分、すなわち、第2レンズ成分を、物体側レンズと第3接合レンズを含むように構成している。ここで、物体側レンズは、第1レンズ成分と対向する位置に配置され、その物体側面が物体側に凹面に向いている。
このように、第2レンズ成分が第3接合レンズを含むことで、第3レンズ群のレンズ構成を、更に、ガウスタイプに近づけることができる。しかも、物体側レンズの凹面の屈折力を適度に抑えることができる。その結果、高次収差の発生を抑えることができる。
そして、本実施形態の対物レンズは、条件式(6)を満足する。
条件式(6)は、ペッツバール和を小さく抑えるための条件式である。物体側レンズの焦点距離を適切に抑えることで、高次収差の発生を抑えつつ、ペッツバール和の補正が可能になる。
条件式(6)の上限値を上回ると、物体側レンズ群の焦点距離が大きくなりすぎる。この場合、第3レンズ群における光線高を十分に下げることができない。そのため、ペッツバール和の補正と湾曲収差の補正が難しくなる。
条件式(6)の下限値を下回ると、物体側レンズの焦点距離が小さくなりすぎる。この場合、物体側レンズの凹面での屈折力が大きくなりすぎるので、高次収差の発生を抑えることが難しくなる。
また、本実施形態の対物レンズでは、第1レンズ群、第2レンズ群、及び第3レンズ群のうち、いずれかのレンズ群が、光軸に沿って移動する構成とすることが好ましい。
カバーガラスと浸液の屈折率は完全に同一ではない。そのため、カバーガラスの厚みにバラツキが生じたり、顕微鏡対物レンズを使用する環境で温度変化が生じたりすると、浸液やレンズに使われる硝材の屈折率変化により収差が変動する。この収差変動は、開口数が大きいほど顕著になる。
そこで、第1〜第3レンズ群のうちのいずれかを光軸に沿って移動させることにより、カバーガラスの厚みにバラツキがあったり、顕微鏡対物レンズを使用する環境で温度変化が生じたりしても、良好な結像性能を維持できる開口数が大きい液浸顕微鏡対物レンズ、及びそれを用いた顕微鏡を提供できる。
また、本実施形態の顕微鏡は、光源と、照明光学系と、本体部と、観察光学系と、顕微鏡対物レンズを備える顕微鏡であって、顕微鏡対物レンズに上記のいずれかの液浸顕微鏡対物レンズが用いられることを特徴とする。
以下に、本発明に係る液浸顕微鏡対物レンズの実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。
以下、本発明の液浸顕微鏡対物レンズの実施例1〜4について説明する。実施例1〜4にかかる液浸顕微鏡対物レンズの光学構成を示す光軸に沿う断面を、それぞれ図1〜4に示す。これらの断面図中、L1〜L16は各レンズを示している。また、図14は結像レンズの断面図である。
なお、実施例1〜4の液浸顕微鏡対物レンズは、無限遠補正の顕微鏡対物レンズである。無限遠補正の顕微鏡対物レンズでは、顕微鏡対物レンズから出射する光束が平行になるので、それ自体では結像しない。そのため、この平行光束は、例えば、図14に示すような結像レンズで集光される。そして、平行光束が集光された位置に試料面の像が形成される。
次に、実施例1にかかる対物レンズについて説明する。実施例1の対物レンズは、図1に示すように、物体側より順に、第1レンズ群と、第1レンズ群よりも像側に位置する像側レンズ群と、からなる。
第1レンズ群は、物体側から順に、平凸正レンズL1と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL2と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL3と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL4と、からなる。ここで、平凸正レンズL1と正メニスカスレンズL2とが接合されている。この接合レンズは第1接合レンズである。
像側レンズ群は、物体側から順に、両凸正レンズL5と、両凹負レンズL6と、両凸正レンズL7と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL8と、両凸正レンズL9と、両凸正レンズL10と、両凹負レンズL11と、両凸正レンズL12と、両凹負レンズL13と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズL14と、平凹負レンズL15と、両凸正レンズL16と、からなる。
ここで、両凸正レンズL5、両凹負レンズL6及び両凸正レンズL7が接合されている。また、負メニスカスレンズL8と両凸正レンズL9とが接合されている。また、両凸正レンズL10と両凹負レンズL11とが接合されている。また、両凸正レンズL12と両凹負レンズL13とが接合されている。また、平凹負レンズL15と両凸正レンズL16とが接合されている。
また、像側レンズ群は、第2レンズ群と第3レンズ群で構成されている。ここで、第2レンズ群は、第2接合レンズを含み、発散光束を収斂光束に変える作用を持つ。本実施例の対物レンズでは、両凸正レンズL5から両凸正レンズL7までの接合レンズで、発散光束が収斂光束に変わっている。よって、この接合レンズを第2レンズ群とみなすことができる。また、この接合レンズは第2接合レンズである。
なお、発散光束を収斂光束に変えることは、両凸正レンズL5から両凸正レンズL9までの2つの接合レンズでも行なわれる。よって、この2つの接合レンズを第2レンズ群とみなすこともできる。更に、両凸正レンズL5から両凸正レンズL11までの3つの接合レンズで、発散光束が収斂光束に変わっているので、この3つの接合レンズを第2レンズ群とみなすこともできる。
一方、第3レンズ群は、第1レンズ成分と第2レンズ成分と、を含んでいる。そして、第1レンズ成分は、最も像側の面が像側に向けた凹面であり、第2レンズ成分は、最も物体側の面が物体側に向けた凹面であり、第1レンズ成分と第2レンズ成分は、各々の凹面が向かい合うように配置されている。
すると、両凸正レンズL12と両凹負レンズL13の接合レンズでは、両凹負レンズL13の像側の面が像側に向けた凹面であるので、この接合レンズを第1レンズ成分とみなすことができる。また、負メニスカスレンズL14では、物体側の面が物体側に向けた凹面であるので、負メニスカスレンズL14を第2レンズ成分とみなすことができる。
なお、第2レンズ群の構成とも関係するが、第1レンズ成分は、更に、負メニスカスレンズL8と両凸正レンズL9の接合レンズと、両凸正レンズL10と両凹負レンズL11の接合レンズの少なくとも一方を含んでいるとみなすことができる。
また、第2レンズ成分は、更に、第3接合レンズとして、平凹負レンズL15と両凸正レンズL16の接合レンズを含んでいる。この場合、負メニスカスレンズL14は第3接合レンズよりも物体側に位置しているので、負メニスカスレンズL14は物体側レンズになる。
また、第1レンズ群G1、第2レンズ群G2、及び第3レンズ群G3は、いずれもその位置は固定である。
次に、実施例2にかかる対物レンズについて説明する。実施例2の対物レンズは、図2に示すように、物体側より順に、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2と、第3レンズ群G3と、からなる。
第1レンズ群G1は、物体側から順に、平凸正レンズL1と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL2と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL3と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL4と、からなる。ここで、平凸正レンズL1と正メニスカスレンズL2とが接合されている。この接合レンズは第1接合レンズである。
第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凸正レンズL5と、両凹負レンズL6と、両凸正レンズL7と、からなる。ここで、両凸正レンズL5、両凹負レンズL6及び両凸正レンズL7が接合されている。この接合レンズは第2接合レンズである。
第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL8と、両凸正レンズL9と、両凸正レンズL10と、両凹負レンズL11と、両凸正レンズL12と、両凹負レンズL13と、両凹負レンズL14と、平凹負レンズL15と、両凸正レンズL16と、からなる。
ここで、負メニスカスレンズL8と両凸正レンズL9とが接合されている。また、両凸正レンズL10と両凹負レンズL11とが接合されている。また、両凸正レンズL12と両凹負レンズL13とが接合されている。また、平凹負レンズL15と両凸正レンズL16とが接合されている。平凹負レンズL15と両凸正レンズL16の接合レンズは第3接合レンズである。
また、第1レンズ群G1と第3レンズ群G3に対して、相対的に第2レンズ群G2が移動する。このとき、第1レンズ群G1と第3レンズ群G3の位置は固定である。
次に、実施例3にかかる対物レンズについて説明する。実施例3の対物レンズは、図3に示すように、物体側より順に、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2と、第3レンズ群G3と、からなる。
第1レンズ群G1は、物体側から順に、平凸正レンズL1と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL2と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL3と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL4と、からなる。ここで、平凸レンズL1と正メニスカスレンズL2とが接合されている。この接合レンズは第1接合レンズである。
第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凸正レンズL5と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズL6と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL7と、からなる。ここで、両凸正レンズL5、負メニスカスレンズL6及び正メニスカスレンズL7が接合されている。この接合レンズは第2接合レンズである。
第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL8と、両凸正レンズL9と、両凸正レンズL10と、両凹負レンズL11と、両凸正レンズL12と、両凹負レンズL13と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズL14と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズL15と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL16と、からなる。
ここで、負メニスカスレンズL8と両凸正レンズL9とが接合されている。また、両凸正レンズL10と両凹負レンズL11とが接合されている。また、両凸正レンズL12と両凹負レンズL13とが接合されている。また、負メニスカスレンズ15と正メニスカスレンズL16とが接合されている。負メニスカスレンズL15と正メニスカスレンズL16の接合レンズは第3接合レンズである。
また、第1レンズ群G1と第3レンズ群G3に対して、相対的に第2レンズ群G2が移動する。このとき、第1レンズ群G1と第3レンズ群G3の位置は固定である。
次に、実施例4にかかる対物レンズについて説明する。実施例4の対物レンズは、図4に示すように、物体側より順に、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2と、第3レンズ群G3と、からなる。
第1レンズ群G1は、物体側から順に、平凸正レンズL1と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL2と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL3と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL4と、からなる。ここで、平凸正レンズL1と正メニスカスレンズL2とが接合されている。この接合レンズは第1接合レンズである。
第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凸正レンズL5と、両凹負レンズL6と、両凸正レンズL7と、からなる。ここで、両凸正レンズL5、両凹負レンズL6及び両凸正レンズL7が接合されている。この接合レンズは第2接合レンズである。
第3レンズ群G3は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL8と、両凸正レンズL9と、両凸正レンズL10と、両凹負レンズL11と、両凸正レンズL12と、両凹負レンズL13と、両凹負レンズL14と、平凹負レンズL15と、両凸正レンズL16と、からなる。
ここで、負メニスカスレンズL8と両凸正レンズL9とが接合されている。また、両凸正レンズL10と両凹負レンズL11とが接合されている。また、両凸正レンズL12と両凹負レンズL13とが接合されている。また、平凹負レンズL15と両凸正レンズL16とが接合されている。平凹負レンズL15と両凸正レンズL16の接合レンズは第3接合レンズである。
また、第1レンズ群G1と第3レンズ群G3に対して、相対的に第2レンズ群G2が移動する。このとき、第1レンズ群G1と第3レンズ群G3の位置は固定である。
次に、上記各実施例の液浸顕微鏡対物レンズを構成する光学部材の数値データを掲げる。なお、各実施例の数値データにおいて、r1、r2、…は各レンズ面の曲率半径、d1、d2、…は各レンズの肉厚または空気間隔、nd1、nd2、…は各レンズのd線での屈折率、νd1、νd2、…は各レンズのアッべ数、NAは開口数、fは液浸顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離、βは倍率を示している。なお、倍率βは、後述の結像レンズ(焦点距離180mm)と組み合わせたときの倍率である。
また、各種データにおいて、温度は、液浸顕微鏡対物レンズを使用する環境における温度、WDは物体面から第1レンズ群G1のレンズL1までの距離、CGは、カバーガラスの厚みである。
数値実施例1
単位mm
NA=1.7、f=1.8mm、β=−100
面番号 r d nd νd
1 ∞ 0.6000 1.78800 47.37
2 -2.8121 2.0000 1.88300 40.76
3 -2.2317 0.2000
4 -8.6188 3.0312 1.88300 40.76
5 -5.6005 0.2000
6 -10.3189 2.2512 1.59522 67.74
7 -7.7701 0.5000
8 14.3914 6.5264 1.43875 94.93
9 -7.9128 1.3000 1.67300 38.15
10 54.0360 4.1590 1.43875 94.93
11 -10.6085 0.5500
12 23.2454 1.3000 1.63775 42.41
13 6.6996 5.9638 1.43875 94.93
14 -18.8677 0.2000
15 9.3805 3.9213 1.49700 81.54
16 -12.3493 0.9500 1.61340 44.27
17 7.6122 0.2000
18 4.5733 4.0853 1.49700 81.54
19 -7.2942 1.3500 1.63775 42.41
20 2.3466 2.3673
21 -3.2450 0.8000 1.61340 44.27
22 -29.3240 2.2017
23 ∞ 1.0100 1.61340 44.27
24 12.1585 3.4688 1.73800 32.26
25 -9.4691
各種データ
温度 23度
d nd νd
CG 0.15 1.78800 47.37
WD 0.125 1.78036 19.07
単位mm
NA=1.7、f=1.8mm、β=−100
面番号 r d nd νd
1 ∞ 0.6000 1.78800 47.37
2 -2.8121 2.0000 1.88300 40.76
3 -2.2317 0.2000
4 -8.6188 3.0312 1.88300 40.76
5 -5.6005 0.2000
6 -10.3189 2.2512 1.59522 67.74
7 -7.7701 0.5000
8 14.3914 6.5264 1.43875 94.93
9 -7.9128 1.3000 1.67300 38.15
10 54.0360 4.1590 1.43875 94.93
11 -10.6085 0.5500
12 23.2454 1.3000 1.63775 42.41
13 6.6996 5.9638 1.43875 94.93
14 -18.8677 0.2000
15 9.3805 3.9213 1.49700 81.54
16 -12.3493 0.9500 1.61340 44.27
17 7.6122 0.2000
18 4.5733 4.0853 1.49700 81.54
19 -7.2942 1.3500 1.63775 42.41
20 2.3466 2.3673
21 -3.2450 0.8000 1.61340 44.27
22 -29.3240 2.2017
23 ∞ 1.0100 1.61340 44.27
24 12.1585 3.4688 1.73800 32.26
25 -9.4691
各種データ
温度 23度
d nd νd
CG 0.15 1.78800 47.37
WD 0.125 1.78036 19.07
数値実施例2
単位mm
NA=1.7、f=1.8mm、β=−100
面データ
面番号 r d nd νd
1 ∞ 0.6000 1.78800 47.37
2 -3.0000 2.0000 1.88300 40.76
3 -2.2113 0.2000
4 -9.2878 2.9694 1.88300 40.76
5 -5.6822 0.2000
6 -11.7360 2.3950 1.49700 81.54
7 -7.7957 (可変)
8 15.1688 6.5850 1.43875 94.93
9 -7.7274 1.3000 1.67300 38.15
10 84.3318 4.2321 1.43875 94.93
11 -10.6638 (可変)
12 24.0333 1.3000 1.63775 42.41
13 7.0218 5.8915 1.43875 94.93
14 -15.9911 0.2000
15 12.1854 4.0230 1.49700 81.54
16 -8.8933 0.9500 1.61340 44.27
17 10.3207 0.2000
18 4.7830 4.1228 1.49700 81.54
19 -6.4368 1.3500 1.63775 42.41
20 2.5014 2.4057
21 -3.4454 0.8000 1.61340 44.27
22 154.6515 2.2255
23 ∞ 1.0100 1.61340 44.27
24 12.2963 3.1260 1.73800 32.26
25 -8.9978
各種データ
温度 23度 37度
CG 0.15 0.15
WD 0.125 0.12539
d7 0.5 0.59456
d11 0.55 0.45544
温度 23度
d nd νd
CG 0.15 1.78800 47.37
WD 0.125 1.78036 19.07
温度 37度
d nd νd
CG 0.15 1.78807 47.81
WD 0.12539 1.77308 18.80
単位mm
NA=1.7、f=1.8mm、β=−100
面データ
面番号 r d nd νd
1 ∞ 0.6000 1.78800 47.37
2 -3.0000 2.0000 1.88300 40.76
3 -2.2113 0.2000
4 -9.2878 2.9694 1.88300 40.76
5 -5.6822 0.2000
6 -11.7360 2.3950 1.49700 81.54
7 -7.7957 (可変)
8 15.1688 6.5850 1.43875 94.93
9 -7.7274 1.3000 1.67300 38.15
10 84.3318 4.2321 1.43875 94.93
11 -10.6638 (可変)
12 24.0333 1.3000 1.63775 42.41
13 7.0218 5.8915 1.43875 94.93
14 -15.9911 0.2000
15 12.1854 4.0230 1.49700 81.54
16 -8.8933 0.9500 1.61340 44.27
17 10.3207 0.2000
18 4.7830 4.1228 1.49700 81.54
19 -6.4368 1.3500 1.63775 42.41
20 2.5014 2.4057
21 -3.4454 0.8000 1.61340 44.27
22 154.6515 2.2255
23 ∞ 1.0100 1.61340 44.27
24 12.2963 3.1260 1.73800 32.26
25 -8.9978
各種データ
温度 23度 37度
CG 0.15 0.15
WD 0.125 0.12539
d7 0.5 0.59456
d11 0.55 0.45544
温度 23度
d nd νd
CG 0.15 1.78800 47.37
WD 0.125 1.78036 19.07
温度 37度
d nd νd
CG 0.15 1.78807 47.81
WD 0.12539 1.77308 18.80
数値実施例3
単位mm
NA=1.6、f=1.8mm、β=−100
面番号 r d nd νd
1 ∞ 0.6000 1.67790 55.34
2 -2.8292 2.0000 1.88300 40.76
3 -2.0912 0.2000
4 -14.5958 2.9155 1.88300 40.76
5 -8.5871 0.2000
6 -16.7090 2.4957 1.49700 81.54
7 -8.5278 (可変)
8 15.3226 6.2647 1.43875 94.93
9 -8.0364 1.3000 1.67300 38.15
10 -53.4747 3.6162 1.43875 94.93
11 -10.6906 (可変)
12 26.8416 1.3000 1.63775 42.41
13 6.6335 7.1593 1.43875 94.93
14 -12.3861 0.2000
15 11.1783 4.4656 1.49700 81.54
16 -8.1266 0.9500 1.61340 44.27
17 12.6626 0.2000
18 4.5664 3.5180 1.49700 81.54
19 -8.8780 1.3500 1.63775 42.41
20 2.3388 1.5992
21 -2.4056 0.8000 1.61340 44.27
22 -12.5361 3.4215
23 -9.5208 1.0100 1.61340 44.27
24 -1266.5632 2.5201 1.73800 32.26
25 -6.5738
各種データ
温度 23度 37度
CG 0.15 0.15
WD 0.125 0.12729
d7 0.5 0.50124
d11 0.55 0.54876
温度 23度
d nd νd
CG 0.15 1.67790 55.34
WD 0.125 1.67790 55.34
温度 37度
d nd νd
CG 0.15 1.67791 55.29
WD 0.12729 1.67791 55.29
単位mm
NA=1.6、f=1.8mm、β=−100
面番号 r d nd νd
1 ∞ 0.6000 1.67790 55.34
2 -2.8292 2.0000 1.88300 40.76
3 -2.0912 0.2000
4 -14.5958 2.9155 1.88300 40.76
5 -8.5871 0.2000
6 -16.7090 2.4957 1.49700 81.54
7 -8.5278 (可変)
8 15.3226 6.2647 1.43875 94.93
9 -8.0364 1.3000 1.67300 38.15
10 -53.4747 3.6162 1.43875 94.93
11 -10.6906 (可変)
12 26.8416 1.3000 1.63775 42.41
13 6.6335 7.1593 1.43875 94.93
14 -12.3861 0.2000
15 11.1783 4.4656 1.49700 81.54
16 -8.1266 0.9500 1.61340 44.27
17 12.6626 0.2000
18 4.5664 3.5180 1.49700 81.54
19 -8.8780 1.3500 1.63775 42.41
20 2.3388 1.5992
21 -2.4056 0.8000 1.61340 44.27
22 -12.5361 3.4215
23 -9.5208 1.0100 1.61340 44.27
24 -1266.5632 2.5201 1.73800 32.26
25 -6.5738
各種データ
温度 23度 37度
CG 0.15 0.15
WD 0.125 0.12729
d7 0.5 0.50124
d11 0.55 0.54876
温度 23度
d nd νd
CG 0.15 1.67790 55.34
WD 0.125 1.67790 55.34
温度 37度
d nd νd
CG 0.15 1.67791 55.29
WD 0.12729 1.67791 55.29
数値実施例4
単位mm
NA=1.7、f=1.8mm、β=−100
面番号 r d nd νd
1 ∞ 0.6000 1.78800 47.37
2 -3.0000 2.0000 1.88300 40.76
3 -2.1812 0.2000
4 -10.6766 3.2618 1.88300 40.76
5 -5.9699 0.2000
6 -10.3020 1.9156 1.49700 81.54
7 -7.8942 (可変)
8 13.2426 6.0659 1.43875 94.93
9 -8.5227 1.3000 1.67300 38.15
10 26.3880 4.2813 1.43875 94.93
11 -12.0637 (可変)
12 24.5564 1.3000 1.63775 42.41
13 7.4161 6.1606 1.43875 94.93
14 -13.9866 0.2000
15 10.7829 3.9833 1.49700 81.54
16 -10.1618 0.9500 1.61340 44.27
17 9.5751 0.2000
18 5.3076 3.6938 1.49700 81.54
19 -7.5373 1.3500 1.63775 42.41
20 4.0260 2.8269
21 -2.9913 0.8000 1.61340 44.27
22 12.1981 1.9575
23 ∞ 1.0100 1.61340 44.27
24 10.6675 3.8272 1.73800 32.26
25 -8.6567
各種データ
温度 23度 23度 23度 37度
CG 0.13 0.15 0.17 0.15
WD 0.1449 0.1250 0.1053 0.1246
d7 0.5064 0.5000 0.4792 0.6217
d11 0.5436 0.5500 0.5708 0.4283
温度 23度
d nd νd
CG 0.15 1.78800 47.37
WD 0.1250 1.78036 19.07
温度 37度
d nd νd
CG 0.15 1.78807 47.81
WD 0.1246 1.77308 18.80
単位mm
NA=1.7、f=1.8mm、β=−100
面番号 r d nd νd
1 ∞ 0.6000 1.78800 47.37
2 -3.0000 2.0000 1.88300 40.76
3 -2.1812 0.2000
4 -10.6766 3.2618 1.88300 40.76
5 -5.9699 0.2000
6 -10.3020 1.9156 1.49700 81.54
7 -7.8942 (可変)
8 13.2426 6.0659 1.43875 94.93
9 -8.5227 1.3000 1.67300 38.15
10 26.3880 4.2813 1.43875 94.93
11 -12.0637 (可変)
12 24.5564 1.3000 1.63775 42.41
13 7.4161 6.1606 1.43875 94.93
14 -13.9866 0.2000
15 10.7829 3.9833 1.49700 81.54
16 -10.1618 0.9500 1.61340 44.27
17 9.5751 0.2000
18 5.3076 3.6938 1.49700 81.54
19 -7.5373 1.3500 1.63775 42.41
20 4.0260 2.8269
21 -2.9913 0.8000 1.61340 44.27
22 12.1981 1.9575
23 ∞ 1.0100 1.61340 44.27
24 10.6675 3.8272 1.73800 32.26
25 -8.6567
各種データ
温度 23度 23度 23度 37度
CG 0.13 0.15 0.17 0.15
WD 0.1449 0.1250 0.1053 0.1246
d7 0.5064 0.5000 0.4792 0.6217
d11 0.5436 0.5500 0.5708 0.4283
温度 23度
d nd νd
CG 0.15 1.78800 47.37
WD 0.1250 1.78036 19.07
温度 37度
d nd νd
CG 0.15 1.78807 47.81
WD 0.1246 1.77308 18.80
結像レンズ
単位mm
面番号 r d nd νd
1 68.7541 7.7321 1.48749 70.21
2 -37.5679 3.4742 1.80610 40.95
3 -102.8477 0.6973
4 84.3099 6.0238 1.83400 37.17
5 -50.7100 3.0298 1.64450 40.82
6 40.6619
焦点距離 180
単位mm
面番号 r d nd νd
1 68.7541 7.7321 1.48749 70.21
2 -37.5679 3.4742 1.80610 40.95
3 -102.8477 0.6973
4 84.3099 6.0238 1.83400 37.17
5 -50.7100 3.0298 1.64450 40.82
6 40.6619
焦点距離 180
図5〜13は、実施例1〜4にかかる液浸顕微鏡対物レンズの収差図であって、以下の条件における収差図である。
実施例 カバーガラス厚 使用温度
図5 実施例1 0.15mm 23℃
図6 実施例2 0.15mm 23℃
図7 実施例2 0.15mm 37℃
図8 実施例3 0.15mm 23℃
図9 実施例3 0.15mm 37℃
図10 実施例4 0.13mm 23℃
図11 実施例4 0.15mm 23℃
図12 実施例4 0.17mm 23℃
図13 実施例4 0.15mm 37℃
実施例 カバーガラス厚 使用温度
図5 実施例1 0.15mm 23℃
図6 実施例2 0.15mm 23℃
図7 実施例2 0.15mm 37℃
図8 実施例3 0.15mm 23℃
図9 実施例3 0.15mm 37℃
図10 実施例4 0.13mm 23℃
図11 実施例4 0.15mm 23℃
図12 実施例4 0.17mm 23℃
図13 実施例4 0.15mm 37℃
また、これらの収差図において、”IM.H”は像高である。また、(a)、(b)、(c)、(d)は、それぞれ、球面収差(SA)、正弦条件違反量(OSC)、非点収差(AS)、コマ収差(DZY)を示している。なお、コマ収差(DZY)における縦軸は像高比である。
次に、各実施例における条件式(1)〜(6)の値を掲げる。
条件式 実施例1 実施例2 実施例3 実施例4
(1) (n0/n1o)/NAob 0.5857 0.5857 0.6250 0.5857
(2) r1c/r1i 1.260 1.357 1.353 1.375
(3) (d1o×n1o)/(d1i×n1i) 0.285 0.285 0.267 0.285
(4) f1/d1 0.365 0.350 0.339 0.352
(5) n1H-n1L 0.288 0.386 0.386 0.386
(6) f32o/f32 0.0296 0.053 0.198 0.167
条件式 実施例1 実施例2 実施例3 実施例4
(1) (n0/n1o)/NAob 0.5857 0.5857 0.6250 0.5857
(2) r1c/r1i 1.260 1.357 1.353 1.375
(3) (d1o×n1o)/(d1i×n1i) 0.285 0.285 0.267 0.285
(4) f1/d1 0.365 0.350 0.339 0.352
(5) n1H-n1L 0.288 0.386 0.386 0.386
(6) f32o/f32 0.0296 0.053 0.198 0.167
また、条件式(1)〜(6)の要素値を掲げる。
要素 実施例1 実施例2 実施例3 実施例4
NAob 1.700 1.700 1.600 1.700
n0 1.780 1.780 1.678 1.780
n1o 1.788 1.788 1.6779 1.788
r1c -2.8121 -3.000 -2.8292 -3.000
r1i -2.2317 -2.2113 -2.0912 -2.1812
d1o 0.600 0.600 0.600 0.600
d1i 2.000 2.000 2.000 2.000
n1i 1.883 1.883 1.883 1.883
f1 3.021 2.931 2.853 2.882
d1 8.2824 8.3644 8.4112 8.1774
n1H 1.883 1.883 1.883 1.883
n1L 1.59522 1.497 1.497 1.497
f32o -6.019 -5.484 -5.003 -3.839
f32 -203.44 -103.64 -25.208 -23.020
要素 実施例1 実施例2 実施例3 実施例4
NAob 1.700 1.700 1.600 1.700
n0 1.780 1.780 1.678 1.780
n1o 1.788 1.788 1.6779 1.788
r1c -2.8121 -3.000 -2.8292 -3.000
r1i -2.2317 -2.2113 -2.0912 -2.1812
d1o 0.600 0.600 0.600 0.600
d1i 2.000 2.000 2.000 2.000
n1i 1.883 1.883 1.883 1.883
f1 3.021 2.931 2.853 2.882
d1 8.2824 8.3644 8.4112 8.1774
n1H 1.883 1.883 1.883 1.883
n1L 1.59522 1.497 1.497 1.497
f32o -6.019 -5.484 -5.003 -3.839
f32 -203.44 -103.64 -25.208 -23.020
図15は、本実施形態の顕微鏡を示す図である。図15には、顕微鏡の一例として、レーザ走査型鏡焦点顕微鏡の外観構成例が示されている。図15に示すように、顕微鏡10は、本体1、対物レンズ2、レボルバ3、対物レンズ上下機構4、ステージ5、落射照明装置6、観察鏡筒7、共焦点スキャナー8を有する。また、顕微鏡10には画像処理装置20が接続され、この画像処理装置20に画像表示装置21が接続されている。本実施形態の顕微鏡では、この対物レンズ2に、本実施形態の液浸顕微鏡対物レンズが用いられている。
ステージ5は本体1に設けられている。このステージ5の上に、試料9が載置される。また、本体の1上方に、落射照明装置6が設けられている。この落射照明装置6によって、照明光が試料9に照射される。試料9からの光は、対物レンズ2を通過して観察鏡筒7に到達する。ユーザは、観察鏡筒7を介して、試料9を観察することができる。
また、本体1の後方(紙面右側)には、レーザ光源(不図示)と共焦点スキャナー8が設けられている。レーザ光源と共焦点スキャナー8は、ファイバ(不図示)で接続されている。共焦点スキャナー8は、ガルバノスキャナー、ピンホール、及び光検出素子などが内部に配置されている。レーザ光源からの光は、共焦点スキャナー8を通過後、対物レンズ2に入射する。対物レンズ2は、ステージ5の下方に位置している。よって、下方からも試料9の照明が行なわれる。
試料9からの光(反射光や蛍光)は、対物レンズ2を通過後、共焦点スキャナー8のピンホールを介して、光検出素子で検出される。これにより、共焦点観察ができる。共焦点観察では、試料9の断面像を得ることができる。
レボルバ3には、対物レンズ上下機構4が接続されている。対物レンズ上下機構4は、対物レンズ2(レボルバ3)を、光軸方向に移動させることができる。試料9の光軸方向の断面像を複数得る場合は、対物レンズ上下機構4によって対物レンズ2を移動させればよい。
共焦点スキャナー8で得られた信号は、画像処理装置20に送信される。画像処理装置20で信号処理が行なわれ、試料9の画像が画像表示装置21で表示される。
上記の例では、本実施形態の液浸顕微鏡対物レンズを、共焦点観察に用いている。しかしながら、本実施形態の液浸顕微鏡対物レンズを、例えば、全反射蛍光観察に用いることもできる。その場合は、レーザ光源からの光束径を、液浸顕微鏡対物レンズの有効口径よりも小さくしておく。そして、その光束を、液浸顕微鏡対物レンズの光軸を含まないように、液浸顕微鏡対物レンズに入射させるようにする。また、試料9からの蛍光を、ピンホールを介さずに、光検出素子で検出すればよい。
なお、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変形例をとることができる。
以上のように、本発明は、開口数が大きく、球面収差や色収差が十分に補正された液浸顕微鏡対物レンズ、あるいは、カバーガラスの厚みにバラツキがあったり、顕微鏡対物レンズを使用する環境で温度変化が生じたりしても、良好な結像性能を維持できる開口数が大きい液浸顕微鏡対物レンズ、及びそれを用いた顕微鏡に適している。
G1 第1レンズ群
G2 第2レンズ群
G3 第3レンズ群
1 本体
2 対物レンズ
3 レボルバ
4 対物レンズ上下機構
5 ステージ
6 落射照明装置
7 観察鏡筒
8 共焦点スキャナー
9 試料
10 顕微鏡
20 画像処理装置
21 画像表示装置
G2 第2レンズ群
G3 第3レンズ群
1 本体
2 対物レンズ
3 レボルバ
4 対物レンズ上下機構
5 ステージ
6 落射照明装置
7 観察鏡筒
8 共焦点スキャナー
9 試料
10 顕微鏡
20 画像処理装置
21 画像表示装置
Claims (8)
- 物体側から順に、第1レンズ群と、第2レンズ群と、第3レンズ群と、を備え、
前記第1レンズ群は、第1接合レンズと、少なくとも1つの正の単レンズと、からなり、
前記第2レンズ群は、第2接合レンズを含み、発散光束を収斂光束に変え、
前記第3レンズ群は、物体側から順に、第1レンズ成分と、第2レンズ成分と、を含み、
前記第1接合レンズは、正レンズとメニスカスレンズが接合され、
前記第1レンズ成分は、最も像側の面が像側に向けた凹面であり、
前記第2レンズ成分は、最も物体側の面が物体側に向けた凹面であり、
前記第1レンズ成分と前記第2レンズ成分は、各々の前記凹面が向かい合うように配置され、
以下の条件式(1)を満足することを特徴とする液浸顕微鏡対物レンズ。
0.5<(n0/n1o)/NAob<0.65 (1)
ここで、
NAobは、前記顕微鏡対物レンズの物体側開口数、
n0は、前記正レンズよりも物体側の媒質のd線における屈折率、
n1oは、前記正レンズのd線における屈折率、
である。 - 前記第1レンズ群は前記正の単レンズを複数有し、
以下の条件式(2)を満足することを特徴とする請求項1に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
1<r1c/r1i<2 (2)
ここで、
r1cは、前記第1接合レンズの接合面の曲率半径、
r1iは、前記第1接合レンズの像側面の曲率半径、
である。 - 以下の条件式(3)を満足することを特徴とする請求項1または2に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
0.2<(d1o×n1o)/(d1i×n1i)<1 (3)
ただし、
d1oは、前記正レンズの光軸上での厚み、
n1oは、前記正レンズのd線における屈折率、
d1iは、前記メニスカスレンズの光軸上での厚み、
n1iは、前記メニスカスレンズのd線における屈折力、
である。 - 以下の条件式(4)を満足することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
0.2<f1/d1<0.45 (4)
ただし、
f1は、前記第1レンズ群の焦点距離、
d1は、前記第1レンズ群の全長、
である。 - 以下の条件式(5)を満足することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
0.2<n1H−n1L<0.6 (5)
ただし、
n1Hは、前記正の単レンズのd線における屈折率のうち、最も大きい屈折率、
n1Lは、前記正の単レンズのd線における屈折率のうち、最も小さい屈折率、
である。 - 前記第2レンズ成分は、物体側レンズと第3接合レンズを含み、
軸上マージナル光線の高さは、前記第2レンズ成分の前記第3接合レンズで最も高く、前記第2レンズ成分の最も物体側の面で最も低く、
以下の条件式(6)を満足することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
0<f32o/f32<0.45 (6)
ただし、
f32oは、前記物体側レンズの焦点距離、
f32は、前記第2レンズ成分の焦点距離、
である。 - 前記第1レンズ群、前記第2レンズ群、及び前記第3レンズ群のうち、いずれかのレンズ群が、光軸に沿って移動することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
- 光源と、照明光学系と、本体部と、観察光学系と、顕微鏡対物レンズを備える顕微鏡であって、
前記顕微鏡対物レンズに請求項1から7のいずれか1項に記載の液浸顕微鏡対物レンズが用いられることを特徴とする顕微鏡。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015102758A (ja) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | オリンパス株式会社 | 液浸顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた顕微鏡 |
US9709790B2 (en) | 2013-10-17 | 2017-07-18 | Olympus Corporation | Immersion microscope objective and microscope using the same |
JP2017530394A (ja) * | 2014-09-29 | 2017-10-12 | エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. | 高開口数対物レンズシステム |
JP2020095097A (ja) * | 2018-12-11 | 2020-06-18 | 横浜リーディングデザイン合資会社 | 液浸系顕微鏡対物レンズ、結像レンズ及び顕微鏡装置 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012026379A1 (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-01 | 株式会社ニコン | 顕微鏡光学系及び顕微鏡システム |
JP2018066912A (ja) * | 2016-10-20 | 2018-04-26 | オリンパス株式会社 | 対物レンズ |
JP6906923B2 (ja) * | 2016-10-20 | 2021-07-21 | オリンパス株式会社 | 液浸系対物レンズ |
JP7099454B2 (ja) * | 2017-05-11 | 2022-07-12 | 株式会社ニコン | 対物レンズ、光学系および顕微鏡 |
CN113866994B (zh) * | 2020-06-30 | 2023-04-18 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种准直镜及像传感器 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002098903A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Nikon Corp | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
JP2002148519A (ja) * | 2000-11-14 | 2002-05-22 | Nikon Corp | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
JP2003233012A (ja) * | 2003-03-07 | 2003-08-22 | Olympus Optical Co Ltd | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
JP2006259548A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Olympus Corp | 顕微鏡対物レンズ |
US20070091454A1 (en) * | 2005-10-21 | 2007-04-26 | Carl Zeiss Microlmaging Gmbh | High-aperture optical imaging system, particularly for microscopes |
JP2010271693A (ja) * | 2009-04-21 | 2010-12-02 | Olympus Corp | 液浸顕微鏡対物レンズ、及び、それを備えた顕微鏡 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5436746A (en) * | 1977-08-26 | 1979-03-17 | Olympus Optical Co Ltd | Objective lens of microscope |
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JP4082015B2 (ja) * | 2001-10-17 | 2008-04-30 | 株式会社ニコン | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
JP2006113486A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Nikon Corp | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
JP5112832B2 (ja) * | 2006-12-11 | 2013-01-09 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた蛍光観察装置 |
DE102008026774B4 (de) * | 2008-06-04 | 2018-09-20 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Steuerungseinrichtung für Stellglieder in Mikroskopobjektiven |
JP5926914B2 (ja) * | 2010-11-10 | 2016-05-25 | オリンパス株式会社 | 液浸顕微鏡対物レンズ |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002098903A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Nikon Corp | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
JP2002148519A (ja) * | 2000-11-14 | 2002-05-22 | Nikon Corp | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
JP2003233012A (ja) * | 2003-03-07 | 2003-08-22 | Olympus Optical Co Ltd | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
JP2006259548A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Olympus Corp | 顕微鏡対物レンズ |
US20070091454A1 (en) * | 2005-10-21 | 2007-04-26 | Carl Zeiss Microlmaging Gmbh | High-aperture optical imaging system, particularly for microscopes |
JP2010271693A (ja) * | 2009-04-21 | 2010-12-02 | Olympus Corp | 液浸顕微鏡対物レンズ、及び、それを備えた顕微鏡 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9709790B2 (en) | 2013-10-17 | 2017-07-18 | Olympus Corporation | Immersion microscope objective and microscope using the same |
JP2015102758A (ja) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | オリンパス株式会社 | 液浸顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた顕微鏡 |
JP2017530394A (ja) * | 2014-09-29 | 2017-10-12 | エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. | 高開口数対物レンズシステム |
JP2020095097A (ja) * | 2018-12-11 | 2020-06-18 | 横浜リーディングデザイン合資会社 | 液浸系顕微鏡対物レンズ、結像レンズ及び顕微鏡装置 |
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