JP2013234976A - 外観検査装置及び外観検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板90を撮像した撮像画像と、検査基準のマスター画像とを位置合わせしてから、両画像を比較検査する外観検査装置1は、両画像の位置合わせ用に、両画像の対応し合う位置に3点よりも多い複数の基準点を設定するための基準点設定手段11と、基準点を頂点とする複数の三角形の領域に両画像を分割する分割手段12と、両画像の対応し合う三角形の領域が一致するように、各々の三角形の領域ごとに撮像画像又はマスター画像の補正処理をして、両画像を位置合わせする位置合わせ手段13とを備えている。
【選択図】図1
Description
Claims (8)
- 検査対象物を撮像した撮像画像と、検査基準のマスター画像とを位置合わせしてから、両画像を比較検査する外観検査装置であって、
該両画像の位置合わせ用に、該両画像の対応し合う位置に3点よりも多い複数の基準点を設定するための基準点設定手段と、
該基準点を頂点とする複数の三角形の領域に、該両画像を分割する分割手段と、
該両画像の対応し合う該三角形の領域が一致するように、各々の該三角形の領域ごとに該撮像画像又は該マスター画像の補正処理をして、該両画像を位置合わせする位置合わせ手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。 - 前記位置合わせ手段が、前記補正処理を、アフィン変換で行うことを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。
- 前記基準点設定手段が、前記基準点を設定するためのサポート用として、任意の画像領域内の輪郭を抽出し該輪郭に対する中心点を選択する中心点選択手段、及び/又は、任意の画像領域内の輪郭を抽出し該輪郭の角部を選択する角部選択手段を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の外観検査装置。
- 前記マスター画像を、前記検査対象物の設計データから作成するためのマスター画像作成手段を備えることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の外観検査装置。
- 検査対象物を撮像した撮像画像と、検査基準のマスター画像とを位置合わせしてから、両画像を比較検査する外観検査方法であって、
該両画像の位置合わせ用に、該両画像の対応し合う位置に、3点よりも多い複数の基準点を設定するための基準点設定ステップと、
該基準点を頂点とする複数の三角形の領域に、該両画像を分割する分割ステップと、
該両画像の対応し合う該三角形の領域が一致するように、各々の該三角形の領域ごとに該撮像画像又は該マスター画像の補正処理をして、両画像を位置合わせする位置合わせステップとを備えることを特徴とする外観検査方法。 - 前記位置合わせステップが、前記補正処理を、アフィン変換で行うことを特徴とする請求項5に記載の外観検査方法。
- 前記基準点設定ステップが、前記基準点を設定するためのサポート用として、任意の画像領域内の輪郭を抽出し、該輪郭に対する中心点を選択する中心点選択ステップ、及び/又は、任意の画像領域内の輪郭を抽出し該輪郭の角部を選択する角部選択ステップを備えることを特徴とする請求項5又は6に記載の外観検査方法。
- 前記マスター画像を、前記検査対象物の設計データから作成するためのマスター画像作成ステップを備えることを特徴とする請求項5から7のいずれかに記載の外観検査方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016050875A (ja) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | 明和工業株式会社 | 表面状態判定プログラム及び表面状態判定装置 |
JP5931248B1 (ja) * | 2015-05-12 | 2016-06-08 | 株式会社Pfu | 検査システム及び検査方法 |
JP6233824B1 (ja) * | 2017-04-25 | 2017-11-22 | 合同会社ウイングビジョン | 画像検査装置、生産システム、画像検査方法、プログラム及び記憶媒体 |
US10474133B2 (en) | 2016-11-29 | 2019-11-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Inspection device for inspecting wafer and method of inspecting wafer using the same |
KR20200103248A (ko) * | 2019-02-22 | 2020-09-02 | (주) 보림테크 | 외부환경대응형 제품 비전검사장치 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10325711A (ja) * | 1997-05-23 | 1998-12-08 | Hitachi Ltd | 検査方法およびその装置並びに半導体基板の製造方法 |
JP2001338304A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-12-07 | Nano Geometry Kenkyusho:Kk | パターン検査装置、パターン検査方法および記録媒体 |
JP2004038884A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-02-05 | Adoin Kenkyusho:Kk | 代表点計測に基づく画像歪み補正方法、画像歪み補正装置及び画像歪み補正プログラム |
JP2005018584A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Nippon Avionics Co Ltd | パターン検査方法 |
JP2006269624A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 光学式外観検査装置のアライメント高速化法、これを用いたパターン検査装置 |
JP2012058197A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Shin Nippon Koki Co Ltd | 検査画像の生成方法、それを用いた画像検査方法、並びに外観検査装置 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10325711A (ja) * | 1997-05-23 | 1998-12-08 | Hitachi Ltd | 検査方法およびその装置並びに半導体基板の製造方法 |
JP2001338304A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-12-07 | Nano Geometry Kenkyusho:Kk | パターン検査装置、パターン検査方法および記録媒体 |
JP2004038884A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-02-05 | Adoin Kenkyusho:Kk | 代表点計測に基づく画像歪み補正方法、画像歪み補正装置及び画像歪み補正プログラム |
JP2005018584A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Nippon Avionics Co Ltd | パターン検査方法 |
JP2006269624A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 光学式外観検査装置のアライメント高速化法、これを用いたパターン検査装置 |
JP2012058197A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Shin Nippon Koki Co Ltd | 検査画像の生成方法、それを用いた画像検査方法、並びに外観検査装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016050875A (ja) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | 明和工業株式会社 | 表面状態判定プログラム及び表面状態判定装置 |
JP5931248B1 (ja) * | 2015-05-12 | 2016-06-08 | 株式会社Pfu | 検査システム及び検査方法 |
US10474133B2 (en) | 2016-11-29 | 2019-11-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Inspection device for inspecting wafer and method of inspecting wafer using the same |
JP6233824B1 (ja) * | 2017-04-25 | 2017-11-22 | 合同会社ウイングビジョン | 画像検査装置、生産システム、画像検査方法、プログラム及び記憶媒体 |
WO2018198991A1 (ja) * | 2017-04-25 | 2018-11-01 | 株式会社ウイングビジョン | 画像検査装置、生産システム、画像検査方法、プログラム及び記憶媒体 |
JP2018185177A (ja) * | 2017-04-25 | 2018-11-22 | 合同会社ウイングビジョン | 画像検査装置、生産システム、画像検査方法、プログラム及び記憶媒体 |
TWI664422B (zh) * | 2017-04-25 | 2019-07-01 | 日商翼視股份有限公司 | 圖像檢查裝置、生產系統、圖像檢查方法、圖像檢查用程式及記憶媒體 |
KR20200103248A (ko) * | 2019-02-22 | 2020-09-02 | (주) 보림테크 | 외부환경대응형 제품 비전검사장치 |
KR102208424B1 (ko) | 2019-02-22 | 2021-01-29 | (주)보림테크 | 외부환경대응형 제품 비전검사장치 |
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